JP2006135771A - 電子部品モジュール - Google Patents

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由一 杉山
Taku Takagi
高木  卓
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Abstract

【課題】 マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機の高周波部を、小型、安価に一体化した電子部品モジュールを提供する。
【解決手段】 高周波モジュールにおいて、モジュール基板12上に、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31を実装し、SAWチップ20は、モジュール基板12との間に空洞22を確保するように実装され、このSAWチップ20と、これを除く他のRF送受信LSI10、チップ部品30,31とは、シート状シール材11により周辺部がモジュール基板12に接着されて外側から直接覆われている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、複数の電子部品素子を同一基板に実装して一体化した複合部品(いわゆる電子部品モジュール)に係わり、特に、フィルタ素子や、LSIなどの異種部品を内蔵するモジュールに適用して有効な技術に関する。
例えば、携帯電話システムは、第2世代携帯電話システムと呼ばれている、GSMシステムが実用化されている。標準規格は、ESTIの、Digital cellular telecommunications system(Phase 2+);Radio transmission and reception(GSM 05.05 version8.3.0 Release 1999)、である(インターネットのURLは、www.etsi.org/getastandard/home.htm)。
このシステムは、900MHz帯を用いてサービスが始まり、その後、加入者増に応えて、1800MHz帯及び1900MHz帯も使用可能となり、合計3バンドに対応する、いわゆるマルチバンド携帯電話機が普及している。
この様に、周波数帯域の増加につれて、高周波フィルタ、低雑音増幅器などの高周波部品は増加するが、携帯電話機には、小型軽量が要求されている事から、高周波部も小型化して構成しなければならない。しかも、高周波部品の点数の増加に対しても、部品費は抑制し、低コストで携帯電話機を実現しなければならない。
さらに、第3世代携帯電話システムであるWCDMA方式も、2.1GHz帯を用いてサービス開始されている。このシステムの標準規格は、3GPPの、Technical Specification Group Radio Access Networks;UE Radio Transmission and Reception(FDD)(Release 5),3GPP TS 25.101 v5.3.0(2002−06)、である(インターネットのURLは、www.3gpp.org/specs/specs.htm)。
WCDMA方式に対応するために、携帯電話機は、GSM方式の高周波送受信部、及びWCDMA方式の高周波送受信部の両方を有するデュアルシステムでなくてはならず、周波数帯域は、合計4バンドとなる。
第3世代携帯電話システムでは、静止画伝送、動画伝送、メモリカードインタフェースなどの機能が携帯電話機に求められ、撮像素子、複数の液晶ディスプレイ、動画像符号復号化IC、画像メモリ、ICカードスロットなどの部品が増加し、このため、高周波送受信部に対する小型化要求はますます厳しくなる。
この様な、マルチバンド、マルチシステムの携帯電話機の実現手段として、高周波部を一体化した部品である、いわゆる高周波モジュールを用いる事が行なわれている。
この種の高周波モジュールの従来例は、例えば特許文献1に記載されており、携帯電話機に用いられるSAWフィルタ(Surface Acoustic Filter,弾性表面波フィルタ)と、高周波LSIとを同一配線基板上へ実装し、樹脂封止してモジュール化している。この従来例において、SAW端子と配線基板との電気的接続、および高周波LSIと配線基板との電気的接続は、共にワイヤボンディングにより行なわれている。
また、SAWフィルタの従来例としては、例えば特許文献2が挙げられ、圧電基板に作られた電極を、配線基板側へ向けて実装した、いわゆるフリップチップ構成のSAWフィルタが示されている。
この種のフィルタは、CSP(Chip Size Package)フィルタとも呼ばれる。この従来例のように、SAW端子と、フィルタ配線基板との接続はワイヤボンディングによらないため、部品面積をSAWチップ面積に近づけられ、小型化できる長所がある。
しかしながら、これら特許文献1,2では、CSPのSAWフィルタを、高周波LSIと共にモジュール化する最適な技術については述べられていない。
また、携帯電話機に用いられる高周波フィルタの一種として、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator,薄膜圧電共振器)が、例えば特許文献3に示されている。
しかしながら、この特許文献3では、FBARと、高周波LSIを混在させたモジュールの詳細な実現技術も示されていない。
特開2004−95633号公報 特開2004−215218号公報 特開2004−222244号公報
ところで、前記のような特許文献1〜3の技術に関して、本発明者が検討した結果、これらの技術を組み合わせると、以下のような構造となることが考えられる。すなわち、高周波LSIとは別に、予めSAWフィルタ(FBAR)はフリップチップ構成として形成され、その後、このフリップチップ構成のSAWフィルタ(FBAR)と、高周波LSIとを同一配線基板上に実装し、樹脂封止することによって高周波モジュールとして完成される。
しかしながら、この構造では、予めフリップチップ構成のSAWフィルタ(FBAR)を形成する必要があるため、プロセス工程が増える上に、配線基板上にSAWチップをフリップチップ構成で実装して樹脂封止しフィルタを構成するために小型化、低コスト化の要求には十分とは言えないものとなっており、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機における、小型、安価な高周波部品モジュールが求められている。
そこで、本発明は、上記課題を解決し、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機の高周波部を、小型、安価に一体化した電子部品モジュールを提供することを目的とするものである。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明の電子部品モジュールは、一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板と、配線基板の一面側に搭載された複数の電子部品素子と、電子部品素子を覆うシート状シール材とを有する。電子部品素子の少なくとも一つは、配線基板との間に空洞を確保するように配線基板に実装される。空洞が確保された電子部品素子と、これを除く他の電子部品素子とは、シート状シール材により周辺部が配線基板に接着されて外側から直接覆われている。
また、本発明の電子部品モジュールは、一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板と、配線基板の一面側に搭載された複数の電子部品素子と、電子部品素子を覆うシート状シール材と、配線基板を封止する外装用樹脂材とを有する。電子部品素子の少なくとも一つは、配線基板との間に空洞を確保するように配線基板に実装される。空洞が確保された電子部品素子は、シート状シール材により周辺部が配線基板に接着されて覆われる。覆われて空洞が確保された電子部品素子と、これを除く他の電子部品素子とは、外装用樹脂材により外側から覆われている。あるいは、外装用樹脂材の代わりに、配線基板を覆う外装用金属材を有し、これにより電子部品素子が外側から覆われている。
さらに、本発明の電子部品モジュールは、空洞が確保された電子部品素子は、空洞が確保された電子部品素子と、配線基板に設けた配線パターンとを電気的に接続する金属バンプを有する。さらに、電子部品素子の少なくとも一つは、フェースダウンで配線基板に実装されるフリップチップLSIである。フリップチップLSIと配線基板との間隙は、アンダーフィル材により封止されている。空洞が確保された電子部品素子は、弾性表面波フィルタチップ、薄膜圧電共振器、SMR型BAWなどである。
そして、本発明の電子部品モジュールは、電子部品素子と配線基板との電気的接続を接着材によって行い、接着材の融点をT1(℃)、シート状シール材の融点をT2(℃)、アンダーフィル材の融点をT3(℃)、外装用樹脂材の融点をT4(℃)とした場合に、T2<T1、T2<T3<T1、あるいはT4<T2<T3<T1の関係を満足するものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
本発明によれば、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機の高周波部を、小型、安価に一体化した電子部品モジュールを実現することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
本発明は、電子部品モジュールに適用されるものであるが、その一例としての高周波モジュールを例に、各実施の形態を具体的に説明する。
(実施の形態1)
図1及び図2により、本発明の実施の形態1である高周波モジュールの一例を説明する。
図1は、本実施の形態である高周波モジュールの断面図を示す。
本実施の形態である高周波モジュールは、一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板としてのモジュール基板12と、モジュール基板12の一面側に搭載された複数の電子部品素子としての、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品(チップインダクタ、チップコンデンサ、チップ抵抗など)30,31と、これらのRF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31を覆うシート状シール材11などから構成される。
モジュール基板12には、他面側に外部接続端子としてのモジュール外部電極13が形成され、一面側に配線パターンとしての、LSIパターン17、SAW入出力パターン25が形成されている。また、モジュール基板12に搭載された、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31は、シート状シール材11により周辺部がモジュール基板12に接着されて外側から直接覆われている。
RF送受信LSI10は、フェースダウンでモジュール基板12に実装されるフリップチップLSIであり、モジュール基板12上のLSIパターン17と電気的に接続する金属バンプ15を有し、この金属バンプ15がLSI電極16に設けられている。また、RF送受信LSI10とモジュール基板12との間隙は、アンダーフィル材14により封止されている。
SAWチップ20は、モジュール基板12上のSAW入出力パターン25と電気的に接続する金属バンプ23を有し、この金属バンプ23が入出力電極24に設けられている。また、SAWチップ20は、SAW共振子21を持ち、このSAW共振子21の振動面をモジュール基板12側へ向け、モジュール基板12との間に空洞22を確保するように実装されている。
以上のような構成において、RF送受信LSI10と、SAWチップ20、チップ部品30,31とは、モジュール基板12に設けられたパターンにより、相互に電気的接続がなされ、電子回路が構成される。この回路が、モジュール外部電極13により外部回路と接続し、携帯電話機の高周波部として動作する。
RF送受信LSI10は、例えば、接続材としてのはんだ(融点T1℃とする)で作られた金属バンプ15により、LSIパターン17にはんだ付けされる。この時、チップ部品30,31も同時にはんだ付けされる。
一方、SAWチップ20は、金属バンプ23が金バンプの場合、SAW入出力パターン25に過熱融着される。金属バンプ23がはんだバンプならば、上記RF送受信LSI10と同時にはんだ付けされる。
この後、RF送受信LSI10とモジュール基板12との間隙に、アンダーフィル材14が挿入される。このアンダーフィル材14は、例えばシリカがフィラとして含浸された、液状熱硬化性エポキシ樹脂が用いられる。熱硬化温度T3℃まで加熱硬化される。この時点で、フリップチップ実装された(つまり、LSIが基板にフェースダウンで実装された)RF送受信LSI10の樹脂封止は完了する。
次に、SAWチップ20に対する気密封止として、シート状シール材11をモジュール基板12の上面から被せ、加熱密着させる。このシート状シール材11は、例えばポリエチレンや、ポリプロピレンなどの熱可塑性樹脂(融点T2℃)のシートであり、膜厚や粘度を最適化することで、空洞22を確保する。
このシート状シール材11による封止は、複数のモジュール基板12が繋がった全体の基板に対してまとめて被せて加熱しても良い。この場合、固着後に、ダイサーなどを用いて各モジュールに切断する。
ここで、空洞22について説明すると、電気信号を圧電素子により機械的振動に変換する原理を利用した、SAW、BAR(Bulk Acoustic Resonator)、BARの一種であるFBAR、同じくSMR(Solid Mounted Resonator)型BARは、全てこの種の空洞22を必要とする。
SAWは、変換された弾性波が伝播する媒質として気体が必要であり、FBAR、SMR型BARは圧電体が振動できるための自由空間が必要なためである。
上記のようにして高周波モジュールを構成できるが、ここで、各加熱温度は、
T2<T3<T1 式(1)
式(1)の条件を満たす。
次に、本実施の形態である高周波モジュールを用いた携帯電話機の主要部を、図2の回路ブロック図を用いて説明する。
本実施の形態である高周波モジュールを用いた携帯電話機の主要部は、前述した高周波モジュール60と、フロントエンドモジュール61と、ベースバンド信号の変復調、符号復号化を行なう通信処理部62と、アンテナ63などから構成される。
高周波モジュール60は、GSM方式の送受信を行なうRF送受信LSI10、E−GSM帯(900MHz帯)の受信SAWフィルタ(SAWチップ)20、DCS帯(1800MHz帯)の受信SAWフィルタ64、PCS帯(1900MHz帯)の受信SAWフィルタ65、各SAWフィルタとRF送受信LSI10に内蔵された低雑音増幅器との整合回路69、WCDMA方式の送受信を行なうRF送受信LSI74、WCDMA帯(2.1GHz帯、UMTS帯とも呼ぶ)の受信SAWフィルタ72、SAWフィルタとRF送受信LSI74に内蔵された低雑音増幅器との整合回路73などから構成される。
フロントエンドモジュール61は、GSM方式の信号を通過させるローパスフィルタ70、WCDMA帯域を通過させるハイパスフィルタ71、GSM方式の送受信号を切替えるGSM送受スイッチ67、GSM方式の送信帯域を通過させるGSM送信ローパスフィルタ(このフィルタはバンドパスフィルタでも良い)68、GSM方式の高出力送信増幅器66、GSM送信ローパスフィルタ68と高出力送信増幅器66との整合回路75、WCDMAの送信帯域を通過させるWCDMA送信ローパスフィルタ(このフィルタはバンドパスフィルタでも良い)76、WCDMA方式の高出力送信増幅器77、WCDMA送信ローパスフィルタ76と高出力送信増幅器77との整合回路78などから構成される。
第3世代携帯電話方式の携帯電話機には、この様に2システムの送受信方式に対応し、かつ周波数は4バンドであることが求められる。図2は、アンテナ63から通信処理部62までを図示したが、他に、マイクロプロセッサ、RAM、ROMなどのメモリ、液晶ディスプレイ、液晶ドライバIC、撮像素子、動画像符号復号化IC、画像RAM、ICカードスロットなどの電子部品を用いて携帯電話機が構成される。
図2のように構成することで、携帯電話機の高周波部を高周波モジュール60と、フロントエンドモジュール61の2部品により実現できる。
従って、本実施の形態によれば、モジュール基板12上に、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31を同じ工程で実装して製造することができるので、製造工程数を減らすことができるとともに、高周波モジュールの高さを含めた外観を小さくすることができる。この結果、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機における、小型、安価な高周波モジュールを実現することができる。
(実施の形態2)
図3により、本発明の実施の形態2である高周波モジュールの一例を説明する。
図3は、本実施の形態である高周波モジュールの断面図を示す。
本実施の形態である高周波モジュールにおいて、前記実施の形態1と異なる点を述べると、40はモジュール基板との間に空洞を確保するように実装される電子部品素子としての他の例であるFBARチップ、41は圧電体薄膜共振子、42は空洞、43は金属バンプ、44はFBARチップに設けられた入出力電極、45はモジュール基板表層のFBAR入出力パターンである。
本実施の形態である高周波モジュールにおいても、前記実施の形態1と同様に、RF送受信LSI10、FBARチップ40などをはんだ付けし、アンダーフィル材14を用いてRF送受信LSI10を封止する。その後、シート状シール材11を被せ、圧電体薄膜共振子41の下方に空洞42が確保できるようにしながら、加熱密着させ、高周波モジュールを封止する。
ここでは、フィルタ素子がFBARの例を示したが、SMR型BARであっても同様である。
従って、本実施の形態によれば、モジュール基板12上に、RF送受信LSI10、FBARチップ40、およびチップ部品30,31を実装する高周波モジュールにおいて、前記実施の形態1と同様に、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機における、小型、安価な高周波モジュールを実現することができる。
(実施の形態3)
図4により、本発明の実施の形態3である高周波モジュールの一例を説明する。
図4は、本実施の形態である高周波モジュールの断面図を示す。
本実施の形態である高周波モジュールにおいて、前記実施の形態1と異なる点を述べると、50はモジュール基板を封止する外装用樹脂材としての外装封止材、51は電子部品素子を覆うシート状シール材としての過熱シール材である。
本実施の形態である高周波モジュールにおいても、前記実施の形態1と同様に、RF送受信LSI10、FBARチップ40などをはんだ付けし、アンダーフィル材14を用いてRF送受信LSI10を封止する。その後、SAWチップ20だけを覆う加熱シール材51を被せ、空洞22を確保するようにしながら、加熱密着させる(融点T4℃)。
これにより、SAWチップ20の封止は完了し、この後、高周波モジュール全体の外装封止を、外装封止材50を塗布して行なう。この外装封止材50の例としては、封止材として一般的に用いられ、安価な、熱硬化性エポキシ樹脂を選ぶことができる。
ここで、前記実施の形態1と同様に、各加熱温度は、
T4<T2<T3<T1 式(2)
式(2)の条件を満たす。
従って、本実施の形態によれば、モジュール基板12上に、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31を実装し、SAWチップ20だけを加熱シール材51で覆い、モジュール全体を外装封止材50で封止する高周波モジュールにおいて、前記実施の形態1と同様に、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機における、小型、安価な高周波モジュールを実現することができる。
(実施の形態4)
図5により、本発明の実施の形態4である高周波モジュールの一例を説明する。
図5は、本実施の形態である高周波モジュールの断面図を示す。
本実施の形態である高周波モジュールにおいて、前記実施の形態3と異なる点を述べると、80は高周波モジュールの上面を覆う外装用金属材としての金属ケース、81は金属ケース80を固定するために切り欠き(スリット)を設けたモジュール基板である。
本実施の形態である高周波モジュールにおいても、前記実施の形態3と同様に、SAWチップ20だけを覆う加熱シール材51を被せ、空洞22を確保するようにしながら、加熱密着させる。モジュール基板81は四隅に切り欠きを持ち、金属ケース80の対応する箇所は、板状の突起を形成しておく。金属ケース80をモジュール基板81に被せ、切り欠き箇所の板状突起をかしめることで固着する。
または、モジュール基板81の四隅に銅箔パターンを設けておき、金属ケース80の対応する箇所をはんだ付けすることで固着しても良い。
従って、本実施の形態によれば、モジュール基板12上に、RF送受信LSI10、SAWチップ20、およびチップ部品30,31を実装し、SAWチップ20だけを加熱シール材51で覆い、モジュール上面を金属ケース80で覆う高周波モジュールにおいて、前記実施の形態3と同様に、マルチバンド、マルチシステムに対応した携帯電話機における、小型、安価な高周波モジュールを実現することができるとともに、この様に構成することで、高周波モジュール内の電子部品は外部に対して電磁シールドがなされるため、電磁波妨害特性を向上させることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
本発明は、携帯電話機を始めとする無線通信機器に用いられる、高周波モジュールなどの電子部品モジュールに適用することができる。
本発明の実施の形態1である高周波モジュールを示す断面図である。 本発明の実施の形態1である高周波モジュールを用いた携帯電話機の主要部を示す回路ブロック図である。 本発明の実施の形態2である高周波モジュールを示す断面図である。 本発明の実施の形態3である高周波モジュールを示す断面図である。 本発明の実施の形態4である高周波モジュールを示す断面図である。
符号の説明
10…RF送受信LSI、11…シート状シール材、12…モジュール基板、13…モジュール外部電極、14…アンダーフィル材、15…金属バンプ、16…LSI電極、17…LSIパターン、20…SAWチップ、21…SAW共振子、22…空洞、23…金属バンプ、24…入出力電極、25…SAW入出力パターン、30,31…チップ部品、40…FBARチップ、41…圧電体薄膜共振子、42…空洞、43…金属バンプ、44…入出力電極、45…FBAR入出力パターン、50…外装封止材、51…過熱シール材、60…高周波モジュール、61…フロントエンドモジュール、62…通信処理部、63…アンテナ、64…受信SAWフィルタ、65…受信SAWフィルタ、66…高出力送信増幅器、67…GSM送受スイッチ、68…GSM送信ローパスフィルタ、69…整合回路、70…ローパスフィルタ、71…ハイパスフィルタ、72…受信SAWフィルタ、73…整合回路、74…RF送受信LSI、75…整合回路、76…WCDMA送信ローパスフィルタ、77…高出力送信増幅器、78…整合回路、80…金属ケース、81…モジュール基板。

Claims (11)

  1. 一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板と、
    前記配線基板の一面側に搭載された複数の電子部品素子と、
    前記電子部品素子を覆うシート状シール材とを有し、
    前記電子部品素子の少なくとも一つは、前記配線基板との間に空洞を確保するように前記配線基板に実装され、
    前記空洞が確保された電子部品素子と、前記空洞が確保された電子部品素子を除く他の電子部品素子とは、前記シート状シール材により周辺部が前記配線基板に接着されて外側から直接覆われていることを特徴とする電子部品モジュール。
  2. 請求項1記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、前記空洞が確保された電子部品素子と、前記配線基板に設けた配線パターンとを電気的に接続する金属バンプを有することを特徴とする電子部品モジュール。
  3. 請求項1または2記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記電子部品素子の少なくとも一つは、フェースダウンで前記配線基板に実装されるフリップチップLSIであり、
    前記フリップチップLSIと前記配線基板との間隙は、アンダーフィル材により封止されていることを特徴とする電子部品モジュール。
  4. 一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板と、
    前記配線基板の一面側に搭載された複数の電子部品素子と、
    前記電子部品素子を覆うシート状シール材と、
    前記配線基板を封止する外装用樹脂材とを有し、
    前記電子部品素子の少なくとも一つは、前記配線基板との間に空洞を確保するように前記配線基板に実装され、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、前記シート状シール材により周辺部が前記配線基板に接着されて覆われ、
    前記覆われて空洞が確保された電子部品素子と、前記覆われて空洞が確保された電子部品素子を除く他の電子部品素子とは、前記外装用樹脂材により外側から覆われていることを特徴とする電子部品モジュール。
  5. 一面側に配線パターンが形成され、他面側に外部接続端子が形成されている配線基板と、
    前記配線基板の一面側に搭載された複数の電子部品素子と、
    前記電子部品素子を覆うシート状シール材と、
    前記配線基板を覆う外装用金属材とを有し、
    前記電子部品素子の少なくとも一つは、前記配線基板との間に空洞を確保するように前記配線基板に実装され、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、前記シート状シール材により周辺部が前記配線基板に接着されて覆われ、
    前記覆われて空洞が確保された電子部品素子と、前記覆われて空洞が確保された電子部品素子を除く他の電子部品素子とは、前記外装用金属材により外側から覆われていることを特徴とする電子部品モジュール。
  6. 請求項1または2記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記電子部品素子と前記配線基板との電気的接続は接着材によって行い、
    前記接着材の融点をT1(℃)、前記シート状シール材の融点をT2(℃)とした場合に、
    T2<T1
    の関係を満足することを特徴とする電子部品モジュール。
  7. 請求項3記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記電子部品素子と前記配線基板との電気的接続を接着材によって行い、
    前記接着材の融点をT1(℃)、前記シート状シール材の融点をT2(℃)、前記アンダーフィル材の融点をT3(℃)とした場合に、
    T2<T3<T1
    の関係を満足することを特徴とする電子部品モジュール。
  8. 請求項4記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記電子部品素子と前記配線基板との電気的接続を接着材によって行い、
    前記接着材の融点をT1(℃)、前記シート状シール材の融点をT2(℃)、アンダーフィル材の融点をT3(℃)、前記外装用樹脂材の融点をT4(℃)とした場合に、
    T4<T2<T3<T1
    の関係を満足することを特徴とする電子部品モジュール。
  9. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、弾性表面波フィルタチップであることを特徴とする電子部品モジュール。
  10. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、薄膜圧電共振器であることを特徴とする電子部品モジュール。
  11. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の電子部品モジュールにおいて、
    前記空洞が確保された電子部品素子は、SMR型BAWであることを特徴とする電子部品モジュール。
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