JP2006258686A - 信頼性測定装置および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記課題は、被測定物に第1の電圧を所定時間印加した後に第2の電圧を印加して被測定物を流れる電流値を計測する第1のステップと、第1のステップを同一の被測定物に対して連続して2回以上実行する第2のステップと、第2のステップを複数の被測定物に対して順次実行する第3のステップと、第1のステップを同一の被測定物に対して1回または連続して2回以上実行する第4のステップと、第3のステップ実行後に第4のステップを複数の被測定物に対して順次実行する第5のステップと、被測定物ごとに第1の電圧を印加した合計時間と電流値との相関関係を求める第6のステップとを含むことを特徴とする被測定物の信頼性測定方法、およびこれを用いた装置等により解決される。
【選択図】図1
Description
以下、信頼性測定装置の動作を中心に、本発明に係る信頼性測定装置10の説明を行う。
まず、使用者が、100個の測定デバイス31、32、33・・・を、それぞれ接続端子51、52、53・・・に接続する。測定デバイス31、32、33・・・は、いずれも通常使用状態で印加する電圧は3V程度である。接続が終了すると、使用者は、制御装置40に、信頼性測定の開始を指示する。すると、制御装置40は、まず測定デバイスの測定回数を示す変数cと、同一デバイスの測定回数を示すm、現在測定しているデバイス番号を示す変数nを1に初期化する(ステップ200)。このとき、マルチプレクサ20の全てのスイッチ21、22、23・・・は、電源11、12のいずれにも接続しない状態に設定される。また、電源11、12の出力電圧をともにストレス電圧に設定する。本実施例では、ストレス電圧を、デバイスの通常使用状態の印加電圧の約3倍の10Vとしたが、必ずしもかかる電圧に設定する必要はなく、デバイスの特性や測定に必要な時間などを勘案し、適宜設定可能である。
11、12 電源
13 電流計
21、22、23、82、83、84 スイッチ
20、81 マルチプレクサ
51、52、53 接続端子
40、85 制御装置
42 メモリ
Claims (13)
- 被測定物に第1の電圧を所定時間印加した後に、第2の電圧を印加して前記被測定物を流れる電流値を計測する第1のステップと、
前記第1のステップを、同一の前記被測定物に対して、連続して2回以上実行する第2のステップと、
前記第2のステップを、複数の前記被測定物に対して順次実行する第3のステップと、
前記第1のステップを、同一の前記被測定物に対して、1回または連続して2回以上実行する第4のステップと、
前記第3のステップ実行後に、前記第4のステップを、複数の前記被測定物に対して順次実行する第5のステップと、
前記被測定物ごとに、前記第1の電圧を印加した合計時間と前記電流値との相関関係を求める第6のステップとを含むことを特徴とする前記被測定物の信頼性測定方法。 - 前記信頼性測定方法が、さらに、
前記相関関係から、前記電流値が所定値に達する故障発生時間を予測する第7のステップと、
前記故障発生時間から、前記被測定物の寿命を予測する第8のステップとを含むことを特徴とする前記被測定物の請求項1記載の信頼性測定方法。 - 前記信頼性測定方法が、さらに、前記第5のステップの実行中に、前記複数の被測定物のうち、前記第2のステップを実行していない被測定物に対して、前記第1の電圧を印加するステップを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の信頼性測定方法。
- 複数の被測定物に第1の電圧を所定時間印加する第1のステップと、
前記複数の被測定物に、順次、第2の電圧を印加して前記被測定物を流れる電流値を計測する第2のステップと、
前記第1のステップと前記第2のステップを所定回数繰返す第3のステップと、
前記被測定物ごとに、前記第1の電圧を印加した合計時間と前記電流値から、前記電流値が所定値に達する故障発生時間を予測する第4のステップと、
予測された前記故障発生時間から、前記被測定物の寿命を予測する第5のステップとを含むことを特徴とする前記被測定物の信頼性測定方法。 - 前記第1の電圧と前記第2の電圧が、同一電圧であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の信頼性測定方法。
- 前記第2の電圧が、前記被測定物の通常使用状態で印加される範囲の電圧であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の信頼性測定方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載の前記信頼性測定方法をコンピュータで機能させるためのプログラム。
- 請求項7記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 第1および第2の電源と、
被測定物を接続するための複数の接続端子と、
複数の入力と1つの出力をもつスイッチを複数個備えたマルチプレクサであって、前記複数の入力が、前記第1の電源に電気的に接続された第1入力と、前記第2の電源に電気的に接続された第2入力と、いずれの電源にも電気的に接続されていない第3入力とを含むことを特徴とする前記マルチプレクサと、
前記第2の電源と直列に接続された電流計と、
メモリおよび情報処理手段を備えた制御手段とを備えた前記被測定物の信頼性測定装置であって、前記制御手段が、
前記複数の接続端子の一部を前記第2入力と接続し、かつ、他の接続端子を前記第3入力と接続する第1の機能と、
前記第1の電源の出力電圧をストレス電圧に設定するとともに、第2の電源の出力電圧を測定電圧に設定する第2の機能と、
前記第2入力に接続された前記接続端子を流れる電流値を連続して複数回測定し、測定後に、前記第2入力に接続された接続端子を、第1入力と接続する第3の機能と、
前記第3の機能を、前記複数の接続端子に対して順次実行する第4の機能と、
前記第3の機能実行後、前記複数の接続端子を順次前記第2入力に接続して、前記接続端子を流れる電流値を順次測定する第5の機能と、
前記電流値、および、前記測定を行った前記接続端子に対して前記ストレス電圧を印加した合計時間とを前記メモリに格納する第6の機能と、
前記メモリに格納された前記電流値および前記合計時間から、前記電流値が所定値に達する故障発生時間を予測する第7の機能と、
予測された前記故障発生時間から、前記被測定物の寿命を予測する第8の機能とを有すことを特徴とする前記信頼性測定装置。 - 前記測定電圧と前記ストレス電圧が、同一電圧であることを特徴とする請求項9記載の信頼性測定方法。
- 前記測定電圧が、前記ストレス電圧と被測定物の通常使用状態で印加される範囲の電圧とを含む複数の電圧レベルを有することを特徴とする請求項9記載の信頼性測定方法。
- 電源と、
被測定物を接続するための複数の接続端子と、
前記電源と前記接続端子との電気的接続を制御するスイッチを複数個備えたマルチプレクサと、
前記電源と直列に接続された電流計と、
メモリと情報処理手段を備えた制御手段とを備えた前記被測定物の信頼性測定装置であって、前記制御手段が、
前記マルチプレクサおよび前記電源を制御して、前記複数の接続端子に第1の電圧を印加する機能と、
前記マルチプレクサ、前記電流計および前記電源を制御して、前記接続端子の一部に第2の電圧を印加して前記接続端子を流れる電流値を計測する機能と、
前記電流値および前記測定を行った前記接続端子に対して前記第1の電圧を印加した合計時間とを前記メモリに格納する機能と、
前記メモリに格納された前記電流値および前記合計時間から、前記被測定物ごとに、前記被測定物に流れる電流値が所定値に達する故障発生時間を予測する機能と、
前記故障発生時間から、前記被測定物の寿命を予測する機能とを有すことを特徴とする前記信頼性測定装置。 - 前記電源が、前記ストレス電圧と前記被測定物の通常使用状態で印加される範囲の電圧とを切り替えて出力できることを特徴とする請求項12記載の信頼性測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005078529A JP2006258686A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 信頼性測定装置および測定方法 |
US11/317,511 US20060208754A1 (en) | 2005-03-18 | 2005-12-22 | Method and apparatus for a reliability testing |
TW095104569A TW200634970A (en) | 2005-03-18 | 2006-02-10 | Method and apparatus for a reliability testing |
CNA2006100080016A CN1834674A (zh) | 2005-03-18 | 2006-02-21 | 用于可靠性测试的方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005078529A JP2006258686A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 信頼性測定装置および測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006258686A true JP2006258686A (ja) | 2006-09-28 |
JP2006258686A5 JP2006258686A5 (ja) | 2008-05-22 |
Family
ID=37002498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005078529A Pending JP2006258686A (ja) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 信頼性測定装置および測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060208754A1 (ja) |
JP (1) | JP2006258686A (ja) |
CN (1) | CN1834674A (ja) |
TW (1) | TW200634970A (ja) |
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- 2005-03-18 JP JP2005078529A patent/JP2006258686A/ja active Pending
- 2005-12-22 US US11/317,511 patent/US20060208754A1/en not_active Abandoned
-
2006
- 2006-02-10 TW TW095104569A patent/TW200634970A/zh unknown
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN1834674A (zh) | 2006-09-20 |
US20060208754A1 (en) | 2006-09-21 |
TW200634970A (en) | 2006-10-01 |
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