JP2006179898A - 窒化ガリウム半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板のブラスト工程を通じて格子定数差による欠陥を減らし、しかも内部残留応力を極力抑えられるGaN半導体とその製造方法。特に、シリコン基板を用いて高品質のGaN薄膜を形成することにより、良質の大口径基板を安価で確保して製造コストを下げることができ、各種多様な素子及び回路応用性を得ることができる。
【選択図】図2
Description
20 バッファ層
30 GaN薄膜
Claims (15)
- 基板上部の所定の領域に所定の欠陥層を形成した基板と、
前記基板上に形成したGaN薄膜と、
を備えることを特徴とする窒化ガリウム半導体。 - 前記所定の欠陥層は、SiO2粒子を含むスラリの高圧吹き付けにより形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム半導体。
- 前記所定の領域は、深さが前記基板の上面から1乃至4μmの範囲の領域であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化ガリウム半導体。
- 前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化ガリウム半導体。
- 前記基板と前記GaN薄膜との間にバッファ層をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化ガリウム半導体。
- 前記バッファ層は、AlN,GaN,ZnO及びMgOよりなる群から選ばれた少なくともいずれか1種を用いて形成されることを特徴とする請求項4に記載の窒化ガリウム半導体。
- 基板上部の所定の領域に所定の欠陥層を形成した基板を設ける段階と、
前記基板上にGaN薄膜を成長させる段階と、
を含む窒化ガリウム半導体の製造方法。 - 前記基板上部の所定の領域に所定の欠陥層を形成した基板を設ける段階は、
前記基板に所定の粒子を含むスラリを高圧で吹き付ける段階と、
熱処理工程を行う段階と、
研磨及び洗浄を行う段階と、
を含むことを特徴とする請求項6に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。 - 前記所定の粒子として、SiO2を用いることを特徴とする請求項8に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。
- 前記スラリの比重は、1.025乃至0.030g/cm3であることを特徴とする請求項9に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。
- 前記基板に所定の粒子を含むスラリを高圧で吹き付ける段階は、
深さが前記基板の上部から1乃至4μm程度の領域に前記高圧吹き付けによる欠陥層を形成するように吹き付けることを特徴とする請求項8に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。 - 前記研磨及び洗浄を行う段階において、
前記研磨は、基板の上部から1μm未満の深さに対して行うことを特徴とする請求項7に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。 - 前記GaN薄膜は1,000〜1,200℃の温度下で成長され、その成長速度は1時間当たり1μmであることを特徴とする請求項6に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。
- 前記基板を設ける段階と前記GaN薄膜を成長させる段階との間に、
前記基板上にバッファ層を成長させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項6乃至10のいずれか1項に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。 - 前記バッファ層は500〜1,100℃の温度下で成長され、その成長膜厚は10〜1,000nmであることを特徴とする請求項11に記載の窒化ガリウム半導体の製造方法。
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