JP2006190938A - フラッシュメモリの製造方法 - Google Patents
フラッシュメモリの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006190938A JP2006190938A JP2005158748A JP2005158748A JP2006190938A JP 2006190938 A JP2006190938 A JP 2006190938A JP 2005158748 A JP2005158748 A JP 2005158748A JP 2005158748 A JP2005158748 A JP 2005158748A JP 2006190938 A JP2006190938 A JP 2006190938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- film
- hard mask
- metal layer
- flash memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000015654 memory Effects 0.000 title abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 25
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
- H01L29/7883—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by tunnelling of carriers, e.g. Fowler-Nordheim tunnelling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40114—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a conductor-insulator-conductor-insulator-semiconductor structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/51—Insulating materials associated therewith
- H01L29/511—Insulating materials associated therewith with a compositional variation, e.g. multilayer structures
- H01L29/513—Insulating materials associated therewith with a compositional variation, e.g. multilayer structures the variation being perpendicular to the channel plane
Abstract
【解決手段】本発明に係るフラッシュメモリ素子の製造方法は、半導体基板上にトンネル酸化膜、第1ポリシリコン層、誘電体膜、第2ポリシリコン層およびハードマスクが積層された構造のゲートラインを形成する段階と、ゲートラインの側壁を酸化工程で酸化させてエッチングダメージを補償する段階と、ハードマスクの高さまで絶縁膜を形成する段階と、ハードマスクを除去して第2ポリシリコン層上にダマシンパターンを形成する段階と、ダマシンパターンの第2ポリシリコン層上に金属層を形成する段階とを含んでなる。
【選択図】図2
Description
102 トンネル酸化膜
103 第1ポリシリコン層
104 下部酸化膜
105 窒化膜
106 上部酸化膜
107 第2ポリシリコン層
108 ハードマスク
109 酸化膜
110 絶縁膜
111 ダマシンパターン
112 金属層
Claims (10)
- 半導体基板上にトンネル酸化膜、第1ポリシリコン層、誘電体膜、第2ポリシリコン層およびハードマスクが積層された構造のゲートラインを形成する工程と、
前記ゲートラインの側壁を酸化工程で酸化させてエッチングダメージを補償する工程と、
前記ハードマスクの高さまで絶縁膜を形成する工程と、
前記ハードマスクを除去して前記第2ポリシリコン層上にダマシンパターンを形成する工程と、
前記第2ポリシリコン層上の前記ダマシンパターンに金属層を形成する工程と、
を含み、
前記酸化工程後に前記金属層を形成することによって、前記金属層に異常酸化が発生するのを防止するようにしたことを特徴とするフラッシュメモリ素子の製造方法。 - 前記トンネル酸化膜は、シリコン酸化膜または窒化酸化膜で50Å〜150Åの厚さに形成されることを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記誘電体膜は、順に下部酸化膜と窒化膜と上部酸化膜とによる積層構造で形成されることを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記下部酸化膜または前記上部酸化膜は、熱酸化工程または化学気相蒸着法で30Å〜100Åの厚さに形成されることを特徴とする請求項3記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記窒化膜は、化学気相蒸着法で30Å〜80Åの厚さに形成されることを特徴とする請求項3記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記誘電体膜は、アルミニウム酸化膜、ジルコニウム酸化膜、ハーフニウム酸化膜を単独で用いて形成し、あるいはこれらがシリコン酸化膜と選択的に混合された積層構造で形成することを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記ハードマスクは、前記ダマシンパターンを形成するための前記ハードマスク除去の際に酸化物またはポリシリコンとの選択性を十分有する物質で形成されることを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記ハードマスクは、シリコン窒化膜で形成されることを特徴とする請求項7記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記金属層は、耐熱性など後続の工程に対する耐性を有する物質で形成されることを特徴とする請求項1記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
- 前記金属層は、タングステンからなることを特徴とする請求項9記載のフラッシュメモリ素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040114226A KR100673206B1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 플래시 메모리 소자의 제조 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006190938A true JP2006190938A (ja) | 2006-07-20 |
Family
ID=36612248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005158748A Pending JP2006190938A (ja) | 2004-12-28 | 2005-05-31 | フラッシュメモリの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7320915B2 (ja) |
JP (1) | JP2006190938A (ja) |
KR (1) | KR100673206B1 (ja) |
TW (1) | TWI278041B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8889543B2 (en) | 2012-04-09 | 2014-11-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of fabricating semiconductor device |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140015031A1 (en) * | 2012-07-12 | 2014-01-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus and Method for Memory Device |
US9054220B2 (en) | 2013-02-08 | 2015-06-09 | Freescale Semiconductor, Inc. | Embedded NVM in a HKMG process |
WO2014143026A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | The Regents Of The University Of California | System and method for non- invasively and non- destructively authenticating bottled beverages |
US9466731B2 (en) * | 2014-08-12 | 2016-10-11 | Empire Technology Development Llc | Dual channel memory |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0936358A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003007870A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ及びその製造方法 |
WO2004084314A1 (ja) * | 2003-03-19 | 2004-09-30 | Fujitsu Limited | 半導体装置とその製造方法 |
JP2004281662A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2004319948A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-11-11 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3754234B2 (ja) * | 1998-04-28 | 2006-03-08 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ゲート構造側壁の酸化膜の形成方法 |
JP3314748B2 (ja) | 1999-02-09 | 2002-08-12 | 日本電気株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2002198446A (ja) | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置とその製造方法 |
KR20020095547A (ko) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | 삼성전자 주식회사 | 불휘발성 메모리 장치의 게이트 구조 및 그 제조방법 |
KR100414562B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-01-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 비휘발성 메모리 셀의 제조 방법 |
KR20040055174A (ko) * | 2002-12-20 | 2004-06-26 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
-
2004
- 2004-12-28 KR KR1020040114226A patent/KR100673206B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-05-27 US US11/139,059 patent/US7320915B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-31 JP JP2005158748A patent/JP2006190938A/ja active Pending
- 2005-06-03 TW TW094118296A patent/TWI278041B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0936358A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003007870A (ja) * | 2001-06-26 | 2003-01-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体メモリ及びその製造方法 |
JP2004319948A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-11-11 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2004281662A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
WO2004084314A1 (ja) * | 2003-03-19 | 2004-09-30 | Fujitsu Limited | 半導体装置とその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8889543B2 (en) | 2012-04-09 | 2014-11-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of fabricating semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060075441A (ko) | 2006-07-04 |
US20060141718A1 (en) | 2006-06-29 |
US7320915B2 (en) | 2008-01-22 |
KR100673206B1 (ko) | 2007-01-22 |
TW200623274A (en) | 2006-07-01 |
TWI278041B (en) | 2007-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7179717B2 (en) | Methods of forming integrated circuit devices | |
US20080166843A1 (en) | Isolation regions for semiconductor devices and their formation | |
KR100632640B1 (ko) | 플래쉬 메모리 소자의 제조방법 | |
JP2007036126A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2006054466A (ja) | 不揮発性メモリ素子及びその製造方法 | |
JP2009152498A (ja) | 不揮発性半導体メモリ | |
JP2008283045A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
KR100370242B1 (ko) | 불휘발성 메모리 소자의 제조방법 | |
JP5160738B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2000091450A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP2006190938A (ja) | フラッシュメモリの製造方法 | |
JP2005285818A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009094452A (ja) | 非揮発性メモリ素子及びその製造方法 | |
US9236497B2 (en) | Methods for fabricating semiconductor device | |
JP2008166683A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2007165829A (ja) | フラッシュメモリ素子のゲート形成方法 | |
JP2004055826A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008300427A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20090078984A1 (en) | Semiconductor apparatus and method for manufacturing the same | |
JP2006269800A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009049138A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007184522A (ja) | フラッシュメモリ素子及びその製造方法 | |
KR20070065482A (ko) | 불 휘발성 메모리의 플로팅 게이트 형성 방법 | |
KR20070000603A (ko) | 불 휘발성 메모리의 플로팅 게이트 형성 방법 | |
KR20060133677A (ko) | 불 휘발성 메모리 셀의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080417 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120417 |