JP2006227515A - 光学素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、基板上に複数の金属ワイヤグリッドを備えた光学素子の製造方法であって、前記金属ワイヤグリッドを電解めっき法で作製することを特徴とする光学素子の製造方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
従って、本発明の目的は、より安価で量産性の高い偏光子等の光学素子の製造方法を提供することにある。
1.基板上に複数の金属ワイヤグリッドを備えた光学素子の製造方法であって、前記金属ワイヤグリッドを電解めっき法で作製することを特徴とする光学素子の製造方法。
図1(a)に示すように、石英等のガラス基板11上に、透明電極層(ITO等)12を成膜する。
図1(b)に示すように、透明電極層12の上に、通常の方法によりレジストパターン13を形成する。レジスト13は、凹部の溝が形成されるように、複数の平行なリブ状に形成する。
次いで、図1(c)に示すように、電解めっきを用いてレジスト13によって形成された凹部に、Alからなる金属層14を成長させる。電解めっきの条件としては、より量産性高く、精度のよい偏光子を得る観点からの所望の条件が採用される。また、ここで行う電解めっき法の一例としては、図2に示すめっき浴20を用いて電析を行う方法等が挙げられる。
金属層14が成長した後、図1(d)に示すように、レジスト13を剥離し、金属ワイヤーグリッド15を作製する。これにより、金属ワイヤグリッド15を備えた高精度な光学素子としての偏光子10が、安価で量産性よく作製できる。
図3(a)に示すように、石英等のガラス基板31上に、透明電極層(ITO,ZnO等)32を成膜する。
図3(b)に示すように、透明電極層32の上に、通常の方法によりレジストパターン33を形成する。レジスト33は、凹部の溝が形成されるように、複数の平行なリブ状に形成する。
次いで、図3(c)に示すように、電解めっきを用いてレジスト33によって形成された凹部に、第1層目の金属層34を成長させる。電解めっきの条件としては、より量産性高く、精度のよい偏光子を得る観点からの所望の条件が採用される。また、ここで行う電解めっき法の一例としては、実施例1で詳述しためっき浴を用いて電析を行う方法(図2)等が挙げられる。この電解めっきにより、金属層34を成長させて、第1層目の金属ワイヤーグリッド35を形成する。
図3(d)に示すように、電解めっきで第1層目の金属ワイヤーグリッド35を形成した後、少なくとも1回、所望の層構成に至るまで電解めっきもしくは無電解めっきを繰返す。これにより、所望の層構成からなる金属ワイヤーグリッド36が形成される。なお、図3(d)では、AlとAg等の金属の種類が異なる2層構成の金属ワイヤーグリッド36を示しているが、金属の種類及び積層の数については特に制限を受けない。
図3(e)に示すように、レジスト33を剥離することで、金属ワイヤーグリッド36を備えた高精度な光学素子としての偏光子30が、安価で量産性よく作製できる。
〔変更形態〕
Claims (6)
- 基板上に複数の金属ワイヤグリッドを備えた光学素子の製造方法であって、前記金属ワイヤグリッドを電解めっき法で作製することを特徴とする光学素子の製造方法。
- 前記電解めっき法が、めっき浴を用いて電析を行う方法である、請求項1記載の光学素子の製造方法。
- 電解めっきで第1層目のワイヤーグリッドを形成後、電解めっきもしくは無電解めっきを少なくとも1回繰り返し、多層のワイヤーグリッドを作製する、請求項1又は2記載の光学素子の製造方法。
- 2種類以上の金属を使用し、多元系の金属ワイヤグリッドを作製する、請求項1〜3の何れかに記載の光学素子の製造方法。
- 前記電解めっき法で成長させる金属が、Al、Ag及びAuからなる群より選択された1種類以上の金属を含む、請求項1〜4の何れかに記載の光学素子の製造方法。
- 前記光学素子として、可視スペクトル用の偏光子を作製する、請求項1〜5の何れかに記載の光学素子の製造方法。
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