JP2006245214A - ガス供給部材及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガス供給部材であるガス導入シャワーヘッド32は、ガス穴35のチャンバ対向部側の外縁部に、ガス穴35の中心軸に関してn回回転対称性(nは2以上の自然数)を有する斜面201を有する。斜面201の傾斜角は、電極板空間対向面に対して20°である。また、ガス穴35は、径が2mmであり、夫々の間隔が5mmになるように配設される。
【選択図】 図2
Description
11 チャンバ
12 サセプタ
32 ガス導入シャワーヘッド
35 ガス穴
201 斜面
S 空間
W ウエハ
Claims (12)
- プラズマ処理装置が備えるチャンバに配置されるガス供給部材であって、前記チャンバの内部空間に対向する平面と、前記平面上に複数穿孔されたガス穴とを備え、前記複数のガス穴から前記内部空間にガスを供給するガス供給部材において、
前記ガス穴の前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を備え、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするガス供給部材。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項1記載のガス供給部材。
- 前記斜面が前記平面と成す角度は、前記ガス穴から噴出されるガスの分布が前記平面と成す角度以上であることを特徴とする請求項1又は2記載のガス供給部材。
- 前記斜面が前記平面と成す角度は20°以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のガス供給部材。
- 前記斜面は前記ガス穴の中心軸に関してn回回転対称性(n=2〜∞)を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のガス供給部材。
- 隣接する前記ガス穴間の形状は、前記斜面のみから成ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のガス供給部材。
- プラズマ処理装置が備えるチャンバに配置されるガス供給部材であって、前記チャンバの内部空間に対向する平面と、前記平面上に複数穿孔されたガス穴とを備え、前記複数のガス穴から前記内部空間にガスを供給するガス供給部材において、
前記複数のガス穴のうち隣接する前記ガス穴の前記平面における外縁部が連結されてスリットを形成し、
前記スリットの前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有すると共に、前記スリットは前記平面上において同心円状に形成され、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするガス供給部材。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項7記載のガス供給部材。
- プラズマ処理装置が備えるチャンバに配置されるガス供給部材において、
前記チャンバの内部空間に対向する平面と、前記平面において開口し且つ前記内部空間にガスを供給するガス流路とを備え、
前記ガス流路の前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有し、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするガス供給部材。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項9記載のガス供給部材。
- 被処理体を収容するチャンバと、前記チャンバに配置され且つ前記チャンバの内部空間にガスを供給するガス供給部材とを備えるプラズマ処理装置において、
前記ガス供給部材は、前記内部空間に対向する平面と、前記平面上に複数穿孔されたガス穴とを備え、該ガス穴は前記ガスを前記内部空間に供給し、前記ガス穴の前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を備え、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項11記載のプラズマ処理装置。
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