JP2010045407A - ガス供給部材及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置10が備えるチャンバ11に配置されるガス供給部材であるガス導入シャワーヘッド32は、チャンバ11の内部空間に対向する平面と、この平面と直交するように穿孔された複数のガス穴が連結されたスリット35aを備える。スリット35aの前記平面における外縁部は、噴出されたガスの流れに対応する斜面を有する。前記スリットは前記平面上において同心円状に形成され、前記斜面は平面及び曲面の少なくともいずれかを含む。
【選択図】図10
Description
11 チャンバ
12 サセプタ
32 ガス導入シャワーヘッド
35 ガス穴
201 斜面
S 空間
W ウエハ
Claims (6)
- プラズマ処理装置が備えるチャンバに配置されるガス供給部材であって、前記チャンバの内部空間に対向する平面と、前記平面と直交するように穿孔された複数のガス穴とを備え、前記複数のガス穴から前記内部空間にガスを供給するガス供給部材において、
前記複数のガス穴のうち隣接する前記ガス穴の前記平面における外縁部が連結されてスリットが形成され、
前記スリットの前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有すると共に、前記スリットは前記平面上において同心円状に形成され、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするガス供給部材。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項1記載のガス供給部材。
- プラズマ処理装置が備えるチャンバに配置されるガス供給部材において、
前記チャンバの内部空間に対向する平面と、前記平面において開口し且つ前記内部空間にガスを供給するガス流路とを備え、
前記ガス流路の前記平面における外縁部は、前記ガス流路から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有し、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするガス供給部材。 - 前記斜面は、錐面、球面、及び放物面のいずれか又はこれらの組合せを含む面であることを特徴とする請求項3記載のガス供給部材。
- 被処理体を収容するチャンバと、前記チャンバに配置され且つ前記チャンバの内部空間にガスを供給するガス供給部材とを備えるプラズマ処理装置において、
前記ガス供給部材は、前記内部空間に対向する平面と、前記ガスを前記内部空間に供給するために前記平面と直交するように穿孔された複数のガス穴とを備え、
前記複数のガス穴のうち隣接する前記ガス穴の前記平面における外縁部が連結されてスリットが形成され、
前記スリットの前記平面における外縁部は、前記ガス穴から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有すると共に、前記スリットは前記平面上において同心円状に形成され、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 被処理体を収容するチャンバと、前記チャンバに配置され且つ前記チャンバの内部空間にガスを供給するガス供給部材とを備えるプラズマ処理装置において、
前記ガス供給部材は、前記内部空間に対向する平面と、前記平面において開口し且つ前記内部空間にガスを供給するガス流路とを備え、
前記ガス流路の前記平面における外縁部は、前記ガス流路から噴出されたガスの流れに対応する斜面を有し、
前記斜面は、平面及び曲面の少なくともいずれかを含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
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2009
- 2009-11-24 JP JP2009266111A patent/JP2010045407A/ja active Pending
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