JP2011510317A - ライン走査型分光装置 - Google Patents
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 abstract description 6
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
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Abstract
Description
2次元状のアレイに配置された複数のディテクタ素子を有するディテクタと、
前記試料および前記ディテクタとの間の光路であって、前記焦点から散乱した光が前記アレイ内のディテクタ素子に向うように構成された当該光路と、を具え、
前記焦点は、第1方向において前記試料に相対移動するように配置され、
前記試料内の所定領域から前記ディテクタにより受容された光についてのデータは前記試料に対する前記焦点の相対移動に同期して蓄積され、
前記焦点はさらに、前記第1方向を横切る第2方向において前記試料に相対移動するように配置され、前記データが蓄積される前記所定領域が、前記第1方向を横切る方向において互いに間隔を置いた複数のポイントを含むようにされている、
分光装置を提供するものである。
Claims (14)
- 焦点と試料とが相対移動可能であり、前記試料上に前記焦点を作り、そこからの散乱光のスペクトルを生成するよう配置された励起光源と、
2次元状のアレイに配置された複数のディテクタ素子を有するディテクタと、
前記試料および前記ディテクタとの間の光路であって、前記焦点から散乱した光が前記アレイ内のディテクタ素子に向うように構成された当該光路と、を具え、
前記焦点は、第1方向において前記試料に相対移動するように配置され、
前記試料内の所定領域から前記ディテクタにより受容された光についてのデータは前記試料に対する前記焦点の相対移動に同期して蓄積され、
前記焦点はさらに、前記第1方向を横切る第2方向において前記試料に相対移動するように配置され、前記データが蓄積される前記所定領域が、前記第1方向を横切る方向において互いに間隔を置いた複数のポイントを含むようにされている、
ことを特徴とする分光装置。 - 前記データは、前記第1方向に対応する方向において前記ディテクタ内でシフトし、前記試料の所定領域からの前記データが前記相対移動に同期して蓄積されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の分光装置。
- 前記データは前記ディテクタから読み出されてから順次に組み合わされ、前記試料の所定領域からの前記データが前記相対移動に同期して蓄積されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の分光装置。
- 前記焦点が線焦点であることを特徴とする請求項1または2に記載の分光装置。
- 前記線焦点が前記第1方向に延在していることを特徴とする請求項4に記載の分光装置。
- 前記線焦点は前記ディテクタ素子の行または列の方向に一致し、前記線焦点の異なる部分から散乱した光が前記行または列内の異なるディテクタ素子のそれぞれに向けられるようにしたことを特徴とする請求項4または5に記載の分光装置。
- 前記データは、前記行または列に沿って、1つの素子から次の素子へと順次に通って行くことを特徴とする請求項6に記載の分光装置。
- 前記線焦点は、前記第2方向における前記相対移動を通じて、前記試料のエリアを掃引することを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の分光装置。
- 前記線焦点は、前記試料の前記エリアを双方向に掃引することを特徴とする請求項8に記載の分光装置。
- 前記線焦点は、前記試料に対し、ジグザグ状に移動することを特徴とする請求項9に記載の分光装置。
- 前記線焦点は、これに平行な2つの境界線間で、該2つの境界線の間にあるどのエリアも除外することなく、掃引を行うことを特徴とする請求項8ないし10のいずれかに記載の分光装置。
- 前記焦点内のポイントからのスペクトルは、前記第1方向に直交する方向において、前記ディテクタを横切って分散することを特徴とする請求項1に記載の分光装置。
- 前記線焦点内のいかなる所定ポイントからのスペクトルも、前記第1方向に直交する方向において、前記ディテクタを横切って分散することを特徴とする請求項2ないし7のいずれかに記載の分光装置。
- 前記列または行のそれぞれに沿った方向の各波数についてのデータを前記線焦点および前記試料の前記相対移動に同期して移動させながら、前記スペクトルを横切って広がる方向の波数を、前記2次元状のアレイの行または列のそれぞれにおいて同時に取得するようにしたことを特徴とする請求項13に記載の分光装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBPCT/GB2008/000252 | 2008-01-25 | ||
PCT/GB2008/000252 WO2008090350A1 (en) | 2007-01-25 | 2008-01-25 | Spectroscopic apparatus and methods |
GBGB0803798.8A GB0803798D0 (en) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | Spectroscopic apparatus and methods |
GB0803798.8 | 2008-02-29 | ||
PCT/GB2009/000214 WO2009093050A1 (en) | 2008-01-25 | 2009-01-26 | Line scanning raman spectroscopic apparatus |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011510317A true JP2011510317A (ja) | 2011-03-31 |
JP2011510317A5 JP2011510317A5 (ja) | 2012-03-08 |
JP5992143B2 JP5992143B2 (ja) | 2016-09-14 |
Family
ID=39315747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010543575A Active JP5992143B2 (ja) | 2008-01-25 | 2009-01-26 | ライン走査型分光装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2243008B1 (ja) |
JP (1) | JP5992143B2 (ja) |
CN (1) | CN101925806B (ja) |
GB (1) | GB0803798D0 (ja) |
WO (1) | WO2009093050A1 (ja) |
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CN105793695B (zh) | 2013-10-03 | 2020-04-14 | 瑞尼斯豪公司 | 用相机探头探查物体的方法 |
CN104729994B (zh) * | 2013-12-20 | 2018-05-29 | 福州高意通讯有限公司 | 用于增强拉曼光谱仪信噪比的方法和装置 |
JP5901814B1 (ja) * | 2015-03-25 | 2016-04-13 | 日本分光株式会社 | 顕微分光装置 |
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-
2008
- 2008-02-29 GB GBGB0803798.8A patent/GB0803798D0/en not_active Ceased
-
2009
- 2009-01-26 JP JP2010543575A patent/JP5992143B2/ja active Active
- 2009-01-26 CN CN2009801028459A patent/CN101925806B/zh active Active
- 2009-01-26 EP EP09704541.3A patent/EP2243008B1/en active Active
- 2009-01-26 WO PCT/GB2009/000214 patent/WO2009093050A1/en active Application Filing
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US10876894B2 (en) | 2015-03-09 | 2020-12-29 | Renishaw Plc | Transmission Raman spectroscopy |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101925806A (zh) | 2010-12-22 |
GB0803798D0 (en) | 2008-04-09 |
EP2243008A1 (en) | 2010-10-27 |
JP5992143B2 (ja) | 2016-09-14 |
WO2009093050A1 (en) | 2009-07-30 |
CN101925806B (zh) | 2011-11-09 |
EP2243008B1 (en) | 2018-08-29 |
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