JP2004019933A - 弁装置 - Google Patents

Abstract

【課題】構造が簡略化され、弁装置の設計の自由度が得られる弁装置を提供すること。
【解決手段】圧力ダンパ１５内の流路形成部材３１には、第１のインク流路３５、インク室３３、小孔３４、第２のインク流路３２等が形成されている。流路形成部材３１外には電磁石４８が配置されている。インク室３３内には、磁性体からなる開閉部材３７、弁部材３８が設けられている。開閉部材３７は大径部４１と小径部３９とからなり、先端部分には凹部４２が形成され、凹部４２にはコイルばね４３が嵌挿されている。電磁石４８を励磁させると、開閉部材３７が電磁石４８により吸引されて傾動し、開閉部材３７と弁部材３８が離間して流路は開状態となり、コイルばね４３は撓曲される。電磁石４８が励磁されないときは、開閉部材３７はコイルばね４３の付勢力により非磁化位置に戻り、コイルばね４３の押圧力により開閉部材３７は弁部材３８に当接して流路が閉状態となる。
【選択図】　　　図３

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流路を開閉制御する弁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流体が移動する流路の開閉制御を行う弁装置として、電磁石を利用したものが知られている。その一例として、特開平９−８９１４６号公報に開示された弁装置がある。この弁装置には、中心孔を有した環状の鉄心にソレノイドコイルを巻回した電磁石が設けられ、その中心孔には、下端に弁体を有し磁性体からなる弁棒が上下動可能に嵌挿されている。弁棒の上には、弁棒の下端面を加圧する流体の圧力を弁棒の上端面に作用させるための補助部材が設けられている。この補助部材は下面に開口部を有し、鉄心の中心孔と連通されており、その側面には流路に流入する流体を受容するための入気孔が形成されている。弁棒の下には弁座が配置されており、電磁石の下面と弁体の間には、スプリングが介在している。この弁装置では、電磁石に通電させないときは弁体が弁座を圧接して流路を閉状態としている。電磁石に通電させると、弁棒は上方へ磁気吸引され、弁体が弁座から離反して流路が開状態となる。そして電磁石への通電をやめると弁棒への吸引力が無くなりスプリングが伸長して弁体を弁座に圧接する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の弁装置では、弁棒の上方に鉄心の中心孔と連通させた補助部材を設け、この補助部材の下に、弁棒を中心孔に有する鉄心に励磁コイルを巻回させた電磁石を設けて装置を構成しなければならない。また、この電磁石の下に流路を形成する必要がある。このため、装置の構造が複雑化するという問題があった。
【０００４】
また、弁座を圧接する弁棒の周囲に電磁石を配置しなければならず、弁装置の設計の自由度が制限されるおそれがあった。また、弁棒は中心孔の中で上下動可能な形状でなければならず、下端に弁体を設ける必要があるため、弁棒の設計にも制限があった。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、弁装置の設計の自由度が得られる弁装置を提供することにある。また、本発明の別の目的は、装置の構造を簡略化することができる弁装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、弁装置において、流体が移動する流路内に配置され磁性体からなる開閉部材と、前記開閉部材の少なくとも一側面を磁力により吸引して所定の非磁化位置から磁化位置へと移動させる磁石と、前記流路内に配置され前記開閉部材を前記非磁化位置にて付勢又は押圧する弾性体と、前記開閉部材を前記非磁化位置と前記磁化位置との間で移動させることにより流路の開閉を行うことを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の弁装置において、前記流路は流路形成部材によって形成されるとともに、前記磁石は前記流路形成部材外に配置されることを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の弁装置において、前記開閉部材は少なくとも前記一側面に傾斜面を設けたことを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の弁装置において、前記開閉部材は端部に弾性体を嵌挿する凹部を設けたことを要旨とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の弁装置において、前記開閉部材は大径部と小径部とを有することを要旨とする。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の弁装置において、前記流路内の少なくとも磁石が配置される側に前記開閉部材の動作の支点となる段差部を設けたことを要旨とする。
【００１０】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の弁装置において、前記弾性体はコイルばねであることを要旨とする。
請求項８に記載の発明は、請求項２〜７のいずれかに記載の弁装置において、前記流路形成部材の外周に前記流路を封止するフィルム材を設けるとともに、前記フィルム材は磁石が開閉部材を吸引する位置において、前記磁石と前記開閉部材との間に介在するように配置したことを要旨とする。
【００１１】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の弁装置において、前記フィルム材は前記流路形成部材と熱溶着されていることを要旨とする。
請求項１０に記載の発明は、請求項８又は９に記載の弁装置において、前記フィルム材は耐ガスバリア性の高い材質によって構成されていることを要旨とする。
【００１２】
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれかに記載の弁装置において、前記弁装置の上流側にフィルタを配置したことを要旨とする。
請求項１２に記載の発明は、請求項１〜１１のいずれかに記載の弁装置において、前記流路内に配置され、前記開閉部材に当接されることにより前記流路を閉状態とする弁部材を設けるとともに、前記弁部材は弾性体により構成されていることを要旨とする。
【００１３】
請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載の弁装置において、前記開閉部材を前記弁部材に形成された凸部に当接させることにより、前記流路が閉状態とされることを要旨とする。
【００１４】
請求項１４に記載の発明は、請求項１〜１３のいずれかに記載の弁装置において、前記磁石は所定の吸引位置にて吸引する電磁石であることを要旨とする。
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載の弁装置において、前記電磁石に通電したときに前記流路を開状態とし、前記電磁石に通電しないときに前記流路を閉状態とするようにしたことを要旨とする。
【００１５】
請求項１６に記載の発明は、請求項１〜１３のいずれかに記載の弁装置において、前記磁石は所定の吸引位置にて吸引する永久磁石から構成されるとともに、前記永久磁石を前記吸引位置から離間させる又は前記吸引位置に接近させる磁石位置移動手段を設けたことを要旨とする。
【００１６】
請求項１７に記載の発明は、請求項１６に記載の弁装置において、前記磁石位置移動手段はソレノイドからなることを要旨とする。
請求項１８に記載の発明は、請求項１７に記載の弁装置において、前記ソレノイドに通電したときに前記流路を開状態とし、前記ソレノイドに通電しないときに前記流路を閉状態とするようにしたことを要旨とする。
【００１７】
請求項１９に記載の発明は、請求項１７に記載の弁装置において、前記ソレノイドに通電したときに前記流路を閉状態とし、前記ソレノイドに通電しないときに前記流路を開状態とするようにしたことを要旨とする。
【００１８】
請求項２０に記載の発明は、請求項１６〜１９のいずれかに記載の弁装置において、前記磁石位置移動手段が前記永久磁石を前記吸引位置に接近させたときに前記流路を開状態とし、前記永久磁石を前記吸引位置から離間させたときに前記流路を閉状態とするようにしたことを要旨とする。
【００１９】
請求項２１に記載の発明は、請求項１６〜２０のいずれかに記載の弁装置において、前記磁石位置移動手段により前記永久磁石が移動する方向は、前記開閉部材が動作する方向と略同方向であることを要旨とする。
【００２０】
請求項２２に記載の発明は、請求項１６〜２０のいずれかに記載の弁装置において、前記磁石位置移動手段により前記永久磁石が移動する方向は、前記開閉部材が動作する方向と略直交方向であることを要旨とする。
【００２１】
請求項２３に記載の発明は、請求項１〜２２のいずれかに記載の弁装置において、前記弁装置は液体噴射装置に使用されることを要旨とする。
請求項２４に記載の発明は、請求項２３に記載の弁装置において、前記弁装置は液体噴射装置の液体噴射ヘッドのフィルタの上流側に配置されることを要旨とする。
【００２２】
請求項２５に記載の発明は、請求項２３又は２４に記載の弁装置において、前記弁装置は、液体噴射装置のチョーククリーニング又は選択クリーニングに使用されることを要旨とする。
【００２３】
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、磁性体からなる開閉部材の少なくとも一側面を磁石により吸引して、開閉部材を非磁化位置と磁化位置との間で移動させることにより流路の開閉が行われる。このため、磁石により流路の開閉を行う弁装置を得ることができる。また、開閉部材を非磁化位置にて付勢又は押圧する弾性体を設けているため、開閉部材自体を弾性体で構成する必要がなくなる。また、磁石により開閉部材の少なくとも一側面を所定の吸引位置において吸引するため、開閉部材の外周に環状の電磁石を配置する等の必要がなくなる。従って、構造が簡略化した弁装置が得ることが可能となる。また、磁石の位置が制限されないため、設計の自由度を高めることができる。
【００２４】
請求項２に記載の発明によれば、磁石は流路形成部材外に配置したため、磁石の流体に対する耐性を考慮する必要がない。従って、磁石の材質が限定されず、設計の自由度を高めることができる。
【００２５】
請求項３に記載の発明によれば、開閉部材の少なくとも一側面に傾斜面が設けられている。このため開閉部材が磁石により吸引されたときに、傾斜面の形状に合わせて形成された当接箇所に傾斜面が容易に当接することが可能となり、開閉部材が吸引位置に当接した状態を安定に保つことができる。
【００２６】
請求項４に記載の発明によれば、開閉部材の端部に弾性体を嵌挿する凹部を設けた。従って、凹部の深さや径を調節して弾性体の形状に合わせることが可能となるため、任意の弾性体を選定することができる。また、この凹部に弾性体を嵌挿することにより、弾性体の付勢力及び押圧力の作用点を弾性体の中心部分に設定することが可能となるため、開閉部材をより効果的に付勢及び押圧することができる。
【００２７】
請求項５に記載の発明によれば、開閉部材は大径部と小径部とを有する。このため、磁石により吸引される一側面を大径部に設けることが可能となり、比較的大きな吸引力を得ることができる。
【００２８】
請求項６に記載の発明によれば、流路内の少なくとも磁石が配置される側に開閉部材の支点となる段差部を設けた。このため、開閉部材が磁石により吸引されるときに、段差部に開閉部材の大径部の一端が当接し、この段差部の一端を支点として動作することが可能となり、開閉部材の動作を安定させることができる。また、開閉部材が所定の吸引位置以外の位置に移動することを防止することができる。
【００２９】
請求項７に記載の発明によれば、弾性体はコイルばねであるため、比較的安価であり簡易な構成で開閉部材を非磁化位置に付勢及び押圧することができる。
請求項８に記載の発明によれば、磁石と開閉部材の間にフィルム材を介在させて流路を封止するようにしたため、磁石と開閉部材の間の距離を短くすることができ、磁石の磁力を小さくしても大きな吸引力を得ることができる。また、流路内に開閉部材等を配置した後に、フィルムにより流路を封止することができるため、簡易な構成により流路を封止することができる。
【００３０】
請求項９に記載の発明によれば、フィルム材は流路形成部材と熱溶着されているため、簡易な構成により流路を封止することができる。
請求項１０に記載の発明によれば、フィルム材は耐ガスバリア性の高い材質で構成されているため、フィルム材を介して流路に気体が透過することを防止することができる。
【００３１】
請求項１１に記載の発明によれば、弁装置の上流側にフィルタが配置されているため、流路への異物の混入を防止できる。
請求項１２に記載の発明によれば、開閉部材と当接して流路を閉状態とする弁部材は弾性体により構成されているため、開閉部材の押圧により弾性変形することができ、流路の閉状態におけるシール性を向上させることができる。また、流路のシール性を高めるために、開閉部材自体を弾性体から構成する必要がなくなる。
【００３２】
請求項１３に記載の発明によれば、開閉部材を弁部材の凸部に当接させて流路を閉状態とする。このため、流路の閉状態において流路をより密閉状態とすることができる。
【００３３】
請求項１４に記載の発明によれば、磁石は電磁石で構成されるため、電磁石への通電又は非通電によって磁力の発生の制御と磁力の大きさの制御が可能となる。このため、電磁石への通電または非通電によって、流路の開閉のいずれかを行うことができる。また開閉部材への吸引力が任意となるため、任意の開閉部材を配置することが可能となり、設計の自由度を向上させることができる。
【００３４】
請求項１５に記載の発明によれば、電磁石に通電したときに流路は開状態とし、電磁石に通電しないときに流路は閉状態とするようにした。このため、この弁装置を備えた装置の全体が電源オフとなり、磁石移動手段に通電されていない状態で、装置が横転等してしまっても、弁部材が閉状態となっているので、流体が誤って外部に流出してしまうようなことが防止される。
【００３５】
請求項１６に記載の発明によれば、磁石は永久磁石から構成されるため、開閉部材を吸引する磁石への通電の必要がなくなる。また、この永久磁石を吸引位置から離間させる又は吸引位置に接近させる磁石位置移動手段を設けたため、流路の開閉の制御を行う手段を別途設けることができる。
【００３６】
請求項１７に記載の発明によれば、磁石移動手段はソレノイドから構成される。このため、任意の位置にソレノイドを配置して弁装置を構成することが可能となり、設計の自由度を向上させることができる。
【００３７】
請求項１８に記載の発明によれば、ソレノイドに通電したときに流路が開状
態とされ、通電しないときに流路が閉状態とされる。従って、この弁装置を備えた装置の全体が電源オフとなり、磁石移動手段に通電されていない状態で、装置が横転等してしまっても、弁部材が閉状態となっているので、流体が誤って外部に流出してしまうようなことが防止される。
【００３８】
請求項１９に記載の発明によれば、ソレノイドに通電したときに流路が閉状態とされ、通電しないときに流路が開状態とされる。従って、この弁装置をインクジェットプリンタのチョーククリーニング又は選択クリーニング等のように、弁部材を閉状態とする時間が開状態とする時間に比較して短いものに適用する場合に、磁石移動手段への通電の時間を短くすることができるので、エネルギー効率を高める弁装置を得ることができる。
【００３９】
請求項２０に記載の発明によれば、永久磁石を吸引位置に接近させたときに流路が開状態とされ、吸引位置から離間させたときに流路が閉状態とされる。このため、このような構成による弁装置において、請求項１６〜１９のいずれかに記載の発明の作用効果を得ることができる。
【００４０】
請求項２１に記載の発明によれば、磁石移動手段により永久磁石が移動する方向は開閉部材が動作する方向と略同方向とされる。このため、磁石移動手段を前記略同方向に配置すれば、開閉部材が動作する方向と略直交方向に弁装置が大型化することを防ぐことができる。
【００４１】
請求項２２に記載の発明によれば、磁石移動手段により永久磁石が移動する方向は開閉部材が動作する方向と略直交方向とされる。このため、磁石移動手段を前記直交方向に配置すれば、開閉部材が動作する方向と略同方向に弁装置が大型化することを防ぐことができる。
【００４２】
請求項２３に記載の発明によれば、弁装置は液体噴射装置に使用されるため、液体噴射装置において、請求項１〜２２のいずれかに記載の作用効果を得ることができる。
【００４３】
請求項２４に記載の発明によれば、弁装置は液体噴射装置の液体噴射ヘッドのフィルタの上流側に配置するようにした。このため、液体噴射ヘッドのフィルタ上に溜まった気泡を排出させるためのクリーニングの際に、この弁装置を効果的に利用することができる。
【００４４】
請求項２５に記載の発明によれば、弁装置は、液体噴射装置のチョーククリーニング又は選択クリーニングに使用される。このため、弁部材を閉じた状態で、液体噴射ヘッドのノズル側から吸引を行い、高負圧状態でバルブを開けるチョーククリーニング、又は複数のノズルのうち必要なもののみクリーニングを行う選択クリーニングの際に、この弁装置を効果的に利用することができる。
【００４５】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の弁装置をインクジェット式記録装置の圧力ダンパ１５に具体化した第１の実施形態を図１〜図３に従って説明する。
【００４６】
図１は、液体噴射装置としてのインクジェットプリンタ１１の概念図である。同図に示すように、インクジェットプリンタ１１は、インクカートリッジ１２のインクを、インク供給チューブ１３及びキャリッジ１４に設けられた圧力ダンパ１５を介して、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１６へ供給するものである。記録ヘッド１６は、インク滴を吐出するノズル開口を備えており、記録紙等の印刷媒体にインク滴を吐出することにより画像や文字等の印刷データの記録を行う。インクジェットプリンタ１１は、例えばＡ０判等の大判の記録紙に印刷可能なプリンタであって、インク消費量が多いために多量のインクを貯留しておく必要があるものである。従って、多量のインクを貯留したインクカートリッジ１２をキャリッジ１４上に搭載させると、キャリッジ１４が重くなり、キャリッジ駆動モータに過大な負荷がかかってしまうことになる。このため、インクジェットプリンタ１１では、インクカートリッジ１２をキャリッジ１４上に搭載させない構成となっている。
【００４７】
なお、近年、キャリッジ上にインクカートリッジを搭載しないプリンタとして、オフキャリッジにすることによってインクカートリッジのレイアウトに自由度を持たせた、小型化、薄型化されたプリンタが使用されるようになっている。従って本実施形態では、大判の記録紙に印刷を行うプリンタに具体化するようにしたが、小型化、薄型化されたこれらのプリンタに具体化するようにしてもよい。
【００４８】
インクカートリッジ１２は、インクジェットプリンタ１１の本体側に配置されたインクカートリッジホルダ１７内に収容されている。インクカートリッジ１２の内部には、インクパック１８が設けられており、インクパック１８内にはインクが充填されている。インクパック１８の一側には針装着部１９が形成されており、インクカートリッジホルダ１７に設けられた針２０が針装着部１９に装着するように構成されている。針２０はインク供給チューブ１３の一端と接続されており、圧力ダンパ１５に対してインクを供給可能となっている。インク供給チューブ１３は、例えばポリエチレン等の可撓性部材により形成されている。また、インク供給チューブ１３は、耐薬品性に優れたポリエチレン系樹脂等の可撓性部材による内装に、気密遮断性に優れた塩化ビニルや金属膜等を外装として覆った二重構造であってもよい。
【００４９】
キャリッジ１４は、記録紙の幅方向（主走査方向）と同方向に配置されたガイド部材（図示せず）に沿って、往復動可能に取り付けられている。キャリッジ１４の内部には、弁装置としての圧力ダンパ１５が取り付けられている。圧力ダンパ１５は、キャリッジ１４の往復動に伴うインク圧力の変動を抑制するものである。キャリッジ１４下面には記録ヘッド１６が設けられており、圧力ダンパ１５から記録ヘッド１６へインクが供給されるようにインク流路が形成されている。記録ヘッド１６は、図示しないフィルタ、インク供給管、圧電振動子、流路ユニット及びノズル開口等を備えている。記録ヘッド１６は、圧電振動子によって圧力室を膨張・収縮させることにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるものである。
【００５０】
図１において、記録ヘッド１６の下方には、キャップ２１が設けられている。キャップ２１は、有底状に形成されており、その上部開口が記録ヘッド１６をキャッピングするようになっている。キャップ２１は、インクジェットプリンタ１１の非印刷領域に配置されており、非印刷時に記録ヘッド１６のノズル開口を閉じることにより、インクの水分蒸発を防止するとともに、記録ヘッド１６のインクを吸引するクリーニング動作を行う。キャップ２１の底部は、吸引チューブ２２に連通されており、吸引チューブ２２の途中に配設された吸引ポンプ２３によって、記録ヘッド１６からキャップ２１側へインクを強制的に吸引するようになっている。吸引ポンプ２３により吸引されたインクは、廃液回収ボックス２４に回収される。廃液回収ボックス２４内には、複数層の廃液吸収剤２５が設けられており、回収されたインクを貯蔵する。
【００５１】
なお、図１では１色のインクについてのみの構成を示しているが、インクジェットプリンタ１１は、例えば、シアン、マゼンタ、イエロ、ブラック等の複数のインクに対応した構成となっている。従って、インクカートリッジ１２、インク供給チューブ１３、圧力ダンパ１５及び記録ヘッド１６等はインク数毎に設けられている。
【００５２】
次に、図２及び図３により、圧力ダンパ１５について説明する。
図２及び図３は、圧力ダンパ１５の説明図であって、図２は電磁石４８に通電しないときの圧力ダンパ１５の部分破断断面図、図３は電磁石４８に通電したときの圧力ダンパ１５の部分破断断面図である。
【００５３】
圧力ダンパ１５は、流路形成部材３１を有している。この流路形成部材３１は、例えばポリプロピレン又はポリエチレン等の樹脂製材料によって成型されている。流路形成部材３１にはインク流路が形成されている。このインク流路は、第１のインク流路３５、インク室３３、小孔３４、第２のインク流路３２等から構成されている。第１のインク流路３５は、その先端部がインク供給チューブ１３と接続されている。また、第１のインク流路３５の他端部は、小孔３４を介してインク室３３に連通されている。インク室３３は、上面に開口部を有し有底状に形成されており、その側面には小孔３４が形成されている。そして、インク室３３は、その底面において第２のインク流路３２に連通されている。そして、インクはインク供給チューブ１３から、第１のインク流路３５を通り、小孔３４を介してインク室３３へと流入し、第２のインク流路３２を通って、記録ヘッド１６へと供給される。
【００５４】
流路形成部材３１の上面には、フィルム材３６が設けられている。フィルム材３６は、複数の材質からなる層によって形成されており、例えばポリエチレン層、ガスバリア層及びナイロン層から形成されている。従って、フィルム材３６は、耐ガスバリア性の高い材質が使用されている。なお、フィルム材３６は、その厚さが例えば０．１ｍｍ程度に形成されており、磁気抵抗を極力小さくしている。また、フィルム材３６は、流路形成部材３１に対して熱溶着されており、流路形成部材３１に設けられたインク室３３を封止している。特にフィルム材３６は、インク室３３を収縮させる方向と膨張させる方向とに変形可能であり、フィルム材３６の弾性変形によるコンプライアンスによって、インク室３３内におけるインクの圧力変動が吸収される。
【００５５】
インク流路を構成するインク室３３内には、開閉部材３７及び弁部材３８等が設けられている。開閉部材３７は磁性体からなり、小径部３９と大径部４１とから構成される。小径部３９は同じ径で形成され、小孔３４側の面には、流路が閉状態のときに弁部材３８に圧接される平面状の圧接面４０が設けられている。大径部４１はテーパ状に形成されて開閉部材３７の先端に向かって先細りとなっており、その外周に吸引位置４４と当接する平面状の傾斜面４５が設けられている。（吸引位置４４とは、磁石が磁性体を吸引する所定の位置である。）大径部４１の先端には凹部４２が形成されており、開閉部材３７の先端において開口している。凹部４２には弾性体としてのコイルばね４３が嵌挿されており、コイルばね４３の一端は開閉部材３７に固定され、他端は流路形成部材３１に設けられたばね受け台座４６に固定されている。ばね受け台座４６には、中央部にばね受け孔５９が形成されており、本実施形態では、ばね受け孔５９の底面は流路形成部材３１によって閉塞されている。流路が閉状態となるときには、コイルばね４３は開閉部材３７を押圧し、圧接面４０が弁部材３８に圧接されている。流路が開状態となるときには、開閉部材３７は傾斜している状態であるため、コイルばね４３は撓曲している。
【００５６】
次に弁部材３８について説明する。インク室３３内には、弁部材３８が小孔３４の上端に設けられている。この弁部材３８は弾性体により形成されている。弾性体としては、フッ素ゴム、シリコンゴム、ブチルゴム、エラストマー、ＣＲゴム、ＮＢＲゴム又はウレタンゴム等が使用可能である。弁部材３８の先端にはリング状の凸部４７が設けられており、その先端部分は平面状に形成されている。この凸部４７の平面部分が開閉部材３７の圧接面４０の平面部分と当接すると、押圧力により弁部材３８が弾性変形し、小孔３４を塞いで流路を閉状態にする。
【００５７】
流路形成部材３１の外側において、フィルム材３６が設けられた面の近くには電磁石４８が備えられている。電磁石４８は、鉄芯４９、枠体５０、励磁コイル５１を備えている。枠体５０は略円筒状に切削されており、中央に鉄芯４９が配置される。枠体５０の材料は、例えば、ガラス入りポリアミド等の樹脂材料が使用される。また、枠体５０には励磁コイル５１が巻回されている。励磁コイル５１は銅線材料が使用されており、励磁コイル５１の外周にはポリエチレン及びウレタンの絶縁被覆層を有している。励磁コイル５１はリード線を介して弁装置駆動回路に電気的に接続されている（ともに図示せず）。電磁石４８に通電すると磁力が発生し、磁性体である開閉部材３７はフィルム材３６を介して吸引位置にて吸引され磁化位置に移動し、通電を止めると開閉部材３７は吸引されなくなって所定の非磁化位置に戻る。（この明細書中で非磁化位置とは、開閉部材３７が磁化されていないとき、即ち流路の閉状態における開閉部材３７の位置を指す。磁化位置とは、開閉部材３７が磁化されて吸引位置４４に当接しているとき、即ち流路の開状態における開閉部材３７の位置を指す。）
インク室３３には、２個の段差部が形成されており、電磁石４８が配置されている側の面とこの面に対する面とに配置されている。これらの段差部の基端部は、弁部材３８周辺に固定され、開閉部材３７の小径部３９の外周に配置されている。電磁石４８側に配置される段差部５３は、その先端部５５において、開閉部材３７が傾動して磁化位置まで移動する動作の支点となることが可能な位置に配置されている。この段差部５３のフィルム材３６側の面は平面状に形成されており、フィルム材３６と当接している。また、もう一方の段差部は流路形成部材３１側に配置される。この流路形成部材３１側に配置される段差部５４は、その先端部５６において、開閉部材３７が非磁化位置へ戻るときの動作を規制することが可能な位置に配置されている。
【００５８】
次にこの弁装置の動作について説明する。
電磁石４８に通電しないときは、図２に示すように開閉部材３７は電磁石４８によって吸引されず、非磁化位置に配置されている。開閉部材３７はコイルばね４３によって弁部材３８に押圧され、流路を閉状態としている。各段差部の先端部５５、５６は開閉部材３７と当接している。電磁石４８に通電すると、磁性体である開閉部材３７は磁力により吸引され、磁石側の先端部５５を支点としてフィルム材３６側に傾動する。そして、図３に示すように、開閉部材３７は磁化位置まで移動し、フィルム材３６の吸引位置に当接する。このとき、流路形成部材側の先端部５６は、開閉部材３７から離れている。開閉部材３７の凹部４２に嵌挿されたコイルばね４３は、両端を固定されているため、開閉部材３７の傾斜により撓曲されている。このとき、電磁石４８による吸引力はコイルばね４３の付勢力より大きく設定されているため、コイルばね４３の付勢力が働いても開閉部材３７は非磁化位置に戻されない。このように電磁石４８通電時には、開閉部材３７はフィルム材３６側に傾斜しているため、圧接面４０と弁部材３８の間には間隙ができる。この間隙から流路内の流体が弁部材３８を介して小孔３４に流れ込み、流路は開状態となる。
【００５９】
電磁石４８への通電を中止すると、電磁石４８による吸引力がなくなり、開閉部材３７に加わっていたコイルばね４３の付勢力によって、開閉部材３７は非磁化位置まで戻される。このとき流路形成部材３１側の先端部５６は開閉部材３７の動作を規制し、その他の位置に移動するのを防止する。開閉部材３７が非磁化位置に配置されたときに、コイルばね４３はその自然長よりも短くなるように設置されているため、開閉部材３７の凹部４２の底面を押圧する。このため、開閉部材３７の圧接面４０は弁部材３８に圧接されて、流路は閉状態とされる。
【００６０】
なお、以上のような圧力ダンパ１５の動作は、記録ヘッド１６のインクを吸引するクリーニング動作に適している。通常のインクジェットプリンタ１１では、記録ヘッド１６のメンテナンスとしては、吸引によるクリーニングが行われる。このクリーニングでは、記録ヘッド１６内のフィルタ上に溜まった気泡を吸引するため、吸引ポンプ２３によりインクの吸引を行う。しかし、この通常のクリーニングでは、十分に排出できない気泡がある。特に記録ヘッド１６のフィルタ（図示せず）上には気泡の残りが大きく、ノズル抜けや印字品質の劣化の原因となることがあった。このような気泡を排出する方法として、いわゆるチョーククリーニングが効果的である。このチョーククリーニングでは、インク流路の上流側の弁を閉じた状態（チョーク状態）とし、ノズル側から吸引ポンプ２３より吸引する。そして、記録ヘッド１６を高負圧にして気泡を膨張させ、記録ヘッド１６のフィルタより下流に気泡を引き込む。この状態で、弁を開いて気泡を排出させるものである。本実施の形態の圧力ダンパ１５によれば、インク流路を開閉することにより、このチョーククリーニングの実施が可能である。
【００６１】
また、本実施の形態の圧力ダンパ１５の動作は、複数の記録ヘッド１６のうち一色のインクについてのみクリーニングを行う、いわゆる選択クリーニングに適している。近年のインクジェットプリンタ１１は、高速化の要請に伴うヘッドの多ノズル化（又はハイバンド化ともいう）、及びカラー高画質化の要請に伴う多色化により、消費インク量が増加する傾向にある。このため、吸引によるクリーニングで発生する廃液を減少させて、消費インク量を極力減少させる要請がある。これを達成する方法として、クリーニングの必要な色のノズル開口のみを吸引する選択クリーニングを実施することが望ましい。本実施の形態によれば、クリーニングを行う色のインクだけインク流路を開状態とし、他の色のインクについてはインク流路を閉状態とすることにより、この選択クリーニングの実施が可能である。
【００６２】
上記第１の実施形態の弁装置としての圧力ダンパ１５によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）第１の実施形態では、開閉部材３７を非磁化位置にて押圧又は付勢するコイルばね４３を設けたため、閉状態での弁部材３８への押圧力を発生させるために、開閉部材３７自体を弾性体から構成する必要がなくなる。このため開閉部材３７の材質における自由度を向上させることができる。また、電磁石４８により開閉部材３７の一側面である傾斜面４５を所定の吸引位置において吸引し、開閉部材３７を磁化位置まで移動させることによって、流路を開状態にするようにした。このため、開閉部材３７の外周、即ち流路形成部材３１の周りに鉄心を設ける等して磁石を配置する等の必要がなくなり、構造が簡略化した弁装置を得ることができる。また、磁石の位置が制限されないため、設計の自由度を高めることができる。
【００６３】
（２）第１の実施形態では、開閉部材３７を吸引する電磁石４８は流路形成部材３１外に配置したため、電磁石４８の耐インク性を考慮する必要がない。このため、電磁石４８を構成する各部材の材質が限定されず、設計の自由度を高めることができる。
【００６４】
（３）第１の実施形態では、開閉部材３７の大径部４１の側面に平面状の傾斜面４５を設けた。このため、開閉部材３７が電磁石４８により吸引されたときに、傾斜面４５の形状に合わせて形成された当接箇所に傾斜面４５が容易に当接することが可能となる。また、この傾斜面４５で受ける磁力は開閉部材３７を吸引する吸引力であり、コイルばね４３の付勢力を上回る大きさが必要となる。本実施形態の傾斜面４５においては、平面状に形成されているため、磁力を受ける面積が大きく、充分な吸引力を得ることができ、開閉部材３７が吸引位置と接した状態を安定に保つことができる。
【００６５】
（４）第１の実施形態では、開閉部材３７の大径部４１の先端に凹部４２を設けて、コイルばね４３を嵌挿するようにした。このため、凹部４２の深さや径を任意のコイルばね４３の形状に合わせることが可能となり、任意の付勢力及び押圧力を得ることができる。また、この凹部４２に弾性体を嵌挿することにより、弾性体の付勢力及び押圧力の作用点、即ち傾動動作の中心点を弾性体の中心部分に設定することが可能となる。このため、傾動動作におけるモーメントを小さくすることができ、開閉部材３７をより効果的に付勢及び押圧することができる。
【００６６】
（５）第１の実施形態では、開閉部材３７は大径部４１と小径部３９とを有するようにした。また、インク室３３内に、電磁石４８側に配置される段差部５３と流路形成部材３１側に配置される段差部５４を設けた。この電磁石４８側に配置される段差部５３は、その先端部５５において大径部４１の一端部に当接されることが可能となる。このため、磁石側に配置される段差部５３は開閉部材３７が傾動するときの動作の支点となることができる。また、流路形成部材側に配置される段差部５４は、開閉部材３７が非磁化位置に配置されるときに、その先端部５６において大径部４１のもう一方の端部に当接されることが可能となる。このため、この段差部５４は開閉部材３７が磁化位置から非磁化位置に至ると、開閉部材３７の動作を規制し、それ以外の位置に移動するのを防止できる。従って、開閉部材３７の動作を安定させ、ひいては記録ヘッド１６へ供給される流体の流量を安定させることができる。
【００６７】
（６）第１の実施形態では、開閉部材３７を付勢及び押圧する弾性体をコイルばね４３としたため、比較的安価に簡易な構成で弁装置を構成することができる。
【００６８】
（７）第１の実施形態では、電磁石４８と開閉部材３７との間にフィルム材３６を介在させて流路を封止するようにした。このため、電磁石４８と開閉部材３７との間の距離を短くすることができ、電磁石４８の力を小さくしても大きな吸引力を得ることができる。また、このフィルム材３６は流路形成部材３１と熱溶着されているため、流路のシール性を高めることができる。さらに、フィルム材３６は耐ガスバリア性の高い材質で構成されているため、フィルム材３６を介して流路に気体が透過されるのを防止できる。
【００６９】
（８）第１の実施形態では、弁装置を記録ヘッド１６の上流側に配置するようにした。このため、記録ヘッド１６のフィルタ上に溜まった気泡を排出させるためのチョーククリーニングの際に、この弁装置の効果を利用することができる。また複数のノズルのうち必要なものだけクリーニングを行う選択クリーニングの際にこの弁装置を効果的に利用することができる。
【００７０】
（９）第１の実施形態では、弁部材３８を弾性体から構成し、その先端に形成された平面状の凸部４７に開閉部材３７の圧接面４０を圧接することによって、流路を閉状態とするようにした。このため、流路のシール性を向上させることができる。
【００７１】
（１０）第１の実施形態では、開閉部材３７を吸引する磁石を電磁石４８で構成したため、電磁石４８への通電及び非通電により、流路の開閉を行うことが可能となる。また、電流の大きさを変化させること等により、任意の磁力を得ることが可能となる。このため、任意の開閉部材を配置することが可能となり、弁装置の設計の自由度を高めることができる。
【００７２】
（１１）第１の実施形態では、電磁石４８に通電したときに流路を開状態とし、通電しないときに流路を閉状態とするようにした。このため、インクジェットプリンタ１１が電源オフとなり、電磁石４８に通電されていない状態で、インクジェットプリンタ１１が横転等してしまっても、弁装置が閉状態となっているので、インクが誤って外部に流出してしまうことを防止できる。
【００７３】
（第２の実施形態）
次に、本発明を具体化した第２の実施形態の弁装置を図４及び図５に従って説明する。なお、第２の実施形態は、第１の実施形態の磁石及びその駆動手段と段差部の形状とばね受け台座の形状とを変更した構成であるため、同様の部分についてはその詳細な説明を省略する。
【００７４】
図４及び図５は、圧力ダンパ１５の説明図であって、図４はソレノイドに通電しないときの圧力ダンパ１５の部分破断断面図、図５はソレノイドに通電したときの圧力ダンパ１５の部分破断断面図である。
【００７５】
圧力ダンパ１５は流路形成部材６１を有しており、流路形成部材６１には流路が形成されている。第１のインク流路３５と第２のインク流路３２は略同方向に形成されており、第１のインク流路３５側の流路形成部材６１には、ばね受け台座６２が設けられている。ばね受け台座６２はインク室３３の形状に合わせて形成されており、インクを第２のインク流路３２に流入させるために中央にインク孔６０が形成されている。
【００７６】
また、インク室３３内であって、開閉部材３７側の弁部材３８側の側面には、略円筒状の段差部６３が形成されている。この段差部６３の基端部は弁部材３８周辺に固定され、開閉部材３７の小径部３９の外周に配置されている。また、段差部６３の先端部は、開閉部材３７の大径部４１と当接可能に設けられている。フィルム材３６側の段差部６３は、開閉部材３７の動作の支点となり、それと反対側の段差部６３は開閉部材３７が非磁化位置に戻る動作を規制する。
【００７７】
流路形成部材６１外のフィルム材３６側には、永久磁石６４と磁石位置移動手段としてのソレノイド６５が設けられている。ソレノイド６５は、電磁石６６と可動鉄芯６７とソレノイド側コイルばね６８等からなる。可動鉄芯６７は磁性体からなり、その流路側の先端には永久磁石６４が備えられ、他端には台座６９と制止部材７０が設けられており、円筒状の電磁石６６に嵌挿され可動可能となっている。電磁石６６と台座６９の間にはソレノイド側コイルばね６８が介在しており、永久磁石６４が流路側へ移動するとソレノイド側コイルばね６８は押縮され、永久磁石６４が流路側から離間するとソレノイド側コイルばね６８は伸長する。
【００７８】
次に、弁装置の動作について説明する。
図４に示すように、電磁石６６に通電しないときは可動鉄芯６７に吸引力は働いていないため、可動鉄芯６７は通常の位置に配置され、ソレノイド側コイルばね６８は伸長し、永久磁石６４は電磁石６６側に配置される。このとき、永久磁石６４は吸引位置に配置されないため、開閉部材３７は非磁化位置に配置されて流路は閉状態となっている。電磁石６６に通電すると、可動鉄芯６７は電磁石６６により吸引され吸引位置４４側へ移動し、制止部材７０は可動鉄芯６７が所定の移動距離よりも長く移動するのを防止する。このとき、ソレノイド側コイルばね６８は押縮され、永久磁石６４は吸引位置４４に配置されているため、永久磁石６４が開閉部材３７を吸引して傾動させ、磁化位置に配置させることにより、流路は開状態となる。この状態で電磁石６６に通電するのを中止すると、可動鉄芯６７に作用していた吸引力がなくなり、押縮されていたソレノイド側コイルばね６８の付勢力によって可動鉄芯６７は吸引位置４４側と逆方向へ押し戻される。このため、永久磁石６４は吸引位置から離間し、開閉部材３７にコイルばね４３の付勢力が作用して、開閉部材３７は非磁化位置に配置されて流路は閉状態となる。
【００７９】
従って、第２の実施形態によれば、上記第１の実施形態の（３）、（４）、（６）、（８）、（９）に記載の効果と同様の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【００８０】
（１２）第２の実施形態では、開閉部材３７を非磁化位置押圧又は付勢するコイルばね４３を設けたため、閉状態での弁部材３８への押圧力を発生させるために、開閉部材３７自体を弾性体から構成する必要がなくなる。このため開閉部材３７の材質における自由度を向上させることができる。また、永久磁石６４により開閉部材３７の一側面である傾斜面４５を所定の吸引位置において吸引し、開閉部材３７を磁化位置まで移動させることによって、流路を開状態にするようにした。このため、開閉部材３７の外周、すなわち流路形成部材３１の周りに鉄心を設ける等して磁石を配置する等の必要がなくなり、構造が簡略化した弁装置が得ることができる。また、磁石の位置が制限されないため、設計の自由度を高めることができる。
【００８１】
（１３）第２の実施形態では、開閉部材３７を吸引する永久磁石６４は流路形成部材６１外に配置したため、永久磁石６４の耐インク性を考慮する必要がない。このため、永久磁石６４の材質が限定されず、設計の自由度を高めることができる。
【００８２】
（１４）第２の実施形態では、開閉部材３７は大径部４１と小径部３９とを有するようにした。また、インク室３３内に、略円筒状の段差部６３を設けた。この段差部６３は、そのフィルム材３６側の先端部において大径部４１の一端部に当接されることが可能となる。このため、段差部６３は開閉部材３７が傾動するときの動作の支点となることができる。また、段差部６３は、流路形成部材６１側の先端部５６において大径部４１のもう一方の端部に当接されることが可能となる。このため、この段差部６３は開閉部材３７が磁化位置から非磁化位置に至ると、開閉部材３７の動作を規制し、それ以外の位置に移動するのを防止できる。従って、開閉部材３７の動作を安定させ、ひいては記録ヘッド１６へ供給される流体の流量を安定させることができる。
【００８３】
（１５）第２の実施形態では、永久磁石６４と開閉部材３７との間にフィルム材３６を介在させて流路を封止するようにした。このため、永久磁石６４と開閉部材３７との間の距離を短くすることができ、永久磁石６４の力を小さくしても大きな吸引力を得ることができる。また、このフィルム材３６は流路形成部材６１と熱溶着されているため、流路のシール性を高めることができる。さらに、フィルム材３６は耐ガスバリア性の高い材質で構成されているため、フィルム材３６を介して流路に気体が透過されるのを防止できる。
【００８４】
（１６）第２の実施形態では、開閉部材３７を吸引する磁石を永久磁石６４とし、永久磁石６４を移動させる磁石移動手段をソレノイド６５とした。このため、ソレノイド６５の配置方向や通電時及び非通電時の永久磁石６４の位置を任意に設定することが可能となる。従って、弁装置の設計の自由度を高めることができる。
【００８５】
（１７）第２の実施形態では、ソレノイド６５の電磁石６６に通電したときに流路を開状態とし、通電しないときに流路を閉状態とするようにした。このため、インクジェットプリンタ１１が電源オフとなり、電磁石６６に通電されていない状態で、インクジェットプリンタ１１が横転等してしまっても、弁装置が閉状態となっているので、インクが誤って外部に流出してしまうことを防止できる。
【００８６】
（１８）第２の実施形態では、ソレノイド６５を開閉部材３７が傾動する方向と略同方向に配置したため、開閉部材３７が動作する方向と略直交方向に弁装置が大型化することを防止できる。
【００８７】
なお、前記各実施形態は以下のように変更してもよい。
○前記各実施形態では、図２〜図５に示すようにインク流路を形成したが、第１のインク流路３５と第２のインク流路３２の方向はどのような方向でもよい。
【００８８】
○前記各実施形態では、第１のインク流路３５をインク供給チューブ１３と接続し、第２のインク流路３２を記録ヘッド１６と接続している。これとは逆に、第１のインク流路３５を記録ヘッド１６と接続し、第２のインク流路３２をインク供給チューブ１３と接続してもよい。この場合、インクはインク供給チューブ１３から、第２のインク流路３２を通り、インク室３３へと流入し、小孔３４を介して第１のインク流路３５から、記録ヘッド１６へと供給される。
【００８９】
○前記各実施形態では、圧力ダンパ１５自体に弁装置を設けたが、前記各実施形態を単に弁装置として使用し、これらの弁装置の前後いずれかに圧力ダンパ１５を介在させる構成としてもよい。また、弁装置を圧力ダンパ１５の上流側に配置する場合には、弁装置をインク供給チューブ１３のキャリッジ１４の動作により可動しない部分からインクカートリッジ１２までインク供給路の任意の位置に配置してもよい。
【００９０】
○前記各実施形態では、図２〜図５に示すように段差部５３，５４，６３を形成したが、その他の形状でもよい。
○前記各実施形態では、開閉部材３７の動作の支点として段差部５３，６３を設けたが、それ以外に回転軸を設けてもよい。この場合、開閉部材３７と流路形成部材３１，６１とに軸受を設け、それらの軸受に支持軸を配置して開閉部材３７を傾動させる。
【００９１】
○前記各実施形態では、インク室３３内の磁石が配置される側に、フィルム材３６を設けたが、フィルム材３６を設けない構成としてもよい。即ち、電磁石４８又は永久磁石６４が、開閉部材３７を吸引するのに十分な磁力を有する場合等には、フィルム材３６を設けなくても前記各実施形態と同様な作用効果が得られ、弁装置の耐久性を向上させることが可能である。
【００９２】
○前記各実施形態では、弁部材３８の形状をそれぞれ図２〜図５に示すように形成したが、その他の形状の弁部材３８で構成してもよい。また、弁部材３８を開閉部材３７の圧接面４０に設けて、小孔３４と当接するようにしてもよい。
【００９３】
○前記各実施形態では、開閉部材３７の形状をそれぞれ図２〜図５に示すように形成したが、その他の形状の開閉部材３７で構成してもよい。また、開閉部材３７は、凹部４２のみにコイルばね４３を設けたが、その他の場所にも引っ張りばね等の弾性部材を設けてもよい。
【００９４】
○前記各実施形態では、開閉部材３７を押圧又は付勢する弾性体をコイルばね４３としたが、他の弾性体を用いてもよい。
○第２の実施形態では、磁石移動手段をソレノイド６５としたが、他の手段により磁石を移動させてもよい。
【００９５】
○第２の実施形態では、永久磁石６４は可動鉄芯６７の先端に備え付けたが、可動鉄芯６７の他の位置に設けてもよい。
○第２の実施形態では、永久磁石６４の移動方向と開閉部材３７の動作が略同方向になるように配置したが、略直交方向になるように、ソレノイド６５を配置してもよい。即ち、永久磁石６４を吸引位置４４付近に配置し、その右方又は左方にソレノイド側コイルばね６８、可動鉄芯６７、電磁石６６を配置させてもよい。
【００９６】
○第２の実施形態では、電磁石６６に通電したときに流路を開状態とし、通電しないときに流路を閉状態とするようにした。これとは逆に、永久磁石６４側にソレノイド側コイルばね６８を設けて、電磁石６６に通電したときに閉状態とし、通電しないときに開状態にしてもよい。このような構成によれば、電磁石６６通電時において第２の実施形態とは逆の方向に可動鉄芯６７が移動する。この場合、通電時には永久磁石６４は吸引位置から離れるため、流路は閉状態とされ、ソレノイド側コイルばね６８は押縮されている。非通電時には永久磁石６４側に設けられたソレノイド側コイルばね６８が通常の状態となり、永久磁石６４は吸引位置に配置され、流路を開状態にすることができる。
【００９７】
○前記各実施形態では、インクカートリッジ１２をキャリッジ１４に搭載しないインクジェットプリンタ１１に使用したが、インクカートリッジ１２をキャリッジ１４に搭載するインクジェットプリンタに使用してもよい。
【００９８】
○前記各実施形態では、弁装置をインクジェットプリンタに使用したが、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置に応用してもよい。例えば、液晶ディスプレイやＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の製造などに用いられる電極材や色材などの液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置であってもよい。
【００９９】
次に上記各実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
（１）請求項１〜４のいずれかに記載の弁装置において、
前記開閉部材を軸支する回転軸を設けたことを特徴とする弁装置。
【０１００】
従って、この（１）に記載の発明によれば、開閉部材を軸支することができるため、開閉部材の動作を安定させることができる。
【０１０１】
【発明の効果】
本発明によれば、磁石の材質の選択及び弁装置の設計の自由度がある弁装置が実現できる。また、本発明によれば、装置の構造を簡略化した弁装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態のインクジェットプリンタの概念図。
【図２】第１の実施形態の電磁石の非通電時の圧力ダンパの部分破断断面図。
【図３】第１の実施形態の電磁石の通電時の圧力ダンパの部分破断断面図。
【図４】第２の実施形態の電磁石の非通電時の圧力ダンパの部分破断断面図。
【図５】第２の実施形態の電磁石の通電時の圧力ダンパの部分破断断面図。
【符号の説明】
１１　液体噴射装置としてのインクジェットプリンタ
１６　液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド
３１　流路形成部材
３６　フィルム材
３７　開閉部材
３８　弁部材
４１　大径部
３９　小径部
４２　凹部
４３　弾性体としてのコイルばね
４５　傾斜面
４７　凸部
４８　磁石としての電磁石
５３，５４，６３　段差部
６４　磁石としての永久磁石
６５　磁石移動手段としてのソレノイド

Claims (25)

1. 流体が移動する流路内に配置され磁性体からなる開閉部材と、
   前記開閉部材の少なくとも一側面を磁力により吸引して所定の非磁化位置から磁化位置へと移動させる磁石と、
   前記流路内に配置され前記開閉部材を前記非磁化位置にて付勢又は押圧する弾性体と、
   前記開閉部材を前記非磁化位置と前記磁化位置との間で移動させることにより流路の開閉を行うことを特徴とする弁装置。
2. 請求項１に記載の弁装置において、
   前記流路は流路形成部材によって形成されるとともに、
   前記磁石は前記流路形成部材外に配置されることを特徴とする弁装置。
3. 請求項１又は２に記載の弁装置において、
   前記開閉部材は少なくとも前記一側面に傾斜面を設けたことを特徴とする弁装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の弁装置において、
   前記開閉部材は端部に弾性体を嵌挿する凹部を設けたことを特徴とする弁装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の弁装置において、
   前記開閉部材は大径部と小径部とを有することを特徴とする弁装置。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の弁装置において、
   前記流路内の少なくとも磁石が配置される側に前記開閉部材の動作の支点となる段差部を設けたことを特徴とする弁装置。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の弁装置において、
   前記弾性体はコイルばねであることを特徴とする弁装置。
8. 請求項２〜７のいずれかに記載の弁装置において、
   前記流路形成部材の外周に前記流路を封止するフィルム材を設けるとともに、
   前記フィルム材は磁石が開閉部材を吸引する位置において、前記磁石と前記開閉部材との間に介在するように配置したことを特徴とする弁装置。
9. 請求項８に記載の弁装置において、
   前記フィルム材は前記流路形成部材と熱溶着されていることを特徴とする弁装置。
10. 請求項８又は９に記載の弁装置において、
    前記フィルム材は耐ガスバリア性の高い材質によって構成されていることを特徴とする弁装置。
11. 請求項１〜１０のいずれかに記載の弁装置において、
    前記弁装置の上流側にフィルタを配置したことを特徴とする弁装置。
12. 請求項１〜１１のいずれかに記載の弁装置において、
    前記流路内に配置され、前記開閉部材に当接されることにより前記流路を閉状態とする弁部材を設けるとともに、
    前記弁部材は弾性体により構成されていることを特徴とする弁装置。
13. 請求項１２に記載の弁装置において、
    前記開閉部材を前記弁部材に形成された凸部に当接させることにより、前記流路が閉状態とされることを特徴とする弁装置。
14. 請求項１〜１３のいずれかに記載の弁装置において、
    前記磁石は所定の吸引位置にて吸引する電磁石であることを特徴とする弁装置。
15. 請求項１４に記載の弁装置において、
    前記電磁石に通電したときに前記流路を開状態とし、前記電磁石に通電しないときに前記流路を閉状態とするようにしたことを特徴とする弁装置。
16. 請求項１〜１３のいずれかに記載の弁装置において、
    前記磁石は所定の吸引位置にて吸引する永久磁石から構成されるとともに、
    前記永久磁石を前記吸引位置から離間させる又は前記吸引位置に接近させる磁石位置移動手段を設けたことを特徴とする弁装置。
17. 請求項１６に記載の弁装置において、
    前記磁石位置移動手段はソレノイドからなることを特徴とする弁装置。
18. 請求項１７に記載の弁装置において、
    前記ソレノイドに通電したときに前記流路を開状態とし、前記ソレノイドに通電しないときに前記流路を閉状態とするようにしたことを特徴とする弁装置。
19. 請求項１７に記載の弁装置において、
    前記ソレノイドに通電したときに前記流路を閉状態とし、前記ソレノイドに通電しないときに前記流路を開状態とするようにしたことを特徴とする弁装置。
20. 請求項１６〜１９のいずれかに記載の弁装置において、
    前記磁石位置移動手段が前記永久磁石を前記吸引位置に接近させたときに前記流路を開状態とし、前記永久磁石を前記吸引位置から離間させたときに前記流路を閉状態とするようにしたことを特徴とする弁装置。
21. 請求項１６〜２０のいずれかに記載の弁装置において、
    前記磁石位置移動手段により前記永久磁石が移動する方向は、前記開閉部材が動作する方向と略同方向であることを特徴とする弁装置。
22. 請求項１６〜２０のいずれかに記載の弁装置において、
    前記磁石位置移動手段により前記永久磁石が移動する方向は、前記開閉部材が動作する方向と略直交方向であることを特徴とする弁装置。
23. 請求項１〜２２のいずれかに記載の弁装置において、
    前記弁装置は液体噴射装置に使用されることを特徴とする弁装置。
24. 請求項２３に記載の弁装置において、
    前記弁装置は液体噴射装置の液体噴射ヘッドのフィルタの上流側に配置されることを特徴とする弁装置。
25. 請求項２３又は２４に記載の弁装置において、
    前記弁装置は、液体噴射装置のチョーククリーニング又は選択クリーニングに使用されることを特徴とする弁装置。

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