JP5108239B2 - 黒色導電性組成物、黒色電極、およびその形成方法 - Google Patents
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Description
A.導電性金属酸化物粒子(金属的なまたは半金属的な導電率を有する酸化物)
本発明の導電性黒色組成物は、Ba、Ru、Ca、Cu、Sr、Bi、Pb、および希土類金属から選択された2種以上の元素の酸化物を含む、無機物質の微細粒子を含有する。詳細には、これらの酸化物は、金属的なまたは半金属的な導電率を有する金属酸化物である。希土類金属には、スカンジウム(Sc)およびイットリウム(Y)(原子番号21および39)と、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、およびLu(原子番号57から71まで)を含むランタニド元素とが含まれる。好ましい酸化物は、Ba、Ru、Ca、Cu、La、Sr、Y、Nd、Bi、およびPbから選択された2種以上の元素の酸化物である。
本発明の導電性黒色組成物は、導電性金属酸化物成分として、RuO2および/またはルテニウムをベースにした多元酸化物をさらに含有することができる。
(式中、Mは、イットリウム、タリウム、インジウム、カドミウム、鉛、銅、および希土類物質からなる群から選択され、
M’は、白金、チタン、クロム、ロジウム、およびアンチモンからなる群から選択され、
M”は、ルテニウム、イリジウム、またはこれらの混合物であり、
xは0〜2であるが、1価の銅の場合はx≦1であり、
yは0〜0.5であるが、M’がロジウムであり、あるいは白金、チタン、クロム、ロジウム、またはアンチモンの複数である場合、yは0〜1であり、
zは0〜1であるが、Mが2価の鉛またはカドミウムである場合、これは少なくとも約x/2に等しい。)
ルテニウムパイロクロア酸化物は、参照により本明細書に援用する特許文献7に、詳細に見出される。
本明細書で既に述べた導電性粉末は、有機媒体中に微細に分散され、無機結合剤を伴い、任意選択でその他の粉末または固形分などの金属酸化物、セラミックス、および充填剤を伴う。
55〜85重量% Bi2O3
0〜20重量% SiO2
0〜5重量% Al2O3
2〜20重量% B2O3
0〜20重量% ZnO
0〜15重量% BaO、CaO、およびSrOから選択された酸化物の、1種または複数(酸化物の混合物の場合、最大合計が15重量%まで)
0〜3重量% Na2O、K2O、Cs2O、およびLi2Oから選択された酸化物の、1種または複数(酸化物の混合物の場合、最大合計が3重量%まで)
(II)軟化点:400〜600℃
この明細書では、「軟化点」は、示差熱分析法(DTA)によって決定された軟化点を意味する。
有機媒体の主な目的は、セラミックまたはその他の基板に容易に付着させることができるような形で、組成物の微粉砕した固形分を分散させるための、ビヒクルとしての役割を果たすことである。したがって有機媒体は、第1に、適切な安定度で固形分が分散可能なものでなければならない。第2に、有機媒体の流動学的性質は、良好な付着特性を分散体に与えるようなものでなければならない。媒体の主成分は下記の通りである。
ポリマー結合剤は、本発明の組成物に重要である。この結合剤は湿式現像が可能であり、高解像度を与える。
R3は、芳香族基またはその他の原子、例えば酸素を含有することができる、直鎖状、分枝状、または環状のアルキル基であり;
R5は、アルキル(C1〜C10)である。)
従来の光硬化性メタクリレートモノマーを、本発明で使用することができる。用途に応じて、本発明の組成物中にモノマーを含むことが常に必要であるとは限らない。モノマー成分は、乾燥した光重合可能な層の全重量に対し、1〜20重量%の量で存在する。そのような好ましいモノマーには、t−ブチルアクリレートおよびメタクリレート、1,5−ペンタンジオールジアクリレートおよびジメタクリレート、N,N−ジエチルアミノエチルアクリレートおよびメタクリレート、エチレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレートおよびジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、ヘキサメチレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、1,3−プロパンジオールジアクリレートおよびジメタクリレート、デカメチレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレートおよびジメタクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジアクリレートおよびジメタクリレート、グリセロールジアクリレートおよびジメタクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、グリセロールトリアクリレートおよびトリメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートおよびトリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびトリメタクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレートおよびトリメタクリレート、および特許文献8に開示されているものと同様の化合物、2,2−ジ(p−ヒドロキシ−フェニル)−プロパンジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートおよびテトラメタクリレート、2,2−ジ−(p−ヒドロキシフェニル)−プロパンジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシエチル−2,2−ジ−(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジメタクリレート、ビスフェノール−Aのジ−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、ビスフェノール−Aのジ−(2−メタクリルオキシエチル)エーテル、ビスフェノール−Aのジ−(3−アクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、ビスフェノールAのジ−(2−アクリルオキシエチル)エーテル、1,4−ブタンジオールのジ−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリアクリレート、ブチレングリコールジアクリレートおよびジメタクリレート、1,2,4−ブタントリオールトリアクリレートおよびトリメタクリレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールジアクリレートおよびジメタクリレート、1−フェニルエチレン−1,2−ジメタクリレート、ジアリルフマレート、スチレン、1,4−ベンゼンジオールジメタクリレート、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、および1,3,5−トリイソプロペニルベンゼンが含まれる。少なくとも300の重量平均分子量を有するエチレン系不飽和化合物、例えばアルキレン、または炭素が2から15個のアルキレングリコールから調製されたポリアルキレングリコールジアクリレート、または1から10個のエーテル結合を持つポリアルキレンエーテルグリコール、および特許文献9に開示されているもの、例えば、特に末端結合として存在する場合には複数のフリーラジカル重合性エチレン結合を有するものも有用である。特に好ましいモノマーは、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート、エチル化ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、および1,10−デカンジオールジメタクリレートである。
適切な光開始系は、周囲温度で化学線で露光することによって、フリーラジカルを発生させるものである。これらには、共役炭素環系内に2個の環内炭素原子を有する化合物である、置換または非置換多核キノンが含まれ、例えば、2−ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、9,10−アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントレンキノン、ベンズ(a)アントラセン−7,12−ジオン、2,3−ナフタセン−5,12−ジオン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、1,4−ジメチル−アントラキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、レテンキノン、7,8,9,10−テトラヒドロナフトラセン−5,12−ジオン、および1,2,3,4−テトラヒドロベンズ(a)アントラセン−7,12−ジオンがある。その他の光開始剤、すなわちそのいくつかは、85℃程度に低い温度で熱的に活性になる可能性があるものの、やはり有用であるその他の光開始剤は、特許文献10に記載されており、ベンゾイン、ピバロイン、アシロインエーテル、例えばベンゾインメチルおよびエチルエーテルなどのビシナルケタルドニルアルコール;α−メチルベンゾイン、α−アリルベンゾイン、およびα−フェニルベンゾインを含めたα炭化水素置換芳香族アシロイン、チオキサントンおよび/またはチオキサントン誘導体、およびその適切な水素供与体が含まれる。特許文献11、12、13、14、15、および16に開示されている光還元性色素および還元剤、ならびに特許文献17、18、および19に記載されるような、フェナジン、オキサジン、およびキノンに分類される色素、ミヒラーケトン、ベンゾフェノン、水素供与体を持つ2,4,5−トリフェニルイミダゾリルダイマーであって、ロイコ色素を含めたもの、およびこれらの混合物を、開始剤として使用することができる。光開始剤および光抑制剤と共に、特許文献20に開示されている増感剤も有用である。光開始剤または光抑制剤系は、乾燥した光重合性の層の全重量に対し、0.05〜10重量%で存在する。
有機媒体の溶媒成分は、溶媒の混合物でよく、ポリマーおよびその他の有機成分が入っている完全な溶液が得られるように選択する。溶媒は、組成物のその他の構成成分に対して不活性(非反応性)であるべきである。スクリーン印刷可能であり光画像形成可能であるペーストでは、大気圧下、比較的低いレベルの熱を加えることによって、分散体から溶媒を蒸発させることができるよう、溶媒が十分に高い揮発性を有するべきであるが、この溶媒は、ペーストが、印刷プロセス中に通常の室温でスクリーン上で素早く乾燥するほど揮発性が高いものであるべきではない。ペースト組成物で使用される好ましい溶媒は、大気圧下で300℃未満の沸点、好ましくは250℃未満の沸点を有するべきである。そのような溶媒には、脂肪族アルコール、そのようなアルコールのエステル、例えば酢酸エステルおよびプロピオン酸エステル;松根油およびα−またはβ−テルピネオールなどのテルペン、またはこれらの混合物;エチレングリコールモノブチルエーテルおよびブチルセロソルブアセテートなどの、エチレングリコールおよびそのエステル;ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテートおよびカルビトールアセテートなどのカルビトールエステル、およびTexanol(登録商標)(2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオールモノイソブチレート)などのその他の適切な溶媒が含まれる。流延テープの場合、溶媒は、スクリーン印刷可能なペーストに使用される溶媒よりも低い沸点を有する。そのような溶媒には、酢酸エチル、メタノール、イソプロパノール、アセトン、キシレン、エタノール、メチルエチルケトン、およびトルエンが含まれる。
しばしば有機媒体は、1種または複数の可塑剤も含有することになる。そのような可塑剤は、基板への良好な積層を確実にし、かつ組成物の未露光領域の現像可能性を高めるのに役立つ。可塑剤の選択は、変性しなければならないポリマーによって主に決定される。様々な結合剤系に使用されてきた可塑剤の中には、ジエチルフタレート、ジブチルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジベンジルフタレート、アルキルホスフェート、ポリアルキレングリコール、グリセロール、ポリ(エチレンオキシド)、ヒドロキシエチル化アルキルフェノール、トリクレシルホスフェートトリエチレングリコールジアセテート、およびポリエステル可塑剤がある。当技術分野で知られている追加の成分は、懸濁剤、安定剤、離型剤、分散剤、剥離剤、消泡剤、および湿潤剤も含めて、組成物中に存在してよい。適切な材料の概略的開示が、特許文献3に示されている。
典型的な場合、厚膜組成物は、ペースト様のコンシステンシーを有するように配合され、これを「ペースト」と呼ぶ。一般にペーストは、黄色灯の下、有機ビヒクル、モノマー、およびその他の有機成分を混合容器内で混合することによって調製する。次いで無機物質を、この有機成分混合物に添加する。次いで無機粉末が有機物質によって濡れるまで、この組成物全体を混合する。次いで混合物を、3本ロールミルを使用してロールミリング処理する。この時点でのペーストの粘度は、処理に最適な粘度が実現されるように、適切なビヒクルまたは溶媒で調節することができる。
本発明の組成物は、焼成プロフィルを使用することによって処理することができる。焼成プロフィルは、厚膜技術の当業者の知識に十分含まれる範囲である。有機媒体の除去、および無機物質の焼結は、焼成プロフィルに依存する。プロフィルは、完成品から媒体が実質的に除去されたかどうか、さらに無機物質が完成品中で実質的に焼結されたかどうかを判断することになる。本明細書で使用する「実質的に」という用語は、意図される用法または用途に対して少なくとも適切な抵抗率または導電率がもたらされるような程度まで、少なくとも95%の媒体の除去および無機物質の焼結が行われたことを意味する。
本発明の組成物は、テープの形で使用することができる。組成物をテープの形で使用する場合、スリップを調製し、これをテープ流延で使用する。スリップは、テープ作製の際に組成物に使用される一般用語であり、有機媒体中に分散された無機粉末の、適正に分散された混合物である。有機媒体中の無機粉末の、良好な分散を実現する一般的な方法は、従来のボールミリング法を使用することによる。ボールミリングは、セラミックミリングジャーと、ミリング媒体(典型的な場合、球形または円筒形のアルミナまたはジルコニアペレット)とからなる。混合物全体をミリングジャーに入れ、ミリング媒体を添加する。ジャーを漏れ防止蓋で閉めた後、ジャーを転動させて、混合効率が最適になる回転速度でジャー内部にミリング媒体のミリング動作を生み出す。回転の長さは、性能仕様を満たすよう、十分に分散された無機粒子を得るのに必要とされる時間である。スリップは、ブレードまたはバーコーティング法によって基板に付着させることができ、その後、周囲または加熱乾燥することができる。乾燥後のコーティングの厚さは、用途に応じて2〜3ミクロンから数十ミクロンに及んでよい。
本発明は、上記黒色導電性組成物から形成された黒色電極を含む。本発明の黒色電極は、好ましくはフラットパネルディスプレイの適用例で使用することができ、特に交流プラズマディスプレイパネルデバイスで使用することができる。黒色電極は、デバイス基板と導体電極アレイとの間に形成することができる。
本発明で使用されるバス導電性組成物は、市販されている感光性の厚膜導電性組成物でよい。上述のように、バス導電性組成物は、(a)Au、Ag、Pd、Pt、およびCu、ならびにこれらの組合せから選択された少なくとも1種の金属の導電性金属粒子と、(b)少なくとも1種の無機結合剤と、(c)光開始剤と、(d)光硬化性モノマーとを含む。本発明の一実施形態では、バス導電性組成物がAgを含む。
乾燥後の黒色厚さ
黒色電極の乾燥膜厚を、Tencor Alpha Step 2000などの接触側面計を使用して、4つの異なる点で測定した。
Ag電極を、乾燥させた黒色電極上に印刷し、次いで乾燥した。黒色/Ag複合体層の厚さを、黒色電極と同じ方法で測定した。
画像形成したサンプルを、最小倍率が20×であり接眼レンズの倍率が10×であるズーム式顕微鏡を使用して検査する。短絡(線同士の接続)または開路(線内の完全な破断)がまったくなく完全に無傷である最も微細な線の群が、そのサンプルに関して定められた線解像度である。
焼成後の膜厚を、抵抗率の測定に使用される4ミルの線幅に関して測定する。測定は、接触側面計を使用して行う。
4ミル線の膜厚を測定する場合、エッジに悪魔の角の形をした突起が観察されることがあり、この悪魔の角の長さをエッジカールと呼ぶ。エッジカールが大きいと、透明誘電体物質を印刷、積層、またはコーティングによって形成し、次いで焼成した後に、気泡が混入し易く、誘電体の破断に至る可能性があり、したがってエッジカールは望ましくない。エッジカールがないこと、すなわちエッジカールが0μmであることが、最も望ましい。現行の鉛含有導電性組成物の場合でさえ、エッジカールは約1〜3μmであることがわかっている。
焼成後のパターンの隅に生ずる浮上がりの程度を、顕微鏡下で観察し、無、低、中、中高(または中間−高)、および高のレベルに分類する。現在入手可能な鉛含有導電性組成物では、隅の浮上がりが低レベルであることが観察される。隅の浮上がりがないことが、最も望ましい。
焼成後のブリスター形成の程度を、顕微鏡下で観察し、低、低中、中、中高、および高のレベルに分類する。現在入手可能な鉛含有導電性組成物では、低中レベルのブリスター形成が観察される。ブリスター形成がないことが、最も望ましい。
焼成後、ガラス基板の背面から見た黒度を測定する。黒度については、標準白色板を使用した較正による比色計(Minolta CR−300)を使用して、色(L*)を測定する。L*は明度を表し、0が純粋な黒であり、100が純白である。
ITO被膜フリーのガラス基板を、上記(1)のように黒色電極で被覆し、乾燥する。プロセス(2)、(3)、および(4)のそれぞれを省略し、このように得られた乾燥黒色電極を、プロセス(5)と同じ条件下で焼成して、単一の固体焼成黒色電極層を形成する。焼成後、ガラス基板の背面から見た黒度を、上記Ag/黒色2層のL値の場合に使用した条件下、比色計(Minolta CR−300)を使用して測定するが、このとき、0は純粋な黒であり100は純白である。
この評価では、黒色電極の抵抗を測定する。この方法は、焼成後の黒色層の導電性を確認するのに使用する。上述(単層のL値)の試験部分品を用い、プローブ距離が約4cmである抵抗計を使用して、黒色電極焼成被膜の抵抗を測定する。この装置を使用すると、測定することができる最大抵抗は1GΩである。
これは、焼成後の膜厚(5μm)の単位当たりのシート抵抗値(mΩ/5μm2)である。この値は、いわゆる比抵抗(μΩ・cm)の2倍に等しい。現行の鉛含有黒色導電性組成物(DuPont社のDC243ペースト)およびAg電極(DC209)を使用する場合、この値は、約11〜13mΩ/5μm2であることがわかっている。この値は、低いほど良好である。
有機成分
モノマーA:モノマーTMPEOTA(トリメチロールプロパンエトキシトリアクリレート)
溶媒A:溶媒、Texanol
有機添加剤A:添加剤、マロン酸
有機添加剤B:添加剤BHT
SiO2 7.1重量% SA:2.5〜3.3m2/g
Al2O3 2.1
CaO 0.5 PSD D50:0.7〜0.83μm
ZnO 12.0
B2O3 8.4
Bi2O3 69.9
感光性の、湿式現像可能なペーストの調製。
溶媒およびアクリルポリマーを混合し、攪拌し、100℃に加熱して、結合剤ポリマーの完全な溶解を実現する。得られた溶液を80℃に冷却し、残りの有機成分を添加し、その混合物を攪拌して、すべての固形分の完全な溶解を実現する。次いでこの物質を、325−メッシュスクリーンに通して濾過し、冷却する。
有機ビヒクル、1種または複数のモノマー、およびその他の有機成分を、黄色灯の下、混合容器内で混合することにより、ペーストを調製する。次いでこの有機成分の混合物に、無機物質を添加する。次いで無機粉末が有機物質によって濡れるまで、組成物全体を混合する。この混合物に対し、3本ロールミルを使用して、ロールミリングを行う。最適な処理を行うための粘度が得られるよう、適切なビヒクルまたは溶媒を用いることによって、この時点でペーストの粘度を調節することができる。
(1)黒色電極の形成
組成および乾燥後の所望の厚さに応じて、200〜400メッシュスクリーンを使用して、スクリーン印刷によりガラス基板にペーストを付着させる。例の黒色ペーストは、350メッシュのポリエステルスクリーンを使用して、スクリーン印刷によりガラス基板に付着させた。透明電極(薄膜ITO)が形成されているガラス基板上に、2層構造として試験がなされる部分品を調製した(単層(黒色のみ)構造として試験がなされる部分品は、ITO被膜のないガラス基板上に調製した)。次いで部分品を、温風循環炉内で20分間、80℃で乾燥して、乾燥膜厚が2〜6μmの黒色電極を形成した。
次に、2層の部分品に、325ステンレス鋼メッシュスクリーンを使用してスクリーン印刷することにより、光画像形成可能なAg導電性ペーストを重ね刷りした。以下の例では、この光画像形成可能なAg導電性ペーストは、ビスマスガラスフリットAを0.5重量%、およびAg粉末(平均粒径:1.3μm)を70重量%含有する感光性Agペーストである。この部分品を、80℃の温度で20分間、再び乾燥する。乾燥膜厚は6〜10μmである。2層構造に関する乾燥膜厚は、10〜16μmである。
2層の部分品を、平行紫外線源を使用して、フォトツールを通して露光した(照度:5〜20mW/cm2、露光エネルギー:400mj/cm2、コンタクト露光で)。
0.5重量%の炭酸ナトリウム水溶液を現像剤溶液として含む、コンベヤ設置型の噴霧処理機を使用して、露光した部分品を現像した。現像剤溶液の温度を30℃に維持し、現像剤溶液を10〜20psiで噴霧した。部分品を、20秒の現像時間にかけた(TTCの3〜4倍に対応する)。現像した部分品を、強制空気流によって過剰な水を吹き飛ばすことにより乾燥させた。
次いで乾燥した部分品を、10分間の550℃または500℃のピーク温度に達する2.5時間のプロフィルを使用して、空気雰囲気中、ベルト炉内で焼成した。
これらの例で使用したAg導電性ペーストは、AgペーストAであった。黒色導電性組成物は、ある範囲の黒色導電性酸化物粉末で調製した。
別の例は、下記の黒色導電性粉末をベースにして調製した。
[1]
(I)無機物質の微細粒子であって、
(a)Ba、Ru、Ca、Cu、Sr、Bi、Pb、および希土類金属から選択された2種以上の元素の酸化物から選択された、金属的なまたは半金属的な導電率を有しかつ表面と重量との比が2から20m2/gである金属酸化物と、
(b)ガラス転移温度が300から600℃の範囲であり、表面積と重量との比が10m2/g以下であり、かつ該粒子の少なくとも85重量%が0.1〜10μmの範囲のサイズを有する無機結合剤と
を含む無機物質の微細粒子が、
(II)(a)コポリマー、インターポリマー、またはこれらの混合物である水性の現像可能な光架橋性ポリマーであって、コポリマーまたはインターポリマーのそれぞれが、(1)C1〜10アルキルアクリレート、C1〜10アルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレン、またはこれらの組合せを含む非酸性コモノマーと、(2)エチレン系不飽和カルボン酸含有部分を含む酸性コモノマーであって、該カルボン酸含有部分の2〜20%が、第1および第2の官能単位を有する反応性分子と反応し、ただし第1の官能単位はビニル基であり、第2の官能単位は該カルボン酸部分と反応することによって化学結合を形成することが可能なコモノマーとを含み、全ポリマー重量の少なくとも10重量%の酸含量を有し、ガラス転移温度が50から150℃の範囲であり、重量平均分子量が2000〜250000の範囲であるコポリマー、インターポリマー、またはこれらの混合物を形成するものであるポリマーと、
(b)有機溶媒と
を含む有機媒体に、分散されていることを特徴とする組成物。
[2]
金属的なまたは半金属的な導電率を有する前記金属酸化物は、Ba、Ru、Ca、Cu、La、Sr、Y、Nd、Bi、およびPbから選択された2種以上の元素の酸化物から選択されることを特徴とする[1]に記載の組成物。
[3]
前記ビニル基は、メタクリレート基、アクリレート基、またはこれらの混合物から選択されることを特徴とする[1]に記載の組成物。
[4]
前記第2の官能単位は、エポキシド、アルコール、アミン、またはこれらの混合物から選択されることを特徴とする[1]に記載の組成物。
[5]
前記無機物質は、RuO2、ルテニウムをベースにした多元酸化物、またはこれらの混合物をさらに含むことを特徴とする[1]に記載の組成物。
[6]
前記無機物質は、Au、Ag、Pd、Pt、Cu、またはこれらの混合物をさらに含むことを特徴とする[1]に記載の組成物。
[7]
前記有機媒体は、光開始系をさらに含むことを特徴とする[1]に記載の組成物。
[8]
前記有機媒体は、光硬化性モノマーをさらに含むことを特徴とする[1]に記載の組成物。
[9]
前記無機結合剤は、ガラス結合剤組成物全体の重量%に対して、Bi2O3を55〜85%、SiO2を0〜20%、Al2O3を0〜5%、B2O3を2〜20%、ZnOを0〜20%、BaO、CaO、およびSrOから選択された酸化物の1種または複数を0〜15%、Na2O、K2O、Cs2O、Li2O、およびこれらの混合物から選択された酸化物の1種または複数を0〜3%含み、前記ガラス結合剤組成物が、鉛フリーでありまたは実質的に鉛フリーであることを特徴とする[1]に記載の組成物。
[10]
スクリーン印刷に適したペーストの形をとることを特徴とする[1]に記載の組成物。
[11]
前記組成物は、前記有機溶媒が除去されるよう乾燥されていることを特徴とする、[1]に記載の組成物の層を含むシート。
[12]
前記組成物は、前記有機媒体が実質的に除去されるように、かつ前記無機物質が実質的に焼結されるように加熱されていることを特徴とする、[1]に記載の組成物の層を含む物品。
[13]
[1]に記載の組成物から形成されることを特徴とする黒色電極。
[14]
[6]に記載の組成物から形成されることを特徴とする単層黒色電極。
[15]
[13]および[14]のいずれかに記載の電極を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
5 ガラス基板
7 バス導体電極
7a 露光済み部分
7b 未露光部分
8 誘電体層
10 黒色電極(感光性厚膜電極層)
10a 露光済み部分
10b 未露光部分
11 MgO層
13 フォトツール(ターゲット)
Claims (6)
- (I)無機物質の微細粒子であって、
(a)BaRuO 3 、NdBa 2 Cu 3 O 7 、SrRuO 3 およびLa 2 CuO 4 から選択された、金属的なまたは半金属的な導電率を有しかつ表面と重量との比が2から20m2/gである金属酸化物と、
(b)ガラス転移温度が300から600℃の範囲であり、表面積と重量との比が10m2/g以下であり、かつ該粒子の少なくとも85重量%が0.1〜10μmの範囲のサイズを有する無機結合剤と
を含む無機物質の微細粒子が、
(II)(a)コポリマー、インターポリマー、またはこれらの混合物である水性の現像可能な光架橋性ポリマーであって、コポリマーまたはインターポリマーのそれぞれが、
(1)C1〜10アルキルアクリレート、C1〜10アルキルメタクリレート、スチレン、置換スチレン、またはこれらの組合せを含む非酸性コモノマーと、(2)エチレン系不飽和カルボン酸含有部分を含む酸性コモノマーであって、該カルボン酸含有部分の2〜20%が、第1および第2の官能単位を有する反応性分子と反応し、ただし第1の官能単位はビニル基であり、第2の官能単位は該カルボン酸部分と反応することによって化学結合を形成することが可能なコモノマーとを含み、全ポリマー重量の少なくとも10重量%の酸含量を有し、ガラス転移温度が50から150℃の範囲であり、重量平均分子量が2000〜250000の範囲であるコポリマー、インターポリマー、またはこれらの混合物を形成するものであるポリマーと、
(b)有機溶媒と
を含む有機媒体に、分散されていることを特徴とするPDP電極用組成物。 - 前記PDP電極用組成物は、前記有機溶媒が除去されるよう乾燥されていることを特徴とする、請求項1に記載のPDP電極用組成物の層を含むシート。
- 前記PDP電極用組成物は、前記有機媒体が除去されるように、かつ前記無機物質が焼結されるように加熱されていることを特徴とする、請求項1に記載のPDP電極用組成物の層を含む物品。
- 請求項1に記載のPDP電極用組成物から形成されることを特徴とする黒色電極。
- 請求項1に記載のPDP電極用組成物から形成されることを特徴とする単層黒色電極。
- 請求項4および5のいずれか一項に記載の電極を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
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