JP2006024823A - レジスト除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 例えば、まず、窒化シリコンからなるオーバーコート膜13をその上に形成されたコンタクトホール15形成用のレジストパターン24をマスクとしてドライエッチングしてコンタクトホール15を形成すると、レジストパターン24の表面に表面変質層24aが形成される。次に、表面変質層24aを含むレジストパターン24をモノエタノールアミンを主成分とするレジスト剥離液を用いて剥離する。この場合、表面変質層24aは上記レジスト剥離液に溶解しないため、表面変質層24aが残渣としてある程度残る。そこで、次に、この表面変質層残渣を水素水中でメガソニック洗浄を行なって除去する。
【選択図】 図7
Description
2 ゲート電極
3 走査ライン
3a 接続パッド部
4 ゲート絶縁膜
5 半導体薄膜
6 チャネル保護膜
7、8 オーミックコンタクト層
9 ソース電極
10 ドレイン電極
11 データライン
11a 接続パッド部
12 薄膜トランジスタ
13 オーバーコート膜
14 画素電極
15 コンタクトホール
16 外部接続端子
17 コンタクトホール
18 外部接続端子
19 コンタクトホール
5a 半導体薄膜形成用層
5b チャネル保護膜形成用層
21 レジストパターン
22 オーミックコンタクト層形成用層
23、24 レジストパターン
24a 表面変質層
24b 表面変質層残渣
Claims (6)
- 被加工薄膜をその上に形成されたレジストパターンをマスクとしてドライエッチングして薄膜パターンを形成したとき、前記レジストパターンの表面に表面変質層が形成され、前記表面変質層を含む前記レジストパターンをモノエタノールアミンを主成分とするレジスト剥離液を用いて処理し、次いで前記表面変質層の残渣を水素水中でメガソニック洗浄または超音波洗浄を行なって除去することを特徴とするレジスト除去方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記被加工薄膜は窒化シリコンからなり、前記ドライエッチングはFを含むガスを用いたドライエッチングであることを特徴とするレジスト除去方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記水素水の水素濃度は0.1〜1.5mg/lであることを特徴とするレジスト除去方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記被加工薄膜は、薄膜トランジスタパネルの少なくとも窒化シリコンからなるオーバーコート膜であり、前記レジストパターンは、少なくとも前記オーバーコート膜にコンタクトホールを形成するためのものであることを特徴とするレジスト除去方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記被加工薄膜は、薄膜トランジスタパネルの窒化シリコンからなるチャネル保護膜形成用層であり、前記レジストパターンは、チャネル保護膜を形成するためのものであることを特徴とするレジスト除去方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記被加工薄膜は、薄膜トランジスタパネルのn型アモルファスシリコンからなるオーミックコンタクト層形成用層および真性アモルファスシリコンからなる半導体薄膜形成用層であり、前記レジストパターンは、オーミックコンタクト層および半導体薄膜を形成するためのものであることを特徴とするレジスト除去方法。
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