JP2006113021A - ラマン分光装置、及び分光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ラマン分光装置10は、レーザ光源20から発したレーザ光Lをシリンドリカルレンズ22及びスリット板23の通過により直線状に変形して試料Sへ照射する。試料Sから発生した直線状の散乱光Kはノッチフィルタ27でラマン散乱光Rのみが通過し、透過型グレーティング29でラマン散乱光RはY方向へ分光されCCD31でラマン散乱光Rの部位別にラマンスペクトルを検出する。試料Sへのレーザ光Lの照射箇所は反射ミラーの角度変更によりY方向へ移動し、CCD31は照射箇所の移動に同期して検出を行い二次元のラマンスペクトルイメージを得る。
【選択図】 図2
Description
また、本発明は、二次元のラマンイメージを高速で効率良く検出できるようにしたラマン分光装置、及び二次元的な検出を行えるようにした分光装置を提供することを目的とする。
第3発明にあっては、試料への光の照射箇所を直線状の光に対して直交する向きへ移動させることにより、直線状の光で試料を走査した箇所に対応する部分に係るラマン散乱光が検出器で順次取り込まれることになり、試料を二次元的に走査して二次元的なラマンスペクトルイメージを高速に且つ安定して測定できるようになる。
第4発明にあっては、散乱光の光軸に平行な軸を中心にして試料への光の照射箇所を回転移動させるので、回転移動に伴い直線状の照射光が試料を走査し、走査した箇所のラマン散乱光を検出器で順次取り込み、その結果、試料が走査された範囲に対応した二次元的なラマンスペクトルイメージを高速で測定できるようになる。
第5発明にあっては、散乱光の光軸に沿って試料への光の照射箇所を移動させるので、試料への光の照射箇所が試料表面から深さ方向へ移動し、試料の深さ方向に対する二次元的なラマンスペクトルイメージを得られるようになると共に、上述した直線状の光に直交する移動又は回転移動と組み合わせることで、CTスキャンのような三次元的なラマンスペクトルイメージまでも測定可能になる。
第6発明にあっては、検出器でのラマンスペクトルの検出を、照射箇所の移動に同期させるので、鮮明な二次元又は三次元のラマンスペクトルイメージを得られ、試料の測定精度を高められる。
第2発明にあっては、複数の光源からビーム光を連なって試料へ照射するので、検出器で直線状のラマン散乱光を取り込むことができ、また、ラマン散乱光に対して直交する向きへ分光することで、二次元的に配列される検出器の各光電変換素子で夫々受光を行い、ラマン散乱光を部位別に検出して試料の多数箇所を同時に測定できる。
第4発明にあっては、散乱光に平行な軸を中心にして試料への光の照射箇所を回転移動することで、光が照射された範囲に対応した二次元的なラマンスペクトルイメージを高速で測定できる。
第6発明にあっては、検出器でのラマンスペクトルの検出を、照射箇所の移動に同期させることで、鮮明な二次元又は三次元のラマンスペクトルイメージを得られる。
11 光学系本体部
12 制御装置
13 コンピュータ
20 レーザ光源
22 シリンドリカルレンズ
23 スリット板
24 反射ミラー
25 モータ
27 ノッチフィルタ
29 透過型グレーティング
31 CCD
32 光電変換素子
K 散乱光
L レーザ光
La 照射箇所
R ラマン散乱光
S 試料
Claims (7)
- 試料へ光を照射して発生させた散乱光の中からラマン散乱光を通過させる遮光フィルタと、通過したラマン散乱光を分光する分光器と、分光されたラマン散乱光のラマンスペクトルを検出する複数の光電変換素子を二次元的に配列した検出器とを備えるラマン分光装置において、
試料への光の照射形状を直線状に変形する変形手段を備え、
前記分光器は、直線状の光の照射に応じて発生した直線状のラマン散乱光に対して直交する向きへ分光しており、
前記検出器は、直線状のラマン散乱光に対して直交する向きに配列された光電変換素子でラマンスペクトルをラマン散乱光の部位別に検出するようにしてあることを特徴とするラマン分光装置。 - 試料へ光を照射して発生させた散乱光の中からラマン散乱光を通過させる遮光フィルタと、ラマン散乱光を分光する分光器と、分光されたラマン散乱光のラマンスペクトルを検出する複数の光電変換素子を二次元的に配列した検出器とを備えるラマン分光装置において、
スポット状のビーム光を照射する複数の光源を備え、
該複数の光源は、夫々照射したビーム光が連なって試料への照射形状が直線状の光になるように配置してあり、
前記分光器は、前記複数の光源による直線状の光の照射に応じて発生した直線状のラマン散乱光に対して直交する向きへ分光しており、
前記検出器は、直線状のラマン散乱光に対して直交する向きに配列された光電変換素子でラマンスペクトルをラマン散乱光の部位別に検出するようにしてあることを特徴とするラマン分光装置。 - 試料への光の照射箇所を直線状の光に対して直交する向きへ移動させる直交移動手段を備える請求項1又は請求項2に記載のラマン分光装置。
- 発生した散乱光の光軸に平行な軸を中心にして試料への光の照射箇所を回転移動させる回転移動手段を備える請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のラマン分光装置。
- 発生した散乱光の光軸に沿って試料への光の照射箇所を移動させる平行移動手段を備える請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のラマン分光装置。
- 試料への光の照射箇所の移動に同期して前記検出器でラマンスペクトルの検出を行う手段を備える請求項3乃至請求項5のいずれかに記載のラマン分光装置。
- 試料へ光を照射して生じさせた発光を分光する分光器と、分光された発光に係る検出を行う複数の光電変換素子を二次元的に配列した検出器とを備える分光装置において、
試料への光の照射形状を直線状に変形する変形手段と、
直線状に変形した光に対して試料への光の照射箇所を直交する向きへ移動させる直交移動手段とを備え、
前記分光器は、直線状の光の照射に応じて生じた直線状の発光に対して直交する向きへ分光しており、
前記検出器は、直線状の発光に対して直交する向きに配列された光電変換素子で発光の部位別に検出を行うようにしてあることを特徴とする分光装置。
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