JP2006168339A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 ヘッド内に生じ得る圧力変動を抑制する。
【解決手段】 ヘッドは、流路ユニットを含むヘッド本体１ａ及びその上面に固定されたリザーバユニット７０を有する。リザーバユニット７０内にはインクを一時的に貯溜するインクリザーバが形成されている。インクタンク１０１内のインクは供給用ジョイント９１を介してリザーバユニット７０に供給され、インクリザーバ内に一時的に貯留された後流路ユニットに供給される。一方、排出バルブ６０を開放すると、リザーバユニット７０内のインクは排出用ジョイント９２を介して廃液タンク１０３に排出される。排出バルブ６０内には空気を保持可能な空気室が形成されており、廃液タンク１０３へのインク排出時及びその後においても空気室には空気が保持されている。
【選択図】 図１０

Description

本発明は、記録媒体にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッドに関する。

インクジェットヘッドは、用紙等の記録媒体に複数のノズルからインクを吐出して記録を行うものであり、プリンタやファクス等の記録装置に適用される。このようなヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）にヘッドを移動させつつ記録を行うシリアル式、及び、主走査方向に関して記録媒体より長いヘッドを固定した状態で副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行うライン式がある。

ライン式は、シリアル式のようにヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。しかしライン式のヘッドは上述のように主走査方向に長尺であり、長尺なヘッド下面全体に亘って配置された多数のノズルに一様にインクが供給されるよう、ヘッド内のインク流路の構成を工夫する必要がある。そこでヘッドを、下面にノズルが形成された流路ユニットと、流路ユニットの上面に固定されていると共に、外部のインク供給源から供給されたインクを一時的に貯溜するインクリザーバを含むリザーバ部材と、で構成するという技術が知られている（特許文献１参照）。この技術によると、比較的大きな容量を有するインクリザーバにインクを一時的に貯溜しておいて、当該インクリザーバから流路ユニットにインクを供給することで、長尺なヘッドでも円滑なインク供給を実現することができる。
特開２００４−１１４４２３号公報 （第１頁、図１）

しかしながら上記技術では、長尺なヘッドにおけるインク供給の円滑化を実現することはできるものの、ヘッド内の圧力変動に起因したインク吐出の不安定化の問題には対応できない。ヘッド内の圧力変動は、インク吐出に伴ってヘッド内のインク体積が減少したり、印刷データの切り替わりによってインク供給源からヘッドへのインク供給量が変化したりすることによって生じる。そしてこれにより、ヘッド内のインクが振動したり、ノズルに形成されていたメニスカスが破壊されたりして、インク吐出が不安定になる。特に印刷開始直後は、ヘッド内に過大な負圧が生じてノズル先端にあるインクがヘッド内に引き込まれ、メニスカスが破壊されやすい。メニスカスが破壊されると、最悪の場合にはインクが吐出されないこともある。

本発明の目的は、ヘッド内に生じ得る圧力変動を抑制することが可能なインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段および効果

上記目的を達成するため、本発明に係るインクジェットヘッドの第１の特徴は、圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路、及び、圧力室に連通する共通インク室を含む流路ユニットと、流路ユニットに固定されていると共に、共通インク室に連通し且つ流入口とダンパ連通口とを有するインクリザーバ、及び、インクリザーバに流入口を介して連通するインク供給流路を含むリザーバユニットと、インクリザーバにダンパ連通口を介して連通していると共に、空気を保持可能なダンパ部を有するダンパ流路と、を備え、インク供給流路は外部からのインクをインクリザーバに供給し、インクリザーバはインクを一時的に貯溜し且つ共通インク室に供給し、ダンパ流路はダンパ部においてインクと空気とを共存させていることである。

この構成によると、ダンパ部に保持されている空気によって振動エネルギーが吸収されるので、ヘッド内に生じ得る圧力変動を抑制して安定したインク吐出を実現することができる。

上記第１の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ流路が、インクリザーバからダンパ連通口を介して流れてきたインクを排出可能な排出口、及び、ダンパ連通口から排出口に向かうインクの流れに沿って延在した排出流路を有し、ダンパ部が、排出流路の外周に対応する位置に配置された退避口を介して排出流路に連通し且つ空気を保持可能に延在した空気室を有することが好ましい。

この構成によると、ダンパ部が空気を保持可能な空気室を有するので、例えばヘッド内に滞留している粉塵や気泡等の異物を除去する目的でヘッド内のインクを排出流路に排出しても、空気室内には空気が保持されたままである。つまり、上述のようなヘッド内の圧力変動抑制効果を常に発揮させることができる。

また、ダンパ流路が排出口を開閉する排出バルブを有することがより好ましい。

この構成によると、例えばヘッド内に滞留している粉塵や気泡等の異物を除去したい場合に、排出バルブで排出口を開放することで、ヘッド内のインクをダンパ流路に容易に排出することができる。

さらに、上記第１の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ流路の一部がリザーバユニット外に延在していることが好ましい。

この構成によると、ダンパ流路の容積を確保することができるので、ヘッド内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。

加えて、上記第１の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ流路を画定する流路壁に孔が形成されており、孔の開口が可撓性薄膜材からなるダンパ膜に覆われており、ダンパ膜がダンパ流路内のインクと大気との間に介在していることが好ましい。

この構成によると、ダンパ膜がヘッド内の圧力に応じて変形するため、ダンパ部及びダンパ膜によりヘッド内に生じ得る圧力変動をさらに効果的に抑制することができる。

本発明に係るインクジェットヘッドの第２の特徴は、圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路、及び、圧力室に連通する共通インク室を含む流路ユニットと、流路ユニットに固定されていると共に、共通インク室に連通し且つ流入口とダンパ連通口とを有するインクリザーバ、及び、インクリザーバに流入口を介して連通するインク供給流路を含むリザーバユニットと、インクリザーバにダンパ連通口を介して連通していると共に、その流路を画定する流路壁、大気に連通するように流路壁に形成された孔、及び、孔の開口を覆うように流路壁に取り付けられた可撓性薄膜材からなるダンパ膜、を有するダンパ流路と、を備え、インク供給流路は外部からのインクをインクリザーバに供給し、インクリザーバはインクを一時的に貯溜し且つ共通インク室に供給し、ダンパ膜がダンパ流路内のインクと大気との間に介在していることである。

この構成によると、ダンパ膜がヘッド内の圧力に応じて変形するので、上述した第１の特徴と同様、ヘッド内に生じ得る圧力変動を抑制して安定したインク吐出を実現することができる。

さらに上記第２の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ膜が、流路壁の内面側に取り付けられており、その周縁を流路壁の内面に固定された基端としてダンパ流路の内側に突出していることが好ましい。

この構成によると、ダンパ膜が流路壁の内面側に取り付けられているので、ダンパ流路のコンパクト化が実現される。また、ヘッド内の圧力変動に伴って変形してもダンパ膜はダンパ流路の内側に留まるので、薄膜材からなるダンパ膜の破損の問題が軽減される。

または上記第２の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ膜が、流路壁の外側面に取り付けられていることが好ましい。

この構成によると、ダンパ膜を容易に取り付けることができる。

また、ダンパ膜の大気側面の少なくとも一部と対向している規制部材をさらに備えていることがより好ましい。

この構成によると、ダンパ膜がダンパ流路の外側に向かって過剰に変形するのを規制部材が規制するため、薄膜材からなるダンパ膜の破損の問題が軽減される。

さらに上記第２の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ膜がリザーバユニット内に配置されていることが好ましい。

この構成によると、インクジェットヘッドのコンパクト化が実現される。また、ダンパ流路がインク供給流路の近くに配置されるため、ヘッド内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。

加えて上記第２の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、ダンパ流路の一部がリザーバユニット外に延在しており、ダンパ膜が、当該ダンパ流路の一部に配置されていることが好ましい。

これによると、ダンパ流路の容積を確保することができるので、ヘッド内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。

さらに上記第２の特徴を有するインクジェットヘッドにおいて、インクリザーバからダンパ連通口を介して流れてきたインクを排出可能な排出口、及び、排出口を開閉する排出バルブを有することが好ましい。

この構成によると、例えばヘッド内に滞留している粉塵や気泡等の異物を除去したい場合に、排出バルブで排出口を開放することで、ヘッド内のインクをダンパ流路に容易に排出することができる。

上記排出バルブが、排出口を封止可能な封止部材、及び、排出口が封止されるように封止部材を排出口に向かう方向に付勢する付勢部材を有することが好ましい。

これにより、上記排出バルブの構成の簡素化及び低コスト化が実現される。

本発明に係るインクジェットヘッドでは、リザーバユニットがインクリザーバを上流側領域と下流側領域とに分けるフィルタを有し、流入口及びダンパ連通口がインクリザーバの上流側領域に配置されていることが好ましい。

この構成によると、流入口を介してインクリザーバにインクを供給するときにダンパ連通口を介してダンパ流路にもインクを流すことができ、これによりフィルタより上流側にあるインクリザーバの上流側領域に滞留している異物をダンパ流路に排出してフィルタ効果の低減を防止することができる。

或いは、本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、リザーバユニットがインクリザーバを上流側領域と下流側領域とに分けるフィルタを有し、流入口がインクリザーバの上流側領域に配置され、ダンパ連通口がインクリザーバの下流側領域に配置されていることが好ましい。

この構成によると、ダンパ連通口がフィルタより下流側にあるインクリザーバの下流側領域に配置されているので、ダンパ部又はダンパ膜の効果がフィルタ近傍での比較的大きな流路抵抗に起因して低減することはない。したがって、ダンパ部又はダンパ膜は上述のようなヘッド内の圧力変動抑制効果を確実に発揮することができる。また、フィルタより下流側にあるインクリザーバの下流側領域に滞溜している異物をダンパ流路に排出することができるので、異物が流路ユニットに移動してインク吐出不良が生じるのを防止することができる。

また、インク供給流路が、外部に連通した供給口、及び、供給口を開閉する供給バルブを有することが好ましい。

この構成によると、供給バルブで供給口を閉鎖したままでダンパ流路に向けてインクを流すと、インク流れが円滑になる。したがって、ヘッド内のインクをダンパ流路に効率よく排出することができる。

さらにヘッド内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制するという観点から、ダンパ流路の一部が弾性体で形成されていることが好ましく、また、インクリザーバを画定する壁の一部に薄膜が形成されていることも好ましい。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッド１は、図１に示すように、主走査方向に長尺な形状であって、下から順に、ヘッド本体１ａ、リザーバユニット７０、及び、ヘッド本体１ａの駆動を制御する制御部８０を有する。これらヘッド１の構成要素について、上側から順に説明する。

先ず、制御部８０について図１及び図２を参照しつつ説明する。

制御部８０は、図２に示すように、メイン基板８２、メイン基板８２の両側に配置された２つのサブ基板８１、及び、各サブ基板８１におけるメイン基板８２に対向する側面に固定されたドライバＩＣ８３を有する。ドライバＩＣ８３は、ヘッド本体１ａに含まれるアクチュエータユニット２１を駆動するための信号を生成する。

メイン基板８２及びサブ基板８１は、図１に示すように共に主走査方向に長尺な矩形状の平面を有し、互いに平行に立設されている。図２に示すように、メイン基板８２はリザーバユニット７０上面に固定されており、サブ基板８１はリザーバユニット７０から上方に離隔しつつメイン基板８２の両側に等距離離隔配置されている。メイン基板８２及び各サブ基板８１は互いに電気的に接続されている。各ドライバＩＣ８３におけるメイン基板８２に対向する面にはヒートシンク８４が固定されている。

給電部材であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）５０がヘッド下部から上方に引き出されている。ＦＰＣ５０は一端においてアクチュエータユニット２１と接続され、他端においてサブ基板８１と接続されている。ＦＰＣ５０はヒートシンク８４を介してドライバＩＣ８３とも接続されている。つまりＦＰＣ５０は、サブ基板８１及びドライバＩＣ８３と電気的に接続されており、サブ基板８１から出力された信号をドライバＩＣ８３に伝達し、ドライバＩＣ８３から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１に供給する。

ヘッド１にはさらに、制御部８０を覆う上カバー５１及びヘッド下部を覆う下カバー５２が設けられており、これらカバー５１，５２によって印刷時に飛翔したインクが制御部８０等に付着するのが防止される。なお、図１では制御部８０が見えるよう上カバー５１を省略している。

ここで、上カバー５１及び下カバー５２について説明する。

上カバー５１は、図２に示すように、アーチ形状の天井を有し、制御部８０を覆っている。下カバー５２は、上下に開口された略四角筒状で、メイン基板８２の下部を覆っている。下カバー５２で覆われた空間内において、ＦＰＣ５０はストレスがかからないように弛緩している。下カバー５２の上部には側壁上端から内側に突出した上壁５２ｂが形成されており、この上壁５２ｂにおける側壁との接続部上に上カバー５１の下端が配置されている。下カバー５２及び上カバー５１は共にヘッド本体１ａと略同じ幅を有する。

下カバー５２の両側壁（図１には一方の側壁のみ示されている）の下端には、その長手方向に沿って２つずつ、下方に向けて突出する突出部５２ａが形成されている。突出部５２ａは、図２に示すように、後述するリザーバユニット７０の凹部５３内に収容されている。また突出部５２ａは、ＦＰＣ５０における凹部５３内に配置された部分を覆っている。突出部５２ａの先端は、製造誤差を吸収するための隙間を形成しつつ、ヘッド本体１ａに含まれる流路ユニット４と対向している。この隙間はシリコン樹脂等を充填することにより封鎖される。突出部５２ａを除く下カバー５２の側壁下端はリザーバユニット７０上面に配置されている。

図２に示すように、アクチュエータユニット２１に接続されたＦＰＣ５０の一端近傍は流路ユニット４の平面に沿って水平に延在している。そしてＦＰＣ５０はリザーバユニット７０の凹部５３内を通り、屈曲部を形成しつつ上方に引き出されている。

次に、図２、図３、及び、図４を参照しつつ、インクを一時的に貯溜し且つヘッド本体１ａの流路ユニット４に供給するリザーバユニット７０について説明する。なお、図２及び図３では流路ユニット４についての断面詳細を省略しており、図３では説明の都合上、鉛直方向の縮尺を拡大し、且つ、同一線に沿った断面では通常描かれないリザーバユニット７０内のインク流路をも適宜に示している。

リザーバユニット７０は、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に示すように、主走査方向（図１参照）に長尺な矩形状の平面を有する６つのプレート７１、７２、７３、７４、７５、７６から構成されている。

最上層の第１プレート７１は、図３に示すように、他のプレートより大きな厚みを有すると共に、他のプレートより若干長く、その長手方向両端が外側に突出している。図４（ａ）に示すように、第１プレート７１の長手方向一端及び他端近傍には、エッチング等により、円孔７１ａ、７１ｂがそれぞれ形成されている。これら円孔７１ａ、７１ｂは第１プレート７１の幅方向中央から一方及び他方の幅方向端に向けて偏心した位置にある。

上から二番目の第２プレート７２は、図４（ｂ）に示すように、第１プレート７１に形成された円孔７１ａに対応する部分から斜めに延在した細長部７２ａと第２プレート７２の略中央にて略平行四辺形に形成された上流側インクリザーバ７２ｂとを構成する貫通孔、及び、第１プレート７１に形成された円孔７１ｂに対応する部分から斜めに延在した細長孔７２ｃ、を有する。

上から三番目の第３プレート７３は、図４（ｃ）に示すように、第２プレート７２に形成された上流側インクリザーバ７２ｂに対応し且つこれより一回り小さな貫通孔７３ｂを有する。貫通孔７３ｂの周縁上部には段７３ａが形成されており、段７３ａ上にインク内の塵埃等を除去するフィルタ７３ｆが配置されている（図３参照）。フィルタ７３ｆは段７３ａに嵌合していると共に、段７３ａの高さと略同じ厚みを有してその上面が第３プレート７３上面と同じ平面上にある。また第３プレート７３には、図４（ｃ）に示すように、第２プレート７２に形成された細長孔７２ｃの円孔７１ｂに対応する一端とは反対側の
他端に対応する、円孔７３ｃが形成されている。

上から四番目にある第４プレート７４には、図４（ｄ）に示すように、プレス加工等により、下流側インクリザーバ７４ａを構成する貫通孔が形成されている。下流側インクリザーバ７４ａの平面形状は、主走査方向に沿って湾曲し且つ先細りになるよう延在していると共に、その中央に対して点対称である。下流側インクリザーバ７４ａは、詳細には、主走査方向に延在する主流路７４ｂ及び主流路７４ｂから分岐し且つ主流路７４ｂより流路幅の狭い分岐流路７４ｃを含む。分岐流路７４ｃは同方向に延在するもの同士が２つで一対となっている。そして異なる方向に延在する２対の分岐流路７４ｃが、主流路７４ｂの長手方向に沿って互いに離隔しつつ、主流路７４ｂの幅方向各端から延出している。４対の分岐流路７４ｃは千鳥状に配置されている。

上から五番目にある第５プレート７５は、図３に示すように、他のプレートに比べて非常に薄い。第５プレート７５には、図４（ｅ）に示すように、第４プレート７４に形成された下流側インクリザーバ７４ａにおける主流路７４ｂの長手方向両端及び各分岐流路７４ｃの先端部分に対応する位置に、エッチング等により、楕円孔７５ａが計１０個形成されている。楕円孔７５ａは、第５プレート７５の幅方向両端近傍において長手方向に沿って５つずつ、詳細には、幅方向一端では長手方向一端側（図４（ｅ）左側）から順に１つ、２つ、２つ、幅方向他端では長手方向他端側（図４（ｅ）右側）から順に１つ、２つ、２つと、後述の切欠き５３ｅを避けるように離隔しつつ、千鳥状に配置されている。これら楕円孔７５ａは、プレート中央に対して点対称である。

最下層の第６プレート７６は、図４（ｆ）に示すように、第５プレート７５に形成された楕円孔７５ａに対応する楕円孔７６ａ、及び、第４プレート７４に形成された主流路７４ｂに対応する貫通孔７６ｂを有する。第６プレート７６の下面は、ハーフエッチング等により、楕円孔７６ａの周縁部分（図中点線で囲んだ部分）のみが下方に突出するように形成されており、突出部分のみが流路ユニット４上面に固定され、突出部分以外は流路ユニット４から離隔している（図２参照）。

図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、各プレート７１〜７６の幅方向両端には、長手方向に沿って２つずつ計４つの矩形状の切欠き５３ａ、５３ｂ、５３ｃ、５３ｄ、５３ｅ、５３ｆが千鳥状に形成されている。プレート７１〜７６を互いに上下に位置合わせされることにより、これら切欠き５３ａ〜５３ｆによって、リザーバユニット７０を鉛直方向に貫く凹部５３（図２参照）が構成される。リザーバユニット７０の幅は、凹部５３を除き、流路ユニット４の幅と略同じである。

６つのプレート７１〜７６は、図３に示すように位置合わせしつつ積層され且つ互いに固定されている。

次いで、インクが供給されたときにおけるリザーバユニット７０内でのインクの流れについて説明する。

図３に示すように、第１プレート７１上面における各円孔７１ａ、７１ｂの形成位置に、供給用ジョイント９１及び排出用ジョイント９２が固定されている。これらジョイント９１、９２は共に、外径が一回り大きな基端９１ｂ、９２ｂを有する円筒形部材であって、それぞれ基端９１ｂ、９２ｂの下面における円筒形空間９１ａ、９２ａの開口が第１プレート７１の各円孔７１ａ、７１ｂの開口と一致するように第１プレート７１上面に配置されている。ここでは供給用ジョイント９１を介して供給されたインクのリザーバユニット７０内での流れ（図３中黒塗り矢印で示す）について説明し、排出用ジョイント９２を介して排出されるインクの流れ（図３中白抜き矢印で示す）については後述する。

図３中黒塗りの矢印で示すように、供給用ジョイント９１の円筒形空間９１ａを通って円孔７１ａに流入したインクは、細長部７２ａの一端に流入し、そこから水平方向に沿って移動して、上流側インクリザーバ７２ｂに流入する。そしてフィルタ７３ｆを通過し、下流側インクリザーバ７４ａの略中央に流入する。その後インクは、図４（ｄ）に矢印で示すように、主流路７４ｂの略中央からその長手方向両端に向かうと共に、各分岐流路７４ｃの先端に向かう。主流路７４ｂの長手方向両端及び各分岐流路７４ｃの先端に至ったインクは、楕円孔７５ａ、７６ａを介して流路ユニット４上面に開口した受容口５ｂ（図５参照）に流入する。

ここで、上流側インクリザーバ７２ｂ及び下流側インクリザーバ７４ａにはインクが一時的に貯溜される。また、第１プレート７１下面の円孔７１ａによる開口が上流側インクリザーバ７２ｂの"流入口"を構成し、円孔７１ａが"インク供給流路"を構成している。

次に、図２、図５、図６、図７、図８、図９を参照しつつ、ヘッド本体１ａについて説明する。なお、図６では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２を実線で描いている。

ヘッド本体１ａは、図２及び図５に示すように、流路ユニット４、及び、流路ユニット４上面に固定された４つのアクチュエータユニット２１を含む。アクチュエータユニット２１は、流路ユニット４に形成された圧力室１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。

先ず、流路ユニット４について説明する。

流路ユニット４は、図２に示すようにリザーバユニット７０と略同じ幅で、図３に示すように主走査方向に関する長さがリザーバユニット７０より若干短い、略直方体状の外形を有する。流路ユニット４の下面には、図５及び図６に示すように多数のノズル８がマトリクス状に配置されたインク吐出領域が形成されている。圧力室１０も各インク吐出領域においてノズル８と同様マトリクス状に多数配列されている。

流路ユニット４は、図７に示すように、上から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９、及び、ノズルプレート３０、という９枚の金属プレートから構成されている。これらプレート２２〜３０は、リザーバユニット７０を構成するプレート７１〜７６と同様、主走査方向（図１参照）に長尺な矩形状の平面を有する。

キャビティプレート２２には、受容口５ｂ（図５参照）に対応する貫通孔、及び、圧力室１０に対応する略菱形の貫通孔が多数形成されている。ベースプレート２３には、各圧力室１０について圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０とノズル８との連絡孔が形成されていると共に、受容口５ｂとマニホールド流路５との連絡孔が形成されている。アパーチャプレート２４には、各圧力室１０についてアパーチャ１２に対応する貫通孔及び圧力室１０とノズル８との連絡孔が形成されていると共に、受容口５ｂとマニホールド流路５との連絡孔が形成されている。サプライプレート２５には、各圧力室１０についてアパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び圧力室１０とノズル８との連絡孔が形成されていると共に、受容口５ｂとマニホールド流路５との連絡孔が形成されている。マニホールドプレート２６、２７、２８には、各圧力室１０について圧力室１０とノズル８との連絡孔、及び、積層時に互いに連結してマニホールド流路５及び副マニホールド流路５ａを構成する貫通孔が形成されている。カバープレート２９には、各圧力室１０について圧力室１０とノズル８との連絡孔が形成されている。ノズルプレート３０には、各圧力室１０についてノズル８に対応する孔が形成されている。

９枚のプレート２２〜３０は、図７に示すような個別インク流路３２が流路ユニット４内に形成されるように位置合わせしつつ積層され且つ互いに固定されている。

図５に示すように、流路ユニット４の上面におけるリザーバユニット７０の楕円孔７５ａ、７６ａ（図４（ｅ）、（ｆ）参照）に対応する位置には、計１０個の受容口５ｂが開口している。流路ユニット４の内部には、受容口５ｂに連通するマニホールド流路５及びマニホールド流路５から分岐した副マニホールド流路５ａが形成されており、各ノズル８に対してマニホールド流路５から副マニホールド流路５ａ、そして圧力室１０を経てノズル８に至る、図７に示すような個別インク流路３２が形成されている。リザーバユニット７０から受容口５ｂを介して流路ユニット４内に供給されたインクは、マニホールド流路５から副マニホールド流路５ａに分岐され、絞りとして機能するアパーチャ１２及び圧力室１０を介してノズル８に至る。

次いで、アクチュエータユニット２１について説明する。

４つのアクチュエータユニット２１は、図５に示すように、それぞれ台形の平面形状を有しており、流路ユニット４上面に開口した受容口５ｂを避けるよう千鳥状に配置されている。上述したインク吐出領域は、アクチュエータ２１の接着領域に対応する流路ユニット４下面の領域に対応する。各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット４の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット４の幅方向に関して互いにオーバーラップしている。４つのアクチュエータユニット２１はまた、流路ユニット４の幅方向の中心から互いに相反する側に等距離離隔するような相対位置関係を有する。

図２に示すように、アクチュエータユニット２１は流路ユニット４上面におけるリザーバユニット７０下面と離隔しつつ対向する部分に固定されている。アクチュエータユニット２１は、リザーバユニット７０に接触していない。

アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる厚み略１５μｍの４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４から構成されている（図９（ａ）参照）。圧電シート４１〜４４は、互いに固定された状態で１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されている。

最上層の圧電シート４１上における圧力室１０に対応する位置には、個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間にはシート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に例えばＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。圧電シート４２、４３の間及び圧電シート４３、４４の間には電極が配置されていない。

個別電極３５は略１μｍの厚みを有し、図９（ｂ）に示すように圧力室１０と相似な略菱形の平面形状を有する。略菱形の個別電極３５における鋭角部の一方は延出され、その先端には個別電極３５と電気的に接続された略１６０μｍの径を有する円形のランド３６が設けられている。ランド３６は、例えばガラスフリットを含む金からなる。ランド３６は、図９（ａ）に示すように、個別電極３５の延出部上であって、圧電シート４１〜４４の厚み方向に関してキャビティプレート２２における圧力室１０を画定する壁に対向する位置、即ち圧力室１０に重ならない位置に接着され、ＦＰＣ５０（図２参照）に設けられた接点と電気的に接合されている。

共通電極３４は図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は全ての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。一方、個別電極３５は、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるよう、個別電極３５ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ５０及びランド３６を介してドライバＩＣ８３に接続されている（図２参照）。

なお、圧電シート４１〜４４が上述のように多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができる。

ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。

圧電シート４１はその厚み方向に分極されており、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電シート４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。即ち、圧電シート４１はその厚み方向に伸長又は収縮し、圧電横効果により平面方向に収縮又は伸長しようとする。一方、残り３枚の圧電シート４２〜４４は、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であって、自発的に変形することができない。

つまりアクチュエータユニット２１は、圧力室１０から離れた上側１枚の圧電シート４１を活性部を含む層とし且つ圧力室１０に近い下側３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプである。図９（ａ）に示すように、圧電シート４１〜４４は圧力室１０を区画するキャビティプレート２２の上面に固定されているため、圧電シート４１における電界印加部分とその下方の圧電シート４２〜４４との間で分極方向への歪みに差が生じると、圧電シート４１〜４４全体が圧力室１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１０の容積が低下することによって、圧力室１０内の圧力が上昇し、圧力室１０からノズル８へとインクが押し出され、ノズル８からインクが吐出される。

その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の平坦な形状になって、圧力室１０の容積が元の容積に戻る。これに伴い、マニホールド流路５から圧力室１０へとインクが導入され、再び圧力室１０内にインクが貯溜される。

次に、図１０を参照しつつ、供給用ジョイント９１を介したリザーバユニット７０へのインク供給、及び、排出用ジョイント９を介したリザーバユニット７０からのインク排出について説明する。

先ず、リザーバユニット７０へのインク供給について述べる。

供給用ジョイント９１には、一端がポンプ１２１を介してインクタンク１０１と接続されたチューブ１１０の他端が接続されている。インクタンク１０１からのインクは、図１０中黒塗りの矢印で示すように、チューブ１１０を通り、供給用ジョイント９１を介してリザーバユニット７０に供給される。このようなインク供給は、通常の印刷動作時に行われる。

次いで、リザーバユニット７０からのインク排出について述べる。

排出用ジョイント９２には、一端に排出バルブ６０が接続されたチューブ１１１の他端が接続されている。排出バルブ６０のチューブ１１１が接続された側とは反対側にはプランジャ６５が配置されており、プランジャ６５の上下動によってリザーバユニット７０からのインク排出が許可又は禁止される。プランジャ６５が後述の排出許可位置に配置されているとき、図１０中白抜きの矢印で示すように、リザーバユニット７０内のインクは排出用ジョイント９２を介してチューブ１１１を通り、排出バルブ６０及びプランジャ６５内の流路を通って、廃液タンク１０３に排出される。

このようなインク排出は、いわゆる逆パージ時に行われる。逆パージとは、ノズル８からインク又は洗浄用インクを加圧注入して通常の印刷動作時のインク流路とは逆方向の流路に沿って移動させた後ヘッド１から排出させることをいい、これによりヘッド１内部の洗浄（即ち、ヘッド１内部に滞留している粉塵や気泡等の異物の除去）を行うことができる。

本実施形態では、ヘッド本体１ａ下部（詳細には流路ユニット４のノズル８が形成された下面全体）をキャップ２００で覆い、図１０中一点鎖線の矢印で示すように、洗浄用インクタンク１０２内の洗浄用インクをポンプ１２２及び分岐弁１２３を介してキャップ２００からヘッド本体１ａの流路ユニット４内に加圧注入する。

流路ユニット４内に注入された洗浄用インクは、図７に示す個別インク流路３２の矢印と逆方向に沿って移動する。即ち、ノズル８から圧力室１０、アパーチャ１２、副マニホールド流路５ａ、そして図５に示すようにマニホールド流路５から受容口５ｂへと移動する。洗浄用インクはさらに、受容口５ｂを介してリザーバユニット７０内に流入する。リザーバユニット７０内に流入した洗浄用インクは、図３に示すように、楕円孔７６ａ、７５ａを介して下流側インクリザーバ７４ａに至り、その後図中白抜きの矢印で示すように、円孔７３ｃ、細長孔７２ｃ、円孔７１ｂ内の空間を通って排出用ジョイント９２から排出される。このとき流路ユニット４及びリザーバユニット７０内に存在していたインクは洗浄用インクに押されるようにして洗浄用インクと共に排出される。このようにしてリザーバユニット７０から排出されたインク及び洗浄用インクは、上述と同様図１０中白抜きの矢印で示すような経路を通って廃液タンク１０３に排出される。

ここで、第３プレート７３下面の円孔７３ｃによる開口が下流側インクリザーバ７４ａの"ダンパ連通口"を構成し、円孔７３ｃ、細長孔７２ｃ、円孔７１ｂ、排出用ジョイント９２、チューブ１１１、及び排出バルブ６０が"ダンパ流路"を構成している。

なお、図１０中二点鎖線の矢印は、パージ時のインクの流れを示している。パージとは、ノズル８内に存在する異物混じりのインクを強制的に排出させることをいい、これによりノズル８からのインク吐出を良好に維持することができる。パージには、ヘッド１内のインクを加圧することによる加圧パージ、及び、吸引力を利用する吸引パージ等がある。ノズル８から排出されたインクはキャップ２００に受容され、その後分岐弁１２３を介して廃液タンク１０３に排出される。なお、パージは例えばヘッド１を備えた記録装置の最初の使用の際にインクタンク１０１からヘッド１にインクを導入するとき、装置を長期間使用せずその後使用を再開するとき等に行われる。

続いて、図１１を参照しつつ、排出バルブ６０及びプランジャ６５の構成について説明する。

排出バルブ６０は、図１１（ａ）に示すように、バルブ本体６１、及び、バルブ本体６１の下部に嵌合した蓋６２を含む。

バルブ本体６１は、中央に円孔を有する円形平面の上壁６１ａ、上壁６１ａから下方に延出した円筒状の外周壁６１ｂ及び内周壁６１ｃ、及び、上壁６１ａの円孔周縁から上方に延出した円筒状の延出部６１ｄを有する。そして延出部６１ｄ及び内周壁６１ｃ内に略円柱形の流路６０ｘを形成している。内周壁６１ｃはその下端に向けて先細りになっているため、流路６０ｘ断面は内周壁６１ｃの下端に向けて大きくなっている。蓋６２は、流路６０ｘの延在方向に沿って貫通した貫通孔６２ａを有する。

外周壁６１ｂと内周壁６１ｃとの間には、環状の空気室６０ｙが形成されている。空気室６０ｙは流路６０ｘの延在方向と同一方向に沿って延在しており、その上端は上壁６１ａによって閉鎖され、その下端は内周壁６１ｃの下端と蓋６２の上面との間に形成された退避口６０ｚを介して流路６０ｘに連通している。

蓋６２の上面における貫通孔６２ａの周縁には、Ｏリング６８を配置するための凹部が形成されている。Ｏリング６８上にはボール弁６４が配置されており、さらにボール弁６４の上にはバネ６３が配置されている。バネ６３は、バルブ本体６１の流路６０ｘ内にあって、延出部６１ｄと略同じ円筒状外径を有するよう巻回され、ボール弁６４を下方に付勢している。図１１（ａ）では、ボール弁６４によって流路６０ｘ下端（即ち、ダンパ流路における、下流側インクリザーバ７４ａからダンパ連通口（円孔７３ｃによる開口）を介して流れてきたインクを排出可能な"排出口"）が封止されている。

プランジャ６５は、図１１（ｂ）に示すように、プランジャ本体６６、及び、プランジャ本体６６の上部に挿入されたパイプ６７を含む。

プランジャ本体６６は、中央に円孔を有する端壁６６ａ、及び、端壁６６ａから下方に延出した管６６ｂを有する。そして端壁６６ａ及び管６６ｂ内に略円柱形の流路６５ｘを形成している。パイプ６７は端壁６６ａ中央の円孔内に嵌合されており、端壁６６ａの上面におけるパイプ６７の外周にＯリング６８が配置されている。パイプ６７の上端には、切欠き６７ａが２つ対向するように形成されている（図１１（ｂ）には１つのみ示す）。

次いで、図１２を参照しつつ、プランジャ６５による排出バルブ６０の開閉動作について説明する。図１２は、図１１（ｂ）のプランジャ６５が図１１の排出バルブ６０の下部に挿入された状態を示す縦断面図であって、（ａ）はプランジャ６５が排出禁止位置にある状態、（ｂ）はプランジャ６５が排出許可位置にある状態を示す。

図１２（ａ）に示すように、プランジャ６５が排出禁止位置にあるとき、プランジャ６５のパイプ６７の上端は、排出バルブ６０の蓋６２の貫通孔６２ａ内に挿入されており、ボール弁６４にはまだ当接していない。このとき、排出バルブ６０内の流路６０ｘの下端（即ち、ダンパ流路の排出口）はバネ６３により下方に付勢されたボール弁６４によって封止されているので、上述のような逆パージを行うことはできない。

逆パージを行う場合、後に詳述する電磁弁１３０を含む機構（図１３参照）によってプランジャ６５を上方に移動させ、図１２（ｂ）に示すような排出許可位置に配置する。この移動過程において、プランジャ６５のパイプ６７の上端は、ボール弁６４に当接し、バネ６３の付勢力に反してボール弁６４を上方に移動させる。そして、端壁６６ａがＯリング６８を介して排出バルブ６０の蓋６２と当接する位置にてプランジャ６５を停止させる。

図１２（ｂ）に示すように、プランジャ６５が排出許可位置にあるとき、排出バルブ６０内の流路６０ｘは、パイプ６７上端に形成された切欠き６７ａを介して、プランジャ６５内の流路６５ｘに連通している。これにより、上述のような逆パージを行うことが可能となる。

また、流路６０ｘ、６５ｘ内にインクが流れているときでも空気室６０ｙにはインクが侵入しない。つまり、逆パージを行っても空気室６０ｙ内には空気が保持されたままである。これは、空気室６０ｙが、流路６０ｘにおける逆パージ時のインク流の下流側端部にある退避口６０ｚから流路６０ｘの上流側に向かって延在しているからである。

ここで、図１３を参照しつつ、プランジャ６５を上下動させる機構について説明する。図１３（ａ）は図１２（ａ）、図１３（ｂ）は図１２（ｂ）にそれぞれ対応する状態を示す。

本実施形態のヘッド１を備えた記録装置には、バルブ支持部１３９及び電磁弁１３０が上面に固定された基台１４０が設けられている。排出バルブ６０はバルブ支持部１３９によって定位置にて支持されている。電磁弁１３０は、一端に軸１３１が固定されたスライド可動部１３０ａを有する。

基台１４０の側面には、一端１３２ｃにおいてプランジャ６５を支持するＬ字アーム１３２が支持されている。Ｌ字アーム１３２はその屈曲部より一端側に切欠き１３２ｂ、他端に切欠き１３２ａを有する。切欠き１３２ｂ内に軸１３３が配置されており、Ｌ字アーム１３２は基台１４０に軸１３３を中心として揺動可能に支持されている。一方、他端の切欠き１３２ａ内には電磁弁１３０の軸１３１が配置されている。

したがって、電磁弁１３０のスライド可動部１３０ａを左右にスライドすると、軸１３１の移動に伴ってＬ字アーム１３２の他端も移動する。これにより、Ｌ字アーム１３２は軸１３３を中心として揺動し、Ｌ字アーム１３２の一端に支持されたプランジャ６５が上下に移動する。

具体的には、図１３（ａ）ではプランジャ６５は上述のような排出禁止位置にあり、ここでスライド可動部１３０ａを電磁弁１３０の内部に向かって矢印方向にスライドしてＬ字アーム１３２を図中時計回りに揺動させることにより、図１３（ｂ）に示す状態、即ちプランジャ６５が上述のような排出許可位置にある状態にすることができる。

以上に述べたように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１によると、インク吐出に伴ってヘッド１内のインク体積が減少したり印刷データの切り替わりによってインクタンク１０１からヘッド１へのインク供給量が変化したりしても、排出バルブ６０内に保持されている空気によって振動エネルギーが吸収されるので、ヘッド１内に生じ得る圧力変動を抑制することができる。そしてこれにより、ヘッド１内のインクの振動やノズル８のメニスカスの破壊が防止され、安定したインク吐出を実現することができる。

ダンパ流路は円孔７３ｃ、細長孔７２ｃ、円孔７１ｂ、排出用ジョイント９２、チューブ１１１、及び排出バルブ６０によって構成されており、一部がリザーバユニット７０外に延在している。これにより、ダンパ流路の容積を確保することができるので、ヘッド１内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。

しかも、リザーバユニット７０において下流側インクリザーバ７４ａを画定する壁の一部である第５プレート７５が、非常に薄く、ヘッド１内の圧力に応じて変形可能である。これにより、ヘッド１内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。特に本実施形態では、図４（ｅ）、（ｆ）に示すように、第５プレート７５の下側の第６プレート７６に下流側インクリザーバ７４ａの主流路７４ｂに対応する貫通孔７６ｂが形成されているので、第５プレート７５は容易に上下に変形可能である。

またヘッド１内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制するという観点から、例えばチューブ１１１等、ダンパ流路の一部を弾性体で形成することが好ましい。

また、排出バルブ６０を設けたことにより、例えばヘッド１内に滞留している粉塵や気泡等の異物を除去したい場合に、排出バルブ６０で流路６０ｘ下端を開放することで、ヘッド１内のインクをダンパ流路に容易に排出することができる。

排出バルブ６０が流路６０ｘ下端を封止可能なボール弁６４及び流路６０ｘ下端が封止されるようにボール弁６４を下方に付勢するバネ６３を有する構成であるので、排出バルブ６０の構成の簡素化及び低コスト化が実現される。

また、排出バルブ６０が空気を保持可能な空気室６０ｙを有することにより、上述のようにヘッド１内に滞留している粉塵や気泡等の異物を除去する目的で、ヘッド１内のインクを排出バルブ６０の流路６０ｘを介して廃液タンク１０３に排出しても（即ち、上述のような逆パージを行っても）、空気室６０ｙ内には空気が保持されたままである。つまり、上述のようなヘッド１内の圧力変動抑制効果を常に発揮させることができる。

なお、図１０に示すチューブ１１０における供給用ジョイント９１とポンプ１２１との間に供給バルブを設けるのが好ましい。供給バルブ内の外部に連通した"供給口"を閉鎖したままでダンパ流路に向けてインクを流すと、インク流れが円滑になる。したがって、ヘッド１内のインクをダンパ流路に効率よく排出することができる。

また、リザーバユニット７０が、インクリザーバを上流側領域７２ｂと下流側領域７４ａとに分けるフィルタ７３ｆを有していると共に、流入口（第１プレート７１下面の円孔７１ａによる開口）が上流側インクリザーバ７２ｂに配置されており、ダンパ連通口（円孔７３ｃによる開口）が下流側インクリザーバ７４ａに配置されている。ダンパ連通口がフィルタ７３ｆより下流側にある下流側インクリザーバ７４ａに配置されているので、排出バルブ６０内に保持された空気による上記効果がフィルタ７３ｆ近傍での比較的大きな流路抵抗に起因して低減することはない。したがって、排出バルブ６０内の空気は上述のようなヘッド１内の圧力変動抑制効果を確実に発揮することができる。また、フィルタ７３ｆより下流側にある下流側インクリザーバ７４ａに滞溜している異物を排出することができるので、異物が流路ユニット４に移動してインク吐出不良が生じるのを防止することができる。

次に、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態に係るインクジェットヘッドは、図１０に示す排出用のチューブ１１１に図１４に示すダンパ流路管１６０を取り付ける点においてのみ異なり、その他については第１の実施形態と同様である。したがって、以下、ダンパ流路管１６０の構成についてのみ述べる。なおこの場合、プランジャ６５は省略され、排出バルブ６０は空気室６０ｙを有さなくてもよい。

ダンパ流路管１６０は、図１４（ａ）に示すように、管本体１６１、及び、管本体１６１に取り付けられた可撓性薄膜材からなるダンパ膜１６２を含む。

管本体１６１は、中央に円孔を有する円形平面の上壁１６１ａ及び下壁１６１ｃ、その上端及び下端においてそれぞれ上壁１６１ａ及び下壁１６１ｃの外周縁と連結した円筒状の周壁１６１ｂ、上壁１６１ａの円孔周縁から上方に延出した円筒状の上方延出部１６１ｄ、及び、下壁１６１ｃの円孔周縁から下方に延出した円筒状の下方延出部１６１ｅを有する。周壁１６１ｂには略円形の孔１６１ｚが形成されており、孔１６１ｚを介してダンパ流路管１６０内の流路１６０ｘと大気とが連通している。

ダンパ膜１６２は、孔１６１ｚの開口を覆うように周壁１６１ｂの内面に取り付けられており、流路１６０内のインクと大気との間に介在している。詳細には、ダンパ膜１６２は、孔１６１ｚより一回り大きな円形平面を有し、その周縁の基端１６２ａのみが孔１６１ｚの開口周縁に固定されている。

ダンパ膜１６２は、上述のような逆パージ時には、図１４（ａ）に示すように基端１６２ａ以外の部分が流路１６０ｘの内側に突出し、この場合は２つの凸部を形成している。このとき流路１６０ｘ内はインクで満たされており、ヘッド１内に過大な負圧は生じていない。一方、ヘッド１内に負圧が生じると、ダンパ膜１６２における流路１６０ｘの内側に突出した部分はさらに内側に引っ張られ、図１４（ｂ）に示すように、１つの凸部を形成するように変形する。

以上に述べたように、本実施形態に係るインクジェットヘッドによると、インク吐出に伴ってヘッド内のインク体積が減少したり印刷データの切り替わりによってインクタンクからヘッドへのインク供給量が変化したりしても、ダンパ膜１６２がヘッド１内の圧力に応じて変形するので、上述した第１の実施形態と同様の、ヘッド１内に生じ得る圧力変動を抑制して安定したインク吐出を実現することができるという効果を得ることができる。

しかも、ダンパ膜１６２が周壁１６１ｂの外面ではなく内面に取り付けられているので、ダンパ流路管１６０のコンパクト化が実現される。

また、ヘッド１内の圧力変動に伴って変形してもダンパ膜１６２は流路１６０ｘ内に留まるので、薄膜材からなるダンパ膜１６２の破損の問題が軽減される。

次に、図１５及び図１６を参照しつつ、本発明の第３の実施形態について説明する。本実施形態に係るインクジェットヘッドは、リザーバユニット１７０の構成のみが第１の実施形態と異なり、その他については第１の実施形態と同様である。したがって、以下、リザーバユニット１７０の構成についてのみ述べる。なおこの場合、プランジャ６５は省略され、排出バルブ６０は空気室６０ｙを有さなくてもよい。また、図１５では説明の都合上、鉛直方向の縮尺を拡大し、且つ、同一線に沿った断面では通常描かれないリザーバユニット１７０内のインク流路をも適宜に示している。

リザーバユニット１７０はインクを一時的に貯溜し且つヘッド本体１ａの流路ユニット４に供給するものである。リザーバユニット１７０は、図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）、（ｈ）に示すように、主走査方向（図１参照）に長尺な矩形状の平面を有する７つのプレート１７１、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８と、１枚のダンパシート１７２とから構成された積層体である。

最上層の第１プレート１７１は、図１５及び図１６（ａ）に示すように、第１プレート１７１の長手方向一端及び他端近傍に、円孔１７１ａ、１７１ｂがそれぞれ形成されている。これら円孔１７１ａ、１７１ｂは、第１プレート１７１の幅方向中央から一方及び他方の幅方向端に向けて偏心した位置にある。また、第１プレート１７１の下方面（ダンパシート１７２側の面）には、第１プレート１７１の長手方向に延在した楕円穴１７１ｃが形成されている。楕円穴１７１ｃは、第１プレート１７１における長手方向中心と円孔１７１ｂとの間に位置している。さらに、楕円穴１７１ｃの底部中央に、円孔１７１ｄが形成されている。つまり、第１プレート１７１の下方面側から楕円穴１７１ｃが凹状に形成され、この楕円穴１７１ｃの底部と第１プレート１７１の上方面とを貫通するように円孔１７１ｄが形成されている。

上から二番目のダンパシート１７２は、可撓性薄膜材からなるものであり、図１５及び図１６（ｂ）に示すように、第１プレート１７１に形成された円孔１７１ａ、１７１ｂに対応する円孔１７２ａ、１７２ｂが形成されている。なお、可撓性薄膜材としては、インク中の圧力変動に対応して容易に撓むものであれば金属製、樹脂製等その材質を限定しない。本実施の形態では、もともとガスバリア性の良いＰＥＴ(ポリエチレンテレフタレート)樹脂にさらにガスバリア膜を付与した樹脂製複合膜を用いている。これにより、可撓性薄膜材を介しての空気や水蒸気の透過が極めて抑制され、インク中の圧力変動に対する良好なダンパとしても機能する。

上から三番目の第３プレート１７３は、図１５及び図１６（ｃ）に示すように、第１プレート１７１に形成された円孔１７１ａ、１７１ｂに対応する円孔１７３ａ、１７３ｂと、第１プレート１７１に形成された楕円穴１７１ｃに対応する楕円孔１７３ｃとがそれぞれ貫通して形成されている。

上から四番目の第４プレート１７４は、図１５及び図１６（ｄ）に示すように、第１プレート１７１に形成された円孔１７１ａ、１７１ｂに対応する領域から、それぞれ第４プレート１７４の短手方向の中央に向かって斜めに延在した凹状の細長部１７４ａ、１７４ｂが形成されている。また、第４プレート１７４の上方面（第３プレート１７３側の面）には、細長部１７４ａと連通しつつ第４プレート１７４の中央まで延在した楕円穴１７４ｃと、細長部１７４ｂと連通しつつ第４プレート１７４の中央まで延在した楕円穴１７４ｆとが形成されている。このうち、楕円穴１７４ｆは凹状に形成され、第３プレート１７３の楕円孔１７３ｃとほぼ同じ外形形状とサイズを有して第３プレート１７３側に開口している。また、第４プレート１７４の中央付近にはダンパ連通口１７４ｈが形成されている。楕円穴１７４ｃと楕円穴１７４ｆとが、このダンパ連通口１７４ｈを介して互いに連通している。一方、楕円穴１７４ｃの底部中央には、楕円穴１７４ｃより一回り小さい楕円穴１７４ｄが形成されている。さらに、楕円穴１７４ｄの底部中央に、楕円穴１７４ｄよりさらに一回り小さい貫通孔１７４ｅが形成されている。貫通孔１７４ｅの周縁上端と連なる段差にインク内の塵埃等を除去するフィルタ１７４ｇが配置されている。ここで、細長部１７４ａと、楕円穴１７４ｃと、楕円穴１７４ｄとが上流側インクリザーバ１８１ａを形成している。また、楕円穴１７４ｆと、細長部１７４ｂとがダンパ室１８２を形成している。

上から五番目にある第５プレート１７５は、図１５及び図１６（ｅ）に示すように、その中央に円孔１７５ａが形成されている。なお、第５プレート１７５は、第４プレート１７４の貫通孔１７４ｅに円孔１７５ａが連通するように下から積層されている。また、円孔１７５ａは、貫通孔１７４ｅの第４プレート１７４中央側鋭角部と対向している。

上から六番目にある第６プレート１７６は、図１５及び図１６（ｆ）に示すように、貫通孔１７６ａが形成されている。貫通孔１７６ａの平面形状は、主走査方向に沿って湾曲し且つ先細りになるよう延在していると共に、その中央に対して点対称である。貫通孔１７６ａは、詳細には、主走査方向に延在する主流路１７６ｂ及び主流路１７６ｂから分岐し且つ主流路１７６ｂより流路幅の狭い分岐流路１７６ｃを含む。分岐流路１７６ｃは同方向に延在するもの同士が２つで一対となっている。そして異なる方向に延在する２対の分岐流路１７６ｃが、主流路１７６ｂの長手方向に沿って互いに離隔しつつ、主流路１７６ｂの幅方向各端から延出している。４対の分岐流路１７６ｃは千鳥状に配置されている。そして、第４プレート１７４の貫通孔１７４ｅと、第５プレート１７５の円孔１７５ａと、貫通孔１７６ａとで下流側インクリザーバ１８１ｂを形成している。

上から七番目にある第７プレート１７７は、図１５及び図１６（ｇ）に示すように、他のプレートに比べて非常に薄い。第７プレート１７７には、第６プレート１７６に形成された主流路１７６ｂの長手方向両端及び各分岐流路１７６ｃの先端部分に対応する位置に、計１０個の楕円孔１７７ａが貫通して形成されている。楕円孔１７７ａは、第７プレート１７７の幅方向両端近傍において長手方向に沿って５つずつ、詳細には、幅方向一端では長手方向一端側（図１６（ｇ）左側）から順に１つ、２つ、２つ、幅方向他端では長手方向他端側（図１６（ｇ）右側）から順に１つ、２つ、２つと、後述の切欠き５３ｌを避けるように離隔しつつ、千鳥状に配置されている。これら楕円孔１７７ａは、プレート中央に対して点対称である。

最下層の第８プレート１７８は、図１５及び図１６（ｈ）に示すように、第７プレート１７７に形成された楕円孔１７７ａに対応する楕円孔１７８ａ、及び、第６プレート１７６に形成された主流路１７６ｂに対応する貫通孔１７８ｂが形成されている。このうち、貫通孔１７８ｂは、主流路１７６ｂとほぼ同じ外形形状とサイズを有している。各プレートの積層時には、第７プレート１７７の一部がこの貫通孔１７８ｂから露出することになる。第８プレート１７８の下面においては、楕円孔１７８ａの周縁部分（図中点線で囲んだ部分）が下方に突出するように形成されており、この突出部分のみが流路ユニット４上面に固定され、突出部分以外は流路ユニット４から離隔している（図２参照）。

これら７つのプレート１７１、１７３〜１７８及び１枚のダンパシート１７２は、図１５に示すように位置合わせしつつ積層され且つ互いに固定されている。また、図１６（ａ）〜（ｈ）に示すように、各プレート１７１、１７３〜１７８の幅方向両端には、長手方向に沿って２つずつ計４つの矩形状の切欠き５３ｇ〜５３ｍが千鳥状に形成されている。プレート１７１、１７３〜１７８及びダンパシート１７２が互いに上下に位置合わせされることにより、これら切欠き５３ｇ〜５３ｍによって、リザーバユニット１７０を鉛直方向に貫く凹部５３（図２参照）が構成される。リザーバユニット１７０の幅は、凹部５３を除き、流路ユニット４の幅と略同じである。

次いで、インクが供給されたときにおけるリザーバユニット１７０内でのインクの流れについて説明する。

図１５に示すように、第１プレート１７１上面における各円孔１７１ａ、１７１ｂの形成位置に、供給用ジョイント９１及び排出用ジョイント９２が固定されている。これらジョイント９１、９２は共に、外径が一回り大きな基端９１ｂ、９２ｂを有する円筒形部材であって、それぞれ基端９１ｂ、９２ｂの下面における円筒形空間９１ａ、９２ａの開口が第１プレート１７１の各円孔１７１ａ、１７１ｂの開口と一致するように第１プレート１７１上面に配置されている。ここでは供給用ジョイント９１を介して供給されたインクのリザーバユニット１７０内での流れ（図１５中黒塗り矢印で示す）について説明する。

図１５中黒塗りの矢印で示すように、供給用ジョイント９１の円筒形空間９１ａを通って円孔１７１ａに流入したインクは、円孔１７２ａ及び円孔１７３ａを介して上流側インクリザーバ１８１ａに流入する。上流側インクリザーバ１８１ａに流入したインクは、ダンパ連通口１７４ｈを介してダンパ室１８２に流入すると共に、フィルタ７３ｆを通過し、下流側インクリザーバ１８１ｂに流入する。下流側インクリザーバ１８１ｂにおいては、流入したインクが第５プレート１７５の円孔１７５ａにより第６プレート１７６の主流路１７６ｂの略中央に落とし込まれる。その後インクは、図１６（ｆ）の矢印で示すように、主流路１７６ｂの略中央からその長手方向両端に向かうと共に、各分岐流路１７６ｃの先端に向かう。主流路１７６ｂの長手方向両端及び各分岐流路１７６ｃの先端に至ったインクは、楕円孔１７７ａ、１７８ａを介して流路ユニット４上面に開口した受容口５ｂ（図５参照）に流入する。なお、インクの初期導入時には、ダンパ室１８２に流入したインクを排出用ジョイント９２から外部に排出することで、上流側インクリザーバ１８１ａやダンパ室１８２に存在する気泡を容易に排出することができる。つまり、フィルタ１７４ｇより上流側の空間内を残留する気泡のない状態にインクで満たすことができる。

このように、上流側インクリザーバ１８１ａ及び下流側インクリザーバ１８１ｂにはインクが一時的に貯溜されることになる。また、第３プレート１７３下面における円孔１７３ａの開口が上流側インクリザーバ１８１ａの"流入口"を構成し、円孔１７１ａ、１７２ａ、１７３ａが"インク供給流路"を構成している。

次いで、第１の実施の形態で述べた逆パージ時において、排出用ジョイント９２を介して排出されるインクの流れ（図１５中白抜き矢印で示す）について説明する。

逆パージ時においては、洗浄用インクが受容口５ｂを介してリザーバユニット１７０内に流入する。リザーバユニット１７０内に流入した洗浄用インクは、楕円孔１７８ａ、１７７ａを介して下流側インクリザーバ１８１ｂに至り、フィルタ１７４ｇを通過して上流側インクリザーバ１８１ａに流れ込む。上流側インクリザーバ１８１ａに流れ込んだ洗浄用インクは、図中白抜きの矢印で示すように、ダンパ室１８２及び円孔１７３ｂ、１７２ｂ、１７１ｂを通って排出用ジョイント９２から排出される。このとき流路ユニット４及びリザーバユニット１７０内に存在していたインクは洗浄用インクに押されるようにして洗浄用インクと共に排出される。このとき、フィルタ１７４ｇに捕獲されていた異物も排出されるので、流路の清浄化と共にフィルタ性能が回復される。

ここで、ダンパ室１８２と、円孔１７３ｂ、１７２ｂ、１７１ｂと、排出用ジョイント９２と、チューブ１１１と、排出バルブ６０とが"ダンパ流路"を構成している。そして、図１５に示すように、第３プレート１７３は、リザーバユニット１７０内において"ダンパ流路"の一部であるダンパ室１８２を画定する流路壁となっており、その流路壁には楕円孔１７３ｃが形成されていることになる。この流路壁の外側面にダンパシート１７２が取り付けられることにより、楕円孔１７３ｃの開口がダンパシート１７２により覆われている。また、ダンパシート１７２の楕円孔１７３ｃの開口を覆っている領域と第１プレート１７１の楕円穴１７１ｃとが対向している。このため、ダンパシート１７２が楕円穴１７１ｃ側に変位可能となっていると共に、楕円穴１７１ｃの底部がダンパシート１７２の楕円穴１７１ｃ側への過剰な変位を規制する。つまり第１プレート１７１がダンパシート１７２の変位を規制するための規制部材となっている。また、ダンパシート１７２と楕円穴１７１ｃとで画定された空間は円孔１７１ｄにより大気と連通している。つまり、ダンパシート１７２がダンパ室１８２内のインクと大気との間に介在している。なお、規制部材は、ダンパシート１７２の変位を規制するばかりではなく、ダンパシート１７２の破損に繋がるような外力の直接的印加を防いでいる。これにより、インクジェットヘッド１の取扱を容易にし、その長寿命化にも寄与している。

以上に述べたように、本実施形態に係るインクジェットヘッドによると、インク吐出に伴ってヘッド内のインク体積が減少したり印刷データの切り替わりによってインクタンクからヘッドへのインク供給量が変化したりしても、ダンパシート１７２がヘッド１内の圧力に応じて変形するので、上述した第１の実施形態と同様の、ヘッド１内に生じ得る圧力変動を抑制して安定したインク吐出を実現することができるという効果を得ることができる。

さらに、排出バルブ６０の空気室６０ｙに保持されている空気によって振動エネルギーが吸収されるため、ヘッド１内に生じ得る圧力変動をさらに効果的に抑制することができる。本実施の形態では、上述のように、下流側インクリザーバ１８１ｂの主流路１７６ｂが、他のプレートに比べて非常に薄い第７プレート１７７を介して大気と対向している。この第７プレート１７７の薄さや貫通孔１７８ｂ（第８プレート１７８）からの露出面積にもよるが、少なくとも下流側インクリザーバ１８１ｂ内のインクに生じた圧力変動を減衰するダンパの働きをする。つまり、流路ユニット４より上流側に存在するインクに生じる圧力変動を、ダンパ室１８２のダンバーシート１７２、排出バルブ６０の空気室６０ｙ及び第７シー卜１７７の貫通孔１７８ｂ（第８シート１７８）に露出した部分が分担して抑制する構成となっている。これにより、流路ユニット４側への圧力変動の伝搬を、インクの吐出特性に影響しない程度にまで確実に抑制することができる。なお、これら圧力変動を抑制する構成要素は、必ずしも全て備えている必要はなく、何れか１つあるいはその組み合わせであっても良い。

また、ダンパシート１７２が"ダンパ流路"の流路壁の外側面に取り付けられているため、ダンパシート１７２の取り付けが容易である。

さらに、第１プレート１７１がダンパシート１７２の過剰な変位を規制するため、変位時におけるダンパシート１７２の破損の問題が軽減される。

加えて、ダンパシート１７２がリザーバユニット１７０内に配置されているため、ヘッド１のコンパクト化が実現される。また、"ダンパ流路"が"インク供給流路"の近くに配置されるため、ヘッド１内に生じ得る圧力変動をより効果的に抑制することができる。

また、"流入口"及びダンパ連通口１７４ｈが上流側インクリザーバ１８１ａに配置されているため、"流入口"を介して上流側インクリザーバ１８１ａにインクを供給するときにダンパ連通口１７４ｈを介して"ダンパ流路"にもインクを流すことができ、これによりフィルタ１７４ｇの上流側インクリザーバ１８１ａ側に滞留している異物を"ダンパ流路"に排出してフィルタ効果の低減を防止することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

上述の実施形態では下流側インクリザーバ７４ａ、１８１ｂを画定する壁の一部である第５プレート７５、第７プレート１７７が非常に薄く、ヘッド１内の圧力に応じて変形可能であるが、このような薄膜がインクリザーバを画定する壁の一部に形成されていなくてもよい。

また、インクリザーバを上流側領域と下流側領域とに分けるフィルタ７３ｆ、１７４ｇを設けなくてもよい。

第１の実施形態における排出バルブ６０内の空気室６０ｙは、空気を保持可能である限り、様々な構成であってよい。また、ダンパ流路（上述の実施形態では円孔７３ｃ、細長孔７２ｃ、円孔７１ｂ、排出用ジョイント９２、及びチューブ１１１）の一部に空気を保持可能な部分を設ければ、空気室６０ｙを省略してもよい。

排出バルブ６０は、上述のようにボール弁６４及びバネ６３を有する構成に限定されず様々な構成であってよく、また省略してもよい。

第２の実施形態におけるダンパ流路管１６０において、ダンパ膜１６２は周壁１６１ｂの内面に固定されているが、外面に固定されてもよい。また、ダンパ流路の一部、例えばチューブ１１１に孔を形成し、当該孔の開口を覆う位置にダンパ膜１６２を取り付けてもよい。

さらに、第２の実施形態におけるダンパ流路１６０において、ダンパ膜１６２を保護しつつダンパ効果を向上させるという観点から、周壁１６１ｂに形成される孔１６１ｚを複数としてもよい。一般に、ダンパ膜１６２のサイズを大きくすることでダンパ効果を向上させることが可能であるが、孔１６１ｚが１つしかない場合は、孔１６１ｚが塞がってしまったときに所望のダンパ効果の向上が望めなくなる。また、孔１６１ｚの開口サイズを大きくしてダンパ膜１６２のサイズを大きくすると、薄膜材からなるダンパ膜１６２は損傷を受けやすくなってしまう。そこでこれらの問題を回避するため、上記のように周壁１６１ｂに形成される孔１６１ｚを複数とすることが望ましい。これは、ダンパ流路管１６０の構造的強度の低下を防ぐという点からも好適である。

第３の実施形態における第１プレート１７１が、ダンパシート１７２の変位を規制するための規制部材となっているが、第１プレート１７１がダンパシート１７２の変位を規制しない構成となっていてよい。この場合でも、ダンパシート１７２の破損に繋がるような外力の直接的印加を防ぐように規制部材を構成するか、この外力からダンパシート１７２を隔離できるように工夫を施しておくことが好適である。この観点から言えば、リザーバユニット１７０の上面側に装着される上カバー５１や下カバー５２は、その一端を担っていると言える。

また、第３の実施形態における"ダンパ流路"の流路壁の外側面にダンパシート１７２が取り付けられているが、流路壁の内側面にダンパシートが取り付けられてもよい。さらに、第３の実施形態におけるフィルタ１７４ｇが配置される段差は、楕円穴１７４ｄの底部からこのフィルタ１７４ｇの厚さに相当する深さで形成されていてもよい。これにより、フィルタ１７４ｇ上でインクが滞留することが無くなるので、異物や残留気泡が速やかに排出されることになる。また、このとき外部に排出されることになるインク量も少なくて済む。またさらに、上述の実施形態における貫通孔７６ｂ（第６プレート７６）や貫通孔１７８ｂ（第８プレート１７８）は、各プレート７６、１７８を貫通するように形成されていなくてもよい。つまり、それぞれ底部を有する凹部として形成されていてもよい。これにより、他のプレートに比べて非常に薄い第５プレート７５や第７プレート１７７が外気から隔離されることになる。それぞれに期待されるダンパ効果が多少阻害される可能性はあるが、各貫通孔７６ｂ、１７８ｂを介するインクの付着により、アクチュエータユニット２１が電気的に短絡するような故障を未然に防ぐことができる。

本発明に係るインクジェットヘッドは、ライン式及びシリアル式のいずれのインクジェットプリンタにも適用可能であり、またプリンタに限定されず、インクジェット式のファクシミリやコピー機にも適用可能である。

本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 図１に示すリザーバユニット及びヘッド本体の主走査方向に沿った断面図である。 図３に示すリザーバユニットの分解平面図である。 図１に示すヘッド本体の平面図である。 図５の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った部分断面図である。 図１に示すヘッド本体の部分分解斜視図である。 （ａ）は図７に示すアクチュエータユニットの拡大断面図であり、（ｂ）は（ａ）においてアクチュエータユニットの表面に配置された個別電極を示す平面図である。 図３に示すリザーバユニットへのインク供給及びリザーバユニットからのインク排出に係る構成を示す概略図である。 （ａ）は図１０に示す排出バルブ、（ｂ）は図１０に示すプランジャの縦断面図である。 図１１（ｂ）のプランジャが図１１（ａ）の排出バルブの下部に挿入された状態を示す縦断面図であって、（ａ）はプランジャが排出禁止位置にある状態、（ｂ）はプランジャが排出許可位置にある状態を示す。 図１１（ｂ）のプランジャを上下動させる機構を示す概略図であって、（ａ）は図１２（ａ）、（ｂ）は図１２（ｂ）に対応する状態を示す。 本発明の第２の実施形態において、図１０に示す排出用のチューブに取り付けられるダンパ流路管を示す縦断面図である。 本発明の第３の実施形態において、リザーバユニット及びヘッド本体の主走査方向に沿った断面図である。 図１５に示すリザーバユニットの分解平面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
５ マニホールド流路（共通インク室）
５ａ 副マニホールド流路（共通インク室）
８ ノズル
１０ 圧力室
３２ 個別インク流路
６０ 排出バルブ（ダンパ部）
６０ｘ 流路（排出流路）
６０ｙ 空気室
６０ｚ 退避口
６５ プランジャ
７０ リザーバユニット
７２ｂ 上流側インクリザーバ（インクリザーバ）
７４ａ 下流側インクリザーバ（インクリザーバ）
１６２ ダンパ膜
１６１ｂ 周壁（流路壁）

Claims (18)

1. 圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路、及び、前記圧力室に連通する共通インク室を含む流路ユニットと、
   前記流路ユニットに固定されていると共に、前記共通インク室に連通し且つ流入口とダンパ連通口とを有するインクリザーバ、及び、前記インクリザーバに前記流入口を介して連通するインク供給流路を含むリザーバユニットと、
   前記インクリザーバに前記ダンパ連通口を介して連通していると共に、空気を保持可能なダンパ部を有するダンパ流路と、
   を備え、
   前記インク供給流路は外部からのインクを前記インクリザーバに供給し、
   前記インクリザーバはインクを一時的に貯溜し且つ前記共通インク室に供給し、
   前記ダンパ流路は前記ダンパ部においてインクと空気とを共存させていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記ダンパ流路が、前記インクリザーバから前記ダンパ連通口を介して流れてきたインクを排出可能な排出口、及び、前記ダンパ連通口から前記排出口に向かうインクの流れに沿って延在した排出流路を有し、
   前記ダンパ部が、前記排出流路の外周に対応する位置に配置された退避口を介して前記排出流路に連通し且つ空気を保持可能に延在した空気室を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記ダンパ流路が前記排出口を開閉する排出バルブを有することを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記ダンパ流路の一部が前記リザーバユニット外に延在していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記ダンパ流路を画定する流路壁に孔が形成されており、
   前記孔の開口が可撓性薄膜材からなるダンパ膜に覆われており、
   前記ダンパ膜が前記ダンパ流路内のインクと大気との間に介在していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
6. 圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路、及び、前記圧力室に連通する共通インク室を含む流路ユニットと、
   前記流路ユニットに固定されていると共に、前記共通インク室に連通し且つ流入口とダンパ連通口とを有するインクリザーバ、及び、前記インクリザーバに前記流入口を介して連通するインク供給流路を含むリザーバユニットと、
   前記インクリザーバに前記ダンパ連通口を介して連通していると共に、その流路を画定する流路壁、大気に連通するように前記流路壁に形成された孔、及び、前記孔の開口を覆う可撓性薄膜材からなるダンパ膜、を有するダンパ流路と、
   を備え、
   前記インク供給流路は外部からのインクを前記インクリザーバに供給し、
   前記インクリザーバはインクを一時的に貯溜し且つ前記共通インク室に供給し、
   前記ダンパ膜が前記ダンパ流路内のインクと大気との間に介在していることを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 前記ダンパ膜が、前記流路壁の内側面に取り付けられており、その周縁を前記内面に固定された基端として前記ダンパ流路の内側に突出していることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ダンパ膜が、前記流路壁の外側面に取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記ダンパ膜の大気側面の少なくとも一部と対向している規制部材をさらに備えていることを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記ダンパ膜が前記リザーバユニット内に配置されていることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記ダンパ流路の一部が前記リザーバユニット外に延在しており、
    前記ダンパ膜が、当該ダンパ流路の一部に配置されていることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
12. 前記ダンパ流路が、前記インクリザーバから前記ダンパ連通口を介して流れてきたインクを排出可能な排出口、及び、前記排出口を開閉する排出バルブを有することを特徴とする請求項６〜１１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
13. 前記排出バルブが、前記排出口を封止可能な封止部材、及び、前記排出口が封止されるように前記封止部材を前記排出口に向かう方向に付勢する付勢部材を有することを特徴とする請求項３又は１２に記載のインクジェットヘッド。
14. 前記リザーバユニットが前記インクリザーバを上流側領域と下流側領域とに分けるフィルタを有し、
    前記流入口及び前記ダンパ連通口が前記インクリザーバの上流側領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
15. 前記リザーバユニットが前記インクリザーバを上流側領域と下流側領域とに分けるフィルタを有し、
    前記流入口が前記インクリザーバの上流側領域に配置され、前記ダンパ連通口が前記インクリザーバの下流側領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
16. 前記インク供給流路が、外部に連通した供給口、及び、前記供給口を開閉する供給バルブを有することを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
17. 前記ダンパ流路の一部が弾性体で形成されていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
18. 前記インクリザーバを画定する壁の一部に薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
    
    

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