JPH11273871A - 有機系エレクトロルミネセント画像表示パネル - Google Patents
有機系エレクトロルミネセント画像表示パネルInfo
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Abstract
画像表示パネルの提供。 【解決手段】 絶縁性支持体;前記絶縁性支持体の表面
に横方向に間隔を置いて並べられた複数のアノード電
極;前記アノード電極の上に横方向に間隔を置いて並べ
られた複数の絶縁性ペデスタルストリップ;対応するペ
デスタルストリップの上に配置された一組の横方向に間
隔を置いて並べられた絶縁性バリヤであって、各ペデス
タルストリップの一部が各組のバリヤを越えて横方向に
拡張し且つ当該バリヤが当該各ペデスタルストリップの
上で上方に突き出るようにされた絶縁性バリヤ;前記ア
ノード電極の各々、前記支持体及び対応するバリヤの上
面の上に存在し且つ前記バリヤの各々を越えて拡張して
いる有機エレクトロルミネセント(EL)基材;並びに
前記有機EL基材の上に存在する複数の横方向に間隔を
置いて並べられたカソード電極を含んでなる有機EL画
像表示パネル。
Description
トロルミネセント画像表示パネルに関し、より詳細に
は、選ばれた画像表示領域間に拡がる多重電気絶縁性バ
リヤを有する表示パネルに関する。
(以下、「有機EL表示パネル」という。)は、交差す
る列、行として配置された複数の発光画素を含む画像表
示アレイを含有する。有機EL表示パネルは、画像表示
アレイの他、シンボル又はアイコンを表示するための表
示領域であって、共通の支持体上の当該画像表示アレイ
に隣接した特定領域に配置されたものを含む場合もあ
る。
ら) に、有機EL多色画像表示装置が記載されている。
明瞭化のため、Tangらの装置の多色性については説明を
省く。Tangらの装置の構成において、支持体の表面に、
当該支持体上に配置された一連の平行な第一電極と直交
するように延びる一連の平行な壁107を設けると有利
であることがわかった(特に図2参照)。それぞれの壁
が一組の画素群と隣接する組の画素群とを分離する。各
壁は、実質的に垂直な側面と、当該支持体に平行に延び
る上面とを有する。各壁は、その実質的に垂直な側面に
対してある角度の下で電極材料を透視線的(line-of-sig
ht) に蒸着することにより第二電極(図2中、A,B及
びC)を形成させるための一体型蒸着マスクとして機能
する。
2 868号(A1)に、電気絶縁塁壁7を有する有機
EL表示パネルが記載されている。各塁壁は張り出し部
分7aを有し、Nagayamaらの開示の図7A〜7Hに各種
塁壁の横断面図が示されている。これら一つ一つの塁壁
の各々が、一組の発光部(又は発光画素群)と隣接する
組の発光部とを分離している。各塁壁は、第一表示電極
3の一部の上に配置された有機機能層8の上に第二表示
電極9を形成させるための一体型蒸着マスクとして働
く。
塁壁は、装置表面で、電気絶縁材料を当該技術分野で周
知のフォトリソグラフィー法でパターン化することによ
り構築される。当該方法は、隣接する壁又は塁壁の間に
拡がる領域から絶縁材料を除去し、装置表面に当該壁又
は塁壁を構成するパターン化された層が残るように選定
される。
構築された壁の底部に、又は壁の側面に、壁のパターン
化工程中又はその後に、粒状残留物が堆積し得ることが
わかった。Nagayamaらの塁壁の張り出し部の下に粒状残
留物が堆積し得ることは予想される。この粒状堆積物の
問題は、図1(A)に示した略斜視図及び図1(B)に
示した略横断面図(明瞭化のため、4つの壁のみ図示)
から一層容易に認識することができる。
のアノード電極A1〜A3が配置されている。絶縁材料
からなる4つの壁W1〜W2は、アノード電極上及びそ
れらの間の支持体上に配置されており且つ、当該アノー
ド電極に直交するように配置されている。粒子欠陥D
を、アノード電極A1と壁W2の上縁部とに堆積してい
るものとして概略的に図示する。
に沿った略横断面図であって、アノード電極A1と壁の
上面との上に存在するEL基材の別の新たな層を図示す
るものである。粒子欠陥Dはアノード電極A1に対して
堆積されており、壁W2の上面にまで拡張している。さ
らに、金属性カソード電極材料からなるカソード電極C
1〜C4が図示されている。当該電極材料は、壁の側面
に対して蒸着角Θで蒸着され、よってこれらの壁は、横
方向に分離された(すなわち、粒子欠陥Dが存在しない
場合には隔離された)カソード電極を選択的に蒸着する
ための一体型マスクとして働く。
基材層140は、壁W1の右側からアノード電極A1に
沿って、さらに欠陥Dに沿って上り、そして壁W2の上
面上にまで拡張することとなる。さらに重大なことは、
欠陥Dの上の領域においてEL基材層の上に電極材料が
蒸着するために、カソード電極C1が隣接のカソード電
極C2と接続されることである。実際、欠陥部分におけ
るカソード電極C1及びC2の間の電気接続によって、
任意のアノード電極とカソード電極C1又はC2のいず
れか一方との間に電位差をかけた場合に任意のアノード
電極とカソード電極C1又はC2のいずれか一方との間
の交差領域に位置する画素Pから発光が生じることとな
る。
互いに横方向においてきれいに分離されている連関EL
基材層並びに連関カソード電極C3及びC4を有する。
任意のアノード電極とカソード電極C1又はC2のいず
れか一方との間の交差部に位置する画素Pから発光が生
じるということは、装置の画素が有用ではなくなるため
問題である。壁や塁壁の構築によっては、粒子欠陥を完
全に信頼できる形で排除することができない。
を置いて並べられた絶縁性ペデスタルストリップを有す
るEL表示装置の製造において認められる粒子の問題を
感じない有機EL画像表示パネルを提供することにあ
る。
過性の電気絶縁性支持体; (b)前記光透過性の電気絶縁性支持体の表面に横方向
に間隔を置いて平行に並べて配置された複数の光透過性
アノード電極; (c)前記アノード電極の上に横方向に間隔を置いて並
べて形成された複数の電気絶縁性ペデスタルストリッ
プ; (d)対応するペデスタルストリップの上に配置された
一組の横方向に間隔を置いて並べられた絶縁性バリヤで
あって、各ペデスタルストリップの一部が各組のバリヤ
を越えて横方向に拡張しており且つ当該バリヤが当該各
ペデスタルストリップの上で上方に突き出ている絶縁性
バリヤ; (e)前記アノード電極の各々、前記支持体及び対応す
るバリヤの上面の上に存在し且つ前記バリヤの各々を越
えて拡張している有機エレクトロルミネセント基材;並
びに (f)前記有機エレクトロルミネセント基材の上に存在
する複数の横方向に間隔を置いて並べられたカソード電
極を含んでなる有機エレクトロルミネセント(EL)画
像表示パネルを構築することによって達成される。
をその製造段階において図示する略斜視図であって、粒
子「D」がアノード電極の一つと壁の一方の上角部とに
対して堆積していることを示すものである。図1(B)
は、図1(A)の線1B−1Bに沿った略横断面図であ
って、EL基材層とカソード電極が、隣接する壁間並び
に図1(A)に図示した粒子欠陥の上に形成されている
ことを示すものである。図2(A)は、本発明により、
隣接するカソード電極を横方向において分離する複数の
バリヤ組を有する有機EL画像表示パネルの略平面図で
ある。図2(B)は、図2(A)に示したものと類似す
る有機EL画像表示パネルであって、本発明により、多
重電気絶縁性バリヤによって画像表示パネルから隔離さ
れたアイコン表示領域をさらに有するものの略平面図で
ある。図3は、有機EL画像表示パネルの一部であっ
て、本発明により支持体表面上に配置された対応する電
気絶縁性ペデスタルストリップの上に複数組の電気絶縁
性バリヤが形成されているものを示す略横断面図であ
る。
表示パネルの複数組の多重バリヤの横断面形状の好まし
い一実施態様を示す拡大横断面図である。図4(B)
は、本発明による有機EL画像表示パネルの複数組の多
重バリヤの横断面形状の好ましい別の実施態様を示す拡
大横断面図である。図5(A)〜(C)は、支持体表面
上に配置された4組の電気絶縁性バリヤであって、各組
がアノード電極に対して直交するように延びている比較
的近い間隔を置いて並べられた2つのバリヤを含むもの
を示す略平面図である。(A)では、各組のバリヤが平
行な2本の棒状体からなり、(B)では、バリヤ組の一
方のバリヤが、隣接するバリヤ組のバリヤの一端に接続
されており、そして(C)では、バリヤ組の一方のバリ
ヤが、隣接するバリヤ組のバリヤの両端に接続されてい
る。層厚の寸法のような画像表示パネルの特徴は往々に
して1μm未満の領域にあるため、これらの図面は見や
すいように寸法の正確さを犠牲にしたスケールとなって
いる。また、図示を明瞭化するため、有機EL基材を形
成する単数又は複数の層は平面図からは省略した。
機能をさすものとする。本発明の有機EL画像表示パネ
ルの材料は、常用の有機EL装置の任意の形態をとるこ
とができ、このような常用の装置として、米国特許第
4,356,429号(Tang)、同第4,539,507
号(VanSlyke ら) 、同第4,720,432号(VanSlyk
e ら) 、同第4,885,211号(Tang ら) 、同第
4,769,292号(Tang ら) 、同第4,950,9
50号(Perryら) 、同第5,059,861号(Littman
ら) 、同第5,047,687号(VanSlyke ら) 、同第
5,059,862号(VanSlyke ら) 及び同第5,06
1,617号(VanSlyke ら) に記載されているものが挙
げられる。これら米国特許明細書の開示を本明細書の一
部とする。
の有機EL画像表示装置の一部をその製造段階において
図示する略斜視図が示されており、光透過性支持体12
0の表面に光透過性アノード電極A1〜A3に対して直
交するように単一の電気絶縁性壁W1〜W4が形成され
ている。粒子欠陥「D」がアノード電極A1と壁W2の
上角部とに対して堆積していることが示されている。こ
のような粒子欠陥Dが形成されることはあり、壁Wのよ
うな装置の特徴部に、特に壁の構築中に付着する場合が
ある。Tangらの米国特許第5,294,870号の第5
欄、第35〜45行目に記載されているように、当該壁
を形成するための好適な技法には、アノード電極を担持
する支持体120の表面上にネガ型フォトレジストをス
ピンコーティングする方法が含まれる。フォトリソグラ
フィー法を使用して、パターン化された露光により露光
領域におけるフォトレジストを架橋して不溶化し、フォ
トレジストの未露光領域をパターン現像及び洗浄法によ
り除去することができる。このパターン現像工程及び洗
浄工程に際し、部分不溶化フォトレジスト粒子が形成す
ることがあり、そして支持体120の表面に対し、並び
に壁Wが形成される際の当該壁の側面に対し、付着又は
堆積する恐れがある。
の有機EL画像表示装置10の実質的に完成した構成を
図示する略横断面図が示されている。簡単に説明する
と、光透過性支持体120の表面上に、光透過性アノー
ド電極A1が、続いて順に有機EL基材の層140及び
カソード電極C1〜C4がそれぞれ記載されている。E
L基材140及びカソード電極の双方共に蒸着法により
形成され、EL基材蒸気の入射方向は破線矢印で、また
カソード材料蒸気の入射方向は実線矢印でそれぞれ示さ
れている。有機EL基材の層140は、アノード電極A
1の上、壁W1〜W4の上面の上、及び粒子欠陥Dの上
に形成される。有機EL基材140は、2〜4層の積層
体であって、各層の厚さの寸法が約100〜約1000
Åの範囲にあるものを含むことができる。カソード材料
蒸気は、壁W1〜W4の実質的に垂直な平行側面に対し
て角度Θにおいて装置10の表面上に入射することが実
線矢印で図示されている。このため、図1(B)に示し
た壁の各々の上左角部が蒸気の流れを遮断し、よって、
特にカソード電極C3及びC4において明らかであるよ
うに、横方向において隔離されたカソード電極を形成す
るための蒸着マスクとして働く。カソード電極の蒸着条
件により、カソード電極をEL基材140の上に形成
し、当該EL基材140がカソード電極とアノード電極
A1との双方に電気的に接触する領域において画素Pの
発光部分を形成する。
極C3及びC4とは対照的に、カソード電極C1とC2
は、壁W2の上左角部の入射カソード材料蒸気に対する
蒸着マスクとしての働きを妨害する粒子欠陥Dの場所に
おいて電気的に接続されている(電気的に短絡してい
る)。このため、欠陥Dのような1個の粒子欠陥が原因
となって、隣接する二つの発光画素配置間に永久的な電
気接続が形成され、従来技術の有機EL装置10が機能
的に役に立たないものとなることがある。
性支持体120の上に配置され、当該支持体120の表
面で横方向に間隔を置いて並べて形成された複数の光透
過性アノード電極A1〜A3を有する有機EL画像表示
パネル100の略平面図が図示されている。当該画像表
示パネル100の特徴は、複数組の電気絶縁性バリヤS
B1〜SB4であって各組のバリヤが横方向に間隔を置
いて平行に並べられた多重バリヤ(図示の明瞭化のた
め、各組のバリヤについては二つのバリヤしか図示して
いない)からなるものを設けたことにある。このよう
に、例えば、バリヤ組SB1にはバリヤB11及びB1
2が含まれ、バリヤ組SB4にはバリヤB41及びB4
2が含まれる。バリヤの組はアノード電極A1〜A3に
対し直交する方向において配向されており、それらは、
その一端部180においてアノード電極A1を越えて支
持体120の上にまで延びており且つ、その他端部18
4においてアノード電極A3を越えて延びている。各バ
リヤ組は、実際に、図1(A)及び(B)において図示
した従来技術の装置の単一壁W1〜W4の代わりとなる
ものである。これらのバリヤ組は、粒子欠陥の悪影響を
実質的に排除するものであるが、これについては図3を
参照しながらより詳しく後述する。
するバリヤ組によって互いに横方向において分離された
ものとして図示されている。画素Pの発光部分は、アノ
ード電極とカソード電極との間の交差する領域として定
義される。
(A)に示したものと類似する有機EL画像表示パネル
100であるが、共通の光透過性支持体120の上にア
イコン及び/又は英数字の情報を表示するためのアイコ
ン表示領域200を付加したものの略平面図が示されて
いる。このアイコン表示領域200は、一組の多重電気
絶縁性バリヤ300によって、画像表示パネル100か
ら横方向において隔離されている。ここで、アイコン表
示領域200は、表示すべきアイコンの異なる大きさ又
は異なる形状を付与するようにパターン化された共通の
アイコン表示用アノードAiを有するものとして略表示
されている。また、個々のアイコン表示用カソードCi
1〜Ci3は特定の領域及び特定の形状を有し且つ、ア
ノードAiの部分の上に形成された有機EL基材(図示
なし)の上に存在する。
「多重バリヤ」を選んだ理由は、これらが本発明による
当該要素の性能を記述するものである、すなわち、図1
(A)及び(B)の従来技術の装置を参照して説明した
ように、単一の壁又は単一の塁壁を用いた場合に隣接す
るカソード電極間の横方向における分離に影響を与える
ような電気接続の原因となる粒子欠陥が存在しても、隣
接するカソード電極間の電気接続に対する障壁となるこ
とを表すからである。
の上のアノード電極A1の上の対応する電気絶縁性ペデ
スタルストリップ160の上に複数組の電気絶縁性バリ
ヤSBが形成されている画像表示パネル100の一部の
略横断面図が示されている。ペデスタルストリップ16
0とその上に形成された複数組のバリヤSBとを除け
ば、EL基材140及びカソード電極C1〜C4のそれ
ぞれの蒸気流からの蒸着については図1(B)を参照し
ながら説明したものと同一である。
的に同等な場所において、粒子欠陥DがバリヤB21に
対して堆積していることが図示されている。しかしなが
ら、横方向に間隔を置いて並べられた2以上の平行なバ
リヤ(例、バリヤB21及びバリヤB22)からなる複
数組のバリヤという本発明の特徴により、カソード電極
C1と隣接するカソード電極C2とは横方向において分
離される。カソード電極C1とC2との間に望ましくな
い電気接続が起こり得るとすれば、それはバリヤB21
とバリヤB22との間の横方向の空間内に第二の粒子欠
陥が堆積し、当該第二粒子欠陥が欠陥Dと同等の寸法を
有している場合に限られる。別言すれば、少なくとも二
つのバリヤからなる組によって、隣接するカソード電極
間に電気接続が生じるためには、二つの粒子欠陥が空間
的に一致することが必要となるであろう。
支持体120の上及びアノード電極の上に形成され、各
ペデスタルストリップの一部はその上に形成される一組
のバリヤSBを横方向において越えて延びるようにされ
ている。これらの電気絶縁性ペデスタルストリップの主
な機能は、バリヤをアノード電極上に直接形成した場合
に起こるであろうバリヤのベース角部におけるカソード
電極とアノード電極との間の直接的な電気接触を極力避
けることである。というのは、EL基材140の厚さは
約5000Åしかなく、このような角部における蒸着の
不均一性により角領域が著しく一層薄くなる恐れがある
からである。電気絶縁性ペデスタルストリップはパター
ン化されたフォトレジストから形成することができる
が、別法として、例えば二酸化珪素やシリコンオキシニ
トリドのような無機材料をパターン化することにより形
成することもできる。いずれにしても、電気絶縁性ペデ
スタルストリップは厚さ範囲が0.5〜2.0μmと比
較的薄いものであるが、複数組のバリヤは、当該ペデス
タルストリップから上方へ距離として5〜20μm延び
ることにより、横方向に間隔を置いて並べられるカソー
ド電極の蒸着及び/又はEL基材の蒸着に対する有効な
蒸着マスクとして働く。
L画像表示パネルの複数組の多重バリヤの横断面形状の
好ましい実施態様の一つを示し且つ画素Pの発光部を示
している拡大横断面図が図示されている。2以上のバリ
ヤからなる一組のSBの各バリヤは、ペデスタルストリ
ップ160の上で上方へ突き出る実質的に平行な垂直側
面170を有する。
L画像表示パネルの複数組の多重バリヤの横断面形状の
別の好ましい実施態様であって、一組のバリヤSBの各
バリヤが、ペデスタルストリップ160の上で上方へ広
がりながら突き出る側面175を有するものが概略的に
図示されている。バリヤの「凹角」プロフィールによ
り、EL基材の蒸気流は破線矢印で概略的に示したよう
に散開形蒸気流とすることができ、またカソード材料の
蒸気流は実線矢印で概略的に示したように支持体120
の平面に対して法線方向で入射するものとすることがで
きる。この構成では、末広形バリヤの上縁部が、横方向
に間隔を置いて並べられる電極Cを蒸着するための蒸着
マスクを提供する。
々は、アノード電極Aを搭載する支持体120の表面に
実質的に平行である上面(その他特定されていない)を
有する。ここで図5(A)、(B)及び(C)に目を向
けると、支持体120の上に配置された4組の電気絶縁
性バリヤであって、各組のバリヤが、複数のアノード電
極Aに対して直交するように延びている比較的近い間隔
を置いて並べられた二つのバリヤを含むものの略平面図
が図示されている。複数組のバリヤSBは、複数のアノ
ード電極を横切るように延びており且つ、支持体120
の上のアノード電極Aを越えた場所に端部を有する。具
体的には、図5(A)は、複数組のバリヤであって、各
バリヤが、支持体120の上のアノード電極を越えた領
域に配置された一端部180及び他端部182を有する
ものを図示する。図5(B)では、一組のバリヤのうち
一つのバリヤがその一端部において隣接するバリヤ組の
一つのバリヤに対する接合部184を形成すると共に、
当該バリヤは他端部182を有する。図5(C)では、
一組のバリヤのうち一つのバリヤが、その一端部におい
て隣接するバリヤ組の一つのバリヤに対する接合部18
4を形成し且つ、その他端部において接合部186を形
成する。
までの説明では、Tangらの画像表示装置において壁を構
築するために上記米国特許第5,294,870号にお
いてTangらが採用している方法と同様のフォトリソグラ
フィー法によりフォトレジスト層をパターン化してバリ
ヤを形成する方法によって複数組のバリヤを構築するこ
とが好ましい。上述したように、表示パネルの線寸法及
び面積寸法、並びに二次元表示パネルに望まれる発光画
素の数及び面積に応じて、複数組のバリヤには、近い間
隔を置いて並べられたバリヤが三つ以上含まれる場合も
ある。
表示パネルは、当該画素から単色光を発するEL基材を
用いて構築することができる。別法として、本発明は、
多色又は全色型の有機EL画像表示パネルの構築におい
て複数組の多重バリヤを提供することによって実施する
こともできる。本発明をその特定の好ましい実施態様を
特に参照しながら詳細に説明したが、本発明の精神及び
範囲内の変更態様が可能であることを理解されたい。
一部をその製造段階において図示する略斜視図であり、
また(B)は、(A)の線1B−1Bに沿った略横断面
図である。
ルを示す略平面図であり、また(B)は、アイコン表示
領域をさらに有する有機EL画像表示パネルを示す略平
面図である。
示す略横断面図である。
ルの好ましい一実施態様を示す拡大横断面図であり、ま
た(B)は、本発明による有機EL画像表示パネルの好
ましい別の実施態様を示す拡大横断面図である。
4組の電気絶縁性バリヤであって、各組がアノード電極
に対して直交するように延びている比較的近い間隔を置
いて並べられた2つのバリヤを含むものを示す略平面図
である。
Claims (3)
- 【請求項1】 (a)光透過性の電気絶縁性支持体; (b)前記光透過性の電気絶縁性支持体の表面上に横方
向に間隔を置いて平行に並べて配置された複数の光透過
性アノード電極; (c)前記アノード電極の上に横方向に間隔を置いて並
べて形成された複数の電気絶縁性ペデスタルストリッ
プ; (d)対応するペデスタルストリップの上に配置された
一組の横方向に間隔を置いて並べられた絶縁性バリヤで
あって、各ペデスタルストリップの一部が各組のバリヤ
を越えて横方向に拡張しており且つ当該バリヤが当該各
ペデスタルストリップの上で上方に突き出ている絶縁性
バリヤ; (e)前記アノード電極の各々、前記支持体及び対応す
るバリヤの上面の上に存在し且つ前記バリヤの各々を越
えて拡張している有機エレクトロルミネセント基材;並
びに (f)前記有機エレクトロルミネセント基材の上に存在
する複数の横方向に間隔を置いて並べられたカソード電
極を含んでなる有機エレクトロルミネセント画像表示パ
ネル。 - 【請求項2】 2以上のバリヤからなる一組のバリヤの
各々が、前記ペデスタルストリップの上で上方に突き出
ている実質的に平行な垂直側面を有する、請求項1に記
載の有機エレクトロルミネセント画像表示パネル。 - 【請求項3】 (a)光透過性の電気絶縁性支持体; (b)前記光透過性の電気絶縁性支持体の表面上に横方
向に間隔を置いて平行に並べて配置された複数の光透過
性アノード電極; (c)前記アノード電極及び前記支持体の上に形成され
且つ前記アノード電極の方向に直交するように配向され
た、横方向に間隔を置いて並べられた複数の電気絶縁性
ペデスタルストリップ; (d)前記ペデスタルストリップの各々の上に配置され
た一組の横方向に間隔を置いて平行に並べられた2以上
の絶縁性バリヤであって、各ペデスタルストリップの一
部が各組のバリヤを越えて横方向に拡張し、当該バリヤ
が当該ペデスタルストリップの上で上方に突き出ており
且つ前記アノード電極を有する前記支持体の表面と実質
的に平行である上面を有し、各組のバリヤがその後カソ
ード電極を蒸着するための蒸着マスクを形成している絶
縁性バリヤ; (e)前記アノード電極の各々、前記支持体、対応する
バリヤの上面、当該ペデスタルストリップの各組のバリ
ヤを越えて横方向に拡張している部分、及び当該一組の
バリヤの2以上のバリヤの各々の間の上に存在する有機
エレクトロルミネセント基材;並びに (f)前記有機エレクトロルミネセント基材の上に存在
し且つ前記アノード電極に直交する方向に配向された複
数の平行なカソード電極であって、当該複数の平行なカ
ソード電極の各々はカソード電極材料の蒸着により隣接
するカソード電極とは横方向に間隔を置いて並べられて
おり、前記蒸着は、横方向に間隔を置いて並べられたカ
ソード電極を得るため前記蒸着マスクを形成する各バリ
ヤにより遮断され、各組のバリヤによって、一組のバリ
ヤのうちのいずれか一つのバリヤに対して堆積した粒子
欠陥物が存在する場合にも実質的に確実に横方向に間隔
を置いて並べられたカソード電極が得られるカソード電
極を含んでなる有機エレクトロルミネセント画像表示パ
ネル。
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