JP5901814B1 - 顕微分光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
照射光をライン状に整形するビーム整形手段と、
整形されたライン状照射光の集光位置に試料を位置決めするための可動ステージと、
試料に形成されるライン状の照射領域からの光を集める集光レンズと、
前記集光レンズによるライン状照射領域の結像位置に設けられ、前記ライン状照射領域の像の長手方向に平行なスリットと、
前記スリットの通過光を受けて、前記ライン状照射領域の像を当該像の長手方向に直交する方向に分散させる分光手段と、
分散した前記ライン状照射領域の像を検出する光検出手段と、
前記可動ステージおよび前記光検出手段を同期させてマッピング測定を実行するマッピング測定制御手段と、を備え、
前記光検出手段は、前記ライン状照射領域の像の長手方向およびこれに直交する分散方向の2方向に配置された受光素子群からなり、
前記マッピング測定制御手段は、
前記可動ステージの移動によって前記ライン状照射領域を試料において当該ライン状照射領域の長手方向に直交する方向へ停止させることなく連続的に移動させる連続走査制御部と、
前記ライン状照射領域の連続的な移動中に、前記光検出手段の露光期間および読出期間からなる光検出サイクルを当該光検出手段に実行させて、一回の前記光検出サイクル中の前記ライン状照射領域の移動範囲の平均的なスペクトルを一つ取得する光検出制御部と、
前記光検出サイクル毎の平均的なスペクトルを蓄積してマッピングデータを構成するマッピングデータ構成部と、を有することを特徴とする。
前記ビーム整形手段を介さずに円形断面の照射光を試料に集光させたときのスポット径を集光限界とすると、前記ビーム整形手段を介して前記試料に形成されるライン状照射領域の形状は、前記集光限界に相当する幅寸法、および、前記幅寸法の2〜500倍の長さ寸法を有することが好ましい。
結像レンズ34は、対物レンズ32と同じ光軸上に配置され、対物レンズ32からの光を後段のスリット38の位置に結像させ、スリット位置にライン状照射領域の像IAを形成する。
制御装置70はラマン分光装置全体を制御するためのものであるが、本実施形態では、CCD検出器60のフルビニング処理を利用したマッピング測定に関する事項を中心に説明する。制御装置70は、可動ステージ40およびCCD検出器60の同期駆動によるマッピング測定を実現させるため、マッピング範囲設定部72、連続走査制御部74、光検出制御部76、および、マッピングデータ構成部78を含んでいる。制御装置70は、例えば、マイクロコントローラユニット(MCU)で構築してもよいし、分光装置に専用の制御コンピュータで構築してもよい。そして、制御装置70は、これらの各機能を実行するためのプログラムを有している。
M=85mm/1.8mm=47.2倍
となる。CCD検出器のY方向のサイズは3.2mm(1画素:16μm)であるから、CCD検出器が結像レンズおよび対物レンズを通して光を取り込む際の測定範囲Lは、
L=CCD検出器のY方向サイズ/光学倍率M=3.2mm/47.2=68μm
になる。
図2を用いて、マッピング測定方法について説明する。測定の手順は、マッピング範囲の設定S1→試料の位置決めS2→連続走査の開始(同時に光検出サイクルの開始)S3→反復動作(行換え及び連続走査の再開)S4→マッピングデータの構築(マッピング表示など)S5である。
図4および図5を用いて、従来型のラインマッピングとの違いを説明する。図4に、本実施形態における可動ステージ40とCCD検出器60の同期動作を、可動ステージ40の加速期間も合わせて示した。加速中、すなわち、移動速度が一定になるまでは、CCD検出器60の露光を開始しない。移動速度が一定になってから、露光を開始する。一旦、速度が安定すれば、その状態を維持して、露光および読出の光検出サイクルを繰り返し実行する。行換え動作などが必要になるまで、可動ステージ40に対して他の動作指令は付与されず、可動ステージ40の連続走査が中断することはない。
図6に、本実施形態のラインマクロマッピング測定の適用例を示す。錠剤の成分分布の測定を目的として、10mm角のマッピング範囲に、1辺が100μmのマスをX,Y方向に100マスずつ配置した。測定点数は1万ポイントになる。図6は、1マス(100μm角)の露光時間を5通り(1、10、100、500、1000ms)に設定した場合の可動ステージ40の走査速度、および、測定時間を示した一覧である。なお、CCD検出器60の読出時間および行換え時間をゼロとして、測定時間を算出した。露光時間が長ければ測定時間も長くはなるが、どの露光時間の条件においても、従来型のラインマッピング測定の測定時間から大幅に短縮されている。この一覧から分かるように、露光時間が1msと短いと、測定時間を10秒と短くできるが、100mm/sという高速移動に適した可動ステージが必要になる。露光時間の設定下限値は、10msになる。これは、FVBモードでの読み取りに数msかかるためである。代表的な検出器のスペクトル読み取り速度は、1秒間に269点(1点あたり4ms)であり、その他、75点(14ms)、122点(8.2ms)、396点(2.5ms)の検出器がある。
図8は、本発明の顕微分光装置の第二実施形態であるラマン分光装置110の概略構成図である。図1のラマン分光装置10の構成との違いは、制御装置170におけるマッピング範囲設定部172、連続走査制御部174および光検出制御部176にあり、その他の構成は略同様である。
以降、広範囲マッピングに関する幾つかの比較例を挙げて、本発明の顕微分光装置の優位性を説明する。
26 シリンドリカルレンズ(ビーム整形手段)
32 対物レンズ(集光レンズ)
38 スリット
40 可動ステージ
50 分光器(分光手段)
60 CCD検出器(光検出手段)
70,170 制御装置(マッピング測定制御手段)
74,174 連続走査制御部
76,176 光検出制御部
78,178 マッピングデータ構成部
Claims (6)
- 二次元または三次元のマッピング測定用の顕微分光装置であって、
照射光をライン状に整形するビーム整形手段と、
整形されたライン状照射光の集光位置に試料を位置決めするための可動ステージと、
試料に形成されるライン状の照射領域からの光を集める集光レンズと、
前記集光レンズによるライン状照射領域の結像位置に設けられ、前記ライン状照射領域の像の長手方向に平行なスリットと、
前記スリットの通過光を受けて、前記ライン状照射領域の像を当該像の長手方向に直交する方向に分散させる分光手段と、
分散した前記ライン状照射領域の像を検出する光検出手段と、
前記可動ステージおよび前記光検出手段を同期させてマッピング測定を実行するマッピング測定制御手段と、を備え、
前記光検出手段は、前記ライン状照射領域の像の長手方向およびこれに直交する分散方向の2方向に配置された受光素子群からなり、
前記マッピング測定制御手段は、
前記可動ステージの移動によって前記ライン状照射領域を試料において当該ライン状照射領域の長手方向に直交する方向へ停止させることなく連続的に移動させる連続走査制御部と、
前記ライン状照射領域の連続的な移動中に、前記光検出手段の露光期間および読出期間からなる光検出サイクルを当該光検出手段に実行させて、一回の前記光検出サイクル中の前記ライン状照射領域の移動範囲の平均的なスペクトルを一つ取得する光検出制御部と、
前記光検出サイクル毎の平均的なスペクトルを蓄積してマッピングデータを構成するマッピングデータ構成部と、を有することを特徴とする顕微分光装置。 - 請求項1記載の装置において、前記マッピング測定制御手段は、一回の前記光検出サイクル中の前記移動範囲が前記ライン状照射領域の長手方向の寸法を一辺とする正方形に相当するように、前記可動ステージの移動速度または前記光検出サイクルのサイクル期間を変更することを特徴とする顕微分光装置。
- 請求項2記載の装置において、前記光検出制御部は、前記読出期間に、分散した前記ライン状照射領域の像の長手方向に一列に並んでいる全ての受光素子をひとまとめにして読み出す処理を実行することを特徴とする顕微分光装置。
- 請求項1記載の装置において、前記マッピング測定制御手段は、一回の前記光検出サイクル中の前記移動範囲が前記ライン状照射領域の長手方向の寸法を長辺とする長方形に相当し、かつ、前記長辺が当該長方形の短辺のn倍(nは2以上の整数)に相当するように、前記可動ステージの移動速度または前記光検出サイクルのサイクル期間を変更することを特徴とする顕微分光装置。
- 請求項4記載の装置において、前記光検出制御部は、前記読出期間に、分散した前記ライン状照射領域の像の長手方向に一列に並んでいる全ての受光素子をn個のグループに分けて、各グループの受光素子をひとまとめにして読み出す処理を実行することを特徴とする顕微分光装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載の装置において、
前記ビーム整形手段を照射光の光軸に対してオンライン位置およびオフライン位置に切り換える切換手段を備え、
前記ビーム整形手段を介さずに円形断面の照射光を試料に集光させたときのスポット径を集光限界とすると、前記ビーム整形手段を介して前記試料に形成されるライン状照射領域の形状は、前記集光限界に相当する幅寸法、および、前記幅寸法の2〜500倍の長さ寸法を有することを特徴とする顕微分光装置。
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