WO2015115464A1

WO2015115464A1 - スラスト軸受

Info

Publication number: WO2015115464A1
Application number: PCT/JP2015/052317
Authority: WO
Inventors: 直陸大森
Original assignee: 株式会社Ihi
Priority date: 2014-01-30
Filing date: 2015-01-28
Publication date: 2015-08-06
Also published as: EP3101291B1; US20160319859A1; KR101895143B1; KR20160101178A; EP3101291A1; CA2937314A1; CA2937314C; US9970479B2; CN105874229A; EP3101291A4; CN105874229B

Abstract

　このスラスト軸受（３）は、回転軸（１）に設けられたスラストカラー（４）に対向して配置されるスラスト軸受であって、スラストカラーに対向して配置されるトップフォイル（１０）と、トップフォイルの、スラストカラーに対向する面と反対の面側に配置されたバックフォイル（２０）と、このバックフォイルを支持する円環板状のベースプレート（３０）と、を備える。バックフォイルは、複数のバックフォイル片（２１）によって形成されている。トップフォイルは、複数のトップフォイル片（１１）によって形成されている。また、バックフォイル片とトップフォイル片との間には、それぞれ制振フォイル片（５１，５５）が配置されている。

Description

スラスト軸受

　本発明は、スラスト軸受に関する。
　本願は、２０１４年１月３０日に日本に出願された特願２０１４－１５６８４号及び２０１４年１０月３日に日本に出願された特願２０１４－２０５０５４号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　従来、高速回転体用の軸受として、回転軸に設けられたスラストカラーに対向して配置されるスラスト軸受が知られている。このようなスラスト軸受としては、フォイル式のスラスト軸受、すなわちスラストフォイル軸受がよく知られている。スラストフォイル軸受は、振動や衝撃によって発生する回転軸の動き(スラストカラーの軸方向変位と傾き)を吸収できるように、軸受面が柔軟なフォイル(金属製薄板)によって形成されており、軸受面の下にこの軸受面を柔軟に支持するためのフォイル構造を有している。

　このようなスラストフォイル軸受の一形態として、円環板を周方向に分割した複数の個片形状のフォイル片（トップフォイル片）によって円輪（円環）状の軸受面を形成し、これらトップフォイル片をそれぞれ波板形状のフォイル片（バンプフォイル片）で支持した構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、このようなスラストフォイル軸受では、各々のトップフォイル片（厚さ１００μｍ程度）がスラストカラーに対して傾斜角を有して配置されており、これによってスラストカラーとトップフォイル片との間の軸受隙間が側面視くさび形に形成されたスラスト軸受が知られている。すなわち、スラストカラー（回転軸）の回転方向上流側から下流側に向かうに連れて軸受隙間が狭くなるように形成されている。したがって、軸受隙間が広い側(上流側)から軸受隙間が狭い側（下流側）に向かってスラストカラーが回転すると、潤滑流体がくさび形の軸受隙間に流れ込み、スラスト軸受の負荷能力が発揮される。

　トップフォイル片は、スラストカラー（回転軸）の回転方向上流側の端辺のみがベースプレートに固定されており、この端辺が固定辺として構成されている。軸受荷重が増加すると、この固定辺(上流側の端辺)を支点としてトップフォイルは水平（スラストカラーの被支持面と平行）になるように変位してその傾斜角が小さくなり、傾斜角が０．１°程度になったときにスラスト軸受は最大負荷能力を発生する。一方、バンプフォイル片は山の稜線がトップフォイル片の下流側端辺に平行になるように配置され、バンプフォイル片におけるスラストカラー（回転軸）の回転方向下流側の端辺のみがベース板に固定されている。すなわち、バンプフォイル片の上流側の端辺は自由端となっている。

　バンプフォイル片がこのように配置され固定されているのは、トップフォイル片に発生する流体潤滑膜の圧力が軸受隙間の狭い側(下流側)で高くなるためであり、この部位を高い剛性で支持することにより、負荷能力を高めることができる。

　また、特許文献２には、トップフォイル片をそれぞれ波板状のフォイル片（バンプフォイル片）で支持したスラストフォイル軸受が開示されている。
　さらに、特許文献３～５には、トップフォイル及びバックフォイル（バンプフォイル）を備えるスラストフォイル軸受が開示されている。特許文献６には、トップフォイル及びバックフォイルを備えるラジアルフォイル軸受が開示されている。

日本国特表２００８－５１３７０１号公報日本国特開平１０－３３１８４７号公報日本国特開２００５－１５５８０２号公報日本国特開２０１２－１２７４４４号公報日本国特開２０１４－１４５３８８号公報日本国特開２０１２－１９７８８７号公報

　このようなスラスト軸受を搭載した回転機械では、回転軸の軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受けると、回転軸がハウジング（ケーシング）に対して相対的にスラスト方向へ振動する。このような振動や衝撃に基づく回転軸の振動を減衰させる要素として、各フォイルの接触面間に作用する摩擦減衰がある。すなわち、回転軸のスラストカラーが流体潤滑膜を介してトップフォイルを押すと、トップフォイル下のバンプフォイルが押し込まれる。その際、トップフォイルとバンプフォイルとの間やバンプフォイルとベースプレートとの間で滑り(摩擦)が生じることにより、その動きを減衰させている。

　しかしながら、前述した従来のスラスト軸受の構造では減衰が十分でない場合があり、回転軸と静止部（ハウジング）とが接触を起こす可能性がある。例えば、回転機械がターボ機械である場合、インペラがハウジングを擦ってしまう可能性がある。

　本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、より高い摩擦減衰効果を発揮し、これによって回転軸のスラスト方向への振動や衝撃を良好に吸収し得る、スラスト軸受を提供することを目的とする。

　本発明の第１の態様では、スラスト軸受は、回転軸に設けられたスラストカラーに対向して配置されるスラスト軸受であって、前記スラストカラーに対向して配置されるトップフォイルと、前記トップフォイルの、前記スラストカラーに対向する面と反対の面側に配置されたバックフォイルと、前記バックフォイルの、前記トップフォイル側と反対の側に配置されて、このバックフォイルを支持する円環板状のベースプレートと、を備える。前記バックフォイルは、前記ベースプレートの周方向に配列された複数のバックフォイル片によって形成されている。前記トップフォイルは、前記バックフォイル片の上にそれぞれ配設された複数のトップフォイル片によって形成されている。また、前記バックフォイル片と前記トップフォイル片との間には、それぞれ制振フォイル片が配置されている。

　この第１の態様によれば、バックフォイル片とトップフォイル片との間にそれぞれ制振フォイル片を配置している。このため、回転軸がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片が流体潤滑膜を介してスラストカラーに押し込まれた際、従来ではトップフォイルとバックフォイル（バンプフォイル）との間で滑り(摩擦)が生じていたのに対し、このスラスト軸受ではトップフォイル片と制振フォイル片との間、および制振フォイル片とバックフォイル片との間でそれぞれ滑り(摩擦)が生じる。したがって、摩擦減衰を生じる部位が増えることで従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸のスラスト方向への振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　本発明の第２の態様では、前記第１の態様のスラスト軸受において、前記バックフォイル片は、その周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割されている。また、前記制振フォイル片は、その周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割されている。

　この第２の態様によれば、バックフォイル片を径方向にて複数に分割しているので、内周側（径方向内側）の分割片と外周側（径方向外側）の分割片とがそれぞれ独立して動作できる。このため、トップフォイル片がバックフォイル片側へ押し込まれたときに生じるバックフォイル片の変形が径方向において滑らかになり、従ってバックフォイル片による支持力も内周側から外周側に向けてより滑らかに変化する。
　一方、制振フォイル片も径方向にて複数に分割しているので、その分割片がバックフォイルの分割片に対応して独立して動くことにより、バックフォイル片の個々の分割片の動きに対して抵抗なく追従する。従って、バックフォイル片と制振フォイル片とを共に径方向にて分割していることにより、トップフォイル片の径方向における変形が滑らかになる。

　本発明の第３の態様では、前記第２の態様のスラスト軸受において、前記バックフォイル片は、その周方向の前記一方の側が径方向にて複数に分割され、且つ、他方の側が径方向にて連続する連続辺とされている。また、前記制振フォイル片は、その周方向の前記一方の側が径方向にて複数に分割され、且つ、他方の側が径方向にて連続する連続辺とされている。
　この第３の態様によれば、バックフォイル片、制振フォイル片のそれぞれの分割された分割片が、連続辺によって一体化されているため、バックフォイル片、制振フォイル片のベースプレート上への固定が容易になる。

　本発明の第４の態様では、前記第３の態様のスラスト軸受において、前記バックフォイル片には、径方向にて分割された複数のバックフォイル分割片間に第１スリットが形成されている。また、前記制振フォイル片には、径方向にて分割された複数の制振フォイル分割片間に、前記第１スリットに重なる第２スリットが形成されている。
　この第４の態様によれば、制振フォイル分割片間の第２スリットをバックフォイル分割片間の第１スリットに重なるように形成しているので、個々の制振フォイル分割片が、各々対応するバックフォイル分割片の個々の動きにさらに良好に追従する。

　本発明の第５の態様では、前記第３又は第４の態様のスラスト軸受において、前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされている。また、前記制振フォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が前記連続辺とされ、この連続辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている。
　この第５の態様によれば、トップフォイル片の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができる。また、制振フォイル片の連続辺をトップフォイル固定辺とともにベースプレートに固定しているので、点付溶接などによるフォイル片の固定点の数を従来と同じにすることができ、従って製造コストの上昇を抑えることができる。

　本発明の第６の態様では、前記第３又は第４の態様のスラスト軸受において、前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされている。また、前記制振フォイル片は、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が前記連続辺とされ、この連続辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている。
　この第６の態様によれば、制振フォイル片をその下流側の連続辺でトップフォイル固定辺とともにベースプレートに固定している。このため、トップフォイル片が流体潤滑膜を介してスラストカラーに押し込まれた際、トップフォイル片と制振フォイル片とが互いに対向する方向、すなわち相反する方向（周方向で相反する方向）に滑ることができる。従ってこれらトップフォイル片と制振フォイル片との間の相対的な滑り量が増加し、より高い摩擦減衰効果が発揮される。

　本発明の第７の態様では、前記第１の態様のスラスト軸受において、前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされている。また、前記制振フォイル片の、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている。
　この第７の態様によれば、トップフォイル片の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができる。また、制振フォイル片の端辺をトップフォイル固定辺とともにベースプレートに固定しているので、点付溶接などによるフォイル片の固定点の数を従来と同じにすることができ、したがって製造コストの上昇を抑えることができる。

　本発明の第８の態様では、前記第１の態様のスラスト軸受において、前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされている。また、前記制振フォイル片の、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている。
　この第８の態様によれば、制振フォイル片をその下流側の端辺でトップフォイル固定辺とともにベースプレートに固定している。このため、トップフォイル片が流体潤滑膜を介してスラストカラーに押し込まれた際、トップフォイル片と制振フォイル片とが互いに対向する方向、すなわち相反する方向（周方向で相反する方向）に滑ることができる。したがってこれらトップフォイル片と制振フォイル片との間の相対的な滑り量が増加し、より高い摩擦減衰効果が発揮される。

　本発明の第９の態様では、前記第１～第８のいずれか１つの態様のスラスト軸受において、前記制振フォイル片が、制振合金によって形成されている。
　この第９の態様によれば、フォイル間の滑りによる摩擦減衰に加えて、制振合金からなる制振フォイル片が曲げ変形することによる減衰効果も加わり、したがってより高い摩擦減衰効果が発揮される。

　本発明の第１０の態様では、前記第１～第９のいずれか１つの態様のスラスト軸受において、前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされている。また、前記トップフォイル片は、前記トップフォイル固定辺に対する前記回転軸の回転方向下流側の近傍部に、他部に比べて薄肉に形成された薄肉部を有している。
　この第１０の態様によれば、トップフォイル片における回転軸の回転方向下流側がより容易にかつ円滑に傾斜できる。したがって、例えばスラストカラーが一対のスラスト軸受のトップフォイルによって挟み込まれているような場合に、回転軸の始動トルクが低減する。また、回転軸が回転を開始した後も、トップフォイル片が容易にかつ円滑に傾斜するため、最適傾斜角が得られ易くなり、負荷能力が向上する。

　本発明の第１１の態様では、前記第１～第１０のいずれか１つの態様のスラスト軸受において、前記バックフォイル片は、山部と谷部とを交互に形成した波板状のバンプフォイル片によって形成されるとともに、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が前記ベースプレートに固定されるバンプフォイル固定辺とされ、かつ、前記山部の配列方向が前記バンプフォイル固定辺と交差して配置されている。また、前記山部は、その高さが前記回転軸の回転方向上流側から前記回転軸の回転方向下流側に向かうに連れて高くなるように形成されている。
　この第１１の態様によれば、バンプフォイル片によってトップフォイル片を弾性的に支持することができる。また、このバンプフォイル片の、回転軸の回転方向下流側の端辺がベースプレートに固定されるバンプフォイル固定辺とされている。このため、トップフォイル片に発生する流体潤滑膜の圧力が軸受隙間の狭い側、すなわち回転軸の回転方向下流側で高くなるようにするべく、この回転方向下流側を高い剛性で支持することができ、これによって負荷能力を高めることができる。

　本発明の第１２の態様では、前記第１～第１０のいずれか１つの態様のスラスト軸受において、前記ベースプレートには、前記バックフォイル片を支持する各支持領域に、前記回転軸の回転方向上流側の端部から回転方向下流側の端部に向かうに連れて高さが増加する傾斜面が形成されている。
　この第１２の態様によれば、この傾斜面上にバックフォイル片（及び制振フォイル片）を介してトップフォイル片を配設することにより、トップフォイル片の高さを傾斜面に沿って精度よく変化させることができる。また、その際にバックフォイル片については、その高さを変化させることなく一定の高さに作製すればよく、したがって加工コストを抑えることができる。

　本発明の第１３の態様では、前記第１２の態様のスラスト軸受において、前記バックフォイル片は、山部と谷部とを交互に形成した波板状のバンプフォイル片によって形成されるとともに、前記山部の配列方向が前記傾斜面の傾斜方向に一致するように配置されている。
　この第１３の態様によれば、バンプフォイル片によってトップフォイル片を弾性的に支持することができる。

　本発明のスラスト軸受によれば、バックフォイル片とトップフォイル片との間にそれぞれ制振フォイル片を配置したので、トップフォイル片と制振フォイル片との間、および制振フォイル片とバックフォイル片との間でそれぞれ滑り(摩擦)を生じさせることができる。したがって、摩擦減衰を生じる部位が増えることで従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、これによって回転軸のスラスト方向への振動や衝撃を良好に吸収することができる。

本発明に係るスラスト軸受が適用されるターボ機械の一例を示す模式図である。本発明に係るスラスト軸受の第１実施形態を示す図であり、スラストカラーを挟んだ状態のスラスト軸受の側面図である。本発明に係るスラスト軸受の第１実施形態を示す平面図である。図３ＡのＡ－Ａ線矢視断面図である。第１実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。本発明に係るスラスト軸受の第２実施形態の平面図である。図４のＢ－Ｂ線矢視断面図である。第２実施形態の制振フォイル片の平面図である。第２実施形態のバックフォイル片の平面図である。第２実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図とを対応させた説明図である。本発明に係るスラスト軸受の第３実施形態を示す平面図である。図６ＡのＣ－Ｃ線矢視断面図である。第３実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。本発明に係るスラスト軸受の第４実施形態の平面図である。図７のＤ－Ｄ線矢視断面図である。第４実施形態の制振フォイル片の平面図である。第４実施形態のバックフォイル片の平面図である。第４実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図とを対応させた説明図である。本発明に係るスラスト軸受の第５実施形態を示す平面図である。図９ＡのＥ－Ｅ線矢視断面図である。第５実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。本発明に係るスラスト軸受の第６実施形態を示す平面図である。図１０ＡのＦ－Ｆ線矢視断面図である。第６実施形態の制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。

　以下、図面を参照して本発明のスラスト軸受を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
　図１は、本発明のスラスト軸受が適用されるターボ機械の一例を模式的に示す側面図であり、図１中符号１は回転軸、符号２は回転軸の先端部に設けられたインペラ、符号３は本発明に係るスラスト軸受である。

　回転軸１には、インペラ２が形成された側にスラストカラー４が固定されており、このスラストカラー４には、このスラストカラー４を挟持するようにして一対のスラスト軸受３が配置されている。
　また、インペラ２は静止側となるハウジング５内に配置されており、インペラ２とハウジング５との間にチップクリアランス６を有している。
　また、回転軸１には、スラストカラー４より中央側に、ラジアル軸受７が設けられている。

（第１実施形態）
　図２、図３Ａ～３Ｃは、このような構成のターボ機械に適用されたスラスト軸受３の第１実施形態を示す図である。図２はスラストカラー４を挟んだ状態の一対のスラスト軸受３の側面図である。また、図３Ａはスラスト軸受３の平面図、図３Ｂは図３ＡのＡ－Ａ線矢視断面図、図３Ｃは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。

　図２に示すようにこの第１実施形態では、スラスト軸受３Ａ（３）はスラストカラー４を挟んでその両側にそれぞれ配置されている。これら一対のスラスト軸受３Ａ（３）は、共に同じ構成となっており、回転軸１に固定された円環板状のスラストカラー４に対向して配置された円環状（円筒状）の装置であり、回転軸１を取り囲んで設けられている。

　スラスト軸受３Ａは、スラストカラー４に対向して配置されたトップフォイル１０と、このトップフォイル１０の、前記スラストカラー４に対向する面と反対側の面に対向して配置されたバックフォイル２０と、このバックフォイル２０の、前記トップフォイル１０側と反対の側に配置された円環板状のベースプレート３０と、を備え、さらに、トップフォイル１０とバックフォイル２０との間に制振フォイル５０を有して構成されている。

　本実施形態では、一対のスラスト軸受３Ａ、３Ａの、それぞれのベースプレート３０、３０間に、二点鎖線で示す円筒状の軸受スペーサ４０が挟持されており（図２参照）、ベースプレート３０、３０は締結ボルト４１によって軸受スペーサ４０を介して連結されている。また、一方のベースプレート３０は、その外面が締結ボルト４１によってハウジング５に固定されており、したがって一対のスラスト軸受３Ａ、３Ａは、スラストカラー４を挟んだ状態で締結ボルト４１によってハウジング５に固定されている。

　ベースプレート３０は、図３Ａに示すように円環板状で金属製の部材であり、その外周部に前記締結ボルト４１を挿通するための貫通孔４２を複数（本実施形態では８個）形成している。このベースプレート３０には、前記スラストカラー４側の面に、前記バックフォイル２０や制振フォイル５０、トップフォイル１０を支持するための支持領域が設けられている。本実施形態では、後述するようにバックフォイル２０、制振フォイル５０、トップフォイル１０がいずれも複数枚（６枚）のバックフォイル片２１、制振フォイル片５１、トップフォイル片１１によって形成されており、したがってベースプレート３０は、その周方向を６分割（６つに等分割）して６つの支持領域３１を形成している。ただし、本実施形態では、これら６つの支持領域３１は設計上の領域であり、これら支持領域３１を形成するベースプレート３０の表面は単なる平面となっている。

　これら各支持領域３１には、図２に示したようにそれぞれバックフォイル片２１、制振フォイル片５１、トップフォイル片１１がこの順に配置され、支持されている。
　図３Ａ～３Ｃに示すようにバックフォイル２０は、ベースプレート３０の周方向に配列された６枚のバックフォイル片２１によって形成されている。これらバックフォイル片２１は、ベースプレート３０の各支持領域３１上にそれぞれ配置され、これによってベースプレート３０の周方向に配列されている。また、これらバックフォイル片２１は、後述する制振フォイル片５１やトップフォイル片１１より僅かに小さく形成され、したがって図３Ａに示すようにベースプレート３０上にてスラストカラー４側に露出することなく、トップフォイル片１１および制振フォイル片５１に覆われている。

　これらバックフォイル片２１からなるバックフォイル２０は、フォイル（薄板）で形成されてトップフォイル１０（トップフォイル片１１）を弾性的に支持する。このようなバックフォイル２０としては、例えば、バンプフォイル、日本国特開２００６－５７６５２号公報や日本国特開２００４－２７０９０４号公報などに記載されているスプリングフォイル、日本国特開２００９－２９９７４８号公報などに記載されているバックフォイルなどが用いられる。なお、日本国特開２００６－５７６５２号公報や日本国特開２００４－２７０９０４号公報に記載されているスプリングフォイル、日本国特開２００９－２９９７４８号公報に記載されているバックフォイルは、ラジアル軸受に用いられるフォイルであるが、これらを平面状に展開して円環板状に形成すれば、スラスト軸受に用いられるフォイルとなる。

　本実施形態では、図３Ｃに示すようにバックフォイル２０がバンプフォイルからなり、したがってバックフォイル片２１はバンプフォイル片からなっている。バックフォイル片２１（バンプフォイル片）は、厚さ数百μｍ程度のフォイル（金属製薄板）がプレス成形によって波板状に成形され、図３Ｃ中に破線で示すように全体が台形状に近い略五角形状に形成されている。

　このように波板状に成形されたバックフォイル片２１は、ベースプレート３０に接する谷部２２と、トップフォイル片１１に接する山部２３とが交互に配置されて形成されている。バックフォイル片２１は、回転軸１の回転方向下流側の端辺が、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）の固定辺２１ａ（バンプフォイル固定辺）となっている。前記谷部２２及び山部２３は、図３Ａに示すようにバックフォイル片２１の固定辺（端辺）２１ａと直交する方向に配列されている。すなわち、谷部２２、山部２３の配列方向は、前記固定辺２１ａと直交する方向に形成されており、したがって谷部２２、山部２３は、前記固定辺２１ａと平行に延在するように形成されている。なお、複数の山部２３の配列方向が、固定辺２１ａの延在方向と交差する方向に形成されていてもよい。

　これら谷部２２および山部２３は、それぞれほぼ等ピッチで形成されている。また、山部２３の高さは、前記固定辺２１ａと反対の側から固定辺２１ａ側に向かって、すなわち図３Ａ中に矢印Ｒで示す回転軸１（スラストカラー４）の回転方向の下流側に向かうに連れて、所定の高さずつ高くなるように形成されている。なお、バックフォイル片２１の、固定辺２１ａと反対の側の端部は、図３Ｃに示すように谷部２２の長さ方向に沿って切り欠かれている。

　また、バックフォイル片２１は、その固定辺２１ａが、後述する制振フォイル片５１やトップフォイル片１１における回転軸１の回転方向下流側の端辺と、平面視した状態でほぼ一致する位置に配置されている。この固定辺２１ａとなる谷部２２の形成方向に沿って、ベースプレート３０にスポット溶接（点付溶接）され、固定されている。

　その際、バックフォイル片２１の固定辺２１ａは、全体が連続する一つの谷部２２によって形成されているため、この谷部２２全体を容易に溶接することができる。したがって、バックフォイル片２１は、溶接による固定を容易に行うことができる。
　なお、ベースプレート３０への固定辺２１ａの固定については、スポット溶接以外にも、例えばネジ止めなどによって行うことができる。

　制振フォイル５０も、図３Ａに示すようにベースプレート３０の周方向に配列された６枚の制振フォイル片５１によって形成されている。これら制振フォイル片５１は、金属製または合金製の薄板（フォイル）によって形成されるが、特に制振合金によって形成されているのが好ましい。制振合金としては、複合型、強磁性型、転位型、双晶型が知られているが、いずれの合金も使用可能である。具体的には、複合型として片状黒鉛鋳鉄（Ｆｅ－Ｃ－Ｓｉ系）、Ｃｏｓｍａｌ－Ｚ（Ａｌ－Ｚｎ系）などが、強磁性型としてＴＤニッケル（Ｎｉ系）、１３％クロム鋼（Ｆｅ－Ｃｒ系）、サイレンタロイ（Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ系）、トランカロイ（Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ－Ｍｎ系）、ジェンタロイ（Ｆｅ－Ｃｒ－Ｍｏ系）、ＮＩＶＣＯ１０（Ｃｏ－Ｎｉ系）などが、転位型としてＫＩＸＩ合金（Ｍｎ－Ｚｒ系）などが、双晶型としてソノストン（Ｍｎ－Ｃｕ系）、インクラミュート（Ｃｕ－Ｍｎ－Ａｌ系）、ニチノール（Ｎｉ－Ｔｉ系）などが用いられる。このような制振合金によって制振フォイル片５１を作製することにより、制振フォイル片５１は滑り（摩擦）だけでなくその変形（曲げ変形）によっても制振機能を発揮し、高い減衰効果を奏することができる。なお、これら制振合金に代えて、例えばアルミニウムや銅などの金属によって形成してもよい。

　このような制振フォイル片５１は、後述するトップフォイル片１１の厚さに対して１／５～１／２程度の厚さ、具体的には３０μｍ～７５μｍ程度の厚さに形成されている。このような範囲の厚さに形成することにより、制振フォイル片５１はトップフォイル片１１に対して良好な追従性を有し、これによって高い摩擦減衰効果を発揮する。制振フォイル片５１の厚さがトップフォイル片１１の厚さに対して１／５未満になると、トップフォイル片１１やバックフォイル片２１との間の擦れによる摩擦発生が低くなり、摩擦減衰効果が低下する場合がある。また、１／２を超えると、剛性が高くなる分、トップフォイル片１１に対する追従性が低下する場合がある。

　また、制振フォイル片５１は、図３Ｃに示すように、扇形の頂点側（頂点を含む部位）を切り除いて内周側（径方向内側）、外周側（径方向外側）をそれぞれ円弧状とした、略台形状に形成されている。このような形状の制振フォイル片５１は、ベースプレート３０の各支持領域３１上にて前記バックフォイル片２１を覆ってそれぞれ配置され、ベースプレート３０の周方向に等間隔で配列されて全体として略円環板状に配置されたことにより、制振フォイル５０を形成している。

　なお、制振フォイル片５１は支持領域３１より一回り小さく形成されるとともに、バックフォイル片２１より僅かに大きく形成されている。これによって制振フォイル片５１は、周方向で隣り合う他の制振フォイル片５１と互いに干渉することなく、また、バックフォイル片２１をスラストカラー４側に露出させることなく、その上面を覆った状態で各支持領域３１に配置されている。ただし、本発明はこれに限定されることなく、制振フォイル片５１をバックフォイル片２１と同じ大きさに形成してもよく、あるいは、バックフォイル片２１より小さく形成してもよい。

　また、この制振フォイル片５１は、回転軸１（スラストカラー４）の回転方向上流側の端辺を固定辺５２としており、この固定辺５２によってベースプレート３０に固定されている。この固定辺５２でのベースプレート３０への固定は、前記バックフォイル片２１の固定辺２１ａと同様に、スポット溶接（点付溶接）によってなされている。ただし、本実施形態では、図３Ｂに示すように固定辺５２は後述するトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０にスポット溶接されている。なお、これら固定辺５２、固定辺１２のベースプレート３０への固定についても、スポット溶接以外に、例えばネジ止めなどで行うこともできる。また、制振フォイル片５１は、固定辺５２より回転方向下流側が曲げ加工されており、これによってバックフォイル片２１の山部２３の高さ分の段差を吸収できるように立ち上げられ、回転方向下流側がバックフォイル片２１の山部２３上に載せられている。一方、制振フォイル片５１の回転方向下流側は、本実施形態では固定されることなく単にバックフォイル片２１の山部２３上に支持された自由端となっている。

　トップフォイル１０も、図３Ａに示すようにベースプレート３０の周方向に配列された６枚のトップフォイル片１１によって形成されている。これらトップフォイル片１１は、厚さ数百μｍ程度、例えば１５０μｍ程度の金属製の薄板（フォイル）により、扇形の頂点側を切り除いて内周側（径方向内側）、外周側（径方向外側）をそれぞれ円弧状とした、略台形状に形成されている。すなわち、制振フォイル片５１とほぼ同じ大きさ、形状に形成されている。このような形状のトップフォイル片１１は、ベースプレート３０の各支持領域３１上にて前記制振フォイル片５１を覆ってそれぞれ配置され、ベースプレート３０の周方向に等間隔で配列されて全体として略円環板状に配置されたことにより、トップフォイル１０を形成している。

　なお、トップフォイル片１１は前記制振フォイル片５１と同様に支持領域３１より一回り小さく形成されるとともに、バックフォイル片２１より僅かに大きく形成されている。
　これによってトップフォイル片１１は、周方向で隣り合う他のトップフォイル片１１と互いに干渉することなく、また、バックフォイル片２１や制振フォイル片５１をスラストカラー４側に露出させることなく、その上面を覆った状態で各支持領域３１に配置されている。ただし、本発明はこれに限定されることなく、例えばトップフォイル片１１を制振フォイル片５１又はバックフォイル片２１と同じ大きさに形成してもよく、あるいは、制振フォイル片５１又はバックフォイル片２１より小さく形成してもよい。

　また、このトップフォイル片１１は、回転軸１（スラストカラー４）の回転方向上流側の端辺を固定辺１２（トップフォイル固定辺）としており、この固定辺１２によってベースプレート３０に固定されている。すなわち、この固定辺１２は、図３Ｂに示したように制振フォイル片５１の固定辺５２上に重ねられて、この固定辺５２とともにスポット溶接（点付溶接）によってベースプレート３０に固定されている。これにより、スポット溶接による溶接点（固定点）を、制振フォイル片５１を用いない従来の場合と同じにすることができ、したがって製造コストの上昇を抑えることができる。
　すなわち、本実施形態のトップフォイル片１１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺１２とされている。制振フォイル片５１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺５２とされている。この固定辺５２が、この制振フォイル片５１と重なって配置されているトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている。

　なお、この固定辺１２のベースプレート３０への固定についても、制振フォイル片５１の固定辺５２とともにネジ止めなどで行うこともできる。
　また、トップフォイル片１１は、図３Ｂに示すようにその固定辺１２より回転方向下流側が曲げ加工されており、これによってバックフォイル片２１の山部２３の高さ分の段差を吸収できるように立ち上げられ、回転方向下流側がバックフォイル片２１の山部２３上に載せられている。一方、トップフォイル片１１の回転方向下流側の端辺（トレーリングエッジ）側は、制振フォイル片５１と同様に、固定されることなく単にバックフォイル片２１の山部２３上に支持された自由端となっている。

　本実施形態ではバックフォイル片２１を、前記したようにその谷部２２及び山部２３がバックフォイル片２１の固定辺２１ａと直交する方向に配列するように配置している。したがって、このバックフォイル片２１上に載置されることによって制振フォイル片５１やトップフォイル片１１は、前記山部２３の配列方向に沿って固定辺５２や固定辺１２側からバックフォイル片２１の固定辺２１ａ側に向かうに連れて、漸次ベースプレート３０の内面から遠ざかるようにバックフォイル片２１の山部２３によって設定された初期傾斜角で傾斜して配置されている。

　初期傾斜角とは、荷重がゼロのときのベースプレート３０に対するトップフォイル片１１の傾斜角である。また、傾斜角とは、図３Ｃに示すようにバックフォイル片２１の山部２３の高さ増加量によって決まる角度（勾配）θである。したがって、荷重が増すとバックフォイル片２１の山部２３がベースプレート３０側に押し込まれ、全体が平坦化することにより、傾斜角θは初期傾斜角より小さくなる。

　また、トップフォイル片１１には、図３Ｂに示すように固定辺１２の近傍部、すなわち固定辺１２に対して回転軸１の回転方向下流側に位置する近傍部が、その他の部位に比べて薄肉に形成された薄肉部１４となっている。薄肉部１４は、固定辺１２に沿って直線状に形成されており、トップフォイル片１１を構成するその他の部位の厚さ（数百μｍ程度）の、５０％～７０％程度の厚さに形成されている。このような薄肉部１４の形成は、例えばエッチング加工によって行うことができる。

　また、この薄肉部１４は、図３Ｂに示すバックフォイル片２１に対して、その山部２３のうち固定辺１２に最も近い山部２３の頂点（稜線）にかからないように、形成されている。すなわち、薄肉部１４は、固定辺１２とこの固定辺１２側の山部２３の頂点（稜線）との間に位置するように、その幅が設定され、形成されている。これにより、トップフォイル片１１は、薄肉部１４以外の箇所（その他の部位）が制振フォイル片５１を介して全ての山部２３上に載ってこれらに均等に支持される。また、薄肉部１４を形成したことにより、トップフォイル片１１におけるこの薄肉部１４より回転方向下流側がより容易にかつ円滑に傾斜できる（傾くことができる）。さらに、このような薄肉部１４を形成することにより、この薄肉部１４以外の箇所の肉厚を、従来に比べて厚くすることも可能になる。

　次に、このような構成からなるスラスト軸受３Ａ（３）の作用について説明する。
　本実施形態では、図２に示したようにスラスト軸受３Ａをスラストカラー４の両側に設けている。このようにスラストカラー４の両側に設けることにより、スラスト方向の移動量を極力抑えることができる。すなわち、スラスト移動量を小さくすることにより、図１に示したチップクリアランス６を狭くすることができ、これによって流体性能を向上することができる。

　スラスト方向の移動量を極力抑えるため、両スラスト軸受３Ａはスラストカラー４に対して大きな隙間が生じないように近接して設置される。これにより、両スラスト軸受３Ａのトップフォイル片１１（トップフォイル１０）はスラストカラー４に対して若干押し付けられた状態になる。その際、本実施形態ではトップフォイル片１１に薄肉部１４を形成しているので、回転方向下流側（自由端側）が傾き易く（曲がり易く）なっている。そのため、押し付け量に比して押し付け力が小さくなっており、これにより、回転軸１の始動トルクが小さくなっている。

　すなわち、従来では荷重が増大したときにトップフォイル片の傾斜角が最適角になるように、予め最適角より大きい傾斜角が付けられている。したがって、回転停止状態ではトップフォイル片はスラストカラー４を両面から挟み込み、押し付けられた状態(プリロードが掛かった状態)となる。しかしながら、従来ではトップフォイル片の肉厚も一定であることから、スラストカラー４への押し付け力(プリロード)が強く、始動トルクが大きくなっている。
　これに対して本実施形態では、前記したようにトップフォイル片１１に薄肉部１４を形成しているため、始動トルクが小さくなる。

　また、回転軸１が回転してスラストカラー４が回転を始めると、スラストカラー４とトップフォイル片１１は擦れ合いつつ、両者の間に形成されたくさび形の空間に周囲流体が押し込まれる。スラストカラー４が一定の回転速度に達すると、両者の間に流体潤滑膜が形成される。この流体潤滑膜の圧力によってトップフォイル片１１（トップフォイル１０）は制振フォイル片５１（制振フォイル５０）を介してバックフォイル片２１（バックフォイル２０）側へ押し付けられ、スラストカラー４はトップフォイル片１１との接触状態を脱し、非接触で回転する。

　この状態で図２中矢印Ｖで示すように回転軸１の軸方向への振動や衝撃が作用すると、スラストカラー４がトップフォイル片１１に近接し、これによって流体潤滑膜の圧力が高まり、トップフォイル片１１はさらにバックフォイル片２１側へ押し込まれる。
　その際、トップフォイル片１１と制振フォイル片５１との接触面、および制振フォイル片５１とバックフォイル片２１との接触面でそれぞれ滑りによる摩擦を生じることにより、トップフォイル片１１が押し込まれる動きが抑えられる。また、押し込まれたトップフォイル片１１が元の状態に戻る際にも、滑りによる摩擦を生じる。

　よって、摩擦によって発熱することで振動等の運動エネルギーが熱エネルギーに変換され、消費されることにより、摩擦減衰効果が得られる。したがって、このようなスラスト軸受３Ａの摩擦減衰効果により、図１に示したインペラ２がハウジング５を擦ってしまうことを確実に回避できる。

　本実施形態のスラスト軸受３Ａ（３）にあっては、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５１を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来ではトップフォイル１０とバックフォイル２０（バンプフォイル）との間で滑り(摩擦)が生じていたのに対し、このスラスト軸受３Ａ（３）ではトップフォイル片１１と制振フォイル片５１との間、および制振フォイル片５１とバックフォイル片２１との間でそれぞれ滑り(摩擦)が生じる。したがって、摩擦減衰を生じる部位が増えることで従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、制振フォイル片５１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺を固定辺５２とし、この固定辺５２をトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、トップフォイル片１１の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができ、したがってコストの増加を抑えることができる。すなわち、制振フォイル片５１の固定辺５２をトップフォイル片１１の固定辺１２の下に差し入れずに、トップフォイル片１１の固定辺１２を直接ベースプレート３０に取り付ける場合には、トップフォイル片１１の高さを、従来に比べて制振フォイル片５１の厚さ分増やさなければならない。しかし、トップフォイル片１１の固定辺１２を制振フォイル片５１の固定辺５２に重ねて固定することにより、そのような設計変更を不要にすることができ、金型などを新たに製作する必要がなくなる。

　また、制振フォイル片５１の固定辺５２をトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、スポット溶接（点付溶接）などによるフォイル片の固定点の数を、制振フォイル片５１を用いない従来と同じにすることができ、したがって製造コストの上昇を抑えることができる。

　また、制振フォイル片５１を制振合金によって形成した場合には、フォイル間の滑りによる摩擦減衰に加えて、制振フォイル片５１が変形（曲げ変形）することによる減衰効果も加わるため、より高い摩擦減衰効果を得ることができる。
　また、トップフォイル片１１の、固定辺１２に対する回転方向下流側の近傍部に薄肉部１４を形成しているので、荷重がかかった際に回転方向下流側がより容易にかつ円滑に傾斜することができ、したがって始動トルクが低減する。また、回転軸１が回転を開始した後も、トップフォイル片１１が容易にかつ円滑に傾斜するため、最適傾斜角が得られ易くなり、負荷能力が向上する。

　高いスラスト荷重を受けているときには流体潤滑膜の圧力が高くなるので、トップフォイル片１１は制振フォイル片５１を介してバックフォイル片２１に直接支えられていない部分、すなわちバックフォイル片２１の谷部２２上に位置する箇所が撓み、ここから圧力が逃げて負荷能力が低下する可能性がある。

　しかし、本実施形態ではトップフォイル片１１の固定辺１２側に薄肉部１４を形成しているので、トップフォイル片１１が傾斜する（曲がる）動きを妨げることなく、従来に比べてトップフォイル片１１の板厚を厚くすることが可能である。したがって、このようにトップフォイル片１１の板厚を厚くしてその剛性を高めることにより、バックフォイル片２１に支えられていない部分での撓みを少なくすることができ、負荷能力の低下を抑制することができる。

（第２実施形態）
　次に、本発明のスラスト軸受３の第２実施形態について、図４、５Ａ～５Ｄを参照して説明する。なお、図４はスラスト軸受の平面図、図５Ａは図４のＢ－Ｂ線矢視断面図、図５Ｂは制振フォイル片の平面図、図５Ｃはバックフォイル片の平面図、図５Ｄは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。
　第２実施形態のスラスト軸受３Ｂ（３）が第１実施形態のスラスト軸受３Ａ（３）と異なるところは、図５Ｂ、５Ｃに示すように、バックフォイル片２１の周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割され、制振フォイル片５１の周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割されている点である。なお、本実施形態の説明において、第１実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、第１実施形態と異なる構成を主に説明する。

　バックフォイル片２１は、その周方向の一方の側、本実施形態では回転軸１の回転方向下流側の端辺である固定辺２１ａと反対の側（回転方向上流側）が、径方向にて４つ（複数）に等分割され、他方の側となる固定辺２１ａが径方向にて連続する連続辺とされている。このように固定辺２１ａと反対の側が４つに分割されたことで、バックフォイル片２１は、４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂ（バンプフォイル分割片）と固定辺２１ａ（連続辺）とによって構成されている。

　４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂ間には、それぞれ第１スリット２１ｃが形成されている。これら第１スリット２１ｃは、本実施形態ではバックフォイル片２１の外周が形成する円と同心円の一部を形成する円弧状に形成されている。これら第１スリット２１ｃの幅は、径方向に隣り合うバックフォイル分割片２１ｂが互いに干渉することなく、独立して動けるような寸法に設定されている。このような幅の第１スリット２１ｃによってバックフォイル片２１の一方の側が４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂに分割されていることにより、これら４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂはそれぞれ独立して動くことができる。
　本実施形態の第１スリット２１ｃの先端（固定辺２１ａ寄りの先端）は、固定辺２１ａの近傍に位置している。なお、第１スリット２１ｃの上記先端が、固定辺２１ａと接していてもよい。
　また、バックフォイル片２１の周方向での長さをＬ_１１、固定辺２１ａの周方向での長さ（幅）をＬ_１２、第１スリット２１ｃの周方向での長さ（すなわち、バックフォイル分割片２１ｂの周方向での長さ）をＬ_１３とした場合、これらの長さが下記式を満たしてもよい。
　２／３×（Ｌ_１１－Ｌ_１２）≦Ｌ_１３≦１×（Ｌ_１１－Ｌ_１２）

　また、本実施形態では、特に外周側（径方向外側）に位置する二つのバックフォイル分割片２１ｂの山部２３は、同じ列上にある山部２３同士を比べた場合に、頂部の高さが内周側（径方向内側）に位置する二つのバックフォイル分割片２１ｂの山部２３に比べて少し高くなるように形成されている。これにより、バックフォイル片２１は、トップフォイル片１１を支持する力が外周側で強く、内周側で弱くなり、流体潤滑膜の圧力と釣り合うことができる。すなわち、流体潤滑膜の圧力はトップフォイル片１１の外周側で高圧となり、内周側で低圧となるため、バックフォイル片２１が外周側でトップフォイル片１１を相対的に強く支持し、内周側で弱く支持することにより、トップフォイル片１１にかかる力が外周側と内周側とで釣り合うことができ、トップフォイル片１１は外周側、内周側共に、概ね等しくバックフォイル片２１側へ押し込まれるようになる。

　また、制振フォイル片５１は、図５Ｂに示すようにその外形が、扇形の頂点側を切り除いて内周側（径方向内側）、外周側（径方向外側）をそれぞれ円弧状とした、略台形状に形成されている。周方向の一方の側、本実施形態では回転軸１の回転方向下流側が、径方向にて４つ（複数）に等分割され、他方の側（回転方向上流側）となる固定辺５１ａが径方向にて連続する連続辺とされている。このように固定辺５１ａと反対の側が４つに分割されたことで、制振フォイル片５１は、４つの帯状の制振フォイル分割片５１ｂと固定辺５１ａ（連続辺）とによって構成されている。

　４つの帯状の制振フォイル分割片５１ｂ間には、それぞれ第２スリット５１ｃが形成されている。これら第２スリット５１ｃは、本実施形態では制振フォイル片５１の外周が形成する円と同心円の一部を形成する円弧状に形成されている。これら第２スリット５１ｃの幅は、径方向に隣り合う制振フォイル分割片５１ｂが互いに干渉することなく、独立して動けるような寸法に設定されている。また、これら第２スリット５１ｃは、図５Ｄに示すようにバックフォイル片２１の第１スリット２１ｃに重なるように形成配置されている。
　本実施形態の第２スリット５１ｃの先端（固定辺５１ａ寄りの先端）は、固定辺５１ａの近傍に位置している。なお、第２スリット５１ｃの上記先端が、固定辺５１ａと接していてもよい。
　また、制振フォイル片５１の周方向での長さをＬ_２１、固定辺５１ａの周方向での長さ（幅）をＬ_２２、第２スリット５１ｃの周方向での長さ（すなわち、制振フォイル分割片５１ｂの周方向での長さ）をＬ_２３とした場合、これらの長さが下記式を満たしてもよい。
　２／３×（Ｌ_２１－Ｌ_２２）≦Ｌ_２３≦１×（Ｌ_２１－Ｌ_２２）

　このような第２スリット５１ｃによって制振フォイル片５１の一方の側が４つの帯状の制振フォイル分割片５１ｂに分割されていることにより、これら４つの帯状の制振フォイル分割片５１ｂはそれぞれ独立して動くことができる。また、４つの帯状の制振フォイル分割片５１ｂは、４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂの山部２３の頂部に接した状態に載せられていることにより、これら４つの帯状のバックフォイル分割片２１ｂのうちの対応する（接する）バックフォイル分割片２１ｂの動きに容易に追従することができる。

　また、本実施形態においても上記第１実施形態と同様に、トップフォイル片１１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺１２とされている。制振フォイル片５１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺５１ａとされている。この固定辺５１ａが、この制振フォイル片５１と重なって配置されているトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている。

　従来のスラストフォイル軸受構造（例えば上記特許文献２に開示されている構造）では、トップフォイルの下流側端辺側で軸受隙間が最も狭くなっており、高負荷時にはサブミクロンに達することがある。従って、この下流側端辺側ではスラストカラーとの接触が起こり易くなっており、接触が起こるとトップフォイルが摩耗して軸受寿命が低下し、最悪の場合焼き付きが生じる場合がある。これを避けるには、トップフォイルの下流側端辺とスラストカラーとを常に平行にしておくのが望ましい。

　しかしながら、一般にスラストフォイル軸受では、その外周端側でのスラストカラーの周速が内周端側での周速に比べて速いため、外周端側では流体潤滑膜の圧力(膜圧)が高くなり、内周端側では周速が遅いため圧力（膜圧）が低くなる。このため、トップフォイルの外周端側はバンプフォイル側へ押し込まれてスラストカラーから離れる方向へ動き、一方、内周端側はスラストカラーの側へ起き上がることにより、スラストカラーに近づく場合がある。

　その結果、トップフォイルの下流側端辺側では、内周端側における流体潤滑膜の膜厚が極端に薄くなり、高負荷に耐えられなくなる。このため、従来のスラスト軸受では、例えば特許文献２に示されるようにバンプフォイルを径方向にて複数に分割している。すなわち、内外周（径方向の内側と外側）のバンプフォイル間にスリットを設け、これによってバンプフォイルを内周側から外周側まで計４分割し、内周側から外周側に向けて支持力をより滑らかに変化させている。

　しかしながら、このようなバンプフォイルを分割したスラスト軸受でも、前記の振動や衝撃に対して回転軸の振動を減衰させる効果が十分ではない場合があり、回転軸と静止部（ハウジング）とが接触を起こす可能性がある。例えば、回転機械がターボ機械である場合、インペラがハウジングを擦ってしまう可能性がある。

　このような従来の技術と比較して、本実施形態のスラスト軸受３Ｂ（３）の作用について説明する。
　回転軸１（スラストカラー４）が回転し、流体潤滑膜の圧力が高まってトップフォイル片１１がバックフォイル片２１側へ押し込まれると、トップフォイル片１１の外周側では周速が速く流体潤滑膜の圧力(膜圧)は高くなっており、内周側では周速が遅く膜圧が低くなっているので、トップフォイル片１１の外周部はバックフォイル片２１側へ押し込まれてスラストカラー４から離れる方向へ動こうとし、内周部はスラストカラー４の側へ起き上がろうとする。

　しかし、本実施形態ではバックフォイル片２１を内外周にて４分割しており、外周側のバックフォイル分割片２１ｂに比べて内周側のバックフォイル分割片２１ｂの山部２３の高さを低くしているので、トップフォイル片１１を支える力は外周側が強く、内周側が弱くなり、従って流体潤滑膜の圧力（外周側が高圧、内周側が低圧）と釣り合うことができる。これにより、トップフォイル片１１は内外周側ともに概ね等しくバックフォイル片２１側に押し込まれ、トップフォイル片１１の下流側端辺側で内周側の流体潤滑膜の膜厚が極端に薄くなるのが抑制され、高負荷時においてもトップフォイル片１１とスラストカラー４との非接触状態が維持される。

　また、バックフォイル片２１を径方向にて４つ（複数）に分割しているので、内周側のバックフォイル分割片２１ｂと外周側のバックフォイル分割片２１ｂとがそれぞれ独立して動作する。このため、トップフォイル片１１がバックフォイル片２１側へ押し込まれたときに生じるバックフォイル片２１の変形が径方向において滑らかになり、従ってバックフォイル片による支持力も内周側から外周側に向けてより滑らかに変化する。一方、制振フォイル片５１も径方向にて４つ（複数）に分割しているので、制振フォイル分割片５１ｂがバックフォイル分割片２１ｂに対応して独立して動くことにより、制振フォイル分割片５１ｂは個々のバックフォイル分割片２１ｂの動きに対して抵抗なく追従する。

　本実施形態のスラスト軸受３Ｂ（３）にあっては、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５１を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来ではトップフォイル１０とバックフォイル２０（バンプフォイル）との間で滑り(摩擦)が生じていたのに対し、このスラスト軸受３Ｂ（３）ではトップフォイル片１１と制振フォイル片５１との間、および制振フォイル片５１とバックフォイル片２１との間でそれぞれ滑り(摩擦)が生じる。従って、摩擦減衰を生じる部位が増えることで従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、バックフォイル片２１と制振フォイル片５１とを共に径方向にて分割してトップフォイル片１１の径方向における変形を滑らかにしているので、トップフォイル片１１がスラストカラー４に局所的に接触するのを抑制することができ、これによってトップフォイル片１１の局所摩耗を防止し、軸受寿命の低下や焼き付きを防止することができる。

　また、バックフォイル分割片２１ｂ、制振フォイル分割片５１ｂをそれぞれ連続辺によって一体化してバックフォイル片２１（バックフォイル片２１）、制振フォイル片５１を形成しているので、バックフォイル片２１、制振フォイル片５１のベースプレート３０上へのスポット溶接等による固定を容易に行うことができる。

　また、制振フォイル分割片５１ｂ間の第２スリット５１ｃを、バックフォイル分割片２１ｂ間の第１スリット２１ｃに重なるように形成しているので、個々の制振フォイル分割片５１ｂを、対応するバックフォイル分割片２１ｂの個々の動きに対してより良好に追従させることができる。

　また、制振フォイル片５１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺を固定辺５１ａとし、この固定辺５１ａをトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、トップフォイル片１１の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができ、従ってコストの増加を抑えることができる。すなわち、制振フォイル片５１の固定辺５１ａをトップフォイル片１１の固定辺１２の下に差し入れずに、トップフォイル片１１の固定辺１２を直接ベースプレート３０に取り付ける場合には、トップフォイル片１１の高さを、従来に比べて制振フォイル片５１の厚さ分増やさなければならない。しかし、トップフォイル片１１の固定辺１２を制振フォイル片５１の固定辺５１ａに重ねて固定することにより、そのような設計変更を不要にすることができ、金型などを新たに製作する必要がなくなる。

　また、制振フォイル片５１の固定辺５１ａをトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、スポット溶接（点付溶接）などによるフォイル片の固定点の数を、制振フォイル片５１を用いない従来と同じにすることができ、従って製造コストの上昇を抑えることができる。

　また、制振フォイル片５１を制振合金によって形成した場合には、フォイル間の滑りによる摩擦減衰に加えて、制振フォイル片５１が変形（曲げ変形）することによる減衰効果も加わるため、より高い摩擦減衰効果を得ることができる。
　また、トップフォイル片１１の、固定辺１２に対する回転方向下流側の近傍部に薄肉部１４を形成しているので、荷重がかかった際に回転方向下流側がより容易に且つ円滑に傾斜でき、従って始動トルクが低減する。また、回転軸１が回転を開始した後も、トップフォイル片１１が容易に且つ円滑に傾斜するため、最適傾斜角が得られ易くなり、負荷能力が向上する。

（第３実施形態）
　次に、本発明のスラスト軸受３の第３実施形態について、図６Ａ～６Ｃを参照して説明する。なお、図６Ａはスラスト軸受の平面図、図６Ｂは図６ＡのＣ－Ｃ線矢視断面図、図６Ｃは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。
　第３実施形態のスラスト軸受３Ｃ（３）が第１実施形態のスラスト軸受３Ａ（３）と主に異なるところは、図６Ａ～６Ｃに示すように、制振フォイル５０を構成する制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺が、固定辺５６としてトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている点である。なお、本実施形態の説明において、第１実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、第１実施形態と異なる構成を主に説明する。

　本実施形態の制振フォイル片５５は、図３Ａ～３Ｃに示した第１実施形態の制振フォイル片５１に比べ、回転方向下流側が長く形成されており、その端辺、すなわち固定辺５６が、図６Ａ、６Ｂに示すように回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の、固定辺１２とともにベースプレート３０に固定されている。一方、回転方向上流側は、本実施形態では固定されることなく単にバックフォイル片２１の山部２３上に支持された自由端となっている。なお、制振フォイル片５５の回転方向上流側は、図６Ｃに示すようにバックフォイル片２１と同様に、谷部２２の長さ方向に沿って切り欠かれている。
　すなわち、本実施形態のトップフォイル片１１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺１２とされている。制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺５６とされている。この固定辺５６が、この制振フォイル片５１と重なって配置されているトップフォイル片１１の周方向で隣（回転方向下流側の隣）に位置する他のトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている。

　このような制振フォイル片５５を備えたスラスト軸受３Ｃ（３）にあっても、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５５を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺を固定辺５６とし、この固定辺５６を回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、第１実施形態と同様にトップフォイル片１１の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができ、したがってコストの増加を抑えることができる。

　また、制振フォイル片５５の固定辺５６をトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、スポット溶接（点付溶接）などによるフォイル片の固定点の数を、制振フォイル片５１を用いない従来と同じにすることができ、したがって製造コストの上昇を抑えることができる。
　さらに、制振フォイル片５５の固定辺５６を回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、上下に重ねられたトップフォイル片１１と制振フォイル片５５とはその自由端側が互いに対向する方向、すなわち相反する方向（互いの固定辺の方向、周方向で相反する方向）に滑ることができる。また、このような滑りを十分に発生させるため、制振フォイル片５５の回転方向上流側の端部と、それと重なるトップフォイル片１１の固定辺１２との間には十分な隙間が形成されている。したがって、これらトップフォイル片１１と制振フォイル片５５との間の相対的な滑り量が増加するため、より高い摩擦減衰効果が得られる。

（第４実施形態）
　次に、本発明のスラスト軸受３の第４実施形態について、図７、図８Ａ～８Ｄを参照して説明する。なお、図７はスラスト軸受の平面図、図８Ａは図７のＤ－Ｄ線矢視断面図、図８Ｂは制振フォイル片の平面図、図８Ｃはバックフォイル片の平面図、図８Ｄは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。
　第４実施形態のスラスト軸受３Ｄ（３）が第２実施形態のスラスト軸受３Ｂ（３）と主に異なるところは、図８Ａ～８Ｄに示すように、制振フォイル５０を構成する制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺が、固定辺５５ａとしてトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている点である。なお、本実施形態の説明において、第２実施形態（及び第１実施形態）と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、第２実施形態と異なる構成を主に説明する。

　本実施形態の制振フォイル片５５は、図８Ｂに示すように回転軸１の回転方向上流側が、径方向にて４つ（複数）に等分割され、他方の側（回転方向下流側）となる固定辺５５ａが径方向にて連続する連続辺とされている。このように固定辺５５ａと反対の側が４つに分割されたことで、制振フォイル片５５は、４つの帯状の制振フォイル分割片５５ｂと固定辺５５ａ（連続辺）とによって構成されている。

　４つの帯状の制振フォイル分割片５５ｂ間には、それぞれ第２スリット５５ｃが形成されている。これら第２スリット５５ｃは、本実施形態では制振フォイル片５５の外周が形成する円と同心円の一部を形成する円弧状に形成されている。これら第２スリット５５ｃは、図８Ｄに示すようにバックフォイル片２１の第１スリット２１ｃに重なるように形成配置されている。
　本実施形態の第２スリット５５ｃの先端（固定辺５５ａ寄りの先端）は、固定辺５５ａの近傍に位置している。なお、第２スリット５５ｃの上記先端が、固定辺５５ａと接していてもよい。
　また、制振フォイル片５５の周方向での長さをＬ_３１、固定辺５５ａの周方向での長さ（幅）をＬ_３２、第２スリット５５ｃの周方向での長さ（すなわち、制振フォイル分割片５５ｂの周方向での長さ）をＬ_３３とした場合、これらの長さが下記式を満たしてもよい。
　２／３×（Ｌ_３１－Ｌ_３２）≦Ｌ_３３≦１×（Ｌ_３１－Ｌ_３２）

　また、制振フォイル片５５は、図４、図５Ａ～５Ｄに示した第２実施形態の制振フォイル片５１に比べ、回転方向下流側が長く形成されており、その端辺、すなわち固定辺５５ａが、図７、図８Ａに示すように回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の、固定辺１２とともにベースプレート３０に固定されている。一方、回転方向上流側は、本実施形態では固定されることなく単にバックフォイル片２１の山部２３上に支持された自由端となっている。
　すなわち、本実施形態のトップフォイル片１１の、回転軸１の回転方向上流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺１２とされている。制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺が、ベースプレート３０に固定される固定辺５５ａとされている。この固定辺５５ａが、この制振フォイル片５５と重なって配置されているトップフォイル片１１の周方向で隣（回転方向下流側の隣）に位置する他のトップフォイル片１１の固定辺１２とともに、ベースプレート３０に固定されている。

　このような制振フォイル片５５を備えたスラスト軸受３Ｄ（３）にあっても、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５５を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、バックフォイル片２１と制振フォイル片５５とを共に径方向にて分割してトップフォイル片１１の径方向における変形を滑らかにしているので、トップフォイル片１１がスラストカラー４に局所的に接触するのを抑制することができ、これによってトップフォイル片１１の局所摩耗を防止し、軸受寿命の低下や焼き付きを防止することができる。

　また、制振フォイル片５５の、回転軸１の回転方向下流側の端辺を固定辺５５ａとし、この固定辺５５ａを回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、第１実施形態と同様にトップフォイル片１１の形状を従来の形状から変更することなく、従来と同じに形成することができ、従ってコストの増加を抑えることができる。

　また、制振フォイル片５５の固定辺５５ａをトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、スポット溶接（点付溶接）などによるフォイル片の固定点の数を、制振フォイル片５５を用いない従来と同じにすることができ、従って製造コストの上昇を抑えることができる。
　さらに、制振フォイル片５５の固定辺５５ａを回転方向下流側に隣り合うトップフォイル片１１の固定辺１２とともにベースプレート３０に固定しているので、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、上下に重ねられたトップフォイル片１１と制振フォイル片５５とはその自由端側が互いに対向する方向、すなわち相反する方向（互いの固定辺の方向）に滑ることができる。また、このような滑りを十分に発生させるため、制振フォイル片５５の回転方向上流側の端部と、それと重なるトップフォイル片１１の固定辺１２との間には十分な隙間が形成されている。従って、これらトップフォイル片１１と制振フォイル片５５との間の相対的な滑り量が増加するため、より高い摩擦減衰効果が得られる。

（第５実施形態）
　次に、本発明のスラスト軸受３の第５実施形態について、図９Ａ～９Ｃを参照して説明する。なお、図９Ａはスラスト軸受の平面図、図９Ｂは図９ＡのＥ－Ｅ線矢視断面図、図９Ｃは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。
　第５実施形態のスラスト軸受３Ｅ（３）が第１実施形態のスラスト軸受３Ａ（３）と主に異なるところは、図９Ａ～９Ｃに示すように、ベースプレート３０の前記支持領域３１に傾斜面３２を形成した点と、バックフォイル片２１の山部２３の高さを、全て同一にした点である。なお、本実施形態の説明において、第１実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、第１実施形態と異なる構成を主に説明する。

　本実施形態では、図９Ａに示すように支持領域３１における、前記バックフォイル片２１、制振フォイル片５１、トップフォイル片１１を支持する領域全体を、トップフォイル片１１の固定辺１２側から下流側の端辺側に向かうに連れて高さが増加する傾斜面３２としている。言い換えれば、ベースプレート３０には、バックフォイル片２１を支持する支持領域３１に、回転軸１の回転方向上流側の端部から回転方向下流側の端部に向かうに連れて高さ（回転軸１の軸方向での高さ）が増加する傾斜面３２が形成されている。すなわち、傾斜面３２を、図９Ｂに示すようにバックフォイル片２１の固定辺２１ａに対して直交する方向に傾斜させて形成している。

　また、バックフォイル片２１については、前記第１実施形態と同様に、ベースプレート３０に接する谷部２２と、トップフォイル片１１（制振フォイル片５１）に接する山部２３とを交互に配置した波板状に形成している。ただし、本実施形態では、図９Ｂ、９Ｃに示すように、山部２３の高さを全て同一に形成している。

　また、谷部２２及び山部２３については、前記実施形態と同様に、バックフォイル片２１の固定辺２１ａに対して直交する方向に配列させている。これにより、バックフォイル片２１の山部２３は、その高さがベースプレート３０の傾斜面３２の傾斜方向に沿って、すなわち回転軸１の回転方向の下流側に向かうに連れて、所定の高さずつ高くなっている。つまり、第１実施形態と見かけ上同一になっている。したがって、このバックフォイル片２１上に配置されるトップフォイル片１１は、その傾斜角θが、第１実施形態と同様に形成される。本実施形態では、この傾斜角θは図９Ｃに示すように傾斜面３２の傾斜角θによって決まる。

　本実施形態のスラスト軸受３Ｅ（３）にあっても、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５１を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、ベースプレート３０の各支持領域３１に傾斜面３２を形成し、バックフォイル片２１の山部２３の高さを全て同一にするとともに、この山部２３の配列方向を傾斜面３２の傾斜方向に一致させているので、この傾斜面３２上にバックフォイル片２１、制振フォイル片５１を介してトップフォイル片１１を配設することにより、トップフォイル片１１の高さを傾斜面３２に沿って精度よく変化させることができる。すなわち、トップフォイル片１１に所定の傾斜角θを付与することができる。また、その際にバックフォイル片２１については、山部２３の高さを変化させることなく一定の高さに作製すればよく、したがってその加工コストを抑えることができる。よって、このスラスト軸受３Ｅ（３）によれば、加工を容易にして量産性を向上し、コストの低減化を図ることができる。また、加工が容易になってバラツキが少なくなるため、設計時に予測した軸受性能（例えば軸受負荷能力）が得やすくなる。

（第６実施形態）
　次に、本発明のスラスト軸受３の第６実施形態について、図１０Ａ～１０Ｃを参照して説明する。なお、図１０Ａはスラスト軸受の平面図、図１０Ｂは図１０ＡのＦ－Ｆ線矢視断面図、図１０Ｃは制振フォイル片およびバックフォイル片の形状を説明するためにその平面図と側面図を対応させた説明図である。
　第６実施形態のスラスト軸受３Ｆ（３）が第２実施形態のスラスト軸受３Ｂ（３）と主に異なるところは、図１０Ａ～１０Ｃに示すように、ベースプレート３０の前記支持領域３１に傾斜面３２を形成した点と、バックフォイル片２１の山部２３の高さを、全て同一にした点である。なお、本実施形態の説明において、第２実施形態（及び第１実施形態）と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、第２実施形態と異なる構成を主に説明する。

　本実施形態では、図１０Ａに示すように支持領域３１における、前記バックフォイル片２１、制振フォイル片５１、トップフォイル片１１を支持する領域全体を、トップフォイル片１１の固定辺１２側から下流側の端辺側に向かうに連れて高さが増加する傾斜面３２としている。言い換えれば、ベースプレート３０には、バックフォイル片２１を支持する支持領域３１に、回転軸１の回転方向上流側の端部から回転方向下流側の端部に向かうに連れて高さ（回転軸１の軸方向での高さ）が増加する傾斜面３２が形成されている。すなわち、傾斜面３２を、図１０Ｂに示すようにバックフォイル片２１の固定辺２１ａに対して直交する方向に傾斜させて形成している。

　また、バックフォイル片２１については、前記第２実施形態と同様に、ベースプレート３０に接する谷部２２と、トップフォイル片１１に接する山部２３とを交互に配置した波板状に形成している。ただし、本実施形態では、図１０Ｂ、１０Ｃに示すように、山部２３の高さをベースプレート３０の周方向では全て同一に形成している。なお、外周側に位置する二つのバックフォイル分割片２１ｂの山部２３を、同じ列上にある山部２３同士を比べた場合に、頂部の高さが内周側に位置する二つのバックフォイル分割片２１ｂの山部２３に比べて少し高くなるように形成している点は、第２実施形態と同様である。

　また、谷部２２及び山部２３については、前記実施形態と同様に、バックフォイル片２１の固定辺２１ａに対して直交する方向に配列させている。これにより、バックフォイル片２１の山部２３は、その高さがベースプレート３０の傾斜面３２の傾斜方向に沿って、すなわち回転軸１の回転方向の下流側に向かうに連れて、所定の高さずつ高くなっている。つまり、第２実施形態と見かけ上同一になっている。従って、このバックフォイル片２１上に配置されるトップフォイル片１１は、その傾斜角θが、第２実施形態と同様に形成される。本実施形態では、この傾斜角θは図１０Ｃに示すように傾斜面３２の傾斜角θによって決まる。

　本実施形態のスラスト軸受３Ｆ（３）にあっても、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間にそれぞれ制振フォイル片５１を配置したので、回転軸１がその軸方向(スラスト方向)への振動や衝撃を受け、トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してスラストカラー４に押し込まれた際、従来に比べてより高い摩擦減衰効果を発揮することができ、回転軸１のスラスト方向へ振動や衝撃を良好に吸収することができる。

　また、ベースプレート３０の各支持領域３１に傾斜面３２を形成し、バックフォイル片２１の山部２３の高さを全て同一にするとともに、この山部２３の配列方向を傾斜面３２の傾斜方向に一致させているので、この傾斜面３２上にバックフォイル片２１、制振フォイル片５１を介してトップフォイル片１１を配設することにより、トップフォイル片１１の高さを傾斜面３２に沿って精度よく変化させることができる。すなわち、トップフォイル片１１に所定の傾斜角θを付与することができる。また、その際にバックフォイル片２１については、山部２３の高さを周方向で変化させることなく一定の高さに作製すればよく、従ってその加工コストを抑えることができる。よって、このスラスト軸受３Ｆ（３）によれば、加工を容易にして量産性を向上し、コストの低減化を図ることができる。また、加工が容易になってバラツキが少なくなるため、設計時に予測した軸受性能（例えば軸受負荷能力）が得やすくなる。

　以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されない。前記実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨を逸脱しない範囲で設計要求等に基づき、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。
　例えば、前記実施形態ではバックフォイル２０や制振フォイル５０、トップフォイル１０をそれぞれ６つのバックフォイル片２１（バンプフォイル片）、制振フォイル片５１（５５）、トップフォイル片１１で構成し、したがってベースプレート３０の支持領域３１もこれに合わせて６つ形成（設定）した。しかし、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）や制振フォイル片５１（５５）、トップフォイル片１１は、複数であれば５つ以下でも７つ以上であってもよい。その場合に、支持領域３１の数についても、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）や制振フォイル片５１（５５）、トップフォイル片１１の数に合わせて変更してよい。

　また、前記実施形態ではバックフォイル片２１（バンプフォイル片）とトップフォイル片１１との間に制振フォイル片５１を一層配置したが、制振フォイル片５１については複数層（例えば２層または３層）重ねて配置してもよい。このように制振フォイル片５１を複数層重ねて配置することにより、制振フォイル片５１、５１間での滑りによる摩擦減衰が加わり、したがってより高い摩擦減衰効果を得ることができる。

　また、第５、第６実施形態では、第１、第２実施形態のそれぞれに対してベースプレート３０の支持領域３１に傾斜面３２を形成し、バックフォイル片２１の山部２３の高さを全て同一にしている。しかし、他の実施形態として、第３、第４実施形態に対してベースプレート３０の支持領域３１に傾斜面３２を形成し、バックフォイル片２１の山部２３の高さを全て同一にしてもよい。

　また、前記第２、第４、第６実施形態では、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）、制振フォイル片５１（制振フォイル片５５）を４つのバックフォイル分割片２１ｂ、制振フォイル分割片５１ｂ（制振フォイル分割片５５ｂ）と連続辺（固定辺）とによって形成したが、各分割片については４つに限定されることなく、２つ以上であればいくつに分割してもよい。さらに、連続辺を形成することなく、従って分割片をそれぞれ連結することなく、完全に独立した形態に形成してもよい。

　また、前記第２、第４、第６実施形態では、バックフォイル片２１（バンプフォイル片）や制振フォイル片５１（制振フォイル片５５）を径方向にて複数に分割することで形成される第１スリット２１ｃ、第２スリット５１ｃ（第２スリット５５ｃ）を、円弧状に形成したが、これらスリットを例えば直線状に形成してもよい。

　また、前記実施形態では、制振フォイル片５１（５５）の固定辺５２（５１ａ、５５ａ、５６）とトップフォイル片１１の固定辺１２とを上下に重ねて共にスポット溶接等によりベースプレート３０に固定したが、これら固定辺を重ね合わせることなく互いにずらした状態で、それぞれ別にベースプレート３０に固定してもよい。
　また、トップフォイル片や制振フォイル片、バンプフォイル片の形状、支持領域上へのトップフォイル片やバンプフォイル片の配置、傾斜面の傾斜方向など、前記実施形態以外にも種々の形態を採用することが可能である。

　本発明は、回転軸に設けられたスラストカラーに対向して配置されるスラスト軸受に利用することができる。

１　回転軸
３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ，３Ｅ，３Ｆ　スラスト軸受
４　スラストカラー
１０　トップフォイル
１１　トップフォイル片
１２　固定辺（トップフォイル固定辺）
１４　薄肉部
２０　バックフォイル（バンプフォイル）
２１　バックフォイル片（バンプフォイル片）
２１ａ　固定辺（連続辺、バンプフォイル固定辺）
２１ｂ　バックフォイル分割片
２１ｃ　第１スリット
２２　谷部
２３　山部
３０　ベースプレート
３１　支持領域
３２　傾斜面
５０　制振フォイル
５１，５５　制振フォイル片
５１ａ，５２，５５ａ，５６　固定辺（連続辺）
５１ｂ，５５ｂ　制振フォイル分割片
５１ｃ，５５ｃ　第２スリット

Claims

　回転軸に設けられたスラストカラーに対向して配置されるスラスト軸受であって、
　前記スラストカラーに対向して配置されるトップフォイルと、
　前記トップフォイルの、前記スラストカラーに対向する面と反対の面側に配置されたバックフォイルと、
　前記バックフォイルの、前記トップフォイル側と反対の側に配置されて、該バックフォイルを支持する円環板状のベースプレートと、を備え、
　前記バックフォイルは、前記ベースプレートの周方向に配列された複数のバックフォイル片によって形成され、
　前記トップフォイルは、前記バックフォイル片の上にそれぞれ配設された複数のトップフォイル片によって形成され、
　前記バックフォイル片と前記トップフォイル片との間には、それぞれ制振フォイル片が配置されているスラスト軸受。
　前記バックフォイル片は、その周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割され、
　前記制振フォイル片は、その周方向の少なくとも一方の側が径方向にて複数に分割されている請求項１に記載のスラスト軸受。
　前記バックフォイル片は、その周方向の前記一方の側が径方向にて複数に分割され、且つ、他方の側が径方向にて連続する連続辺とされ、
　前記制振フォイル片は、その周方向の前記一方の側が径方向にて複数に分割され、且つ、他方の側が径方向にて連続する連続辺とされている請求項２に記載のスラスト軸受。
　前記バックフォイル片には、径方向にて分割された複数のバックフォイル分割片間に第１スリットが形成され、
　前記制振フォイル片には、径方向にて分割された複数の制振フォイル分割片間に、前記第１スリットに重なる第２スリットが形成されている請求項３に記載のスラスト軸受。
　前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされており、
　前記制振フォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が前記連続辺とされ、該連続辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている請求項３又は４に記載のスラスト軸受。
　前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされており、
　前記制振フォイル片は、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が前記連続辺とされ、該連続辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている請求項３又は４に記載のスラスト軸受。
　前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされており、
　前記制振フォイル片の、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている請求項１に記載のスラスト軸受。
　前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされており、
　前記制振フォイル片の、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が、前記トップフォイル片の前記トップフォイル固定辺とともに、前記ベースプレートに固定されている請求項１に記載のスラスト軸受。
　前記制振フォイル片が、制振合金によって形成されている請求項１～８のいずれか一項に記載のスラスト軸受。
　前記トップフォイル片は、前記回転軸の回転方向上流側の端辺が、前記ベースプレートに固定されるトップフォイル固定辺とされており、
　前記トップフォイル片は、前記トップフォイル固定辺に対する前記回転軸の回転方向下流側の近傍部に、他部に比べて薄肉に形成された薄肉部を有している請求項１～９のいずれか一項に記載のスラスト軸受。
　前記バックフォイル片は、山部と谷部とを交互に形成した波板状のバンプフォイル片によって形成されるとともに、前記回転軸の回転方向下流側の端辺が前記ベースプレートに固定されるバンプフォイル固定辺とされ、かつ、前記山部の配列方向が前記バンプフォイル固定辺と交差して配置され、
　前記山部は、その高さが前記回転軸の回転方向上流側から前記回転軸の回転方向下流側に向かうに連れて高くなるように形成されている請求項１～１０のいずれか一項に記載のスラスト軸受。
　前記ベースプレートには、前記バックフォイル片を支持する各支持領域に、前記回転軸の回転方向上流側の端部から回転方向下流側の端部に向かうに連れて高さが増加する傾斜面が形成されている請求項１～１０のいずれか一項に記載のスラスト軸受。
　前記バックフォイル片は、山部と谷部とを交互に形成した波板状のバンプフォイル片によって形成されるとともに、前記山部の配列方向が前記傾斜面の傾斜方向に一致するように配置されている請求項１２に記載のスラスト軸受。