JP2006253143A - 黒色導電性厚膜組成物、黒色電極、およびこれらの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前述の黒色電極は、結晶化ガラス成分を含んでいる結合剤を含む。前述の黒色導電性組成物は、黒色のRuO2、鉛フリーの黒色のルテニウムをベースにしたポリ酸化物、およびこれらの混合物の導電性粒子を、この組成物の全重量に対して4〜30重量%の量で、鉛フリーの非導電性黒色酸化物を、この組成物の全重量に対して0〜30重量%で、かつ鉛フリーのビスマスをベースにしたガラス結合剤を、この組成物の全重量に対して10〜50重量%の量で含む。
【選択図】図1
Description
BaO:0〜5重量%
B2O3:2〜15重量%
SiO2:0〜3重量%
Al2O3:0〜1重量%
ZnO:8〜20重量%
Bi2O3:70〜90重量%
本発明の黒色導電性組成物は、(a)導電性金属酸化物(金属的な導電率を有する酸化物)(RuO2および/またはポリ酸化ルテニウム、導電性成分として)を含む。ポリ酸化ルテニウムは、パイロクロール型であり、これは以下に示す一般式で表される、Ru+4、Ir+4、またはこれらの混合物(M”)の多成分化合物である。
(MxBi2−x)(M’yM”2−y)O7−z
式中、Mは、イットリウム、タリウム、インジウム、カドミウム、鉛、銅、および希土類物質からなる群から選択され;M’は、白金、チタン、クロム、ロジウム、およびアンチモンからなる群から選択され;M”は、ルテニウム、イリジウム、またはこれらの混合物であり;xは0〜2であり、またはx≦1であり(1価の銅に関し);yは0〜0.5であるが、M’がロジウムであり、あるいは白金、チタン、クロム、ロジウム、またはアンチモンの2つ以上である場合、yは0〜1であり、またzは0〜1であるが、Mが2価の鉛またはカドミウムである場合、この値は少なくとも約x/2に等しい。
上述のように、本発明の黒色組成物は、金、銀、白金、パラジウム、銅、およびこれらの組合せを含めた貴金属を、任意選択で含むことができる。事実上、球状粒子および薄片(ロッド、コーン、およびプレート)を含めた任意の形状の金属粉末を、本発明の組成物中に使用することができる。好ましい金属粉末は、金、銀、パラジウム、白金、銅、およびこれらの組合せを含む群から選択される。粒子は球状であることが好ましい。本発明の分散体は、粒径が0.2μm未満である導電性金属固形分を、かなりの量で含有すべきではないことがわかった。この小さいサイズの粒子が存在する場合、有機媒体の被膜またはその層を焼成して有機媒体を除去するときに、有機媒体の完全燃焼を適切に行うこと、ならびに無機結合剤および金属固形分の焼結を行うことは難しい。この分散体を、通常はスクリーン印刷によって付着される厚膜ペーストを作製するのに使用する場合、最大粒径は、スクリーンの厚さを超えるべきではない。導電性固形分の少なくとも80重量%が、0.5〜10μmの範囲に包含されることが好ましい。
本発明で使用される黒色導電性組成物には、非導電性物質を添加することも可能である。市販されている無機黒色顔料を、好ましい非導電性酸化物として使用することができる。この例には、Cr−Fe−Co酸化物、Cr−Cu−Co酸化物、Cr−Cu−Mn酸化物、Co3O4、またはこれらの混合物などの、非導電性黒色酸化物が含まれる。本発明で、非導電性物質の形状は、重要ではない。この分散体を使用して、通常はスクリーン印刷により付着される厚膜ペーストを調製する場合、最大粒径は、スクリーンの厚さを超えるべきではない。非導電性固体の少なくとも80重量%は、その粒径が0.1〜1.0μmの範囲内であることが好ましい。全組成物中の非導電性固体の含量は、この組成物の全重量に対して0〜30重量%の範囲内であり、好ましくは0〜15重量%の範囲内である。
本発明で使用されるガラス結合剤(「フリット」としても知られる)は、導電性および非導電性粒子の焼結を促進させる。本発明で使用されるガラス結合剤は、鉛を含有しない結晶化ガラス結合剤である。
(I)ガラス組成
BaO:0〜5重量%
B2O3:2〜15重量%
SiO2:0〜3重量%
Al2O3:0〜1重量%
ZnO:8〜20重量%
Bi2O3:70〜90重量%
(II)軟化点
400〜500℃
この特許出願の明細書では、軟化点を、示差熱分析法(DTA)によって測定する。
(III)結晶化ガラス成分
結晶化ガラス相は、500〜600℃の範囲内の温度で焼成した後、結合剤中に存在しなければならない。
ポリマー結合剤は、本発明の組成物で使用するのに重要である。ポリマー結合剤を選択するとき、水ベースの現像が可能であることを考慮に入れるべきである。解像度の高いポリマー結合剤を選択しなければならない。以下の結合剤は、これらの要件を満たす。言い換えれば、これらの結合剤は、(1)C1〜C10アルキルアクリレート、C1〜C10アルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレン、またはこれらの組合せを含有する非酸性コモノマーと、(2)ポリマーの全重量の少なくとも15重量%の量でありかつエチレン系不飽和カルボン酸を含有する成分を有する酸性コモノマーとから調製された、コモノマーまたはインターポリマー(混合ポリマー)である。
望ましい光重合開始剤は、熱的に不活性であるが、185℃以下の温度の化学線で露光したときに、遊離化学基を生成することができる。そのような光重合開始剤には、共役炭素環中に2つの分子内環を有する化合物である、置換または非置換多核キノンが含まれる。その例には、9,10−アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントレンキノン、ベンゾ[a]アントラセン−7,12−ジオン、2,3−ナフタセン−5,12−ジオン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、1,4−ジメチルアントラキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、レテンキノン、7,8,9,10−テトラヒドロナフタセン−5,12−ジオン、および1,2,3,4−テトラヒドロベンゾ[a]アントラセン−7,12−ジオンが含まれる。その他の有用な光重合開始剤は、特許文献13に開示されている(しかし、これらのいくつかは、85℃という低温であっても熱的に活性であり、それらは、ベンゾインまたはピバロインなどのビシナルケタルドニルアルコール;ベンゾインのメチルおよびエチルエーテル、またはその他のアシロインエーテル;α−メチルベンゾイン、α−アリルベンゾイン、α−フェニルベンゾイン、チオキサントンおよびその誘導体、ならびに水素供与体を含有する炭化水素置換芳香族アシロインである。)。
本発明で使用される光硬化性モノマー成分は、少なくとも1個の重合性エチレン基を有する少なくとも1種の付加重合性エチレン系不飽和化合物を含有する。
有機媒体を使用する主な目的は、前述の組成物を微細に粉砕した固体分の分散体を、セラミックスまたはその他の物質の表面に容易に塗布できるようにすることである。その結果、まず第1に有機媒体は、適正な安定性を維持しながら固体分を分散させることができるようにしなければならない。第2に、有機媒体の流動特性によって、その分散体に良好な被覆特性を与えなければならない。
分散剤、安定剤、可塑剤、離型剤、分散剤[原文のまま]、剥離剤、消泡剤、潤滑剤、およびこの分野で周知のその他の追加の成分も、組成物に添加することができる。適正な物質の一般例は、特許文献26に開示されている。
前述の感光性物質を黒色導電性組成物に添加した場合、感光性組成物を調製することができる。黒色導電性感光性組成物は、スピンコート、ディップコート、またはその他の被膜コート技術を使用して、あるいはスクリーン印刷、化学エッチング、またはその他の従来のパターニング技術を使用して、被膜として形成することができる。
本発明は、上記黒色導電性組成物から形成された黒色電極を含む。本発明の黒色電極は、フラットパネルディスプレイの適用例、特に、交流プラズマディスプレイパネルデバイスで使用できることが好ましい。黒色電極は、デバイスの基板と導体電極アレイとの間に形成することができる。
(i)基板上に黒色電極組成物を載せるプロセス。この黒色電極組成物は、上述の、本発明の黒色導電性組成物である。
(ii)基板上に感光性導電性組成物を載せるプロセス。この感光性導電性組成物については以下に述べる。
(iii)化学線によって、黒色組成物および導電性組成物を画像通りに露光することにより、電極パターンを固定するプロセス。
(iv)化学線で露光されていない領域を除去するため、塩基性水溶液によって、露光された黒色組成物および導電性組成物を現像するプロセス。
(v)現像された導電性組成物を焼成するプロセス。
(A)有機物質の調製
溶媒とアクリルポリマーとを混合し、攪拌し、100℃に加熱して、結合剤ポリマーを完全に溶解した。得られた溶液を80℃に冷却し、残りの有機成分で処理し、攪拌してすべての固形分を完全に溶解し、325−メッシュフィルタスクリーンに通し、冷却した。
有機担体、1種または複数のモノマー、およびその他の有機成分を、黄色灯の下、混合容器内で混合することにより、ペーストを調製した。次いでこの有機成分の混合物に、無機物質を添加した。次いで無機粒子が有機物質に濡れるまで、組成物全体を混合した。この混合物に対し、3−ロールミルを使用して、ロールミリングを行った。得られたペーストを、得られたまま使用し、または635−メッシュフィルタスクリーンに通した。この時点で、ペーストの粘度を、最適な加工に最も適した粘度まで、担体または溶媒によって調節した。
(1)黒色電極の形成
片面に透明電極薄膜ITOが形成されているガラス基板(NEG製PP8ディスプレイ用ガラス基板)を、2×3インチのサイズに切断した。この表面に、約5.5cm2のパターンを有するスクリーンマスクを使用して、ペーストをスクリーン印刷した。本発明の黒色導電性ペーストを、380−メッシュポリエステルスクリーンを使用するスクリーン印刷によって、表面に前述の透明電極薄膜ITOが形成されているガラス基板上に付着させた。生成物を、温風循環炉内で15分間、100℃で乾燥した。乾燥膜厚は、4〜6μmの範囲内であった。
次に、光画像形成可能なAg導体ペーストを、380−メッシュポリエステルスクリーンを使用するスクリーン印刷によって付着させた。光画像形成可能なAg導体ペーストは、ビスマスをベースにしたガラスフリットBを2重量%、およびAg粉末(平均粒径:1.3〜2.0μm)を65〜75重量%含有する感光性Agペーストであった。
次いで2層構造を有する部分品を、平行紫外線源(小型紫外線露光機:I線(365nm))(照度:5〜20mW/cm2;露光エネルギー:200mJ/cm2)で、フォトツールを通して露光した。
露光された部分品をコンベヤ上に置き、次いで現像剤溶液として0.4重量%の炭酸ナトリウム水溶液を入れた噴霧現像機に導入した。現像剤溶液の温度を30℃に維持し、10〜20psiで噴霧した。この部分品を、TTC(Time to Clean(ペーストを洗い流すのに要する時間))の1.5倍の現像時間にかけた。現像された部分品を、強制空気流中で過剰な水を吹き飛ばすことにより乾燥した。
乾燥した部分品を、ベルト式炉(光洋サーモシステム(株)製)を使用して、全長1.5時間でありピーク温度が580℃(7分)の台形焼成プロフィルを使用することにより、または定められた温度で20分間の箱形プロフィル†により、空気雰囲気中で焼成した。
(1)単層の印刷および乾燥
ガラス基板(NEG製PP8ディスプレイ用ガラス基板)を、2×3インチのサイズに切断した。この表面に、約5.5cm2のパターンを有するスクリーンマスクを使用して、ペーストをスクリーン印刷した。スクリーン印刷は、380−メッシュポリエステルスクリーンを使用して行った。この部分品を、温風循環炉内で15分間、100℃で乾燥した。乾燥膜厚は、4〜6μmの範囲内であった。
乾燥した部分品を、ベルト式炉(光洋サーモシステム(株)製)を使用して、全長1.5時間でありピーク温度が580℃(7分)の台形焼成プロフィルを使用することにより、または定められた温度で20分間の箱形プロフィル†により、空気雰囲気中で焼成した。
以下の項目は、適用実施例および対照例に関して調べた。
黒色電極の乾燥膜厚を、接触側面計を使用して、4つの異なる点で測定した。
Ag電極を、黒色電極の乾燥被膜表面に被覆し、次いで乾燥した。Ag/黒色複合体層の乾燥膜厚を、上記黒色電極の場合と同じ方法を使用して測定した。
焼成後、ガラス基板の背面から見た黒度を、機械的に測定した。黒度に関し、色(L*)は、光学センサSZ、および色測定システムS80であって、Nippon Denshoku Kogyo(日本電飾工業)製のものを使用して測定し、このとき較正は、0が純粋の黒であり100が純白である標準白色板を使用して行った。
接触抵抗は、以下のように測定した。電極構造は、図4に示すように、透明電極被膜(ITO)で作製された第1の層と、黒色導電性組成物で作製された第2の層(黒色電極)と、第3の層としての導電性金属電極(主成分としてAgを含有する)とからなっていた。この電極は、前記(I)のステップ(1)〜(5)に従って製造することができる。図4に示されるパターンでは、電極AとBとの間の抵抗を測定した。抵抗は、4端子法と、ADVANTEST社製のR6871Eとを使用して測定した。
XRD単層試験部分品(黒色のみ)
ガラス基板(NEG製PP8ディスプレイ用ガラス基板)を、2×3インチのサイズに切断した。この表面に、約5.5cm2のパターンを有するスクリーンマスクを使用して、黒色導電性ペーストをスクリーン印刷した。スクリーン印刷は、380−メッシュポリエステルスクリーンを使用して行った。この部分品を、温風循環炉内で15分間、100℃で乾燥した。乾燥膜厚は、4〜6μmの範囲内であった。乾燥した部分品を、まず400℃でベルト焼成して、有機物質を除去し、次いで箱形炉内で、450℃、500℃、550℃、または600℃で焼成した。
ガラス基板(NEG製PP8ディスプレイ用ガラス基板)を、2×3インチのサイズに切断した。この表面に、約5.5cm2のパターンを有するスクリーンマスクを使用して、Ag導電性ペーストをスクリーン印刷した。スクリーン印刷は、380−メッシュポリエステルスクリーンを使用して行った。この部分品を、温風循環炉内で15分間、100℃で乾燥した。
Ru混合物Aおよび黒色粉末Aを、種々のガラス粉末と混合して、表7に列挙するペースト組成物を製造した。前述の操作(I)および(II)を実施して、各適用実施例および対照例ごとに試験サンプルを製造した。
結果を表8に示す。
実施例1のみが、許容される電極性能を、特に低いオーム抵抗で示している。
黒色ペースト3(BiフリットCをベースにする)の接触抵抗性能の再現性を評価するために、黒色ペースト3を、さらに3種のAgペースト(Ag−2、Ag−3、およびAg−4、それぞれ実施例2、3および4)との2層構造において試験をした。実施例2〜4では、プロフィルの長さを2.5時間に延ばした(これに対し実施例1では1.5時間)。
結果を表9に示す。
実施例5〜11および対照例13〜15の目的は、許容されるオーム抵抗性能を黒色ペースト組成物に与えるために、Bi−フリットC(上記実施例1〜4で十分に機能する)をBi−フリットD(上記対照例で十分に機能しない)と配合することができるかどうか調査することであった。
結果を表10に示す。
結果を表11に示す。
2 アドレス電極
3 蛍光材料
4 セル障壁
5 前面ガラス基板
6 背面ガラス基板
7 バス導体電極
7a 露光部分
7b 未露光部分
8 誘電体層
9 保護MgO層
10 黒色電極(感光性厚膜電極層)
10a 露光部分
10b 未露光部分
11 MgO層
13 フォトツール(ターゲット)
Claims (9)
- 基板を供給するステップと、
鉛フリーの黒色導電性組成物を供給するステップであって、該組成物の全重量%に対し、(a)RuO2、1種または複数の鉛フリーのルテニウムをベースにしたポリ酸化物、およびこれらの混合物から選択された4〜30重量%の導電性金属酸化物、(b)10〜50重量%の鉛フリーのビスマスをベースにしたガラス結合剤、および(c)0〜30重量%の鉛フリーの非導電性黒色酸化物を含む鉛フリーの黒色導電性組成物を供給するステップと、
前記黒色導電性組成物を前記基板上に付着させるステップと、
500〜600℃の範囲の温度で焼結して、500〜600℃の焼結範囲全体にわたり結晶化ガラス成分を含んでいる黒色電極を形成するステップと
を含むことを特徴とする、鉛フリーの黒色電極を形成する方法。 - 前記ガラス結合剤は、Bi2O3、ZnO、およびB2O3を含み、Bi2O3は、前記ガラス結合剤の全重量に対して70〜90重量%の量で存在することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ガラス結合剤は、ガラス結合剤の全重量%に対して、0〜5%のBaO、2〜15%のB2O3、0〜3%のSiO2、0〜1%のAl2O3、8〜20%のZnO、および70〜90%のBi2O3を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記ガラス結合剤の軟化点は、400〜500℃の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記非導電性黒色酸化物は、Cr−Fe−Co型酸化物、Cr−Cu−Co型酸化物、Cr−Cu−Mn型酸化物、Co3O4、およびこれらの混合物から選択されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ルテニウムをベースにしたポリ酸化物は、Bi2Ru2O7、CuxBi2−xRuO7、GdBiRu2O7、およびこれらの混合物から選択されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板と前記黒色導電性組成物との間に形成された透明電極をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 請求項1に記載の方法によって形成されたことを特徴とする黒色電極。
- 結晶化したガラス成分を含むことを特徴とする黒色電極。
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