JP2018516356A - 透過ラマン分光 - Google Patents
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Abstract
Description
光プロファイルを試料に生じさせるための光源と、
少なくとも1つの光検出素子を有する光検出器と、
試料を通って伝播するラマン散乱光を集め、このラマン散乱光を少なくとも1つの光検出素子に導くように設けられた収集光学機器と、
試料を支持するための支持体と
を具え、少なくとも1つの光検出素子が試料の光プロファイルの異なる場所に生ずるラマン散乱光を受け入れるように、支持体および光源は、試料に対して光プロファイルを動かすことができるように配置されている透過ラマン分光装置が提供される。
光プロファイルを試料に対して動かすステップと、
前記光プロファイルと前記試料との相互作用により前記試料の異なる場所にて生じ、前記試料を通って伝播するラマン散乱光を収集し、このラマン散乱光を光検出器の少なくとも1つの光検出素子に導いて前記光検出素子が前記ラマン散乱光を受け入れるようにするステップと、
を具えていることを特徴とする方法が提供される。
混合された前記流動可能な材料の試料に対して透過ラマン分光を行ってスペクトルデータを得るステップと、
前記複数の流動可能な材料の混合物の望ましい比率における参照スペクトルであるあらかじめ決められた参照スペクトルを前記スペクトルデータに適合化させるステップと、
前記あらかじめ決められた参照スペクトルが前記スペクトルデータに適合化する範囲を定量化した効果尺度に基づいて試料中の複数の流動可能な材料が十分に混合されているか否かを決定するステップと、
を具えていることを特徴とする方法が提供される。
Claims (22)
- 光プロファイルを試料に生じさせるための光源と、
少なくとも1つの光検出素子を有する光検出器と、
前記試料を通って伝播するラマン散乱光を集め、このラマン散乱光を前記少なくとも1つの光検出素子に導くように配置された収集光学機器と、
前記試料を支持するための支持体と
を具え、前記少なくとも1つの光検出素子が前記試料の前記光プロファイルの異なる場所に生ずるラマン散乱光を受け入れるように、前記支持体および前記光源は、前記試料に対して前記光プロファイルを動かすことができるように設けられていることを特徴とする透過ラマン分光装置。 - 前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられたコントローラーを具え、前記光プロファイルと前記試料との相互作用によって生ずるラマン光のデータが、前記試料に対する前記光プロファイルの複数の場所に関して前記少なくとも1つの光検出素子に蓄積されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられたコントローラーを具え、前記少なくとも1つの光検出素子は、前記光プロファイルと前記試料との相互作用によって生ずるラマン光のデータを、前記試料に対する前記光プロファイルの複数の場所のそれぞれ1つに関して独立に集めるようになっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記コントローラーが前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられ、前記光プロファイルと前記試料の所定領域との相互作用によって生ずるラマン光に関して前記少なくとも1つの光検出素子によって集められるデータは、前記少なくとも1つの光検出素子が前記光プロファイルと前記試料の異なる所定領域との相互作用によって生ずるラマン光のデータを集める前に、前記光検出器から読み出されるようになっていることを特徴とする請求項3に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記光検出素子は少なくとも横一列または縦一列の光検出素子を具え、前記コントローラーは前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられ、前記光プロファイルと前記試料の所定領域との相互作用によって生ずるラマン光に関して前記少なくとも1つの光検出素子によって集められるデータは、前記試料に対する前記光プロファイルの動きと同期して前記横一列または縦一列の他の光検出素子へと移管され、前記少なくとも1つの光検出素子が前記光プロファイルと前記試料の異なる所定領域との相互作用によって生ずるラマン光のデータを独立に集めることができるようになっていることを特徴とする請求項3に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記コントローラーは前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられ、前記試料の第1の区域内の複数の所定領域に関するデータは、前記試料の第2の区域内の複数の所定領域に関する前記少なくとも1つの光検出素子に蓄積されるデータとは独立に、前記少なくとも1つの光検出素子に蓄積されるようになっていることを特徴とする請求項1から請求項5までの何れか一項に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記支持体および前記光源は、前記光プロファイルをラスター走査にて前記試料に対して動かすことができるように設けられていることを特徴とする請求項1から請求項6までの何れか一項に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記支持体および前記光源は、前記光プロファイルがスパイラル走査にて前記試料に対して動かすことができるように設けられていることを特徴とする請求項1から請求項6までの何れか一項に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記支持体は前記光源と共に軸線の周りを回転するように配置され、前記光源は前記光プロファイルを前記軸線に対し直線経路に沿って動かすように配置されていることを特徴とする請求項8に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記支持体の回転角速度および/または前記光プロファイルが前記直線経路に沿って動く速度は、前記スパイラル走査に沿ったそれぞれ所定領域に関する露光時間がほぼ同じとなるように、変更されることを特徴とする請求項9に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記光検出器は、前記光検出素子の二次元アレイと、前記収集光学機器、前記二次元アレイの少なくとも横一列または縦一列の全域に亙って前記ラマン散乱光のスペクトルを分散するための分散素子とを具えていることを特徴とする請求項1から請求項10までの何れか一項に記載の透過ラマン分光装置。
- 前記光源は、一本の線を具えた光プロファイルを形成するように配置され、前記コントローラーは、前記光検出器および前記光源および/または前記支持体を制御するように設けられ、前記少なくとも1つの光検出素子によって集められて前記光プロファイルと前記試料の所定領域との相互作用によって生ずるラマン光に関するデータが前記試料に対する前記線の移動と同期して前記横一列または縦一列の他の光検出素子へと移管され、前記光プロファイルと前記試料の所定領域との相互作用によって生ずるラマン光のデータが複数の前記光検出素子の全体に亙って蓄積されるようになっていることを特徴とする請求項11に記載の透過ラマン分光装置。
- 透過ラマン分光を試料に行う方法であって、
光プロファイルを試料に対して動かすステップと、
前記光プロファイルと前記試料との相互作用により前記試料の異なる場所にて生じ、前記試料を通って伝播するラマン散乱光を収集し、このラマン散乱光を光検出器の少なくとも1つの光検出素子に導いて前記光検出素子が前記ラマン散乱光を受け入れるようにするステップと、
を具えていることを特徴とする方法。 - 請求項1から請求項12までの何れか一項に記載の透過ラマン分光装置のコントローラーによって実行される命令を格納したデータ記憶媒体であって、前記透過ラマン分光装置を制御して請求項13に記載の方法を前記コントローラーに実行させることを特徴とするデータ記憶媒体。
- 複数の流動可能な材料が十分に混合されているか否かを決定する方法であって、
混合された前記流動可能な材料の試料に対して透過ラマン分光を行ってスペクトルデータを得るステップと、
あらかじめ決められた参照スペクトルを前記スペクトルデータに適合化させるステップであって、前記あらかじめ決められた参照スペクトルが前記複数の流動可能な材料の混合物の望ましい比率における参照スペクトルであるステップと、
前記あらかじめ決められた参照スペクトルが前記スペクトルデータに適合化する範囲を定量化した効果尺度に基づいて試料中の複数の流動可能な材料が十分に混合されているか否かを決定するステップと
を具えていることを特徴とする方法。 - 前記流動可能な材料を混合して継続/中止判定検査をもたらすことを具えている製造プロセスにてこの方法が用いられることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記適合化させるステップは、前記スペクトルデータに対して前記あらかじめ決められた参照スペクトルの直接最小二乗適合を用いてあらかじめ決められた参照スペクトルに関する濃度を決定することを具えていることを特徴とする請求項15または請求項16に記載の方法。
- 前記効果尺度が濃度であり、この濃度があらかじめ決められた域値よりも高いか否かを決定することをさらに具えていることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 請求項13に記載の方法と組み合わせて用いられることを特徴とする請求項15から請求項18までの何れか一項に記載の方法。
- 前記スペクトルデータは、静止捕捉収集量よりも大きい前記試料の量に関する前記ラマン散乱光の合計であることを特徴とする請求項19に記載の方法。
- 前記スペクトルデータは、前記試料に対して前記光プロファイルの異なる場所に関して集められた個別のラマンスペクトルを具えていることを特徴とする請求項19に記載の方法。
- プロセッサーによって実行される命令を格納したデータ記憶媒体であって、請求項15から請求項21までの何れか一項の方法を前記プロセッサーに実行させることを特徴とするデータ記憶媒体。
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