JP2006274424A - Alやその合金の蒸着被膜を被処理物の表面に形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備えた蒸着装置を用い、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、Alまたはその合金の蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、予め、被処理物を200℃〜350℃に加熱しておいてから蒸着を開始することを特徴とするものである。
【選択図】 図1
Description
しかしながら、Alやその合金の蒸着被膜は、上記のような優れた特性を有する反面、その物性として硬度が低いという特性を有する。従って、バレルなどの収容部材内に大量の被処理物を収容し、一度で大量の被処理物の表面にこれらの蒸着被膜を形成しようとした場合、収容部材内で、被処理物同士の衝突や擦れ合い、被処理物と収容部材壁面との衝突や擦れ合いといった現象が生じ、これにより被処理物の表面に形成された蒸着被膜が損傷を受け、その一部が削れ、さらに削れた切片が被処理物などと擦れ合うことによって粒状化して他の蒸着被膜部分に付着し、その上にさらに蒸着被膜が形成されることで、蒸着被膜を形成した後にピーニング加工などを行っても除去不可能な突起物が蒸着被膜に生成するという問題がある。
そこで、このような問題を解消するための方法として、特許文献1において、真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備えた蒸着装置を用い、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、Alやその合金の蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、被処理物の表面に形成されたAlやその合金の蒸着被膜のビッカース硬度を25以上に維持して蒸着を行う方法が提案されている。
特許文献1において提案されている方法は、被処理物の必要以上の温度上昇を抑制しながら蒸着を行うことで、被処理物の表面に形成されたAlやその合金の蒸着被膜のビッカース硬度を25以上に維持することにより、収容部材内で、形成された蒸着被膜が軟化し、被処理物同士の衝突や擦れ合い、被処理物と収容部材壁面との衝突や擦れ合いといった現象によって損傷を受けやすくなることを抑制し、その結果として形成される蒸着被膜に突起物が生成することを効果的に抑制することができるものであり、蒸着被膜に突起物が生成したり、蒸着被膜が損傷を受けたりすることで不良品として扱われる個数を大幅に減少させることができることから、たいへん評価される方法である。
そこで本発明は、Alやその合金の蒸着被膜を、希土類系永久磁石などの被処理物の表面に、突起物の生成や損傷を効果的に抑制しつつ、優れた生産性でもって形成する方法を提供することを目的とする。
また、請求項2記載の方法は、請求項1記載の方法において、被処理物が希土類系永久磁石であることを特徴とする。
また、本発明の希土類系永久磁石は、請求項3記載の通り、請求項1記載の方法により、Alまたはその合金の蒸着被膜が表面に形成されてなることを特徴とする。
また、本発明の蒸着装置は、請求項4記載の通り、真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備え、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させて蒸着被膜を形成するための蒸着装置であって、真空処理室内に、収容部材内に収容された被処理物を加熱するための加熱手段を備えてなることを特徴とする。
図1に示した基本構成を有する溶融加熱方式のイオンプレーティング式蒸着装置を用いて、表1に示す組成のワイヤーを蒸着材料にして、蒸着被膜を磁石体試験片の表面に形成する以下の実験を行った。用いた円筒形バレルは、直径110mm×長さ600mmのステンレス製で、メッシュの開口率が64%(開口部となる目開きの一辺が4mmの正方形で、線径が1mm)のものであり、1個の支持部材に6個(図2に示すように2連式であるので合計12個)支持されている。
サンドブラスト加工を行った後の磁石体試験片を、12個の円筒形バレルの各々に各200個ずつ、左右2セットで、合計4800個収容した。
真空処理室内を全圧が5×10-2Pa以下になるまで真空排気した後、回転シャフトを1.5rpmで回転させながら、近赤外線ヒーターで円筒形バレル内に収容された磁石体試験片を300℃まで加熱し30分間保持した(温度の確認はニコン社製の赤外線カメラを用いたモニタリングによる)。次に、近赤外線ヒーターの電源をオフにしてから、Arガスを全圧が1Paになるように導入し、バイアス電圧−1000Vの条件下で15分間表面スパッタし、磁石体試験片の表面を清浄化した。この時点での磁石体試験片の温度(ニコン社製の赤外線カメラを用いたモニタリングによる)を表2に示す。続いて、バイアス電圧−1000Vの条件下で、蒸着材料のワイヤーを、送り出し速度3g/分で、真空処理室内への通電加熱により約1400℃に制御されたハースに送り出して連続供給して溶融させ、蒸発させ、イオン化させて30分間イオンプレーティングを行い、蒸着被膜を磁石体試験片の表面に形成した。放冷後、表面に蒸着被膜が形成された磁石体試験片について、以下の項目を評価した。その結果を表2に示す。
(2)個々の磁石体試験片の外観
(3)JIS B0601−1994における粗さ曲線の平均線よりも10μmを超える高さの突起物の、任意に選択した蒸着被膜の表面1cm2当たりの個数(n=10の平均値)
(4)蒸着終了後の蒸着被膜のビッカース硬度(n=3の平均値)
実施例1および実施例2における近赤外線ヒーターを用いた円筒形バレル内に収容された磁石体試験片の加熱を行わないこと以外は、実施例1および実施例2と同様にして、表1に示す組成のワイヤーを蒸着材料にして、蒸着被膜を磁石体試験片の表面に形成した。放冷後、表面に蒸着被膜が形成された磁石体試験片について、実施例1および実施例2に記載の項目を同様にして評価した。その結果を表2に示す。また、磁石体試験片の表面に形成された蒸着被膜の組成を表3に示す。
実施例1と比較例1のそれぞれにおいて磁石体試験片の表面に形成されたAlの蒸着被膜の破断面観察写真をそれぞれ図3と図4に示す。図3と図4から明らかなように、比較例1において形成されたAlの蒸着被膜の被膜組織は、柱状晶のような形状の剥離しやすいものであるのに対し、実施例1において形成されたAlの蒸着被膜は、非常に緻密な被膜組織であることがわかった。
よって、実施例1において形成されたAlの蒸着被膜が有する優れた特性は、その被膜組織が緻密であることによると考えられた。また、実施例2において形成されたAlのMgとの合金の蒸着被膜がさらに優れた特性を有するのは、蒸着被膜がMgを約5mass%含むことにより、蒸着被膜の硬度が本質的に高まったためであると考えられた。
2 ハース(溶融蒸発部)
3 支持テーブル
4 ハース支持台
5 円筒形バレル(収容部材)
6 回転軸
7 支持部材
8 支持軸
9 蒸着材料のワイヤー
10 繰り出しリール
11 保護チューブ
12 切り欠き窓
13 繰り出しギヤー
20 近赤外線ヒーター(加熱手段)
30 被処理物
Claims (4)
- Alまたはその合金の蒸着被膜を被処理物の表面に形成する方法であって、真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備えた蒸着装置を用い、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、Alまたはその合金の蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させるに際し、予め、被処理物を200℃〜350℃に加熱しておいてから蒸着を開始することを特徴とする方法。
- 被処理物が希土類系永久磁石であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 請求項1記載の方法により、Alまたはその合金の蒸着被膜が表面に形成されてなることを特徴とする希土類系永久磁石。
- 真空処理室内に、蒸着材料の溶融蒸発部と、複数個の被処理物を収容するための収容部材を備え、複数個の被処理物を収容した収容部材を水平方向の回転軸線を中心に回転させながら、蒸着材料を被処理物の表面に蒸着させて蒸着被膜を形成するための蒸着装置であって、真空処理室内に、収容部材内に収容された被処理物を加熱するための加熱手段を備えてなることを特徴とする蒸着装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077285A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Hitachi Metals Ltd | 耐食性R−Fe−B系焼結磁石の製造方法 |
JP2011157572A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi Metals Ltd | 蒸着形成される金属被膜の緻密性を向上させる方法 |
JP2018532259A (ja) * | 2015-08-20 | 2018-11-01 | エクスタリック コーポレイションXtalic Corporation | アルミニウムマンガン合金の皮膜層を含む磁石及び関連する方法 |
JP6829340B1 (ja) * | 2020-10-01 | 2021-02-10 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5487683A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-12 | Ulvac Corp | Metal film depositing apparatus |
JPS63255907A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-10-24 | Hitachi Metals Ltd | 永久磁石およびその製造方法 |
JPH04235272A (ja) * | 1991-01-11 | 1992-08-24 | Kobe Steel Ltd | 耐食性及び加工性に優れた蒸着Al−Mn系合金めっき材およびその製造方法 |
JPH062109A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-11 | Kobe Steel Ltd | Al−Nb合金めっき材およびAl−Nb系積層めっき材、ならびにこれらめっき材の製造方法 |
JP2001335921A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-12-07 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着被膜形成装置 |
JP2002088467A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-03-27 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 乾式表面処理用装置およびこの装置を用いた乾式表面処理方法 |
JP2003100537A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 希土類系永久磁石の製造方法 |
-
2005
- 2005-03-30 JP JP2005099393A patent/JP4529763B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5487683A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-12 | Ulvac Corp | Metal film depositing apparatus |
JPS63255907A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-10-24 | Hitachi Metals Ltd | 永久磁石およびその製造方法 |
JPH04235272A (ja) * | 1991-01-11 | 1992-08-24 | Kobe Steel Ltd | 耐食性及び加工性に優れた蒸着Al−Mn系合金めっき材およびその製造方法 |
JPH062109A (ja) * | 1992-06-17 | 1994-01-11 | Kobe Steel Ltd | Al−Nb合金めっき材およびAl−Nb系積層めっき材、ならびにこれらめっき材の製造方法 |
JP2001335921A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-12-07 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着被膜形成装置 |
JP2002088467A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-03-27 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 乾式表面処理用装置およびこの装置を用いた乾式表面処理方法 |
JP2003100537A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-04 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 希土類系永久磁石の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011077285A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Hitachi Metals Ltd | 耐食性R−Fe−B系焼結磁石の製造方法 |
JP2011157572A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi Metals Ltd | 蒸着形成される金属被膜の緻密性を向上させる方法 |
JP2018532259A (ja) * | 2015-08-20 | 2018-11-01 | エクスタリック コーポレイションXtalic Corporation | アルミニウムマンガン合金の皮膜層を含む磁石及び関連する方法 |
JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
JP7175456B2 (ja) | 2019-12-06 | 2022-11-21 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
JP6829340B1 (ja) * | 2020-10-01 | 2021-02-10 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
WO2022070433A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
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