JP6811708B2 - 分光装置 - Google Patents
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Description
サンプルのための支持部、
サンプル上に光プロファイルを生成するように配置された光源、
当該支持部及び光源は、当該光プロファイルが当該サンプルに対して可動であるように配置されており、
当該光源からの光と当該サンプルとの相互作用によって生成された光を受取る光入力部、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器、
光入力部と検知器との間に配置され、光入力部によって受取られた光を検知器にわたるスペクトル方向にスペクトル的に分散させる分散装置、
光入力部と検知器との間の光路中に位置され、サンプル上の所与のポイントによって生成されるスペクトルについて、スペクトルの第1の部分と第2の部分の各々がアレイの異なる列又はコラムの光検知器素子にわたって分散されるように、波数に基づいて光を分割する光学スプリッタ、及び
データが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたってスペクトルの第1及び第2の部分の各々に蓄積されるように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でのデータのシフトを制御するべく配置されたコントローラ、
を備えることを特徴とする分光装置が提供されている。
サンプルのための支持部、
サンプル上に光プロファイルを生成するように配置された光源、
当該支持部及び光源は、当該光プロファイルが当該サンプルに対して可動であるように配置されており、
当該光源からの光と当該サンプルとの相互作用によって生成された光を受取る光入力部、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器、
光入力部と検知器との間に配置され、光入力部によって受取られた光を検知器にわたるスペクトル方向にスペクトル的に分散させる分散装置、
スペクトル方向における検知器の幅によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生する、サンプル上の所与のポイントによって生成されたスペクトルの第1及び第2の部分が検知器の光検知器素子に向けられるように、光入力部と検知器との間の光路中に配置され波数に基づいて光を分割する光学スプリッタ、及び
データが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたってスペクトルの第1及び第2の部分の各々に蓄積されるように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でのデータのシフトを制御するべく配置されたコントローラ、を備えることを特徴とする分光装置が提供されている。
サンプル上に光プロファイルを生成するべくサンプルを照射すること、
サンプルに相対的に光プロファイルを移動させること、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器にわたるスペクトル方向に、光プロファイルの光とサンプルとの相互作用によって生成され、受取られた光をスペクトル的に分散させること、
サンプル上の所与のポイントによって生成されるスペクトルについて、スペクトルの第1の部分と第2の部分の各々が、アレイの異なる列又はコラムの光検知器素子にわたって分散されるように、波数に基づいて受取られた光を分割すること、及び
スペクトルの第1及び第2の部分の各々のデータが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたって蓄積するように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でデータをシフトさせること、を備えることを特徴とする分光方法が提供される。
サンプル上に光プロファイルを生成するべくサンプルを照射すること、
サンプルに相対的に光プロファイルを移動させること、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器にわたるスペクトル方向に、光プロファイルの光とサンプルとの相互作用によって生成され、受取られた光をスペクトル的に分散させること、
スペクトル方向において検知器の幅によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生する、サンプル上の所与のポイントによって生成されたスペクトルの第1及び第2の部分が、検知器の光検知器素子に向けられるように、波数に基づいて光を分割すること、及び
スペクトルの第1及び第2の部分の各々のデータが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたって蓄積するように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でデータをシフトさせること、を備えることを特徴とする分光方法が提供される。
サンプルのための支持部、
サンプル上に光プロファイルを生成するように配置された光源、
当該光源からの光と当該サンプルの相互作用によって生成された光を受取る光入力部、
光検知器素子の列を備える検知器、
光入力部と検知器との間に配置された分散装置であって、検知器の列にわたり光入力部によって受取られた光をスペクトル的に分散させる分散装置、
光入力部と検知器との間の光路中に配置され、検知器の列によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生し、サンプル上の所与のポイントによって発生される、スペクトル的に分離されたスペクトルの第1及び第2の部分が、当該列の光検知器素子に同時に向けられるように、波数に基づいて光を分割する光学スプリッタ、を備えることを特徴とする分光装置が提供される。
サンプル上に光プロファイルを生成するべくサンプルを照射すること、
光検知器素子の列を備える検知器にわたるスペクトル方向に、光プロファイルの光とサンプルとの相互作用によって生成され、受取られた光をスペクトル的に分散させること、
サンプル上の所与のポイントによって生成されるスペクトルについて、検知器の列によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって生ずる、スペクトル的に分離されたスペクトルの第1及び第2の部分が検知器の列の光検知器素子にわたって同時に向けられるように、波数に基づいて、受取られた光を分割すること、を備えることを特徴とする分光方法が提供される。
Claims (15)
- サンプルのための支持部、
サンプル上に光プロファイルを生成するように配置された光源、
当該支持部及び光源は、当該光プロファイルが当該サンプルに対して可動であるように配置されており、
当該光源からの光と当該サンプルとの相互作用によって生成された光を受取る光入力部、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器、
光入力部と検知器との間に配置され、光入力部によって受取られた光を検知器にわたるスペクトル方向にスペクトル的に分散させる分散装置、
光入力部と検知器との間の光路中に配置され、異なる波数範囲の光が異なる第1の光路及び第2の光路に沿って検出器へと進むように、波数に基づいて光を分割する光学スプリッタ、
光入力部によって受取られた光をフィルタリングするブロッキングフィルタの配置であって、スペクトル方向における検知器の幅によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生する、サンプル上の所与のポイントによって生成されたスペクトルの第1及び第2の部分が検知器の光検知器素子に向けられるように、光学スプリッタによって第1の光路に沿って向けられた波数、または光学スプリッタによって第1の光路に沿って方向付けされる前の波数、及び、光学スプリッタによって第2の光路に沿って向けられた波数、または光学スプリッタによって第2の光路に沿って方向付けされる前の波数をフィルタリングするブロッキングフィルタの配置、及び
データが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたってスペクトルの第1及び第2の部分の各々に蓄積されるように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でのデータのシフトを制御するべく配置されたコントローラ、
を備えることを特徴とする分光装置。 - 第1及び第2の部分の各々は、アレイの異なる列又はコラムの光検知器素子にわたって分散されていることを特徴とする請求項1に記載の分光装置。
- 第1及び第2の部分は、アレイの同じ列又はコラムの異なる光検知器素子にわたって分散されていることを特徴とする請求項1に記載の分光装置。
- 光学スプリッタは、光入力部と検知器との間に配置された少なくとも一つの分割フィルタを備え、当該分割フィルタは、スペクトルの第1の部分を第1の光路に沿って検知器に伝送し、且つ、スペクトルの第2の部分を第2の、異なる光路に沿って検知器へ反射することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の分光装置。
- 当該ブロッキングフィルタの配置は、光学スプリッタの前に少なくとも一つのブロッキングフィルタを備え、当該少なくとも一つのブロッキングフィルタは、そうでなければ、第1の光路に沿って方向付けされる波数をブロックし、及び第2の光路に沿って方向付けされる波数をブロックすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の分光装置。
- 当該ブロッキングフィルタの配置は、光学スプリッタによって第1の光路に沿って向けられる、波数に基づく光をフィルタリングする、第1の光路内の第1のブロッキングフィルタと、光学スプリッタによって第2の光路に沿って向けられる、波数に基づく光をフィルタリングする、第2の光路内の第2の、異なるブロッキングフィルタと、を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の分光装置。
- 第1及び第2のブロッキングフィルタは、第1及び第2のブロッキングフィルタの各々が、スペクトルの第2及び第1の部分のそれぞれのデータが蓄積される、検知器の光検知器素子に、そうでなければ、分散されるであろう光をブロックするように、相補的であることを特徴とする請求項6に記載の分光装置。
- 装置は、スペクトルの異なる部分が選択され得るように、第1及び第2の光路の内外に移動されるべく配置された複数の第1及び第2のブロッキングフィルタの相補対、を備えることを特徴とする請求項7に記載の分光装置。
- 第1及び第2のブロッキングフィルタの各々は、波数の所望の範囲をブロックするべく調整可能であることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の分光装置。
- 一つ以上のブロッキングフィルタは、光路(複数も可)の内外に移動されるべく配置されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の分光装置。
- 第1の光路に沿って検知器に進む光を完全にブロックするため、第1の光路の内外に移動可能な第1のシャッタと、第2の光路に沿って検知器に進む光を完全にブロックするため、第2の光路の内外に移動可能な第2のシャッタと、をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の分光装置。
- サンプル上に光プロファイルを生成するべくサンプルを照射すること、
サンプルに相対的に光プロファイルを移動させること、
光検知器素子の二次元アレイを備える検知器にわたるスペクトル方向に、光プロファイルの光とサンプルとの相互作用によって生成され、受取られた光をスペクトル的に分散させること、
異なる波数範囲の光が異なる第1の光路及び第2の光路に沿って検出器へと進むように、波数に基づいて光を分割すること、
スペクトル方向において検知器の幅によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生する、サンプル上の所与のポイントによって生成されたスペクトルの第1及び第2の部分が、検知器の光検知器素子に向けられるように、光入力部によって受取られた光をフィルタリングし、第1の光路に沿って向けられた波数、または第1の光路に沿って方向付けされる前の波数、及び、第2の光路に沿って向けられた波数、または第2の光路に沿って方向付けされる前の波数をフィルタリングすること、及び
スペクトルの第1及び第2の部分の各々のデータが、相対的移動中に、検知器の光検知器素子の異なるセットにわたって蓄積するように、光プロファイルとサンプルとの間の相対的移動に同期して、スペクトル方向に直交する空間方向において光検知器素子の間でデータをシフトさせること、
を備えることを特徴とする分光方法。 - サンプルのための支持部、
サンプル上に光プロファイルを生成するように配置された光源、
当該光源からの光と当該サンプルの相互作用によって生成された光を受取る光入力部、
光検知器素子の列を備える検知器、
光入力部と検知器との間の光路中に配置され、異なる波数範囲の光が異なる第1の光路及び第2の光路に沿って検出器へと進むように、波数に基づいて光を分割する光学スプリッタ、
光学スプリッタと検知器との間に配置された分散装置であって、検知器の列にわたり光入力部によって受取られた光をスペクトル的に分散させる分散装置、及び
光入力部によって受取られた光におけるラマン散乱光の波数をフィルタリングするブロッキングフィルタの配置であって、検知器の列によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって発生し、サンプル上の所与のポイントによって発生される、スペクトル的に分離されたスペクトルの第1及び第2の部分が、当該列の光検知器素子に同時に向けられるように、光学スプリッタによって第1の光路に沿って向けられた波数、または光学スプリッタによって第1の光路に沿って方向付けされる前の波数、及び、光学スプリッタによって第2の光路に沿って向けられた波数、または光学スプリッタによって第2の光路に沿って方向付けされる前の波数をフィルタリングするブロッキングフィルタの配置、
を備えることを特徴とする分光装置。 - 当該光プロファイルはライン焦点であり、且つ当該検知器は光検知器素子の二次元アレイを備え、分散装置が、当該ライン焦点によって照射されたサンプル上の所与の各ポイントについて、検知器の列によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって生ずる、所与のポイントによって生成されるスペクトルのスペクトル的に分離された第1及び第2の部分が、同じ列の光検知器素子に同時に向けられるように、サンプルと検知器の複数の列にわたるライン焦点との相互作用によって生成される光をスペクトル的に分散させるべく配置されていたることを特徴とする請求項13に記載の分光装置。
- サンプル上に光プロファイルを生成するべくサンプルを照射すること、
光検知器素子の列を備える検知器にわたるスペクトル方向に、光プロファイルの光とサンプルとの相互作用によって生成され、受取られた光を、分散装置でスペクトル的に分散させること、
受取られた光が分散装置に入射する前に、異なる波数範囲の光が異なる第1の光路及び第2の光路に沿って検出器へと進むように、波数に基づいて、受取られた光を分割すること、
サンプル上の所与のポイントによって生成されるスペクトルについて、検知器の列によって提供されるスペクトル領域よりも大きいスペクトル領域にわたって生ずる、スペクトル的に分離されたスペクトルの第1及び第2の部分が検知器の列の光検知器素子にわたって同時に向けられるように、光入力部によって受取られた光におけるラマン散乱光の波数をフィルタリングし、第1の光路に沿って向けられた波数、または第1の光路に沿って方向付けされる前の波数、及び、第2の光路に沿って向けられた波数、または第2の光路に沿って方向付けされる前の波数をフィルタリングすること、
を備えることを特徴とする分光方法。
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