JP2006255656A - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液滴吐出ヘッドの下面であってノズルプレート31が搭載されたキャリッジに、乾燥用レーザ照射装置38及び焼成用レーザ照射装置39が併設されている。ノズルプレート31には、基板2に液滴Fbを吐出する複数のノズルNが設けられている。乾燥用レーザ照射装置38には、基板2に着弾した液滴Fbの乾燥を行なう複数の第1半導体レーザLbが設けられている。焼成用レーザ照射装置39には、基板2に着弾して第1半導体レーザLbで乾燥された液滴Fbの焼成を行なうための複数の第2半導体レーザLcが設けられている。
【選択図】 図7
Description
この液滴装置によれば、第1及び第2レーザ照射手段は、液滴吐出手段が搭載されたキャリッジ上に配置されているため、液滴吐出手段により吐出された液滴に応じて適宜レーザ光を照射して液滴を乾燥させ機能材料を焼成させることができる。
この液滴吐出装置によれば、相対移動手段を用いて、キャリッジ上で、第1レーザ照射手段と第2レーザ照射手段との距離を変更する。このため、キャリッジが、対向する基板に対して相対移動するときに、相対移動手段により第1レーザ照射手段と第2レーザ照射手段との距離を変更させて、第1レーザ照射手段からのレーザ光の基板に対する照射時間と、第2レーザ照射手段からのレーザ光の基板に対する照射時間とを相違させることができる。従って、第1レーザ照射手段のレーザ光は吐出に同期させて照射する一方で、第2レーザ照射手段のレーザ光の照射時間を長くすることにより、十分に焼成を行なうことができる。
以下、本発明の第1実施形態を図1〜図13に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置を使って形成された識別コードを有する液晶表示装置の表示モジュールについて説明する。図1は液晶表示装置の液晶表示モジュールの正面図、図2は液晶表示モジュールの裏面に形成された識別コードの正面図、図3は液晶表示モジュ
ールの裏面に形成された識別コードの側面図である。
図5に示すように、液滴吐出装置20には、直方体形状に形成される基台21が備えられている。本実施形態では、この基台21の長手方向をY矢印方向とし、同Y矢印方向と直交する方向をX矢印方向とする。
直動機構は、例えば案内凹溝22に沿って延びるネジ軸(駆動軸)と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸がステップモータよりなるY軸モータMY(図10参照)に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がY軸モータMYに入力されると、Y軸モータMYが正転又は逆転して、基板ステージ23が同ステップ数に相当する分だけ、Y矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する(Y方向に移動する)ようになっている。
基板ステージ23の上面には、載置面24が形成され、その載置面24には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、基板2が裏面2bを上側にして載置面24に載置されると、その基板チャックによって、基板2が載置面24の所定位置に位置決め固定されるようになっている。この際、パターン形成領域Z1は、各セルCの列方向がY矢印方向に沿うように設定され、かつ1行目のセルCが最もY矢印方向側となるように配置される。
ノズルNから縮小した容積分のマンガン微粒子を含む液状体Faが液滴Fbとなって基板2に吐出される。
図9において、制御装置40には、外部コンピュータ等の入力装置41から各種データを受信するI/F部42と、CPU等からなる制御部43、DRAM及びSRAMからなり各種データを格納するRAM44、各種制御プログラムを格納するROM45が備えられている。また、制御装置40には、駆動波形生成回路46、各種駆動信号を同期するためのクロック信号CLKを生成する発振回路47、第1半導体レーザLb及び第2半導体レーザLcを駆動するためのレーザ駆動電圧VDLb,VDLcを生成する電源回路48、各種駆動信号を送信するI/F部49が備えられている。そして、制御装置40では、これらI/F部42、制御部43、RAM44、ROM45、駆動波形生成回路46、発
振回路47、電源回路48及びI/F部49が、バス50を介して接続されている。
して、16個の各圧電素子34に対応する開閉信号GS1をそれぞれ生成する。スイッチ回路59には、各圧電素子34に対応するスイッチ素子Sa1〜Sa16がそれぞれ備えられ、各スイッチ素子Sa1〜Sa16の入力側には、共通する圧電素子駆動電圧VDPが入力され、出力側には、それぞれ対応する圧電素子34が接続されている。そして、各スイッチ素子Sa1〜Sa16には、レベルシフタ58から、対応する開閉信号GS1が入力され、同開閉信号GS1に応じて圧電素子駆動電圧VDPを圧電素子34に供給するか否かを制御するようになっている。
ーザ駆動電圧VDLbを第1半導体レーザLbに供給するか否かを制御するようになっている。
給され、対応する第2半導体レーザLcからレーザ光が出射される。
まず、図5に示すように、往動位置に位置する基板ステージ23上に、基板2を、裏面2bが上側になるように配置固定する。このとき、基板2のY矢印方向側の辺は、案内部材26より反Y矢印方向側に配置されている。また、キャリッジ29(液滴吐出ヘッド30)は、基板2がY矢印方向に移動したとき、その直下を、識別コード10を形成する位置(パターン形成領域Z1)が通過する位置にセットされている。
して基板2を所定の速度でY矢印方向に搬送させる。やがて、基板検出装置53が基板2のY矢印側の端縁を検出すると、制御装置40は、Y軸モータ回転検出器55aからの検出信号に基づいて、横一列のセルC(黒セルC1)がノズルNの直下まで搬送されたかどうか演算する。
(1)本実施形態によれば、乾燥用レーザ照射装置38と焼成用レーザ照射装置39とを独立して設ける。このため、乾燥又は焼成に適したレーザ照射手段を用いることができる。具体的には、図11及び図12に示すように、液滴Fbの分散媒が吸収するレーザ吸収波長と、液滴Fbに含まれるマンガン微粒子が吸収するレーザ吸収波長とは異なる。そして、ノズルNから吐出された液滴Fbの分散媒を蒸発させて液滴Fbの乾燥を行なうための第1半導体レーザLbと、液滴Fbに含まれるマンガン微粒子を焼成するための第2半導体レーザLcとを、液滴吐出ヘッド30(キャリッジ29)において別々に設ける。このため、分散媒又はマンガン微粒子のそれぞれに適する吸収波長のレーザを用いてエネルギを与えることができる。従って、より効率よく液滴Fbの乾燥及び焼成を行なうことができる。また、第1半導体レーザLbからのレーザ光を、液滴Fbが着弾する近傍に照射させることができるので、いっそう効率よく液滴Fbの乾燥を行なうことができる。
次に、本発明を具体化した第2実施形態を、図14〜図17に基づいて説明する。なお、第1実施形態と同様な部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
詳述すると、図14に示すように、本実施形態の微小移動ステージ35は、焼成用レーザ照射装置39をキャリッジ29に対してY方向に移動可能に支持されている。
(3)本実施形態によれば、微小移動ステージ35は、焼成用レーザ照射装置39をキャリッジ29に対してY方向に移動可能に支持している。そして、基板2のY矢印方向への移動に伴い、第2半導体レーザLcも移動させる。この場合、第2半導体レーザLcの移動速度は、基板2の搬送速度より遅くしておく。これにより、基板2と第2半導体レーザLcとの相対速度差を小さくし、微小移動ステージ35の移動可能範囲において、長時間、第2半導体レーザLcによるレーザ照射を行なうことができる。通常、乾燥に比べて、焼成にはより多くにエネルギが必要である。従って、基板2に着弾した液滴Fbに対して、第2半導体レーザLcの照射時間を長くすることができ、焼成を促進することができる。よって、描画速度を上げるために基板ステージ23の移動を早くし、それに応じて乾燥を行なう第1半導体レーザLbのレーザ光の照射時間を短くしても、焼成のための第2半導体レーザLcのレーザ光の照射時間を長くして、焼成を行なうことができる。
○上記第2実施形態では、焼成用レーザ照射装置39が、微小移動ステージ35を介してキャリッジ29に取り付けた。これに限らず、焼成用レーザ照射装置39をキャリッジ29とは別に移動させる機能に取り付けてもよい。
○上記各実施形態では、圧電素子34の伸縮動によって液滴Fbを吐出する構成にしたが、圧電素子34以外の方法(例えば、キャビティ32内に気泡を生成して破裂させる方法)によってキャビティ32内を加圧し、液滴Fbを吐出するようにしてもよい。
Claims (5)
- 機能性材料を含む液状体を、吐出口から液滴として吐出する液滴吐出装置において、
前記吐出口から吐出され、基板に着弾した前記液滴にレーザ光を照射して乾燥させる第1レーザ照射手段と、
前記乾燥させた液滴を焼成するための第2レーザ照射手段と
を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1に記載の液滴吐出装置において、
前記第1及び第2レーザ照射手段は、液滴吐出手段を搭載したキャリッジ上に配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1又は2に記載の液滴吐出装置において、
第1のレーザ照射手段のレーザ光の照射位置と、前記第2レーザ照射手段のレーザ光の照射位置との距離を変更する相対移動手段を設け、
この相対移動手段は、前記第1のレーザ照射手段の前記照射位置と前記基板との位置関係に基づいて、前記第2のレーザ照射手段を移動させることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項3に記載の液滴吐出装置において、
前記相対移動手段は、キャリッジ上において、前記第1レーザ照射手段と前記第2レーザ照射手段との距離を変更する手段であることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の液滴吐出装置において、
前記第1レーザ照射手段は、第1波長のレーザ光を照射し、
第2レーザ照射手段は、前記第1波長とは異なる第2波長のレーザ光を照射することを特徴とする液滴吐出装置。
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