JP4474870B2

JP4474870B2 - 液滴視認方法、液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置

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Publication number: JP4474870B2
Application number: JP2003303571A
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Inventors: 実小山
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Priority date: 2003-08-27
Filing date: 2003-08-27
Publication date: 2010-06-09
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Description

本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認可能な液滴視認方法、液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置に関する。

インクジェットプリンターのインクジェットヘッドと同様の方式の液滴吐出ヘッドを用いて基板に液滴を吐出することにより、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用することができる工業用の液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような液滴吐出装置、あるいは液滴吐出ヘッドの性能を検査する検査装置においては、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴をオペレーターが肉眼で確認することができれば、液滴の吐出状況を簡便に確認することができ、便利である。

しかしながら、液滴の径は極めて小さいので、従来の装置では、吐出された液滴を視認するのは困難である。特に、液滴吐出ヘッドがノズルを下向きにした姿勢で設置されている場合には、室内照明が当たらずに陰となるので、吐出された液滴を視認するのは極めて困難である。

特開平１０−２６０３０７号公報

本発明の目的は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を容易に視認することができる液滴視認方法、液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴視認方法は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認する液滴視認方法であって、
レーザー光にスリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認し、
さらに、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられ、前記レーザー光を受光するラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を容易に視認することができる液滴視認方法を提供することができる。

本発明の液滴視認方法では、前記スリットより前または後に、前記レーザー光に集光レンズを透過させることが好ましい。
これにより、液滴の弾道と交差する部分のレーザー光の光束の幅、すなわちレーザー光が照射される部分の弾道の長さを容易に調整することができる。
本発明の液滴視認方法では、前記スリットは、その長手方向に沿って断続的に形成されていることが好ましい。
これにより、レーザー光の出力が大きい場合であっても、液滴を視認した際の眩しさが軽減され、飛行する液滴をより見やすくすることができる。

本発明の液滴吐出ヘッド検査装置は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認可能な液滴吐出ヘッド検査装置であって、
レーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光が通過するスリットを有する板状部材と、
前記レーザー光を受光するラインセンサと、
前記ラインセンサの出力信号に基づいて、前記ノズル孔からの液滴の吐出状態を検知する検知手段とを備え、
前記レーザー光に前記スリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認可能であり、
前記ラインセンサは、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられており、
前記検知手段は、前記ラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を容易に視認することができる液滴吐出ヘッド検査装置を提供することができる。

本発明の液滴吐出ヘッド検査装置では、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔に対応する複数の弾道に対し前記レーザー光を相対的に走査することにより、液滴を視認するノズル孔を選択するノズル孔選択手段をさらに備えることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔のうち、所望のノズル孔からの液滴の弾道にレーザー光を照射させることができ、そのノズル孔から吐出された液滴が飛行するのを視認することができる。

本発明の液滴吐出ヘッド検査装置では、液滴を視認するノズル孔の指定を受け付けるノズル孔指定手段をさらに備え、
前記ノズル孔選択手段は、前記ノズル孔指定手段が指定を受け付けたノズル孔からの液滴の弾道に向けて前記レーザー光を照射させることが好ましい。
これにより、オペレーターは、液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔のうち、液滴を視認したいノズル孔を自由に指定することができる。

本発明の液滴吐出装置は、ワークを保持するワークテーブルと、前記ワークに向けて液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとを備え、前記液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認可能な液滴吐出装置であって、
レーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光が通過するスリットを有する板状部材と、
前記レーザー光を受光するラインセンサと
前記ラインセンサの出力信号に基づいて、前記ノズル孔からの液滴の吐出状態を検知する検知手段とを備え、
前記レーザー光に前記スリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認可能であり、
前記ラインセンサは、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられており、
前記検知手段は、前記ラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を容易に視認することができる液滴吐出装置を提供することができる。

以下、本発明の液滴視認方法、液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出ヘッド検査装置の実施形態を示す側面図および平面図、図３および図４は、それぞれ、図１および図２に示す液滴吐出ヘッド検査装置における遮光板の正面図、図５は、図１および図２に示す液滴吐出ヘッド検査装置の機能ブロック図である。

以下の説明では、便宜上、図１中での上側を「上」、下側を「下」と言い、図２中での上下方向を「Ｘ軸方向」、左右方向を「Ｙ軸方向」と言う。
これらの図に示す液滴吐出ヘッド検査装置２は、液滴吐出ヘッド９の作動を検査する装置である。まず、液滴吐出ヘッド９について説明する。
図１および図２に示すように、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）９は、その下面側にノズル面９１を有しており、ノズル面９１には、複数のノズル孔９２がＸ軸方向に沿って一列または二列以上（図示では一列）に並べて形成されている。各ノズル孔９２に対しては、図示を省略するが、それぞれ、そのノズル孔９２に連通する圧力室（キャビティ）と、この圧力室内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータとが設けられている。

液滴吐出ヘッド９は、ヘッド駆動部１１によって駆動される。ヘッド駆動部１１は、制御手段１０の制御に基づき、液滴吐出ヘッド９のアクチュエータに駆動信号を通電する。アクチュエータに駆動信号が通電されると、このアクチュエータが作動して圧力室内の液体の圧力を変化させ、その結果、圧力室内の液体がノズル孔９２から下方向に向けて液滴１００として吐出される。なお、液滴吐出ヘッド９のアクチュエータとしては、特に限定されず、例えばピエゾアクチュエータ、静電アクチュエータ等を用いることができる。また、液滴吐出ヘッド９は、液体を加熱して気泡を生じさせるヒータをアクチュエータとして用いた膜沸騰式のインクジェットヘッドでもよい。

液滴吐出ヘッド９が吐出する液体（分散液を含む）としては、特に限定されるものではなく、例えば、インク、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等、いかなる液体でもよい。

以下、液滴吐出ヘッド検査装置２について説明する。液滴吐出ヘッド検査装置２は、レーザー光Ｌ_１を照射するレーザー光照射手段３と、レーザー光Ｌ_１が通過するスリット４１を有する板状部材４とを備えている。
レーザー光照射手段３の種類としては、特に限定されず、例えばＮｅ−Ｈｅレーザー、Ａｒレーザー、ＣＯ_２レーザー等の気体レーザー、ルビーレーザー、ＹＡＧレーザー、ガラスレーザー等の固体レーザー、半導体レーザー等を用いることができる。

図３に示すように、板状部材４は、平板状の部材であり、この板状部材４には、連続した一本のスリット４１が形成されている。スリット４１の幅Ｗは、特に限定されないが、液滴１００の直径Ｄの１〜５倍程度が好ましく、直径Ｄの１〜２倍程度がより好ましい。
また、板状部材４のレーザー光Ｌ_１が照射される側の面には、光を散乱させる散乱処理が施されているのが好ましい。これにより、レーザー光Ｌ_１の光束のうちスリット４１を通過しなかった部分の反射光が特定の方向に向かうことが防止され、オペレーターの安全を確保することができる。

レーザー光照射手段３より照射されたレーザー光Ｌ_１の光束の横断面形状は、特に限定されないが、通常は円形になっている。すなわち、レーザー光Ｌ_１の光束は、円柱状をなしている。
図２に示すように、レーザー光Ｌ_１がスリット４１を通過することにより、平板状の光束のレーザー光Ｌ_２が形成される。このレーザー光Ｌ_２は、その光束のなす平板が液滴１００の弾道と平行になる姿勢で、この弾道に向けて側方（Ｙ軸方向）から照射される。これにより、飛行する液滴１００は、レーザー光Ｌ_２によって照明されて、光って見える。よって、オペレーターは、飛行する液滴１００を容易に視認することができる。

このようにして、液滴吐出ヘッド検査装置２では、ノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を目視によって簡便に確認することができるので、液滴１００の飛行曲がりの有無やノズル孔９２の目詰まり等による液滴１００の吐出抜けの有無などを容易に検査することができる。なお、液滴１００を視認する方向は、特に限定されないが、例えば、レーザー光Ｌ_２の照射方向と直交する方向から視認したり、レーザー光Ｌ_２の照射方向に対し傾斜した方向から視認したりすることができる。

本実施形態の液滴吐出ヘッド検査装置２は、集光レンズ５を有しており、板状部材４のスリット４１を通過して平板状に整形されたレーザー光Ｌ_２は、さらに集光レンズ５を透過する。集光レンズ５を透過したレーザー光Ｌ_２は、集光点Ｃに集光し、集光点Ｃを過ぎると、その幅（図１中の上下方向の幅）が進行方向に向かって漸増するような光束となり、この部分が液滴１００の弾道に照射される。このような構成により、集光レンズ５を透過する前のレーザー光Ｌ_２の光束の幅が狭い場合であっても、液滴吐出ヘッド９を集光点Ｃより遠くに設置することにより、液滴１００の弾道と交差する部分のレーザー光Ｌ_２の光束の幅、すなわちレーザー光Ｌ_２が照射される部分の弾道の長さを大きく確保することができる。
なお、この集光レンズ５は、スリット４１より前側に設けられていてもよい。また、集光レンズ５を透過させなくてもレーザー光Ｌ_２の光束の幅が十分広い場合には、集光レンズ５を設けなくてもよい。
また、本発明では、図示の構成と異なり、レーザー光Ｌ_１またはＬ_２の光路の途中にミラーを設け、光路を屈曲させるようにしてもよい。これにより、レーザー光照射手段３の配置位置の自由度を高めることができる。

レーザー光Ｌ_２によって照明された飛行する液滴１００を目視する際、レーザー光照射手段３の出力が大きい場合には、液滴１００での反射光が眩しく感じられることがある。その場合には、図４に示す板状部材４’を用いることにより、その眩しさを防止することができる。図４に示すように、板状部材４’におけるスリット４１’は、その長手方向に沿って断続的に形成されている。これにより、液滴１００での反射光の割合が減り、眩しさが軽減されて、より見やすくすることができる。

図１に示すように、レーザー光照射手段３は、レーザー光Ｌ_１の発振のオン・オフを切り替えるスイッチ３１を有している。これにより、飛行する液滴１００を視認したいときだけレーザー光照射手段３にレーザー光Ｌ_１を発振させ、それ以外のときにはレーザー光照射手段３の作動を停止させることができるので、消費電力を低減することができる。なお、スイッチ３１に代えて押しボタンを設け、この押しボタンを押しているときだけレーザー光照射手段３がレーザー光Ｌ_１を発振するように構成してもよい。

本実施形態の液滴吐出ヘッド検査装置２は、液滴吐出ヘッド９をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段６と、レーザー光Ｌ_２を受光して光電変換するラインセンサ（受光手段）７とをさらに有している。また、図５に示すように、液滴吐出ヘッド検査装置２は、制御手段１０と、ディスプレイ１２と、入力手段１３とをさらに有している。
Ｘ軸方向移動手段６の構成は、特に限定されないが、例えばリニアモータを利用した構成や、ボールねじとこれを回転駆動するサーボモータとを利用した構成とすることができる。
ディスプレイ１２は、例えばＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面等を表示することができる。入力手段１３は、キーボード、マウス等で構成されている。

図２に示すように、Ｘ軸方向移動手段６を作動して、液滴吐出ヘッド９をＸ軸方向に移動させると、複数のノズル孔９２に対応する複数の弾道に対し、レーザー光Ｌ_２を相対的に走査することができる。これにより、液滴吐出ヘッド９の複数のノズル孔９２のうち、所望のノズル孔９２からの液滴１００の弾道にレーザー光Ｌ_２を照射させることができ、そのノズル孔９２から吐出された液滴１００が飛行するのを視認することができる。

このように、本実施形態では、Ｘ軸方向移動手段６は、複数のノズル孔９２のうちから、飛行する液滴１００を視認するノズル孔９２を選択するノズル孔選択手段として機能するものである。なお、ノズル孔選択手段としては、Ｘ軸方向移動手段６のような構成に限らず、レーザー光照射手段３および板状部材４を移動させることによってレーザー光Ｌ_２を走査するように構成されたものでもよく、また、レーザー光Ｌ_２をガルバノミラーまたはポリゴンミラー等によって走査するように構成されたものでもよい。

オペレーターは、液滴１００を視認したいノズル孔９２の番号を、入力手段１３を介して制御手段１０に入力することができる。すなわち、入力手段１３は、液滴１００を視認するノズル孔９２の指定を受け付けるノズル孔指定手段として機能する。そして、制御手段１０は、入力手段１３を介して入力された情報に基づいてＸ軸方向移動手段６を作動し、指定されたノズル孔９２からの液滴１００の弾道に向けてレーザー光Ｌ_２が照射されるように、液滴吐出ヘッド９を移動させる。このようにして、オペレーターは、指定した番号のノズル孔９２について、飛行する液滴１００を視認することができる。

本実施形態の液滴吐出ヘッド検査装置２では、ラインセンサ７を設けたことにより、ノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を自動的に検出することもできる。この場合、制御手段１０は、ラインセンサ７の出力信号に基づいて、ノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を検査する検査手段として機能する。
制御手段１０は、例えば次のようにして、ノズル孔９２からの液滴１００の飛行曲がりや、吐出抜け等を判断する。まず、液滴１００がレーザー光Ｌ_２の光束を図１中の上から下まで横切るようにしてレーザー光Ｌ_２を遮ったのをラインセンサ７が検出した場合には、制御手段１０は、液滴１００が正常に吐出されていると判断する。また、液滴１００がレーザー光Ｌ_２の光束の上部のみを遮ったのをラインセンサ７が検出した場合には、制御手段１０は、液滴１００の飛行曲がり（飛行方向のずれ）が生じていると判断する。また、液滴吐出ヘッド９が吐出動作を行ったにもかかわらずラインセンサ７の出力信号に変化が無かった場合には、制御手段１０は、液滴１００の吐出抜け（ノズル孔９２の目詰まり）が生じていると判断する。

このようにして、本実施形態では、ノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を、目視だけでなく、自動的に検出することもできる。また、この場合についても、前記と同様にしてレーザー光Ｌ_２を走査することにより、複数のノズル孔９２のうちの所望のノズル孔９２について吐出状態を検査することができる。
なお、レーザー光Ｌ_２を受光して光電変換する受光手段としては、ラインセンサ７に限らず、例えば、フォトダイオードや、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子などを用いても良い。

図６は、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図、図７は、図６に示す液滴吐出装置の機能ブロック図である。
以下、これらの図を参照して本発明の液滴吐出装置の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
これらの図に示す液滴吐出装置１は、ラインセンサ７を有さないこと以外前記と同様の液滴吐出ヘッド検査装置２を搭載した液滴吐出装置である。この液滴吐出装置１においては、前記と同様にして、液滴吐出ヘッド９のノズル孔９２から吐出されて飛行する液滴１００を容易に視認することができる。

液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド検査装置２と、ワーク２００に向けて液滴１００を吐出する液滴吐出ヘッド９と、ワーク２００を保持するワークテーブル８と、ワークテーブル８をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動手段１４とを備えている。
ワーク２００とするものは、特に限定されず、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等の各種基板や、レンズ等の光学部材など、いかなるものでもよい。

ワークテーブル８には、載置されたワーク２００を例えば真空吸引等の方法によって保持する保持手段（図示せず）が設けられている。
Ｙ軸方向移動手段１４の構成は、特に限定されないが、例えばリニアモータを利用した構成や、ボールねじとこれを回転駆動するサーボモータを利用した構成とすることができる。

このような液滴吐出装置１は、制御手段１０の制御に基づいて、Ｘ軸方向移動手段６およびＹ軸方向移動手段１４を作動し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の一方を主走査方向、他方を副走査方向として、液滴吐出ヘッド９とワーク２００とを相対的に移動しつつ各ノズル孔９２から液滴１００をワーク２００に向けて吐出することにより、ワーク２００上に所定のパターンを描画することができる。
この液滴吐出装置１では、前記と同様の方法により、ノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を目視により容易に確認することができるので、液滴１００の吐出抜けや飛行曲がり等の異常の発生を迅速に検出することができ、製品の品質向上、歩留まりの向上が図れる。

また、このような液滴吐出装置１では、例えば前述したラインセンサ７のような受光手段を設け、この受光手段の出力信号に基づいて、制御手段１０がノズル孔９２からの液滴１００の吐出状態を自動的に検査するように構成してもよい。これにより、液滴１００の飛行曲がりや吐出抜け（ノズル孔９２の詰まり）等が発生した場合、これを自動的に検出することができる。このようにして液滴吐出ヘッド９に液滴１００の飛行曲がりや吐出抜け等が発生したのを検出した場合、制御手段１０は、図示しない表示装置（ディスプレイ）にその旨を表示し、オペレータに飛行曲がりや吐出抜けの発生を告知することが好ましい。また、液滴１００の飛行曲がりや吐出抜け等が発生したのを検出した場合、制御手段１０は、図示しないヘッド回復手段を作動させて液滴吐出ヘッド９に対し機能回復処理を行い、ノズル孔９２の詰まりや飛行曲がりを解消するようにしてもよい。なお、前記ヘッド回復手段としては、例えば、液滴吐出ヘッド９のノズル面９１を拭って清掃するワイピング機構や、ノズル面９１にキャップを密着させてノズル孔９２から流体を吸引することによって詰まりを解消させるキャッピング吸引機構等が挙げられる。

以上、本発明の液滴視認方法、液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出ヘッド検査装置および液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

本発明の液滴吐出ヘッド検査装置の実施形態を示す側面図。本発明の液滴吐出ヘッド検査装置の実施形態を示す平面図。図１および図２に示す液滴吐出ヘッド検査装置における遮光板の正面図。図１および図２に示す液滴吐出ヘッド検査装置における遮光板の正面図。図１および図２に示す液滴吐出ヘッド検査装置の機能ブロック図。本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。図６に示す液滴吐出装置の機能ブロック図。

符号の説明

１……液滴吐出装置２……液滴吐出ヘッド検査装置３……レーザー光照射手段３１……スイッチ４、４’……板状部材４１、４１’……スリット５……集光レンズ６……Ｘ軸方向移動手段７……ラインセンサ８……ワークテーブル９……液滴吐出ヘッド９１……ノズル面９２……ノズル孔１０……制御手段１０１……ＣＰＵ１０２……記憶部１１……ヘッド駆動部１２……ディスプレイ１３……入力手段１４……Ｙ軸方向移動手段１００……液滴２００……ワークＣ……集光点Ｌ_１、Ｌ_２……レーザー光

Claims

液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認する液滴視認方法であって、
レーザー光にスリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認し、
さらに、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられ、前記レーザー光を受光するラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする液滴視認方法。
前記スリットより前または後に、前記レーザー光に集光レンズを透過させる請求項１に記載の液滴視認方法。
前記スリットは、その長手方向に沿って断続的に形成されている請求項１または２に記載の液滴視認方法。
液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認可能な液滴吐出ヘッド検査装置であって、
レーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光が通過するスリットを有する板状部材と、
前記レーザー光を受光するラインセンサと、
前記ラインセンサの出力信号に基づいて、前記ノズル孔からの液滴の吐出状態を検知する検知手段とを備え、
前記レーザー光に前記スリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認可能であり、
前記ラインセンサは、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられており、
前記検知手段は、前記ラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする液滴吐出ヘッド検査装置。
前記液滴吐出ヘッドの複数のノズル孔に対応する複数の弾道に対し前記レーザー光を相対的に走査することにより、液滴を視認するノズル孔を選択するノズル孔選択手段をさらに備える請求項４に記載の液滴吐出ヘッド検査装置。
液滴を視認するノズル孔の指定を受け付けるノズル孔指定手段をさらに備え、
前記ノズル孔選択手段は、前記ノズル孔指定手段が指定を受け付けたノズル孔からの液滴の弾道に向けて前記レーザー光を照射させる請求項５に記載の液滴吐出ヘッド検査装置。
ワークを保持するワークテーブルと、前記ワークに向けて液滴を吐出する液滴吐出ヘッドとを備え、前記液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出されて飛行する液滴を視認可能な液滴吐出装置であって、
レーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光が通過するスリットを有する板状部材と、
前記レーザー光を受光するラインセンサと
前記ラインセンサの出力信号に基づいて、前記ノズル孔からの液滴の吐出状態を検知する検知手段とを備え、
前記レーザー光に前記スリットを通過させることにより平板状の光束のレーザー光を形成し、該レーザー光を、前記光束のなす平板が前記液滴の弾道と平行になる姿勢で前記弾道に向けて照射することによって、飛行する液滴を照明して視認可能であり、
前記ラインセンサは、前記液滴の弾道および前記光束のなす平板と平行に設けられており、
前記検知手段は、前記ラインセンサが、前記液滴が前記光束を該光束のなす平板形状の幅方向の一端から他端まで横切るようにして前記レーザー光を遮ったのを検知した場合には、前記液滴が正常に吐出されていると判断し、前記液滴が前記光束の前記幅方向の前記ノズル孔側のみを遮ったのを検知した場合には、前記液滴の飛行曲がりが生じていると判断し、前記液滴吐出ヘッドが吐出動作を行ったにもかかわらず前記液滴が前記光束を遮るのを検知しない場合には、前記液滴の吐出抜けが生じていると判断することを特徴とする液滴吐出装置。