JP5642861B2 - 陽極酸化ポーラスアルミナおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
実施例1
純度99.99%のAlを、過塩素酸/エタノール浴を用い電解研磨を施した後、3.5Mシュウ酸を電解液とし、浴温55℃、強攪拌条件下、40Vの定電圧条件下、4時間陽極酸化を行うことにより、皮膜底部で細孔が縦、横80個×60個以上にわたって欠陥を含まず理想三角格子の細孔配列を形成した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。また、このとき得られた陽極酸化ポーラスアルミナは、細孔10,000個あたり、欠陥を18個含んでいた。また、この三角格子の細孔配列を形成しているドメインのサイズは、500×200 μm四方以上であり、その中には、1.0×107 個以上の細孔が含まれていた。
実施例1と同様のAl板に対し、8M硫酸を電解液とし、浴温35℃、強攪拌条件下、20Vの定電圧条件下、60分陽極酸化を行うことで、皮膜底部で細孔が縦、横28個×22個以上にわたって欠陥を含まず理想三角格子を形成した陽極酸化ポーラスアルミナを得た。このとき得られた陽極酸化ポーラスアルミナは、細孔10,000個あたり、欠陥を82個含んでいた。また、三角格子の細孔配列を形成しているドメインのサイズは、50μm四方以上であり、その中には、1.0×106 個以上の細孔が含まれていた。
実施例1と同様にして長距離規則性を有する陽極酸化ポーラスアルミナを作製した後、50℃のクロム酸、りん酸混合液に8時間浸漬することにより酸化皮膜を溶解した。再度同じ条件で10分陽極酸化を行い、実施例1と同様の規則性が細孔の最上部から底部まで維持されたポーラスアルミナを得た。
実施例3と同様にして皮膜の最上部から底部まで長距離規則性を有する陽極酸化ポーラスアルミナを作製した後、ヨウ素のメタノール飽和溶液中でAlを溶解し、バリヤ層をりん酸でエッチングすることにより全ての細孔が貫通孔化したポーラスアルミナを得た。
実施例4と同様にして貫通孔化した長距離規則性を有する陽極酸化ポーラスアルミナを作製した後、片面にAu電極を作製し、細孔内にAuめっき液を浸透させた後にめっきを行い、細孔内にAuが充填された複合構造を得た。
2 セル
3 細孔
4 アルミニウム(板)
5 ドメインの境界部分
6 理想三角格子配列における細孔位置に細孔が欠落した欠陥
7 理想三角格子における細孔配列の転移点
8 電解液
9 電源
10 対極
11 電解槽
Claims (9)
- シュウ酸を電解液として用い、アルミニウムを陽極酸化することにより作製される陽極酸化ポーラスアルミナであって、細孔が三角格子配列を形成しているドメイン1個中の細孔数が1.0×104 個以上であることを特徴とする陽極酸化ポーラスアルミナ。
- 請求項1に記載の陽極酸化ポーラスアルミナを、濃度2.0M以上のシュウ酸を電解液として用いて作製することを特徴とする、陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 浴温を40℃以上とすることを特徴とする、請求項2の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 陽極酸化時の電圧を35Vから50Vの範囲とすることを特徴とする、請求項2または3の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 陽極酸化後、酸化皮膜を一旦除去し、再度同一の電圧で陽極酸化を行うことを特徴とする、請求項2〜4のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 陽極酸化後、地金アルミニウムを除去し、更に細孔底部を除去し、貫通孔を形成することを特徴とする、請求項2〜5のいずれかに記載の陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 細孔内に、金属、半導体、高分子、有機物のいずれかが充填されていることを特徴とする請求項1に記載の陽極酸化ポーラスアルミナ。
- 請求項1に記載の陽極酸化ポーラスアルミナの細孔内に、金属、半導体、高分子、有機物のいずれかを充填することを特徴とする、陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
- 請求項6に記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする、貫通孔化陽極酸化ポーラスアルミナを利用したフィルター。
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