JP2006186297A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 金属反射体を備え、鉛フリー半田実装工程の温度に耐えうる半導体発光装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 電極パターンを有する絶縁基板と、前記絶縁基板の上に設けられ貫通穴を有する金属反射体と、前記絶縁基板と前記金属反射体との間に設けられた接着層と、前記貫通穴の中において、前記絶縁基板の上に設けられた半導体発光素子と、前記半導体発光素子を封止する樹脂と、を備え、前記貫通穴の内壁は傾斜した光反射面を有し、前記半導体発光素子から放射された光の少なくとも一部は前記光反射面により反射されて前記貫通穴から放出されることを特徴とする半導体発光装置を提供する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、半導体発光装置及びその製造方法に関し、特に、金属反射体により指向特性が制御された半導体発光装置及びその製造方法に関する。
窒化ガリウム(GaN)系化合物半導体に関するプロセス技術の進展と蛍光体の技術進展とにより、半導体発光素子(以下、LED:Light Emitting Diode)の応用分野は飛躍的に拡大している。特に、紫外光から可視光までの波長帯の光を放射できるLEDと適正な蛍光体の組み合わせた半導体発光装置は、演色性に優れた白色光が得られる。このため、液晶ディスプレイのバックライト、ボタン照明、自動車の各種照明などへの応用が益々増加している。またさらに、懐中電灯やカメラのフラッシュなどの光源として用いる高出力型の半導体発光装置の開発も進められている。
これらの用途においては、高密度実装や良好な放熱性が要求されるために、いわゆる表面実装型(SMD:Surface Mount Device)の半導体発光装置が使われる。そして、実装基板への実装においては、鉛フリー半田を用いたリフロー工程が用いられる。従来のSMD型半導体発光装置においては、LEDからの発光をより高い外部取り出し効率とするために、LEDの周囲を樹脂で取り囲み、LEDの側面からの放射光を樹脂の内壁面に設けられた反射膜で上方に反射させていた(例えば、特許文献1)。すなわち、射出成型で形成された傾斜を有する樹脂表面に、アルミニウム(Al)などの高い反射率を有する金属の蒸着膜を設けることにより、反射面が形成されていた。
しかしながら、鉛フリー半田の融点は、従来の鉛半田よりも高く、250〜260℃となる場合が多い。このために、リフロー工程後に、Al蒸着膜の表面に微細クラックや凹凸が生じることがある。このような反射面の変形は、反射率の低下や指向特性変化を招くので、重大な欠陥である。特に、携帯電話やディジタルカメラのフラッシュ光源などの用途においては、鋭い指向特性が要求されるので、実装工程で指向特性が劣化することは好ましくない。
特開2002−299698号公報
本発明は、金属反射体を備え、鉛フリー半田実装工程の温度に耐えうる半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
本発明の一態様によれば、
電極パターンを有する絶縁基板と、
前記絶縁基板の上に設けられ貫通穴を有する金属反射体と、
前記絶縁基板と前記金属反射体との間に設けられた接着層と、
前記貫通穴の中において、前記絶縁基板の上に設けられた半導体発光素子と、
前記半導体発光素子を封止する樹脂と、
を備え、
前記貫通穴の内壁は傾斜した光反射面を有し、前記半導体発光素子から放射された光の少なくとも一部は前記光反射面により反射されて前記貫通穴から放出されることを特徴とする半導体発光装置が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、
電極パターンを有する絶縁基板の上に半導体発光素子をマウントする工程と、
前記半導体発光素子を樹脂により封止する工程と、
貫通穴を有する金属反射体の前記貫通穴が前記樹脂を内包するように前記金属反射体と前記絶縁基板とを接着する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、金属反射体を備え、鉛フリー半田実装工程の温度に耐えうる半導体発光装置及びその製造方法が提供される。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の第1の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。
紫外光から可視光の波長帯の光を放射する半導体発光素子(以下、LED:Light Emitting Diode)10は、絶縁基板11の上に設けられた第1の電極パターン12の上に、例えば金スズ(AuSn)共晶半田206(融点約280℃)などでマウントされている。また、LED10の上面に設けられた電極と絶縁基板11上に設けられた第2の電極パターン14とは、ボンディングワイヤ13で接続される。LED10及びボンディングワイヤ13は、封止樹脂204により、封止されている。なお、絶縁基板としては、放熱性に優れる窒化アルミニウム(AlN)やアルミナなどのセラミックや、金属放熱体が圧入されたプリント基板などが好ましい。
また、LED10として、例えば、サファイアなどの絶縁性基板の上に形成されたものを用いることもできる。この場合には、LED10の上面に2つの電極が形成される。そして、これらLED10の2つの電極と、絶縁基板11の上に設けられた第1及び第2の電極パターン12、14とをワイアなどでそれぞれ接続すればよい。
再び図1に戻って説明を続けると、貫通穴403を有した金属反射体15が、封止樹脂204を貫通穴403の内部に配置するように、絶縁基板11上に設けられている。金属反射体15と絶縁基板11とは、例えばエポキシ系の樹脂シートの両面に接着剤が塗布された絶縁接着シートなどによる接着層207を介して、加圧加熱、硬化工程を経て接着される。なお、絶縁接着シートではなく、例えば絶縁接着剤を用いても、接着層207を形成できる。この接着層207は、260℃のリフロー工程に充分耐えうる。金属反射体15の貫通穴403の内側面には傾斜部が設けられ、LEDからの放射光のうち、横方向に広がる光17を上方に反射する反射面16が設けられている。この傾斜した反射面16により、反射された光18は、LEDから直接上方へ向かう光と合成される。なお、図1における反射面16の断面形状は直線状であるが、本発明はこれに限定されず、後に詳述するように曲面状の反射面を設けてもよい。また、反射面16の表面は鏡面状とすることが望ましい。
反射面16の断面形状を変化させることにより、指向特性の制御が可能となる。また、金属反射体15の材料としては、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金メッキした銅(Cu)などがあるが、耐久性・加工性・価格の点でアルミニウムが好ましい。
本具体例においては、LED10からの放射光を吸収して、波長変換された光を放射する蛍光体との組み合わせにより、白色光などが得られる。例えば、LED10として窒化ガリウム系の青色発光型のLEDを用い、蛍光体205(この場合は黄色蛍光体)を封止樹脂204中に分散配置する。こうすると、LED10からの放射光である青色光と、蛍光体205により波長変換された黄色光との混合色として、フラッシュ用に適した白色光が得られる。このほか、LED10からの紫外光をRGB蛍光体に照射しても白色光が得られる。
封止樹脂204としては、エポキシ系樹脂でもよいが、紫外光〜青色光に対して安定性の優れるシリコーン樹脂(屈折率約1.4)が、より望ましい。
次に、本発明者が、本発明に至る過程において検討した比較例について説明する。
図2は、比較例の半導体発光装置を模式的に例示する断面図である。同図については、図1と同様の要素には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
本比較例においては、LED10が、プリント基板2の上に設けられた第1電極パターン3に、Agペースト203によってマウントされている。LED10の上面の電極は、ボンディングワイヤ13により、プリント板上の第2電極パターン5と接続されている。LED10とボンディングワイヤ13は、封止樹脂204により封止されている。
また、封止樹脂204を取り囲むように、樹脂成型部品6が設けられており、この貫通穴403の内側面にはアルミニウム蒸着膜が形成されて、反射面7とされている。この樹脂成型部品6の材料としては、例えば、ポリフタルアミドなどの白樹脂があるが、その熱膨張率は約100ppm/℃である。一方、アルミニウムの熱膨張率は約20ppm/℃である。これに対して、実装基板のリフロー温度範囲は、従来は230〜240℃であったが、鉛フリー半田の採用に伴い250〜260℃に上昇している。この結果、樹脂の表面に形成されたアルミニウム蒸着膜に微細なクラックや表面凹凸が発生し、反射率が変化する場合がある。
図3(a)は、本発明の具体例と比較例の半導体発光装置の指向特性を表すグラフ図である。この指向特性は、図3(b)に表した平面図においてA−Aに沿って得られたものである。
比較例の場合、リフロー工程前の指向特性は同図に符号Eで表した如くであり、その半値全角は、フラッシュ光源に要求される指向特性の半値全角の初期値は約50°(θ)である。ところが、比較例の半導体発光装置において1回のリフロー工程を実施すると、その指向特性は同図に符号Cで表したように変化し、半値全角は約70°(θ)に広がった。ここで、半値全角θ、θは、光度が軸上光度の50%となる角度で定義される。また、比較例においては、反射率も低下するので、軸上光度が、リフロー工程により、約30%低下する。
これに対して、比較例と同一構造を有するLED10を用いた本発明の第1の具体例の半導体発光装置の場合、リフロー工程を実施した後においても、指向特性は同図に符号Eで表した如くである。すなわち、半値全角は約50°(θ)のままであり、250〜260℃のリフロー工程前後において変化を生じない。これは、本発明の具体例の場合、異種材料の熱膨張率差による反射面の表面状態の変化を生じないからであると考えられる。
本比較例において用いる樹脂成型部品6は、射出成型により形成されるが、これに必要な金型製作には、数ヶ月の期間が必要である。製品交代の早い携帯電話のカメラ用フラッシュなど用途では、この期間は長すぎる。
また、本比較例におけるプリント基板2の熱伝導率は、1.5℃/mKであり、熱抵抗が高い。この結果、駆動電流を20mA程度まで上げると、10mA動作時よりも効率(光度/電流)が約20%低下する。これに対して、本発明の第1の具体例においては、セラミック基板を用いた場合、20mA駆動において効率の低下はなく、30mA駆動においても効率低下は5%以下であった。すなわち、本具体例においては、熱抵抗が低いため、光出力−駆動電流の直線性が改良され、大電流駆動が可能になるからであると考えられる。この結果として、高出力の半導体発光装置を実現できる。
また、本比較例においては、Agペースト(熱伝導率:2〜40℃/mK)によってLED10がマウントされているのに対して、第1具体例においては、より高温の実装工程に耐えうるAuSn共晶半田(熱伝導率:300℃/mK)が用いられる。そして、AuSn半田がAgペーストよりも高い熱伝導率を有しているために、半導体発光装置の熱抵抗が低減され、動作温度範囲を広げることができる。なお、絶縁基板上に設けられる電極パターンの材料として金(Au)が用いられる場合には、AuSnの共晶組成(スズが20%)を得るためには、AuSn半田におけるスズ(Sn)の組成比を30%程度としたAuSn半田を用いるとよい。
次に、図1の具体例にかかる半導体発光装置の組立工程について説明する。
金属反射体15は、プレス成形、精密切削加工、および金属射出成形などの工程を経て形成することができる。この場合、組み立て工程においても、いわゆる多数個取り基板を用いると効率が良い。
図4は、多数個取り用絶縁基板401と多数個取り用Al金属反射体405との組み合わせを説明するための模式図である。
また、図5は、本具体例の半導体発光装置の組み立て工程を例示するフローチャートである。
まず、多数個取り用絶縁基板401にLED10をマウントし(ステップS10)、ワイヤボンディングを行い(ステップS12)、封止樹脂204を塗布・硬化する(ステップS14)。一方、多数個取りAl金属反射体405には、傾斜内側面を有する貫通穴が多数設けられている。また、各貫通穴403に合わせた孔を有する接着シート404が、金属反射体405に貼り付けられている。Al金属反射体厚みは、0.5〜3mm程度、好ましくは0.7〜1.5mmである。
LED10などを封止した封止樹脂204を多数個設けた絶縁基板401と、金属反射体405とを位置合わせをして、接着シート404をはさんで貼り合わせる。接着シートとしては、例えば、エポキシ系接着シートが用いられる。貼り合わせ後、加圧加熱・硬化工程を経て、厚みは0.05mm程度になる。硬化条件は例えば、150℃で30分程度のキュアとすることができる。そして、集合体79が完成する(ステップS16)。
図6は、ダイシングの工程を表す模式図である。
すなわち、集合体79はダイサーのプレート上に固定され、同図に例示したように、ダイシングブレード80により分割される(ステップS18)。金属反射体405と絶縁基板401が一体で切断されるので、製品の外形寸法精度は高いという長所がある。
図7及び図8は、集合体79に予め溝を設けた場合のダイシング工程を説明するための模式図である。
すなわち、図7は、Al金属反射体405に、予め溝81を設けた場合を表す。例えば、Al金属反射体405の厚みが約1.2mmあると、ダイシング時間が長くなるが、予め溝81を設けることによりダイシング時間を短縮でき、生産効率が上がる。
また、図8に例示した絶縁基板ダイシング工程にも同様のことが言える。すなわち、絶縁基板401に溝85を予め設けておくことにより、ダイシング時間を短縮できる。
図9は、絶縁基板401のみを多数個取りとする場合の組み立て工程のフローチャートである。
LEDチップマウント(ステップS20)、ワイヤボンディング(ステップS22),封止樹脂塗布及び硬化(ステップS24)までは、図5に表したフローチャートと同様である。金属反射体は多数個取りとせず、生産効率の良いプレス成形や高速精密切削加工で個別に製作する。この個別金属反射体90を多数個取り絶縁基板401の所定の位置に接着し、接着シートの加圧加熱、硬化工程(ステップS26)を行う。位置あわせは自動化できるので金属反射体を個別とすることによる生産性の低下はない。
ダイシング(ステップS28)の際には、金属反射体90がない領域409にブレード80を入れれば、Al削りシロが発生しないので、高品質が保てる。
図10は、金属反射体90の側からブレード80を入れるダイシング工程の模式図である。
また、図11は、絶縁基板401の側からブレード80を入れるダイシング工程の模式図である。
これらいずれの場合も、金属反射体90にブレードが触れないようにすることが望ましい。
また、図12は、金属反射体90の裏面側に「逃げ」を設けて、ブレードへの接触を防止する構造を例示する断面図である。すなわち、金属反射体90の絶縁基板401と対向する面の周囲に、絶縁基板401から離間した離間部88が設けられている。この離間部88は、例えば、金属反射体90の裏面側すなわち絶縁基板401に対向する面の周囲を斜めに面取りしたり、あるいは溝状にえぐることにより設けることができる。このような離間部88を設けることにより、絶縁基板410の裏側から切断する時にブレード80が金属反射体90に接触することを防止できる。
また、特に、絶縁基板として大型セラミック基板を使う場合には、セラミック焼結後の収縮により生じる寸法誤差を考慮しなければならない。図9に例示した工程によれば、セラミック寸法誤差が生じても、金属反射体90の接着時に個々に修正することが可能である。
次に、金属反射体15の加工方法について詳細に説明する。
図13は、金属反射体15をプレス成形で形成する工程を例示する工程断面図である。 まず、金属板19が、穴加工用ダイ20と穴加工用ストリッパ21によって固定される(図13(a))。次に、穴加工用パンチ22が降下し、せん断力により穴を形成し、中央の一部23がパンチ22により除去される(図13(b))。穴加工用パンチ22は上昇し(図13(c))、ダイ20及びストリッパ21が金属板19から離れる(図13(d))。
金属板19は、反射面成形用ダイ24と反射面成形用ストリッパ25とによって固定される(図13(e))。反射面成形用パンチ26が降下して、金属板19を塑性変形させる。このとき、金属板19の反射面には、予め鏡面に整えられた形成用パンチ26の表面形状が転写される。(図13(f))。反射面成形用パンチ26が上昇し(図13(g))、反射面成形用ダイ24と反射面成形用ストリッパ25が金属板19から離れる(図13(h))。
ここで、穴加工用ダイ20、穴加工用ストリッパ21、穴加工用パンチ、反射面成形用ダイ24、反射面成形用ストリッパ25、反射面成形用パンチ26の材料には、主として、超硬合金が用いられる。
図14は、金属反射体15の反射面を精密切削加工で形成する方法のうち、旋削加工によるに2例が模式的に例示した断面図である。
すなわち、同図(a)に表した具体例の場合、加工機の主軸27にチャックされた金属体28が回転し、加工機のテーブルに固定された単結晶ダイアモンドなどを切れ刃とするバイト29が反射面30の断面形状に沿って移動することにより、切れ刃の形状と軌跡が反射面30に転写される。
または、バイト32の切れ刃形状が反射面の断面形状33に等しい場合は、図14(b)に表したように、バイト32の移動軌跡を反射面の断面形状に沿わせる必要はなく、その他の軌跡を取ることができる。
図15は、フライス加工による具体例を表す模式断面図である。
すなわち、加工機の主軸36にチャックされた単結晶のダイアモンドなどを切れ刃とするエンドミル37が回転し、加工機のテーブル38にチャックされた金属板39の反射面40の中心に沿って移動することにより、切れ刃形状の回転軌跡が反射面40に転写される。
以上図13乃至図15に関して前述した方法の他にも、例えば、金属射出成形によっても面精度の優れた金属反射体15の成形が可能である。
一般に、金属反射体の反射面の表面が粗いと、光が散乱し、指向特性が設計通りとならない。LEDの場合、反射面の面粗度がRZ=100nm以下で半値全角が50度の場合でも、同じ傾斜角に対して、面粗度RZ=300nmとなると半値全角は約65度となり、軸上光度も約30%低下する。これに対して、図13乃至図15に関して前述した加工法を用いることにより、表面反射率は要求を満たすことができる。
次に、アルミニウム金属反射体の長期信頼性について説明する。
アルミニウムからなる反射面を、高温高湿環境(85℃、85%RH)で長時間保存すると、アルミニウムの表面に微小クラックが発生し、白濁することがある。これらは、反射率低下や指向特性の変化を引き起こす。アルミニウム純度を99.9以上とすると、この問題は改善できる。
具体的には、本発明者の試作実験の結果によれば、金属反射体15の材料としてA5056合金(アルミニウム94.6%、マグネシウム4.7%、その他0.7%)を用いた場合、168時間の高温高湿環境(85℃、85%RH)試験の後に発光輝度が初期値から約20%低下した。これに対して、純度99.9%のアルミニウムからなる金属反射体15を用いた場合には、同様の高温高湿試験を経ても、発光輝度は初期値のままであり低下は見られなかった。
また、他の耐湿性改善策としては、緻密なアルミニウム酸化膜を形成したり、TiOや有機透明膜を形成する方法などが有効である。
次に、第1の具体例の変形例の半導体発光装置について説明する。
図16は、反射面断面が非直線形状を有する半導体発光装置の模式断面図である。
同図については、図1乃至図15に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
図16(a)に表した変形例の場合、金属反射体15の反射面41は、断面が曲線となる曲面により構成されている。曲線状の反射面41は、下部(すなわち、LED10に近い領域)においてその接線がLEDマウント面となす角度が小さいが、上部(すなわち光取り出し側)に近づくにしたがって、この角度が大きくなる。このような曲線としては、例えば、放物線などを挙げることができる。このように角度が適正に選択されると、下部で反射された光42と、上部で反射された光43を、LED10から直接上方に放射される光の方向に近づけることができ、指向特性を、カメラフラッシュ用に必要な、例えば50°と狭くできる。
また、図 16(b)に例示した如く、反射面50の断面が直線の集合となるように形成してもよい。
図16(a)及び(b)のいずれの反射面の断面においても、曲線あるいは集合直線群の包絡線が、上に向かって凹となるように形成すれば、指向特性を絞ることができる。
封止樹脂204は、金属反射体貫通穴403より小さくするほうが、指向特性における半値全角を小さくしやすい。ただし、指向特性が仕様を満たせば、貫通穴403の内部を充填するように封止樹脂204を形成しても良い。また、高輝度とするために、複数個のLEDチップを封止してもよい。
さらに、本変型例においても、第1の具体例と同様に、LED10として窒化ガリウム系青色LEDを用い、青色を黄色に波長変換する蛍光体205を封止樹脂204に分散配置することにより、フラッシュ光源に適した白色光が得られる。なお、これは以下説明する各具体例及び変型例においても同様である。
図17は、本発明の第2の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。
絶縁性接着シート207で絶縁性基板11に接着された金属反射体15は、実装工程において、静電気による帯電を生ずることがある。一般に、LEDは、ESD(Electro Static Discharge)耐量が、シリコン半導体素子などと比べると小さい。これに対して、金属バンプ73により、金属反射体15と基板上に設けられた電極パターン12または14とを、電気的に接続してグラウンド(GND)電位とすることにより、ESDによる劣化を低減できる。金属バンプ73としては、比較的柔らかく、バンプ形成が容易な金(Au)ボールまたは半田バンプが望ましい。その他材料としては、スズ(Sn)、インジウム(In)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)や、それらを含む合金などを用いることもできる。
バンプを用いる場合、本具体例のように、接着シート207と併用すれば、圧着により、導電は維持される。バンプ73を除く部分に接着剤を使用する場合も、フリップチップボンディングにおけるアンダーフィル充填のように、必ずしもバンプと上下金属とが、金属間拡散結合していなくても、接続は維持される。その場合、接着シートは、金属バンプ部分にも、穴を持ち、導通を妨げない。第2の具体例においては、実装工程における静電気による不良発生を大幅に低減できて、信頼性の高い半導体発光装置が提供できる。
図18は、本発明の第3の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。
本具体例においては、絶縁基板として、セラミックではなく、プリント基板2が用いられている。プリント基板の両面には、電極パターン3、5となる導電膜が設けられている。中央部付近に、金属放熱体64が圧入されており、LED10はその上にマウントされている。金属反射体15は、プリント基板2上に接着層207を介して接着される。金属放熱体64を設けることにより、放熱性が改善され、動作電流範囲が広がり、高輝度の半導体発光装置を提供できる。
図19に、本発明の第4の具体例にかかる半導体発光装置の模式図である。
本具体例においては、金属反射体93の材料としては、アルミニウムの代わりに、加工の容易な真鍮が用いられている。反射面94の反射率を上げるために、アルミニウム層を形成することが望ましいがアルミニウムのメッキは容易ではない。これに対して、真鍮の表面にイオンプレーティング、蒸着、スパッタリングなどにより、光沢を有するアルミニウム層を形成することは可能である。
図20は、本発明の第5の具体例にかかる半導体発光装置の模式図である。
本具体例においては、AuSnやAgペーストの代わりに、Auバンプ72を用いて、LED10がフリップチップボンディングされている。このようにフリップチップボンディングすることによっても、熱抵抗を改善できる。
図21は、本発明の第6の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。
本具体例においては、金属反射体15とセラミックなどからなる絶縁基板11との間に設けられた接着層は、絶縁スペーサ526を混合した絶縁接着剤524である。図22は、図21のFの部分拡大断面図である。金属反射体15と絶縁基板11との距離Tは、絶縁スペーサ526の高さでほぼ決まる。絶縁スペーサ526の材料は、例えばプラスチック粒子、シリカ粒子、アルミナ粒子などを使うことができる。これら粒子の形状がほぼ球形であり、粒度分布も小さいのが最も好ましい。しかし本発明者らの検討の結果、球形に限らずとも、極端な縦横比がなければ、ほぼ一定の距離Tが維持できた。また、粒度分布が大きい場合には、メッシュを通すなどにより、大粒度側をふるいにかければ所定の距離Tが維持できた。
図23は、外部へ取り出しうる光の相対光度の間隙D依存性である。ここで、間隙Dは、半導体発光素子10内の発光層540の厚みを2分する水平面と金属反射体15の下面との垂直距離を表わすものとする。間隙Dがゼロのときの相対光度を100とすると、間隙Dが100マイクロメータを越えると相対光強度が急激に低下する。これは、半導体発光素子10および蛍光体205から放射される光の水平成分のうち、反射面16に入射しない光が増加するために、有効に外部へ光が取り出せないためである。従って、D≧0の場合には、間隙Dは小さいほうが好ましいことになる。
また、発光層540の厚みを2分する水平面と絶縁基板11の表面との距離をHとすると、金属反射体15と絶縁基板11の垂直距離をTは、T=D+Hと表わせる。半導体発光素子10の発光層540が、金属反射体15の底面より上方に位置していれば、H>Tとなり、D<0となる。この場合は、図23に例示されるグラフ図によらず、半導体発光素子10及び蛍光体205からの放射光がより有効に外部に取り出せる。
一方、金属反射体15と絶縁基板11との距離Tが小さすぎると、接着剤表面の沿面距離が小さくなり、高湿環境下において、電流リークを生じるなどにより絶縁耐圧が低下する。また、金属反射体15の加工精度をも考慮すると、距離Tは50マイクロメータ以上が望ましい。本発明者の検討結果によれば、このとき絶縁抵抗はメガオーム以上とできたので、18ボルト以上であるユーザ絶縁耐圧要求を満たすことが可能であった。以上の結果より、金属反射体15と絶縁基板11との垂直距離T(マイクロメータ)の範囲は、50≦T≦(100+H)が好ましいことになる。
次に、本具体例の半導体発光装置の組み立て工程を説明する。
図24は、組み立て工程を表わすフローチャートである。
また、図25は、半導体発光素子10が、絶縁基板11上にマウントされた模式平面図である。
まず、青色光を放射する窒化ガリウム系発光層540が設けられた半導体発光素子10が4個、AuSb共晶半田(図示せず)などで絶縁基板11上に形成された第3メタライズ部504、第4メタライズ部506、第7メタライズ部512、第8メタライズ部514上にそれぞれマウントされている(ステップS20)。このように、複数個の半導体発光素子10を用いると、高輝度が可能となる。特に、半導体発光素子10に窒化ガリウム系材料を用い、蛍光体205に黄色蛍光体を用いることにより、高輝度白色半導体発光装置が実現できる。なお、図25中のA−Aに沿った断面図が、図21である。
このあと、それぞれの半導体発光素子10に設けられた上部電極(図示せず)と、第1メタライズ部500、第2メタライズ部502、第5メタライズ部508、第6メタライズ部510とが、それぞれボンディングワイヤ13で接続される(ステップS22)。
続いて、半導体発光素子10及びボンディングワイヤ13を覆って、蛍光体205を含んだ、例えばエポキシ系の液状封止樹脂204が塗布され、熱硬化される(ステップS24)。ここまでの工程は、接着シートを用いる第1の具体例と同様である。さらに、絶縁スペーサ526を液状の絶縁接着剤524に混合させる(ステップS34)。スタンピングなどにより、この混合液を絶縁基板11上の金属反射体15を接着すべき部分に塗布する(S36)。
金属反射体15を、絶縁基板11に対して位置合わせを行って、液状接着剤524を熱硬化する。硬化条件としては、例えば、150℃で約30分の加熱とすることができる(ステップS38)。最後に、絶縁基板11を個々の半導体発光装置に分離する(ステップS40)。分離の方法としては、例えば、ダイシングを用いる方法や、基板に予め溝を形成しておき、この溝に沿ってブレーキングする方法などを挙げることができる。液状接着剤の塗布や熱硬化は、簡素かつ生産性に優れており、金属反射体15と絶縁基板11の接着に適した方法である。
図26は、分離された半導体発光装置の模式底面図である。
実装基板への表面実装が容易となるように、上面のそれぞれのメタライズ部に接続される底面メタライズ部が設けられている。
また、図27は、絶縁基板11の模式側面図である。
絶縁基板11の上面メタライズ部と底面メタライズ部とは、図示されるような側面メタライズ部で、それぞれに接続される。本具体例の特徴は、絶縁スペーサ526を混合した絶縁接着剤524を塗布し、熱硬化を行うという簡素な工程を用いて、金属反射体15を備え、鉛フリー半田実装工程の温度に耐える半導体発光装置が実現できることである。
次に、本発明の第7の具体例にかかる半導体発光装置につき説明する。
図28は、金属反射体530の模式断面図であり、図29は、その模式底面図である。 金属反射体530の底面には、突起部532が、4箇所に設けられている。突起部の高さTTは、図22に例示される第6の具体例における距離Tにほぼ相当する。
図30は、半導体発光素子10が4個マウントされ、ワイヤがボンディングされた絶縁基板11の模式平面図である。
絶縁基板11上のメタライズが施されていない表面に破線丸印で表した接触部534は、金属反射体530に設けられた突起部532が、絶縁基板11上で接触する箇所を表わす。
図31は、図30におけるA−Aに沿った本具体例の模式断面図である。なお、図30及び図31において、図25及び図21と同様の要素には同一の番号を付して、詳細な説明を省略する。
絶縁基板11と金属反射体530とは、突起部532により、絶縁されている。さらに、金属反射体530と絶縁基板11との間の接着層は、絶縁接着剤524である。図24のフローチャートに例示される絶縁接着剤524に絶縁スペーサを混合させる工程(S34)は不要となる。それ以外の組み立て工程は、図24と同様である。本具体例の特徴は、絶縁接着剤524を塗布し、熱硬化を行うという簡素な工程を用いて、金属反射体15を備え、鉛フリー半田実装工程の温度に耐える半導体発光装置が実現できることである。
以上、第1乃至第7の具体例を挙げつつ説明したように、プレス成形、精密切削加工、金属射出成形などにより製作される、高い面精度を有する金属反射体を設けることにより、250〜260℃のリフロー工程温度においても、表面劣化のない半導体発光装置を提供できる。この結果として、鉛フリー半田のリフロー実装工程で劣化せず、半値全角が小さく絞られた光を安定して放射できる半導体発光装置が可能となる。また、反射面の形状を調節することにより、指向特性の制御が可能となる。さらに、絶縁基板にセラミックを用いたり、金属放熱体を埋め込むことにより、熱抵抗を低減でき、大電流駆動が可能となる。
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明はこれら具体例に限定されるものではない。
例えば、LEDチップとして用いることができるものは、窒化ガリウム系に限定されず、その他、InGaAlP系、GaAlAs系、をはじめとする各種のIII−V族化合物半導体やII−VI族化合物半導体などを用いたものであっても良い。
また、LEDから放射される光についても、紫外光や青色光ばかりでなく、広く可視光帯であってよい。蛍光体に関しても、白色光以外を生じる組成であってよい。
その他、半導体発光装置を構成するLED,絶縁基板、封止樹脂、蛍光体、金属反射体などの各要素の形状、サイズ、材質、配置関係などに関して当業者が各種の設計変更を加えたものであっても、本発明の要旨を有する限りにおいて本発明の範囲に包含される。
なお、本明細書において「窒化ガリウム系」の半導体とは、InAlGa1−x−yN(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)なる化学式において組成比x及びyをそれぞれの範囲内で変化させたすべての組成の半導体を含むものとする。またさらに、上記化学式において、N(窒素)以外のV族元素もさらに含むものや、導電型などを制御するために添加される各種のドーパントのいずれかをさらに含むものも、「窒化ガリウム系」の半導体に含まれるものとする。
本発明の第1の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 比較例の半導体発光装置を模式的に例示する断面図である。 (a)は、本発明の具体例と比較例の半導体発光装置の指向特性を表すグラフ図であり、この指向特性は、(b)に表した平面図においてA−Aに沿って得られたものである。 多数個取り用絶縁基板401と多数個取り用Al金属反射体405との組み合わせを説明するための模式図である。 本発明の具体例の半導体発光装置の組み立て工程を例示するフローチャートである。 ダイシングの工程を表す模式図である。 集合体79に予め溝を設けた場合のダイシング工程を説明するための模式図である。 集合体79に予め溝を設けた場合のダイシング工程を説明するための模式図である。 絶縁基板401のみを多数個取りとする場合の組み立て工程のフローチャートである。 金属反射体90の側からブレード80を入れるダイシング工程の模式図である。 絶縁基板401の側からブレード80を入れるダイシング工程の模式図である。 金属反射体90に「逃げ」88を設けて、ブレードへの接触を防止する構造を 金属反射体15をプレス成形で形成する工程を例示する工程断面図である。 金属反射体15の反射面を精密切削加工で形成する方法のうち、旋削加工によるに2例が模式的に例示した断面図である。 フライス加工による具体例を表す模式断面図である。 反射面断面が非直線形状を有する半導体発光装置の模式断面図である。 本発明の第2の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 本発明の第3の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 本発明の第4の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 本発明の第5の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 本発明の第6の具体例にかかる半導体発光装置の模式断面図である。 図21におけるFの部分拡大断面図である。 金属反射体と発光層との間隙と相対光度との関係を表わすグラフ図である。 本発明の第6の具体例の組み立て工程のフローチャートである。 半導体発光素子4個が絶縁基板にマウントおよびワイヤボンディングされた絶縁基板の模式平面図である。 本発明の第6の具体例にかかる半導体発光装置の模式底面図である。 本発明の第6の具体例にかかる半導体発光装置の模式側面図である。 本発明の第7の具体例にかかる半導体発光装置の金属反射体の模式断面図である。 図28に例示した金属反射体の模式底面図である。 半導体発光素子4個が絶縁基板にマウント及びワイヤボンディングされた絶縁基板の模式平面図である。 本発明の第7の具体例にかかる半導体装置の模式断面図である。
符号の説明
2 プリント基板
3 第1の電極パターン
5 第2の電極パターン
6 樹脂成形部品
7 反射面
10 半導体発光素子(LED)
11 絶縁基板
12 第1の電極パターン
13 ボンディングワイヤ
14 第2の電極パターン
15 金属反射体
16 反射面
19 金属板
88 離間部
203 Agペースト
204 封止樹脂
205 蛍光体
206 AuSn共晶半田
207 接着層
403 貫通穴
500 第1メタライズ部
502 第2メタライズ部
504 第3メタライズ部
506 第4メタライズ部
508 第5メタライズ部
510 第6メタライズ部
512 第7メタライズ部
514 第8メタライズ部
524 絶縁接着剤
526 絶縁スペーサ
530 金属反射体
532 突起部
534 突起部との接触部
540 発光層

Claims (6)

  1. 電極パターンを有する絶縁基板と、
    前記絶縁基板の上に設けられ貫通穴を有する金属反射体と、
    前記絶縁基板と前記金属反射体との間に設けられた接着層と、
    前記貫通穴の中において、前記絶縁基板の上に設けられた半導体発光素子と、
    前記半導体発光素子を封止する樹脂と、
    を備え、
    前記貫通穴の内壁は傾斜した光反射面を有し、前記半導体発光素子から放射された光の少なくとも一部は前記光反射面により反射されて前記貫通穴から放出されることを特徴とする半導体発光装置。
  2. 前記金属反射体は、前記絶縁基板との対向面の周囲に前記絶縁基板から離間した離間部を有することを特徴とする請求項1記載の半導体発光装置。
  3. 前記接着層は、前記金属反射体と前記絶縁基板とを電気的に絶縁してなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置。
  4. 前記金属反射体は、接続手段を介して前記電極パターンに接続されてなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
  5. 前記金属反射体は、純度が99.9パーセント以上のアルミニウムからなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。
  6. 電極パターンを有する絶縁基板の上に半導体発光素子をマウントする工程と、
    前記半導体発光素子を樹脂により封止する工程と、
    貫通穴を有する金属反射体の前記貫通穴が前記樹脂を内包するように前記金属反射体と前記絶縁基板とを接着する工程と、
    を備えたことを特徴とする半導体発光装置の製造方法。

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