JP2004036001A - 平板ディスプレイ製作のためのシャドーマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多数個の第1貫通孔51を有する第1基板50と、前記第1基板上に形成され、多数個の第2貫通孔53を有する第2基板52とからなり、前記第1貫通孔51と前記第2貫通孔53とは互いに重なるように配列され、前記第2貫通孔53の直径は前記第1貫通孔の直径より更に大きいことを特徴とする。
【選択図】 図4A
Description
平板ディスプレイ製作に使用されるシャドーマスクは、図1A及び図1Bに示すように、基板1と、基板1内に形成される多数個の貫通孔(ホール)2とで構成されている。
シャドーマスクは製作方式によって、湿式−エッチング方式を用いて製作されたシャドーマスクと、電子−フォーミング方式を用いて製作されたシャドーマスクとに分けられる。
湿式−エッチング方式で製作されたシャドーマスクは、図2A及び図2Bに示すように、貫通孔の上部と下部との大きさが違う。即ち、貫通孔の側面がテーパー状に傾斜して形成される。
しかしながら、 電子−フォーミング方式で製作されたシャドーマスクは、ディスプレイパネル上に蒸着物質を蒸着する時、蒸着ソースの位置にしたがってシャドー現象が現れる。
また、本発明の他の目的はシャドー現象が発生せず、信頼性に優れたシャドーマスクを提供することにある。
ここで、前記第2基板は、第1,第3基板の厚さより厚く形成される。
また、第1,2貫通孔は、円形、多角形、ストリップのうち何れか一つの形態を有する。
シャドーマスクは、さらに、隣り合う第1貫通孔の間の第1基板上に形成されるブリッジを更に含んでいる。このブリッジは、第2基板の厚さと同一の厚さを有し、かつ第2貫通孔を横切って形成されている。
前記第1,第2,第3貫通孔は互いに重なるように配列され、前記第2貫通孔は、前記第1貫通孔の直径より大きな直径を有し、前記第3貫通孔は、前記第2貫通孔の直径より大きな直径を有することを特徴とする。
したがって、本発明は電子−フォーミング方式で製作されるシャドーマスクの短所を克服可能である。そして、本発明は電子−フォーミング方式で製作されるので、高い精密度を要するディスプレイ製作に適している。
図4A及び図4Bにおいて、本発明のシャドーマスクは、第1基板50と、第1基板50に形成される多数個の第1貫通孔(ホール)51と、第1基板50上に形成される第2基板52と、第2基板52上に形成される多数個の第2貫通孔(ホール)53とで構成されている。
ここで、第1貫通孔51と第2貫通孔53とは互いに重なるように配列され、第2貫通孔53は、第1貫通孔51の直径より大きな直径となるように形成される。
そして、第2貫通孔53はストリップ状に形成され、一つの列ごとに一個が配列され、第1貫通孔51に重なる。
ここで、第1,第2貫通孔51,53は、場合に応じて円形、多角形、ストリップなどの多様な形態からなりえる。
そして、ブリッジ54は、第2基板52の厚さと同じように形成し、第2貫通孔53を横切るように形成する。
そして、第1貫通孔51と第2貫通孔53との直径差dは、約1−1000ミクロン(μm)とする。
ここで、第3貫通孔は第2貫通孔53に重なるように配列され、第3貫通孔は、第2貫通孔53の直径より大きく形成される。
ここで、第1貫通孔は一つの列ごとに多数個が配列され、第2,第3貫通孔は一つの列ごとに一個が配列される。
図7A及び図7Bに示すように、本発明のシャドーマスクを用いてディスプレイパネル上に物質を蒸着する場合、シャドー現象が発生せず、正確なピクセル位置に物質を蒸着できる。
51:第1貫通孔
52:第2基板
53:第2貫通孔
54:ブリッジ
55:第3基板
Claims (18)
- 平板ディスプレイ製作のためのシャドーマスクであって、
多数個の第1貫通孔を有する第1基板と、
前記第1基板上に形成され、多数個の第2貫通孔を有する第2基板とを含み、
前記第1貫通孔と前記第2貫通孔とは互いに重なるように配列され、前記第2貫通孔は、前記第1貫通孔の直径より大きな直径を有することを特徴とするシャドーマスク。 - 前記第2基板は、前記第1基板の厚さより厚いことを特徴とする請求項1記載のシャドーマスク。
- 前記第1基板の厚さは1−100ミクロンであり、前記第2基板の厚さは5−1000ミクロンであることを特徴とする請求項2記載のシャドーマスク。
- 前記第1貫通孔と前記第2貫通孔との直径差は1−1000ミクロンであることを特徴とする請求項1記載のシャドーマスク。
- 前記第1貫通孔は一つの例ごとに多数個が配列され、前記第2貫通孔は一つの列ごとに一個が配列されることを特徴とする請求項1記載のシャドーマスク。
- 前記第1,2貫通孔は円形、多角形、ストリップのうち何れか一つの形態を有することを特徴とする請求項5記載のシャドーマスク。
- 隣り合う前記第1貫通孔の間の第1基板上に形成されるブリッジを更に含むことを特徴とする請求項1記載のシャドーマスク。
- 前記ブリッジは、前記第2基板の厚さと同一の厚さを有することを特徴とする請求項7記載のシャドーマスク。
- 前記ブリッジは、前記第2貫通孔を横切って形成されていることを特徴とする請求項7記載のシャドーマスク。
- 平板ディスプレイ製作のためのシャドーマスクであって、
多数個の第1貫通孔を有する第1基板と、
前記第1基板上に形成され、多数個の第2貫通孔を有する第2基板と、
前記第2基板上に形成され、多数個の第3貫通孔を有する第3基板とを含み、
前記第1,第2,第3貫通孔は互いに重なるように配列され、前記第2貫通孔は、前記第1貫通孔の直径より大きな直径を有し、前記第3貫通孔は、前記第2貫通孔の直径より大きな直径を有することを特徴とするシャドーマスク。 - 前記第2基板は、前記第1,第3基板の厚さより厚いことを特徴とする請求項10記載のシャドーマスク。
- 前記第1,第3基板の厚さは1−100ミクロンであり、前記第2基板の厚さは5−1000ミクロンであることを特徴とする請求項11記載のシャドーマスク。
- 前記第1,第2貫通孔の直径差と、前記第2,第3貫通孔の直径差は1−1000ミクロンであることを特徴とする請求項10記載のシャドーマスク。
- 前記第1貫通孔は一つの列ごとに多数個が配列され、前記第2,第3貫通孔は一つの列ごとに一個が配列されることを特徴とする請求項10記載のシャドーマスク。
- 前記第1,第2,第3貫通孔は円形、多角形、ストリップのうち何れか一つの形態を有することを特徴とする請求項14記載のシャドーマスク。
- 隣り合う第1貫通孔の間の第1基板上に形成されるブリッジを更に含むことを特徴とする請求項10記載のシャドーマスク。
- 前記ブリッジは、前記第2基板の厚さと同一の厚さを有することを特徴とする請求項16記載のシャドーマスク。
- 前記ブリッジは、前記第2貫通孔を横切って形成されることを特徴とする請求項16記載のシャドーマスク。
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