JP2006057652A - 動圧流体軸受 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 軸受ハウジング11の内壁に複数のスリット16を設けた弾性材料の薄板平板からなるスプリングフォイル12を装着し、スプリングフォイルの内側にトップフォイル13を配置し、トップフォイルの内側に回転軸14を配置して、スプリングフォイル12がスリット16の位置で折り曲がって内壁内側に接する多数の弾性梁を形成し、この弾性梁によって回転軸14を弾性的に支持する。
【選択図】 図1
Description
バンプフォイルは、剛性が高く寸法余裕が小さい。また、剛性を下げると使用により塑性変形して性能を発揮しにくくなる。
リーフフォイルも一定の形状に成型する必要があるため成型加工の手間が必要となり、また軸受を組み立てる手間が掛かる。
開示された流体力学的箔軸受に使用するスプリングフォイルも、切り起こし支持板の姿勢を維持するため成型加工を行う必要がある。
特許文献3に開示された軸受は、梁部の持つ弾性と屈曲部の接触による摩擦減衰が得られて、ジャーナルの高速回転で発生する自励振動を抑制することができる。
しかし、厚さ数100μm以下という極めて薄いスプリングフォイルの薄板平板に一定の厚みを残して溝を形成することは難しい上、溝部の板厚が極めて薄くなるため一部に亀裂が発生したときにも幅方向に進展しやすく、強度上問題である。
このように、従来のトップフォイル固定方法はハウジング内面に固定するための特別な工作が必要になる上、回転軸の回転方向を一方に限定する問題があった。
薄板平板で形成したスプリングフォイルにスリットを設けることにより場所によって曲げ剛性に強弱差を与えて、このスプリングフォイルを軸受ハウジングの内壁に装着すると、剛性の小さなスリット位置で折り曲がって内壁内側に接し、隣接するスリットの間に多数の弾性梁が生成して多角形断面を形成する。この弾性梁によってトップフォイルを弾性的に支持することができる。
スリットは、スプリングフォイルを軸受ハウジングに挿入したときに回転軸にほぼ平行になる方向に設けて、スリット位置でフォイルを折り曲げて節となるようにすることができる。弾性梁における曲げ剛性の強弱差はスリットに挟まれたフォイル部の長さの差によりもたらされる。
回転軸に平行なスリットは、等長のものを等間隔に配置することにより、弾性梁の剛性が互いにほぼ等しくなるようにしても良い。
スリットは、フォイルの側端から中央線に向かって形成されるようにしてもよい。側端でスリットが開放されていると、フォイルの側部で剛性が減少して回転軸の片当たりを防止することができる。
スリットを太い切り落とし形状にして、隣接するスリットの稜線までの距離が平板の端からの距離により異なるようにすることにより、剛性を変化させるようにしても良い。たとえば、切り落とし形状をスリット内に三角形や半円形が突出した形状にすると、突出した部分が支点になる間は梁の実効幅が小さく剛性が弱いが、回転が高速になりトップフォイルがハウジングに近づくにつれて剛性が強くなる。また、スリット形状が半円形になっている場合では、初めは弾性梁の長さが大きくトップフォイルが広がるにつれて短い梁が作用を及ぼすようになるので、高速回転になるにつれて急激に剛性が強化するような特性を呈することになる。
このように、スリット形状を選択することによって希望の剛性特性を得ることができる。
1枚の薄板の一端からスプリングフォイルを形成し、回転軸を囲う程度に余らせた他端側に固体潤滑剤を施してトップフォイルとして利用することができる。トップフォイルは常時スプリングフォイルの内側に配置されるからである。
スプリングフォイルのスリット部は複数のスリットが高い密度で併設されていても良い。スリット部が屈折してハウジング内壁に接触するが、複数のスリットを高密度で併設すれば、内壁に沿う多数の稜線部分が押圧力を分担するので、接触面圧を低減することができる。
スプリングフォイルはトップフォイルの周囲に多重に巻き付かせるようにしてもよい。特に、外側のスプリングフォイルの梁の中央位置に内側のスプリングフォイルのスリットが対応するようにして重ねるとよい。
スプリングフォイルを複数、相互に重なる部分を有するように配置すると、フォイル同士の摩擦を利用して軸受の振動を減衰させる効果を得ることができる。
スリットはエッチングで製作することができる。エッチング法を用いれば、プリント基板と同様に極めて細かい寸法のスリットも正確にかつ容易に形成することができる。
また、止め壁の前面には断面が三角形状をした掘り込みを形成して、トップフォイルが自然に曲線を描いて係止されるようにすることが好ましい。
また、トップフォイルの取り外し、装置の分解も容易である。
この方法では、トップフォイルの両端共にハウジングに固定され、いずれの固定部分からもトップフォイルと回転軸の間に空気を導入することができるので、回転軸をいずれの方向に回転させても流体軸受としての性能を発揮させることができる。
また、固定部分における空間からの空気導入を促進して冷却能力を高めるため、垂直な止め壁の前面に形成する三角形状の掘り込みを大きくすることが好ましい。また、堀り込みは軸受の回転方向入口(リーディング)側を出口(トレーディング)側より深くして、空気を導入しやすくすることもできる。
この係止機構では、トップフォイルと一緒にスプリングフォイルあるいはバンプフォイルなどを固定することも可能である。
さらに、トップフォイルの両端が当るハウジング内壁の位置に内壁面に対してほぼ60°から90°の角度を有する止め壁とその止め壁の前面に断面が三角形状をした掘り込みを形成して構成した係止機構であって、トップフォイルを止め壁の面間に展張して挿入することにより固定するようにした各種フォイルを使用する動圧流体軸受に用いることができるトップフォイル係止機構を提供する。
本実施例の動圧気体軸受1は、筒形のハウジング11の内壁に接触するようにスプリングフォイル12が配置され、その内側にトップフォイル13が一端をハウジング内壁に固定しハウジング内壁に沿ってほぼ1周するように取付けられ、トップフォイル13が形成する筒形の中に空気層15を介して回転軸14が収納されている。
スプリングフォイル12のスリットの間隔が長いとその間に形成される長い弾性梁Aの剛性は小さくなり、間隔が短いところに存在する短い弾性梁Bの剛性が大きくなる。このように、スプリングフォイル12の剛性はスリットの位置により調整ができるので、軸受の周に沿った望みの位置に望みの弾性を持たせるようにすることができる。
回転軸14は、図1に矢印で示したように、トップフォイル13の自由端の方向に回転させる。回転が開始されると空気が回転軸14とトップフォイル13の間に引き込まれて空気層15が形成される。空気層15は回転軸14の回転摩擦を著しく低減させて円滑な回転を可能とする。
ただし、本実施例の動圧気体軸受では、回転軸14が反対に固定端の方から回転すると、トップフォイル13が回転軸14の表面に巻き付いて空気を取り込むことができず、空気層の形成に失敗することになる。
したがって、本実施例の構成によって、回転開始時には比較的弱い剛性で支持し、高速回転になると強い応力に逆らえる強い剛性で支持するようになり、回転速度に相応しい段階的な剛性を持った軸受装置を得ることができる。
また、弾性金属平板の厚みや材質を選択したり、スリットの数や間隔を適当に選択することにより、支持剛性やハウジングの周方向の剛性分布を容易に調整することができる。
本実施例の動圧気体軸受は、従来のフォイル形気体軸受やリーフ形気体軸受と比較すると、スプリングフォイルにスリットを開けるだけでプレス機などを用いた成型加工をする必要がなく、製造および組立が容易である。また、スプリングフォイルの加工は、プリント基板製造などに利用されているエッチング技術を用いることができ、エッチング技術を用いれば精度が高く大量生産も容易である。
したがって、停止時は、図5(a)に示すように、長いスリット22の部分が屈折してハウジングの壁24に接触し、短いスリット23の部分は折れにくいので、トップフォイル25が作る筒体の内径は小さく、トップフォイル25に支持される回転軸26のぶれが小さい。
さらに、回転軸が通常の回転をするときには、図5(c)に示すように、空気層27が発達してトップフォイル25がハウジング内壁24とほぼ同心状に十分に開き、高い剛性を持った短い弾性梁で支持される。
本実施例の動圧気体軸受は、図6に示すように、フォイル側端から切り込んでフォイル中央に一定幅の中央帯を残すようにしたスリット32を複数形成したスプリングフォイル31を組み込んだものである。このように軸受の側部でスプリングフォイルが分離しているため弾性梁が互いに移動するので側部における剛性が内部の剛性と比較して弱くなり、回転軸が傾き運動するときに回転軸の片当たりを避けることができる。
本実施例に使用するスプリングフォイルは、図7に示したように、1枚の弾性材料からなる平板33にスプリングフォイル34の部分とトップフォイル35の部分を一緒に形成したものである。スプリングフォイル34の部分には適所にスリットを形成してあり、トップフォイル35の部分には表面に固体潤滑剤を施してある。図ではスプリングフォイル34に4個のスリットを形成して軸受に組み込んだときにスプリングフォイル部分が4角形を形成するようになっているが、もっと多数のスリットを形成しても良いことはいうまでもない。
なお、図中点線で示すように、スプリングフォイルの端部37をハウジング内壁36まで延して固定することにより、回転軸の回転によりフォイルがずれないようにしても良い。
本実施例の動圧気体軸受は、スプリングフォイルとトップフォイルを一体化するため、軸受を構成する部品の点数が減少して、製造の合理化を図ることができる。
本実施例に使用するスプリングフォイル41は、図9に示したように、弾性梁を挟んで形成されるスリット部42に複数のスリット43を平行に隣接して設けたものである。
スプリングフォイル41をハウジング内壁44内に仕込むときは、図10に示すように、スリット部42の位置で屈折して多数のスリット43がハウジング内壁44に接触して荷重を支持するため、接触面圧を低減してハウジング内壁44の摩耗を減少させる効果をもたらす。
スプリングフォイル41と接触する位置のハウジング内壁44が極度に摩耗すると、弾性梁45の弾性値が低下したりして所期の性能を発揮しなくなる虞があり、これを防止することは再調整の手間を減少させる効果がある。
本実施例に使用するスプリングフォイル47は、図11に示したように、スプリングフォイル47の幅方向に形成された縦スリット48に挟まれて弾性梁になる部分に、スプリングフォイル47の側端に平行に複数の横スリット49を形成したものである。
スプリングフォイル47をハウジング内壁46内に仕込むときは、縦スリット48の位置でハウジング内壁46に接触しながら屈折して、断面多角形の筒形のスプリングフォイルとなるが、複数の横スリット49の位置で剛性が弱くなるので、図12に示すように、スプリングフォイル47は複数の横スリット49の位置でトップフォイル50の表面に沿って面接触し接触圧を軽減させる。
本実施例に使用するスプリングフォイル51は、同じ長さのスリット52,53,54を適当な間隔で形成するもので、隣りのスリットとの間に形成する弾性梁の長さを選択することにより梁の剛性を調整すると共に、スリットの幅を選択して弾性梁の分布を調整するものである。
弾性梁はスリットの端線の間に形成されるので、幅の広いスリット53,54の部分には回転軸を弾性支持するバネが存在しないため、スリットの幅を適当に選択することにより、スプリングフォイル51の弾性分布を調整することができる。軸受の周方向に剛性差を持たせることにより、高速回転に伴う振動を抑制する振動安定化性能が向上する。
本実施例に使用するスプリングフォイル56は、スプリングフォイル56の幅方向に形成される縦スリット57に挟まれて弾性梁になる部分に、スプリングフォイル56の側端に平行に複数の横スリット58を形成して弾性梁を適当な幅で分割し、ハウジング内に組み込んだときに回転軸の軸方向に支持剛性を変化させるものである。たとえば、側端に平行な横スリット58を側端の近くに形成して、軸受の中央部で剛性を高くし両側端部で剛性を低くすると、回転軸の片当たりを防止することができる。
本実施例の動圧気体軸受6は、同じ形状のスリットを等間隔に配置したスプリングフォイル62を組み込んだ気体軸受である。
軸受ハウジング61の内側にそれぞれハウジング内周とほぼ等しい長さのスプリングフォイル62とトップフォイル63を嵌入して、トップフォイル63が形成する筒の中に回転軸64を挿入する。
トップフォイル63も、ハウジング61より径の小さい筒形に丸めて、スプリングフォイル62の内側に挿入して緩めると、自身のバネ力によりスプリングフォイル62を内側から押圧して広がる。トップフォイル63の長さは、ハウジング61の内側をほぼ1周して係止機構66の端面に届く程度にしてある。トップフォイル63の両端部は、図17に示すような係止機構66によりハウジング61の内壁に固定される。
トップフォイル63の端部は三角溝69に落ち込んで、フォイル自身の緩もうとするバネ力によってハウジング61の内壁に押し付けられるので、容易に外れない。さらに確実に外れないためには、トップフォイル63の両端縁が止め壁68に突き当たり突っ張って止まるようにすることが好ましい。
峰70の頂面は、ハウジング61の内壁を掘り込んで形成する製造工程の都合からハウジング61の内面と同じ高さにしてあるが、機能面から見ればトップフォイル63の内周面と同じ位置まで突出していても良い。峰70の高さが高いほどトップフォイル63は外れにくい。
回転軸64の回転につれて、空気層65が発達しトップフォイル63がハウジング61の内壁に押し付けられるので、高速回転時にはスプリングフォイル62の弾性梁が変形して強い剛性により回転軸64が支持されるようになる。
軸受の回転方向が決まっているときは、回転方向入口(リーディング)側の三角溝69を出口(トレーディング)側よりも深くして、トップフォイルと字句との間に空気を導入しやすくしてもよい。
スプリングフォイル62はトップフォイル63で覆って押し付けることにより十分に支持できるが、係止機構66を使ってトップフォイル63と同様に支持して、その上からトップフォイル63を支持するようにすると、軸受装置を組み立てるときにスプリングフォイル62を固定した後でトップフォイル63を組み込むことができるので、便利である。
図18に示したものは、係止機構の峰70の側端にストッパー71をねじ止めしてトップフォイル63の幅方向の移動を制約するものである。ストッパー71の上縁は峰70の上面より下げて、回転軸の運動を妨げないようにしている。
いずれも、簡単な機構を付帯させることにより、確実にトップフォイル63の脱落を防ぐことができる。
本実施例の係止機構66は、本発明のスプリングフォイルを使用する場合に限らず、図17にも図示したように、端部が薄い板材になるものであれば、バンプフォイルやリーフフォイルを使った軸受装置においても同様に利用することができることは言うまでもない。
本実施例の動圧気体軸受8は、図23に示したようなスプリングフォイル82を使用したものである。スプリングフォイル82は、スリットを長方形の3辺に配して形成したトング86を全面に配置したもので、図では同じ形状のトング86を3個ずつ幅方向に並べた列が長さ方向に15列並んでいるが、これらの配置に限られるものではないことは言うまでもない。
このスプリングフォイル82は軸受ハウジング81の内側に挿入され、さらに筒形になったトップフォイル83が係止機構84により内壁に固定され、その中に回転軸85が挿入されて、軸受8が構成される。
トング86は、単にスプリングフォイル82に切り込みを入れて形成するもので、リーフフォイルと異なり、塑性変形する必要がない。切り込みは実施例1などに使用されるスプリングフォイルのスリットと同じくエッチングにより簡単かつ高精度に作成することができる。
図24のスプリングフォイル82は、軸方向に長方形のトングの幅を変化させた例である。中央のトング87を幅広に形成し、両端のトング88の幅を中央のものより小さくしてある。このようなスプリングフォイル82を組み込むことにより、軸受の軸方向中心部分で強く端部で弱い支持剛性を与えて、回転軸の片当たりを防止することができる。
三角形のトング89,90は、フォイル82とハウジング81の距離が短くなるにつれてトングの実効的な支持位置がトングの根本側の幅が広い方に変化するので、高速回転するほど支持剛性が急激に増大するような特性を持つようになる。なお、軸受の端部に近い部分ではトング90が短くハウジング81に強く押し付けられないため支持剛性が弱く、片当たりを防ぐ機能を有する。
本実施例に用いるスプリングフォイルは、スリット部を幅のある切り落とし形状にしたもので、隣接するスリットの稜線までの距離がフォイル平板の端からの距離により異なるようにすることにより、剛性を変化させるようにしたものである。
さらに、回転軸が回転してトップフォイルが広がると、スリット内の突出形状は段々根本の方までハウジング内壁に接触するようになって支持剛性が増大し、高速回転するようになるとついには弾性梁が壁に押し付けられて極めて強い剛性を呈するようになり、回転に伴う剛性の変化も大きい。
したがって、図26(c)など必要に応じて適当な形状の幅広スリット94を選択して、支持剛性の設計をすることができる。
本実施例の動圧気体軸受9は、スプリングフォイルを2重に使用したものである。ハウジング95に多角形のスプリングフォイル96を挿入し、その内側にさらに同じ角数を持った多角形のスプリングフォイル97を挿入して、さらにトップフォイル98を挿入したものである。
内側のスプリングフォイル97の角が、外側のスプリングフォイル96の弾性梁の中央部分に当るように配置することが好ましい。
また、スプリングフォイルの配置を確実にするために、内側と外側のスプリングフォイルを1枚の弾性金属平板に作り込んで、2重に丸めてハウジング内にセットするようにしても良い。また、スプリングフォイルの一端をハウジング内壁に固定しても良い。
また、スプリングフォイルは2重に限らず、適当数のスプリングフォイル層を持った多重構造にしても良いことは言うまでもない。
また、スプリングフォイル同士が接触するところで摩擦運動をするので、軸受の振動を減衰させることができる。
4枚のスプリングフォイル100がそれぞれハウジング内壁99に一端を等間隔に固定して、相互に半分ずつ重なり合うように配置され、なかにトップフォイル101が挿入されている。
回転軸が振動すると、トップフォイル101がスプリングフォイル100に作用して相互に摺動させるので、摩擦抵抗を生じて振動を減衰させることができる。
本実施例の動圧気体軸受は、軸受ハウジング102の内孔断面を多角形に形成して、多角形の頂点にできる稜線105のところにスプリングフォイル103のスリットが位置するように組み立てたものである。
ハウジング102の内孔が形成する多角柱シリンダにおける稜線の数は、スプリングフォイル103の作る多角形シリンダの稜線の数の2倍として、スプリングフォイル103が作る弾性梁がハウジングの稜線を1個ずつ挟んで配置されるようにすることが好ましい。
3 動圧気体軸受
6 動圧気体軸受
8 動圧気体軸受
9 動圧気体軸受
11 ハウジング
12 スプリングフォイル
13 トップフォイル
14 回転軸
15 空気層
16 スリット
21 スプリングフォイル
22 長いスリット
23 短いスリット
24 ハウジング内壁
25 トップフォイル
26 回転軸
27 空気層
31 スプリングフォイル
32 スリット
33 弾性金属平板
34 スプリングフォイル部分
35 トップフォイル部分
36 ハウジング内壁
37 スプリングフォイルの端部
41 スプリングフォイル
42 スリット部
43 スリット
44 ハウジング内壁
45 弾性梁
47 スプリングフォイル
48 縦スリット
49 横スリット
50 トップフォイル
51 スプリングフォイル
52,53,54 スリット
56 スプリングフォイル
57 縦スリット
58 横スリット
61 軸受ハウジング
62 スプリングフォイル
63 トップフォイル
64 回転軸
65 空気層
66 係止機構
67 スリット
68 止め壁
69 三角溝
70 峰
71 ストッパー
72 鍔
73 バンプフォイル
81 軸受ハウジング
82 スプリングフォイル
83 トップフォイル
84 係止機構
85 回転軸
86,87,88,89,90 トング
91 スプリングフォイル
92,93,94 幅広スリット
95 ハウジング
96 スプリングフォイル
97 スプリングフォイル
98 トップフォイル
99 ハウジング内壁
100 スプリングフォイル
101 トップフォイル
102 軸受ハウジング
103 スプリングフォイル
104 トップフォイル
105 稜線
Claims (22)
- 軸受ハウジングの内壁に複数のスリットを設けた薄板平板で形成したスプリングフォイルを装着し、該スプリングフォイルの内側にトップフォイルを配置し、該トップフォイルの内側に回転軸を配置して、前記スプリングフォイルが剛性の小さな位置で折り曲がって内壁内側に接する多数の弾性梁を有する多角形断面を形成し、該弾性梁により前記トップフォイルを介して前記回転軸を弾性的に支持するようにしたことを特徴とするフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記軸受ハウジング内に装着したときに回転軸の軸にほぼ平行になる方向にスリットを形成し、隣接するスリット間に生成される弾性梁の強度をスリット長とスリット間隔に基づいて調整することを特徴とする請求項1記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記軸受ハウジング内に装着したときに回転軸の軸にほぼ平行になる方向にスリットを形成し、該スリットそれぞれの幅を適宜に決定することにより前記回転軸の周方向の支持剛性を調整することを特徴とする請求項1または2記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記スリットにより発生する剛性を少なくとも2段に選択して回転軸の回転初期には弱い剛性が掛かり常用回転状態では強い剛性が掛かるようにすることを特徴とする請求項2または3記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記スリットを太い切り落とし形状にして、隣接するスリットの稜線までの距離が平板の端からの距離により異なるようにすることにより、剛性を変化させることを特徴とする請求項2または3記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スリットは、平行に密着して形成されるスリットからなり、前記軸受ハウジングの内壁に接する複数の稜線部分が押圧力を分担することを特徴とする請求項2または3記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記回転軸の軸に平行なスリットに加えて、該スプリングフォイルの側端線に平行なスリットを形成して、前記弾性梁を回転軸方向に複数のゾーンに分けることを特徴とする請求項2から6のいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、前記回転軸の軸に平行なスリットに加えて、前記弾性梁の中央部に該スプリングフォイルの側端線に平行なスリットを複数形成して、該スプリングフォイルが前記トップフォイルの局面に沿って変形し面接触するようにすることを特徴とする請求項2から6のいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、同じ形状のスリットを等間隔に並べて形成することを特徴とする請求項2記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは、複数のスリットをフォイルの側端から中央線に向かって形成することを特徴とする請求項2記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記軸受ハウジングの内孔断面を多角形に形成して、該多角形の頂点に前記スプリングフォイルのスリットが位置するように組み立てることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記スプリングフォイルは前記トップフォイルの周囲に多重に巻き付かせることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受
- スリットにより底辺を除いた残りの辺を平板から切り離した形状を持つトングを複数形成した薄板平板からなるスプリングフォイルをトップフォイルの外側に沿わせて軸受ハウジングの内壁に装着し、該トップフォイルの内側に回転軸を配置して、前記スプリングフォイルから接線方向に突出する前記トングが前記内壁に接して多数の弾性梁を形成し、該弾性梁により前記トップフォイルを介して前記回転軸を弾性的に支持するようにしたことを特徴とするフォイル式動圧流体軸受。
- 前記トングは底辺から離れるにつれて幅が狭くなる形状であることを特徴とする請求項13記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記トップフォイルの両端が当る前記ハウジング内壁の位置に内壁面から立ち上がった止め壁をそれぞれ形成し、該止め壁の前面には断面が三角形状をした掘り込みを形成して構成した係止機構を備えて、前記トップフォイルを前記ふたつの止め壁の間に展張して挿入し固定するようにしたことを特徴とする請求項1から10および13と14のうちのいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記堀り込みは該軸受の回転方向入口側が出口側より深くなっていることを特徴とする請求項15記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記係止機構を複数対備えて、前記トップフォイルを周方向に該係止機構の対数と同じ数に分割して係止することを特徴とする請求項15または16記載のフォイル式動圧流体軸受。
- 前記係止機構には前記止め壁の側面に前記トップフォイルを幅方向に移動しないように押えるストッパーを設けることを特徴とする請求項15から17のいずれかに記載のフォイル式動圧流体軸受。
- トップフォイルの両端が当るハウジング内壁の位置に内壁面から立ち上がった止め壁をそれぞれ形成し、該止め壁の前面に断面が三角形状をした掘り込みを形成して構成した係止機構であって、前記トップフォイルを前記止め壁の面間に展張して挿入し固定するようにしたことを特徴とするフォイル式動圧流体軸受用のトップフォイル係止機構。
- 複数のスリットを設けた薄板平板からなるスプリングフォイルであって、前記スリットが該スプリングフォイルを軸受ハウジング内に装着したときに回転軸の軸に平行になる方向に形成されたもので、該スプリングフォイルを該軸受ハウジングに装着されたときに該スリットの位置で折り曲がってスリット間に弾性梁を形成し、多角形断面を有する筒形を形成することを特徴とするフォイル式動圧流体軸受用のスプリングフォイル。
- 前記スプリングフォイルは、同じ形状のスリットを等間隔に並べて形成することを特徴とする請求項20記載のフォイル式動圧流体軸受用のスプリングフォイル。
- スリットにより底辺を除いた残りの辺を平板から切り離した形状を持つトングを複数形成した薄板平板からなるスプリングフォイルであって、トップフォイルの外側に沿わせて軸受ハウジングの内壁に装着したときに、前記トングが該スプリングフォイルから接線方向に突出することを特徴とするフォイル式動圧流体軸受用のスプリングフォイル。
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