TWI252170B - Method for visually recognizing a droplet, droplet discharge head inspection device, and droplet discharge device - Google Patents

Description

1252170 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種可視認從液滴吐出頭的噴嘴孔所吐 出而飛來的液滴的液滴視認方法，液滴吐出頭檢查裝置及 液滴吐出裝置。 【先前技術】 眾知有使用與噴墨印表機的噴墨頭同樣方式的液滴吐 出頭而藉由將液滴吐出在基板，來製造如液晶顯示裝置的 濾色片或有機EL顯示裝置等，或是可使用於在基板上形 成金屬配線的工業用液滴吐出裝置（例如，參照專利文獻 1 ) ° 在此種液滴吐出裝置，或是檢查液滴吐出頭的性能的 檢查裝置中，若操作人員以肉眼就可確認從液滴吐出頭所 吐出的液滴，則可簡單地確認液滴的吐出狀況，而極方便 〇 然而，液滴徑是極小之故，因而在先前裝置，很難視 認所吐出的液滴。特別是，在液滴吐出頭以朝下方的姿勢 設置噴嘴時，未照射室內照明會成爲背光處之故，因而極 難視認所吐出的液滴。 專利文獻1 :日本特開平1 0 — 2 6 0 3 0 7號公報。 【發明內容】 本發明的目的是在於提供一種可容易地視認從液滴吐 -4 - 1252170 (2) 出頭的噴嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴視認方法，液滴 吐出頭檢查裝置及液滴吐出裝置。 此種目的是藉由下述的本發明可達成。 本發明的液滴視認方法，屬於視認從液滴吐出頭的噴 嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴視認方法，其特徵爲： 藉由將雷射光通過縫隙以形成平板狀光束的雷射光， 並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行於上述液 滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛來的液滴 而加以視認。 由此，提供一種可容易地視認從液滴吐出頭的噴嘴孔 所吐出而飛來的液滴的液滴視認方法。 在本發明的液滴視認方法，其中，在比上述縫隙還前 方或還後方，將上述雷射光透射聚光鏡較理想。 由此，可容易調整與液滴彈道交叉的部分的雷射光的 光束寬，亦即可容易雷射光所照射的部分的彈道長度。 在本發明的液滴視認方法中，上述縫隙是沿著其長度 方向斷續地形成較理想。 由此，即使雷射光的輸出較大時，也可減輕視認液滴 之際的刺眼，而可更容易觀看飛來的液滴。 本發明的液滴吐出頭檢查裝置，屬於可視認從液滴吐 出頭的噴嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴吐出頭檢查裝置 ，其特徵爲具備： 照射雷射光的雷射光照射手段，及 具有上述雷射光所通過的縫隙的板狀構件， -5 - 1252170 (3) 藉由將上述雷射光通過上述縫隙以形成平板狀光束的 雷射光，並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行 於上述液滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛 來的液滴而加以視認。 由此，提供一種可容易地視認從液滴吐出頭的噴嘴孔 所吐出而飛來的液滴的液滴吐出頭檢查裝置。 在本發明的液滴吐出頭檢查裝置中，又具備： 受光上述雷射光而進行光電變換的受光手段，及 依據上述受光手段的輸出信號，來檢查來自上述噴嘴 孔的液滴的吐出狀態的檢查手段較理想。 由此，並不僅目視，還可自動地檢測來自噴嘴孔的液 滴吐出狀態。 在本發明的液滴吐出頭檢查裝置中，又具備針對於對 應於上述液滴吐出頭的複數噴嘴孔的複數彈道，藉由相對 地掃描上述雷射光，來選擇視認液滴的噴嘴孔的噴嘴孔選 擇手段較理想。 由此’液滴吐出頭的複數噴嘴孔中，在來自所期望的 噴嘴孔的液滴彈道，可照射雷射光，而可視認從該噴嘴孔 所吐出的液滴所飛來的狀態。 在本發明的液滴吐出頭檢查裝置中，又具備接受指定 視δ忍液滴的噴嘴扎的噴嘴孔指定手段；上述噴嘴孔選擇手 段朝米自接支指定的噴嘴孔的液滴彈道照射上述雷射光較 理想。 由此，操作人貝是液滴吐出頭的複數噴嘴孔中，可自 -6 - 1252170 (4) 由地指定欲視認液滴的噴嘴孔。 本發明的液滴吐出裝置，屬於具備保持工件的工件台 ’及朝上述工件吐出液滴的液體吐出頭；可視認從上述液 滴吐出頭的噴嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴吐出裝置， 其特徵爲具備： 照射雷射光的雷射光照射手段，及 具有上述雷射光所通過的縫隙的板狀構件， 藉由將上述雷射光通過上述縫隙以形成平板狀光束的 雷射光’並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行 於上述液滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛 來的液滴而加以視認。 由此，提供一種可容易地視認從液滴吐出頭的噴嘴孔 所吐出而飛來的液滴的液滴吐出裝置。 在本發明的液滴吐出裝置中，又具備： 受光上述雷射光而進行光電變換的受光手段，及 依據上述受光手段的輸出信號，來檢查來自上述噴嘴 孔的液滴的吐出狀態的檢查手段較理想。 由此，並不僅目視，還可自動地檢測來自噴嘴孔的液 滴吐出狀&。其檢測結果是錯由顯不裝置％：報知手段報知 給操作人員也可以，又，依據其檢測結果，也可將恢復液 滴吐出頭的功能的吐出頭恢復手段加以動作。 【實施方式】 以下，依據表示於所附圖式的適當的實施形態詳細地 1252170 (5) 5兌明本發明的液滴視認方法，液滴吐出頭檢查裝置及液滴 吐出裝置。 第1圖及第2圖是分別表示本發明的液滴吐出頭檢查 裝置的實施形態的側視圖及俯視圖；第3圖及第4圖是分 別表示於第1圖及第2圖的液滴吐出頭檢查裝置的遮光板 的前視圖；第5圖是表示於第〗圖及第2圖的液滴吐出頭 檢查裝置的功能方塊圖。 在以下說明中’方便上，將在第1圖中的上方稱爲「 上」，將下方稱爲「下」；又將第2圖中的上下方向稱爲 「X軸方向」，將左右方向稱爲「Y軸方向」。 表示於此些圖式的液滴吐出頭檢查裝置2是檢查液滴 吐出頭9的動作的裝置。首先，說明液滴吐出頭檢查裝置 9 〇 如第1圖及第2圖所示地，液滴吐出頭（噴墨頭）9 ，是在其下面側具有噴嘴面9 ]，而在噴嘴面9 1，沿著X 軸方向排列一列或兩列以上（在圖示爲一例）形成有複數 噴嘴孔。對於各噴嘴孔92，省略圖示，惟分別設有連通 於該噴嘴孔9 2的壓力室（空腔），及變更被塡充於該壓 力室內的液體壓力的主動器。 液滴吐出頭9是藉由吐出頭驅動部1 1所驅動。吐出 頭驅動部1 1是依據控制手段1 〇的控制，將驅動信號通電 至液滴吐出頭9的主動器。 當驅動信號通電至主動器，則使得主動器進行動作而 變更壓力室內的液體壓力，結果’使得壓力室內的液體從 - 8- 1252170 (6) 噴嘴孔92朝下方向吐出作爲液滴1 〇〇。又，作爲液滴吐 出頭9的主動器，並未特別加以限定，例如可使用壓電主 動器，靜電主動器等。又，液滴吐出頭9是將加熱液體而 產生氣泡的加熱器使用作爲主動器的膜沸騰式的噴墨頭。 作爲液滴吐出頭9所吐出的液體（包含分散液），並 未特別加以限定者，例如：油墨、濾色片的濾色片材料， 形成有機EL裝置的EL發光層所用的螢光材料，形成 PDP裝置的螢光體所用的螢光材料，形成電性泳動顯示裝 置的泳動體的泳動體材料，在基板表面形成觸排所用的觸 排材料，各種塗膜材料，形成電極所用的液狀電極材料， 在兩枚基板間構成微小晶胞間隙所用的間隔件的粒子材料 ，形成金屬配線所用的液狀金屬材料，形成微透鏡所用的 透鏡材料，光阻材料，形成光擴散體所用的光擴散材料等 ，任何液體均可以。 以下’說明液滴吐出頭檢查裝置2。液滴吐出頭檢查 裝置2是具備：照射雷射光L】的雷射光照射手段3，及 具有雷射光L !的通過的縫隙4 1的液狀構件4。 作爲雷射光照射手段3的種類，並未特別加以限定， 例如可使用N e — H e雷射、A r雷射、C 0 2雷射等氣體雷射 、紅寶石雷射、Y A G雷射' 玻璃雷射等固定雷射、半導 體雷射等。 如第3圖所示地，板狀構件4是平板狀構件，在該板 狀構件4 ’形成有連續的一種縫隙4 1。縫隙4 ]的寬度w 是並未特別加以限定，惟液滴]〇 〇的直徑D的]至5倍 -9- 1252170 (7) 左右較理想，直徑D的1至2倍左右更理想。 又，在板狀構件4的雷射光L】所照射的一側的面， 施以將光線予以散射的散射處理較理想。由此，可防止雷 射光L !的光束中未通過縫隙4 I的部分的反射光朝特定方 向的情形，而可確保操作人員的安全。 由雷射光照射手段3所照射的雷射光L1的光束的橫 斷面形狀，是並未特別加以限定，惟通常是形成圓形。亦 即，雷射光L 1的光束是形成圓柱狀。 如第2圖所示地，藉由雷射光L!通過縫隙4 1，形成 有平板狀光束的雷射光L2。該雷射光L2是以該光束所形 成的平板與液滴1 0 0的彈道成爲平行的姿勢，朝該彈道從 側方（γ軸方向）被照射。由此，所飛來的液滴1 0 0是藉 由雷射光l2被照明，而看成發光狀態。因此，操作人員 是可容易地視認所飛來的液滴1 0 0。 如此地，在液滴吐出頭檢查裝置2中，藉由目視就可 簡單地確認來自噴嘴孔9 2的液滴！ 〇 〇的吐出狀態之故， 因而可容易地檢查有無液滴1 0 0的飛行彎曲或是有無因噴 嘴孔92的阻塞等所產生的液滴I 〇〇的未吐出等。又，視 認液滴1 〇 〇的方向是並未特別加以限定，惟例如可從與雷 射光L2的照射方向正交的方向來視認，或是可從對於雷 射光La的照射方向呈傾斜的方向來視認。 本實施形態的液滴吐出頭檢查裝置2是具有聚光透鏡 5 ’而通過板狀構件4的縫隙4 1被整形成平板狀的雷射光 L2，是再透射聚光透鏡5。透射聚光透鏡5的雷射光L2， -10- 1252170 (8) 是聚光在聚光點c，當通過聚光點c ’則成爲其寬度（第 1圖中的上下方向的寬度）朝進行方向漸增的光束，使得 該部分被照射在液滴】0 0的彈道。藉由此種構成。而使透 射聚光透鏡5前的雷射光L2的光束寬度窄小時’也藉由 將液滴吐出頭9設在距聚光點C較遠處’就可較大地確保 與液滴1 00的彈道交叉部分的雷射光L2的光束寬度，亦 即雷射光L2所照射部分的彈道長度。 又，該聚光透鏡5是設在此縫隙4 1還前方側也可以 。又，若未透射聚光透鏡5而雷射光1^2的光束寬度充分 廣廣時，未設置聚光透鏡5也可以。 又，在本發明中，與圖示構成不相同，在雷射光L 或L2的光路途中設置反射鏡，俾使光路成彎曲也可以。 由此，可提高雷射光照射手段3的配置位置的自由度。 欲目視藉由雷射光L 2所照明而飛來的液滴1 〇 〇之際 ，在雷射光照射手段3的輸出較大時，則有液滴丨〇 〇的反 射光刺眼的感覺。 在這時候，藉由使用表示於第4圖的板狀構件4，，就 可防止該刺眼。如第4圖所示地，板狀構件4，的縫隙4 !， 是沿著其長度方向斷續地形成。由此，可減低在液滴1 〇 〇 的反射光比例，而可減輕剌眼，可作成更容易觀看。 如第1圖所不地，雷射光照射手段3是具有切換雷射 光LI的振盪的導通，斷開的開關3〗。由此，僅在視認所 飛來的液滴1 0 0時將雷射光L !予以振盪在雷射光照射手 fe」，πη在此以外時，可停止雷射光照射手段3的動作之 - 11 - 1252170 (9) 故’因而可減低耗電。又，代替開關3 1而設置按鈕，僅 接壓該按鈕時，使得雷射光照射手段3振盪雷射光L ;的 構成也可以。 本實施形態的液滴吐出頭檢查裝置2是又具有：朝X 軸方向移動液滴吐出頭9的X軸方向移動手段6，及受光 雷射光L2而光電變換的線感測器（受光手段）7。又，如 第5圖所示地，液滴吐出頭檢查裝置2是又具有：控制手 段10，及顯示器12，及輸入手段13。 X軸方向移動手段6的構成，是並未特別加以限定， 惟例如可作成利用線性馬達的構成，或是利用滾珠螺旋與 旋轉驅動該螺旋的伺服馬達的構成。 顯示器1 2是例如以陰極射線管CRT，液晶顯示器等 所構成；例如可顯示操作畫面，資料輸入畫面等。輸入手 段1 3是以鍵盤，滑鼠等所構成。 如第2圖所示地，運轉X軸方向移動手段6，當朝X 軸方向移動液滴吐出頭9，則可將雷射光L2相對地掃描 在對應於複數噴嘴孔9 2的複數彈道。由此，液滴吐出頭 9的複數噴嘴孔92中，在來自所期望的噴嘴孔92的液滴 1 〇〇的彈道可照射雷射光L2，而可視認從該噴嘴孔92所 吐出的液滴1 0 0進行飛行的情形。 如此地，在本實施形態中，X軸方向移動手段6是功 能作爲從複數噴嘴孔92中，選擇視認所飛來的液滴1 00 的噴嘴孔9 2的噴嘴孔選擇手段者。又，作爲噴嘴孔選擇 手段’並未限定於如X軸方向移動手段6的構成，藉由 -12- 1252170 (10) 移動雷射光照射手段3及板狀構件4而掃描雷射光“的 構成者也可以，又，藉由電磁反射鏡或多角鏡等來掃描雷 射光L2的構成者也可以。 操作人員是可將欲視認液滴1 0 〇的噴嘴孔9 2的號碼 ，經由輸入手段1 3輸入在控制手段1 〇。亦即，輸入手段 1 3是功能作爲接受指定視認液滴1 〇 〇的噴嘴孔9 2的噴嘴 孔指定手段。控制手段1 〇是依據經由輸入手段1 3所輸入 的資訊來運轉X軸方向移動手段6，朝來自所指定的噴嘴 孔92的液滴1 00的彈道而能照射雷射光L2般地，移動液 滴吐出頭9。如此地’操作人員是有關於所指定的號碼的 噴嘴孔92，可視認所飛來的液滴1 00。 在本實施形態的液滴吐出頭檢查裝置2中，藉由設置 線感測器7，也可自動地檢測來自噴嘴孔92的液滴1 〇〇 的吐出狀恶。追時候’控制手段1 G是依據線感測器7的 輸出信號，功能作爲檢查來自噴嘴孔92的液滴丨〇〇的吐 出狀悲的檢查手段。控制手段1 〇是如下所述地，來判斷 來自噴嘴孔92的液滴1 〇〇的飛行彎曲，或未吐出等。首 先’液滴1 00是將雷射光b的光束從第]圖中的上方橫 斷至下方而遮蔽雷射光L2的情形，以線感測器7檢測時 ’控制手段1 0是判斷爲液滴丨〇 〇正常地吐出。又，在線 感測器7檢測液滴I 〇〇僅遮蔽雷射光“的光束上部時， 控制手段]0是判斷爲產生液滴〗00的飛行彎曲（飛行方 向的偏移）。又，雖液滴吐出頭9進行吐出動作，而在線 感測器7的輸出信號無變化時，控制手段]〇是判斷爲產 -13 - 1252170 (11) 生液滴 如 測來自 ，也與 92中的 又 ，並未 Charge 第 視圖； 方塊圖 以 施形態 而同樣 表 測器7 滴吐出 可容易 的液滴 液 朝工件 2 00的 移動手 作 ]0 0的未吐出（噴嘴孔9 2的阻塞）。 此地，在本實施形態中，不僅目視，也可自動地檢 噴嘴孔9 2的液滴1 0 0的吐出狀態。又，在這時候 上述同樣地藉由掃描雷射光L2，對於複數噴嘴孔 丨所期望的噴嘴孔9 2可檢查吐出狀態。 ’作爲受光雷射光L2而進行光電變換的受光手段 限定在線感測器7，例如使用光二極體，或CCD (

Coupled Device)等攝影元件等也可以。 6圖是表示本發明的液滴吐出裝置的實施形態的側 桌7圖是表不圖示於第6圖的液滴吐出裝置的功能 〇 下，參照此些圖式說明本發明的液滴吐出裝置的實 ’惟以與上述實施形態不相同處爲中心加以說明， 事項是省略其說明。 示於此些圖式的液滴吐出裝置1是除了未具有線感 之外搭載與上述同樣的液滴吐出頭檢查裝置2的液 裝置。在該液滴吐出裝置丨中，作成與上述同樣， 地視認從液滴吐出頭9的噴嘴孔9 2所吐出而飛來 100° 滴吐出裝置】是具備··液滴吐出頭檢查裝置？，及 2 0 0吐出液滴]0 0的液滴吐出頭9 ,及保持丁件 工件台8，及朝Y軸方向移動工件台8的γ軸方向 段]4。 爲工件20者，並未特別加以限定’例如玻璃基板 -14 - 1252170 (12) 、矽基板、可撓基板等各種基板、或是透鏡等光學構件等 ，任何者均可以。 在工件台8，設有如錯由真空吸附等方法來保持所載 置的工件2 0 0的保持手段（未圖示）。 Y軸方向移動手段1 4的構成是並未特別加以限定， 惟可作成例如利用線性馬達的構成，或利用滾珠螺旋與旋 轉驅動該螺旋的伺服馬達的構成。 此種液滴吐出裝置1是依據控制手段1 〇的控制，來 運轉X軸方向移動手段6及Y軸方向移動手段]4，將X 方向及Y軸方向的一方作爲主掃描方向，並將另一方作 爲副掃描方向，相對地移動液滴吐出頭9與工件2 0 0之狀 態下’藉由從各噴嘴孔92朝工件200吐出液滴1〇〇，而 在工件200上可描繪所定圖案。 在該液滴吐出裝置1中，藉由與上述同樣的方法，藉 由視視可容易地確認來自噴嘴孔9 2的液滴丨〇 〇的吐出狀 態之故，因而可迅速地檢測液滴丨〇〇的未吐出或飛行彎曲 等異常的發生’而可提昇成品品質，及提昇良率。 又，在此種液滴吐出裝置1中，例如設置如上述的線 感測器7的受光手段，依據該受光手段的輸出信號，控制 手段]〇能自動地檢查來自噴嘴孔9 2的液滴1 〇 〇的吐出狀 態的構成也可以。由此，發生液滴} 〇 〇的飛行彎曲或未吐 出（噴嘴孔92的阻塞）等時，可自動地檢測該情形。如 此地檢測在液滴吐出頭9發生液滴丨〇 〇的飛行彎曲或未吐 出等時，控制裝置]〇是在未圖示的顯示裝置（顯示器） - 15- 1252170 (13) 顯示其主旨，並告知操作人貝發生飛行彎曲或未吐出較理 想。又，檢測到液滴1 〇 〇的飛行彎曲或未吐出等時’控制 手段1 0是運轉未圖示的吐出頭恢復手段而對於液滴吐出 頭9進行功能恢復處理，作成能解決噴嘴孔9 2的阻塞或 飛行彎曲也可以。又，作爲上述吐出頭恢復手段，例如有 擦拭淸掃液滴吐出頭9的噴嘴面9 1的掃淨機構，或在噴 嘴面9 1密接蓋體而藉由從噴嘴孔92吸附流體以解決阻塞 的加蓋吸附機構等。 以上，依據圖示的實施形態說明了液滴視認方法，液 滴吐出頭檢查裝置及液滴吐出裝置，惟本發明是並未被限 定於此者。構成液滴吐出頭檢查裝置及液滴吐出裝置的各 部，是與可發揮同樣功能的任意構成者可加以置換。又， 附加任意構成物也可以。 【圖式簡單說明】 第1圖是表不本發明的液滴吐出頭檢查裝置的實施形 態的側視圖5 第i圖是表不本發明的液滴吐出頭檢查裝置的實施形 態的俯視圖。 第3圖是表示圖示於第笛 "、朱i W及弟2圖的液滴吐出頭檢 查裝置的遮光板的前視圖， 第4圖疋表示圖示;^第]圖及第2圖的液滴吐出頭檢 查裝置的遮光板的前視圖。 第5圖是表示圖示於第1 _ B 一 、…1 Μ及果2圖的败滴吐出頭檢 -16 - 1252170 (14) 查裝置的功能方塊圖。 第6圖是表示本發明的液滴吐出裝置的實施形態的側 視圖。 第7圖是表示圖示於第6圖的液滴吐出裝置的功能方 塊圖。 【主要元件之符號說明】 1 :液滴吐出裝置 2 :液滴吐出頭檢查裝置 3 :雷射光照射手段 3 1 :開關 4，4 ’ ：板狀構件 4 1，4 Γ :縫隙 5 :聚光透鏡 6 : X軸方向移動手段 7 :線感測器 8 :工件台 9 :液滴吐出頭 9 1 :噴嘴面 9 2 :噴嘴孔 1 〇 :控制手段 101: CPU 1 02 :記憶部 ]]:吐出頭驅動部 -17 - 1252170 (15) 1 2 :顯示器 1 3 :輸入手段 1 4 : Y軸方向移動手段 1 〇 〇 :液滴 2 0 0 :工件

Claims (1)

1. (1) 1252170 十、申請專利範圍 1 · 一種液滴視認方法，屬於視認從液滴吐出頭的噴 嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴視認方法，其特徵爲： 藉由將雷射光通過縫隙以形成平板狀光束的雷射光， 並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行於上述液 滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛來的液滴 而加以視認。 2 .如申請專利範圍第1項所述的液滴視認方法，其 中，在比上述縫隙還前方或還後方，將上述雷射光透射聚 光鏡。 3 .如申請專利範圍第1項或第2項所述的液滴視認 方法’其中’上述縫隙是沿著其長度方向斷續地形成。 4 · 一種液滴吐出頭檢查裝置，屬於可視認從液滴吐 出頭的噴嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴吐出頭檢查裝置 ，其特徵爲具備： 照射雷射光的雷射光照射手段，及 具有上述雷射光所通過的縫隙的板狀構件， 藉由將上述雷射光通過上述縫隙以形成平板狀光束的 雷射光，並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行 於上述液滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛 來的液滴而加以視認。 5 .如申請專利範圍第4項所述的液滴吐出頭檢查裝 置，其中，又具備： 受光上述雷射光而進行光電變換的受光手段，及 -19- 1252170 (2) 依據上述受光手段的輸出信號，來檢查來自上述噴嘴 孔的液滴的吐出狀態的檢查手段。 6.如申請專利範圍第4項或第5項所述的液滴吐出 頭檢查裝置，其中，又具備針對於對應於上述液滴吐出頭 的複數噴嘴孔的複數彈道，藉由相對地掃描上述雷射光， 來選擇視認液滴的噴嘴孔的噴嘴孔選擇手段。 7 ·如申請專利範圍第6項所述的液滴吐出頭檢查裝 置，其中，又具備接受指定視認液滴的噴嘴孔的噴嘴孔指 定手段；上述噴嘴孔選擇手段朝來自接受指定的噴嘴孔的 液滴彈道照射上述雷射光。 8 . —種液滴吐出裝置，屬於具備保持工件的工件台 ，及朝上述工件吐出液滴的液體吐出頭；可視認從上述液 滴吐出頭的噴嘴孔所吐出而飛來的液滴的液滴吐出裝置， 其特徵爲具備： 照射雷射光的雷射光照射手段，及 具有上述雷射光所通過的縫隙的板狀構件， 藉由將上述雷射光通過上述縫隙以形成平板狀光束的 雷射光，並將該雷射光藉由上述光束所形成的平板以平行 於上述液滴的彈道的姿勢朝上述彈道進行照射，照明所飛 來的液滴而加以視認。 9 .如申請專利範圍第8項所述的液滴吐出裝置，其 中，又具備： 受光上述雷射光而進行光電變換的受光手段，及 依據上述受光手段的輸出信號，來檢查來自上述噴嘴 1252170 (3) 孔的液滴的吐出狀態的檢查手段。

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