JP2005281067A - Iii族窒化物結晶基板およびその製造方法ならびにiii族窒化物半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 凹凸表面が形成されたIII族窒化物結晶層1aを少なくとも有する下地基板1を準備し、下地基板1の凹凸表面上に液相法によりIII族窒化物結晶2を成長させる工程を含むIII族窒化物結晶基板の製造方法。ここで、凹凸表面における表面粗さRP-Vは0.01μm〜50μmであることが好ましい。
【選択図】 図1
Description
山根久典、他2名,「フラックス法によるGaN単結晶の育成」,応用物理,社団法人応用物理学会,2002年,第71巻,第5号,p.548−552
図1を参照して、図1(a)に示すように、下地基板1としてサファイア基板上にIII族窒化物結晶層1aとなる100μmのGaN層をHVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy;ハイドライド気相成長法)法により成長させた。次に、図1(b)に示すように、III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を、80μmの砥粒が埋め込まれた砥石を用いて10分間研削を行ない、凹凸表面を形成した。レーザ干渉計を用いてIII族窒化物結晶層の凹凸表面の表面粗さRP-Vを測定したところ、50μmであった。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を粒径25μmの砥粒を用いて30分間研磨を行ない、凹凸表面を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは10μmであり、GaN基板の転位密度は1×107cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.4であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を大気圧(1013hPa)で流量10sccm(sccmは、標準状態(1013hPa、273℃)で1分間に1cm3の流量を示す単位である)のHClガスを用いて700℃で5分間気相エッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.3μmであり、GaN基板の転位密度は6×106cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.8であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を大気圧(1013hPa)で流量10sccmのHClガスを用いて700℃で10分間気相エッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと、および、III族窒化物結晶を成長させる際に、フラックスとしての金属Na(40モル%)および金属Ca(10モル%)、III族元素原料としての金属Ga(50モル%)を用いて形成した830℃のGa-Na−Ca融液に、窒素原料として4MPaのN2ガスを溶解させたこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.5μmであり、GaN基板の転位密度は6×106cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.7であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を分圧0.1PaのCl2ガスを用いて5分間気相プラズマエッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと、および、III族窒化物結晶を成長させる際に、フラックスとしての金属Na(40モル%)および金属Li(10モル%)、III族元素原料としての金属Ga(50モル%)を用いて形成した830℃のGa-Na−Li融液に、窒素原料として4MPaのN2ガスを溶解させたこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.02μmであり、GaN基板の転位密度は1×106cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.9であった。結果を表1にまとめた。
下地基板1としてGaN基板を用いたこと、下地基板1の表面を分圧0.1PaのBCl3ガスを用いて15分間気相プラズマエッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと、および、III族窒化物結晶を成長させる際に、フラックスとしての金属Na(60モル%)、III族元素原料としての金属Ga(40モル%)を用いて形成した750℃のGa-Na融液に、窒素原料として3MPaのNH3ガスを溶解させたこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.1μmであり、GaN基板の転位密度は6×106cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.7であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を1モル/リットルのKOH水溶液を用いて室温(25℃)で60分間液相エッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.03μmであり、GaN基板の転位密度は9×105cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は2.1であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を1モル/リットルのH3PO4水溶液を用いて200℃で10分間液相エッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.02μmであり、GaN基板の転位密度は1×107cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.4であった。結果を表1にまとめた。
III族窒化物結晶層1aであるGaN層の表面を1モル/リットルのH3PO4および1モル/リットルのH2SO4を含有する水溶液を用いて200℃で10分間液相エッチングを行ない、凹凸表面を形成したこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.04μmであり、GaN基板の転位密度は2×107cm-2であり、LEDの発光スペクトルピークの相対強度は1.4であった。結果を表1にまとめた。
下地基板1のIII族窒化物結晶層1aであるGaN層に凹凸面を形成しなかったこと以外は、実施例1と同様にしてIII族窒化物結晶基板としてのGaN基板とIII族窒化物半導体デバイスとしてのLEDを作製した。本実施例において、下地基板の凹凸表面の表面粗さRP-Vは0.003μmであり、GaN基板の転位密度は3×108cm-2であった。実施例1で述べたように、LEDの発光スペクトルピークの相対強度を1.0として、各実施例におけるLEDの発光スペクトルピークの相対強度を評価した。結果を表1にまとめた。
Claims (7)
- 凹凸表面が形成されたIII族窒化物結晶層を少なくとも有する下地基板を準備し、前記下地基板の前記凹凸表面上に液相法によりIII族窒化物結晶を成長させる工程を含むIII族窒化物結晶基板の製造方法。
- 前記凹凸表面における表面粗さRP-Vが0.01μm〜50μmである請求項1に記載のIII族窒化物結晶基板の製造方法。
- 前記下地基板の前記III族窒化物結晶層に、機械的加工により前記凹凸表面を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶基板の製造方法。
- 前記下地基板の前記III族窒化物結晶層に、気相エッチング法により前記凹凸平面を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶基板の製造方法。
- 前記下地基板の前記III族窒化物結晶層に、液相エッチング法により前記凹凸平面を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶基板の製造方法。
- 請求項1〜請求項5のいずれかに記載のIII族窒化物結晶基板の製造方法によって製造されたIII族窒化物結晶基板であって、転位密度が5×107cm-2以下であるIII族窒化物結晶基板。
- 請求項6に記載のIII族窒化物結晶基板上に、少なくとも1つのIII族窒化物結晶半導体層を形成したIII族窒化物半導体デバイス。
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