JP2006010568A - 位置検出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 第1の検出手段の検出結果に基づいて得られた位置データが、基準位置を示すデータからずれてしまうことがある。
【解決手段】 対象物(102、103)の移動に応じて周期的に変化する検出信号を出力する第1の検出手段(105)と、対象物の基準位置を検出する第2の検出手段(100)と、検出信号に基づいて、対象物の位置に応じた位置データを求める演算手段と、第2の検出手段の検出時における位置データが基準位置を示すデータと略一致するように、第1および第2の検出手段のうち少なくとも一方の位置を調節する調節手段(110)とを有する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、対象物の位置を検出する位置検出装置に関するものである。
従来、例えば光学レンズを光軸方向に移動させる際、リニアスケール等の位置検出器を用いて光学レンズの移動量を測定し、該光学レンズの位置を検出している。このような位置検出器は、光学レンズ等の対象物に固定されたスケール部(又はセンサ部)と、鏡筒等の固定部に固定されたセンサ部(又はスケール部)を有しており、これらの相対的な移動を検出することにより位置データを得ている。
この位置検出器においては、センサ部から出力され、周期的に変化する複数相の信号から一部を切り出し、切り出した信号に対して内挿演算を行うことで、位置データを得ている(例えば、特許文献1参照)。この位置検出方法は、比較的高精度に位置の検出を行うことができるため、光学機器におけるレンズ移動量の測定等に用いられている。
このような位置検出を行う場合、測定位置を絶対値化するために基準となる位置(以下、基準位置)を検出する必要がある。具体的には、光学レンズと一体となって移動する移動部材に遮光部を設け、鏡筒等の固定部にフォトインタラプタのようなリセット用のセンサを配置する。この構成では、移動部材の移動に応じて遮光部がフォトインタラプタの光路を遮ることで、センサ出力がHighからLow又はLowからHighに変化する。このため、センサ出力が変化した時点での位置検出を行い、検出された位置を基準位置としている。
ここで、移動部材をメカニカルストッパに当接させ、当接した位置を基準位置としているものがある(例えば、特許文献2参照)。
特開2000−356504号公報(段落番号0022〜0025、図5、図6等) 特開平6−102936号公報(段落番号0031〜0033、図1等)
対象物の絶対位置を求める場合には、基準位置を精度良く検出する必要がある。一般的には、リセット用のセンサの出力を監視し、センサ出力が変化した時点での位置データを、基準位置を示すデータとしている。
しかしながら、上記位置データは周期的に変化する複数相の信号に基づいて生成されるため、実際の基準位置を示すデータに対してずれてしまうことがある。この場合には、基準位置に基づいて決定される絶対位置にも誤差が生じてしまう。
ここで、特許文献2のように移動部材をメカニカルストッパに当接させた位置を基準位置としても、センサ部の出力に基づいて生成された位置データが、基準位置を示すデータに対してずれてしまうことがある。
本発明の位置検出装置は、対象物の移動に応じて周期的に変化する検出信号を出力する第1の検出手段と、前記対象物の基準位置を検出する第2の検出手段と、前記検出信号に基づいて、前記対象物の位置に応じた位置データを求める演算手段と、前記第2の検出手段の検出時における前記位置データが前記基準位置を示すデータと略一致するように、前記第1および第2の検出手段のうち少なくとも一方の位置を調節する調節手段とを有することを特徴とする。
本発明によれば、第2の検出手段の検出時における位置データが基準位置を示すようになるため、基準位置の検出精度を向上させることができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説明する。
図1は、本発明の実施例1であるリニアアクチュエータを搭載したレンズ装置(光学機器)の断面図である。
固定鏡筒109に取り付けられたリセットセンサ(第2の検出手段)100は、図5に示すように発光素子100aおよび受光素子100bを有するフォトインタラプタで構成されている。レンズ(フォーカスレンズ)103を保持するレンズホルダ102には遮光部102aが形成されており、この遮光部102aはレンズホルダ102の移動に応じてリセットセンサ100内(発光素子100aおよび受光素子100b間)を通過する。
ここで、110は、リセットセンサ100をレンズ103の移動方向(光軸L方向)に沿ってスライドさせるためのスライド機構(調節手段)である。このスライド機構の機能については後述する。
なお、図1では、1つのレンズ103が配置されたレンズ装置を示しているが、レンズ103に加えて他のレンズ(例えば、変倍用のレンズ)が配置されていてもよい。また、固定鏡筒109には、CCDやCMOSセンサ等の撮像素子111が取り付けられており、レンズ装置内のレンズによって形成された被写体像(光学像)を光電変換する。
そして、遮光部102aが発光素子100aから受光素子100bに向かう光を遮ったり、発光素子100aの光を受光素子100bに到達させたりすることで、リセットセンサ100の出力に変化(HIからLOW又はLOWからHIへの変化)が生じる。
そして、リセットセンサ100の出力が変化した時点での位置情報を検出する。この位置情報は基準位置を示す情報となり、絶対位置を求めるために利用される。
本実施例では、レンズホルダ102(レンズ103)の位置を検出するために光学式の位置センサを用いている。具体的には、図1に示すように、レンズホルダ102に固定された光学式スケール104と、発光素子および受光素子を有する位置センサ(第1の検出手段)105を用いて、レンズ103の位置を検出している。
位置センサ105は、光学式スケール104に対する位置の変化に応じて、正弦波A相の信号(正弦波状に変化する信号)と、A相に対して90°位相の異なるB相の信号(余弦波状に変化する信号)を出力する。
レンズホルダ102は、光軸方向に延びるバー101に係合しており、光軸方向に移動可能となっている。レンズホルダ102の駆動は、ボイスコイルモータの駆動によって行われる。ここで、ボイスコイルモータは、図1に示すようにヨーク106、マグネット107およびコイル108を有しており、コイル108への通電によってレンズホルダ102を光軸方向に移動させることができる。
図6(A)に、レンズの位置情報を取得するための位置センサ(光学式位置センサ)の構成を示す。
図6(A)において、光学式スケール104の表面には、光を反射する第1の面(図中のハッチング領域)と光を透過又は乱反射する第2の面とが、所定のピッチで交互に形成されている。
位置センサ105は、発光部302および受光部303を有しており、光学式スケール104に対して所定の間隔をおいて向かい合うように配置されている。
発光部302から光学式スケール104の第1の面に投光された光は、第1の面で反射した後、受光部303で受光されて検出される。一方、発光部302から第2の面に投光された光は、第2の面で透過又は乱反射して、受光部303には到達しない。
このため、レンズホルダ102に固定された光学式スケール104がレンズホルダ102とともに光軸L方向に移動すると、位置センサ105は受光部303を介して周期的な光の強弱を検出することができ、この光をA相およびB相の電気信号(アナログ信号)に変換して出力する。
ここで、本実施例では、光学式スケール104をレンズホルダ102に設けるとともに、位置センサ105を固定鏡筒109に設けているが、光学式スケール104を固定鏡筒109に設けるとともに、位置センサ105をレンズホルダ102に設けてもよい。
一方、レンズ103の位置情報を得るために用いられる位置センサを、図6(B)に示す構成とすることもできる。すなわち、レンズ103の移動方向(光軸L方向)において交互に逆磁性となるよう所定パターンに着磁された検出マグネット104aをレンズホルダ102に設けるとともに、固定鏡筒109のうち検出マグネット104aと対向する位置に磁気抵抗素子(MRセンサ)105aを設けてもよい。
この構成でも、図6(A)に示す構成と同様に、レンズホルダ102の光軸L方向への移動に応じてMRセンサ105aからA相およびB相の電気信号(アナログ信号)が出力される。なお、検出マグネット104aを固定鏡筒109に設けるとともに、MRセンサ105aをレンズホルダ102に設けることもできる。
次に、本実施例のレンズ装置において、基準位置を検出するためのリセット動作について図3のフローチャートを用いて説明する。リセット動作は、レンズ装置の電源投入直後や、位置検出エラーにより正常な位置検出ができないと判断した場合などに開始される。
[ステップS101]
リセットセンサ100の出力が変化する点(エッジ)を検出するために、図2のCPU200は、駆動回路220を介してボイスコイルモータ221のコイル108への通電を行うことによってレンズ103を光軸方向一方向に移動させる。例えば、レンズ103の移動領域のうち一方のメカ端に相当する位置の方向へレンズ103を移動させる。ここで、図2のCPU200は、レンズ装置における動作を制御する。
[ステップS102]
CPU200はレンズ103を駆動している間、リセットセンサ100の出力が変化したか否かの判別を行う。すなわち、レンズホルダ102に設けられた遮光部102aがリセットセンサ(フォトインタラプタ)100を遮光する位置を基準位置とするため、リセットセンサ100の出力の立ち上がりエッジあるいは立ち下りエッジの検出を行う。ここで、リセットセンサ100の出力エッジを検出するまで、本ステップの検出動作を繰り返し行い、出力エッジを検出したときにはステップS103に進む。
[ステップS103]
レンズ103を低速で反転駆動させる。すなわち、ステップS102でリセットセンサ100の出力エッジが検出されるまでのレンズ103の移動方向とは反対方向であって、該移動速度よりも遅い速度でレンズ103を移動させる。
本実施例の処理では、1回目のレンズ駆動(ステップS101)で概ねの基準位置を特定し、2回目のレンズ駆動(本ステップ)ではゆっくりとした速度で出力エッジの検出を行う。これにより、基準位置の検出精度を向上させることができる。
[ステップS104]
ステップS102と同様に、リセットセンサ100の出力エッジの検出を行う。ここで、出力エッジが検出されるまでは、本ステップの検出動作を繰り返し行い、出力エッジが検出されたときにはステップS105に進む。
[ステップS105]
CPU200は、駆動回路220を介してモータ108への通電を遮断することにより、レンズ103の駆動を停止させる。
[ステップS106]
CPU200は、レンズ103が停止した時点での位置センサ105の出力結果に基づいて、レンズ103の位置データを生成する。ここで得られた位置データは、絶対位置を求めるために用いられる基準位置を示すデータとなる。
[ステップS107]
ステップS106で生成された位置データを、CPU200内に設けられたRAMやEEPROMなどのメモリ200aに記憶する。なお、このメモリは、CPU200外に設けてもよい。
図4は、A相およびB相の2つの正弦波信号に基づいてレンズの位置を検出するための原理を示している。A相、B相それぞれの正弦波から直線近似できる範囲(λ/4の範囲)の成分を切り出し、切り出した成分をA相、B相交互に繋ぎ合わせる(内挿演算処理)。内挿演算によって得られた位置データは、レンズ103の移動量と比例するため、この位置データを読み取ることでレンズ103の位置を知ることができる。
ここで、図4に示すように、A相及びB相の切り出し成分の一部は理想データ(実際のレンズ位置を示すデータ)と一致し、位置検出誤差(内挿演算によって得られた位置データと理想データとの差)はゼロになる。しかし、内挿演算によって生成された位置データのうち理想データと一致する部分以外は、理想データに対して誤差が生じ、λ/8毎に誤差の極大点が現れるようになる。また、A相およびB相の切り出し成分の切り換わり部分は、A相出力とB相出力の振幅差やオフセットの影響によりリニアに切り換わるとは限らない。
このため、図2のフローチャートで示したリセット動作時において、位置検出誤差が最も小さくなる位置、すなわち、内挿演算によって得られた位置データと理想データとが略一致する位置を基準位置として検出するようにすれば、レンズ103の絶対位置の検出精度を向上させることができる。
本実施例では、以下に説明する方法によって、位置検出誤差が概ねゼロとなる位置を基準位置として検出できるようにしている、すなわち、位置データおよび理想データが略一致する位置でリセットセンサ100の出力エッジを検出できるようにしている。
第1の方法は、リセットセンサ100の取り付け位置を調節する方法である。
具体的には、リセットセンサ100をレンズ103の移動方向(光軸L方向)にスライドさせるスライド機構110(図1参照)を固定鏡筒109に設ける。そして、リセットセンサ100を固定鏡筒109に固定する際に、スライド機構110によってリセットセンサ100をスライドさせながら、位置検出誤差が概ねゼロとなる位置でリセットセンサ100の出力が変化するように、リセットセンサ100の位置を調節する。リセットセンサ100の位置調節後、リセットセンサ100を固定鏡筒109に固定する。これにより、基準位置の検出精度を向上させることができるとともに、レンズ103の絶対位置の検出精度を向上させることができる。
一方、第2の方法は、位置センサ105の取り付け位置を調節する方法である。
具体的には、位置センサ105をレンズ103の移動方向(光軸L方向)にスライドさせるスライド機構(スライド機構110に相当する機構)を固定鏡筒109に設ける。そして、位置センサ105を固定鏡筒109に取り付ける際に、スライド機構によって位置センサ105をスライドさせながら、位置検出誤差が概ねゼロとなる位置で予め固定されたリセットセンサ100の出力が変化するように、位置センサ105の位置を調節する。位置センサ105の位置調節後、位置センサ105を固定鏡筒109に固定する。
また、第3の方法は、リセットセンサ100および位置センサ105の取り付け位置を調節する方法である。
具体的には、リセットセンサ100および位置センサ105のそれぞれをレンズ103の移動方向(光軸L方向)にスライドさせるスライド機構を固定鏡筒109に設ける。そして、リセットセンサ100および位置センサ105を固定鏡筒109に取り付ける際に、位置検出誤差が概ねゼロとなる位置でリセットセンサ100の出力が変化するように、リセットセンサ100および位置センサ105の位置を調節する。この調節後、リセットセンサ100および位置センサ105を固定鏡筒109に固定する。
このようにリセットセンサ100および位置センサ105のうち少なくとも一方の固定鏡筒109に対する取り付け位置を調節することで、基準位置の検出精度を向上させることができるとともに、レンズ103の絶対位置の検出精度を向上させることができる。上述した調節動作は、手動によって行ってもよいし、リセットセンサ100又は/及び位置センサ105をスライド機構に沿って移動させる装置を用いて行ってもよい。
実施例1では、位置センサおよびリセットセンサのうち少なくとも一方の固定鏡筒に対する取り付け位置を調節することで、機構的に基準位置の検出精度を向上させる方法について説明した。本発明の実施例2である位置検出装置は、演算処理により基準位置の検出精度を向上させるものである。以下、本実施例の位置検出装置について図を用いて説明する。ここで、実施例1で説明した部材と同じ部材については、同一符号を用いて説明する。
図7は、位置センサのA相およびB相の出力と、リセットセンサの出力とを用いて、レンズの絶対位置を検出するためのブロック図を示している。
増幅器201、202は、A相およびB相の各信号に対して増幅処理やフィルタリング処理を行う。増幅器201、202の出力信号は、AD変換器203、204でのAD変換処理により量子化される。AD変換器203、204でAD変換されたデジタル信号は、ゲイン・オフセット調整部205、206においてゲインおよびオフセットの調整が行われる。
そして、内挿演算部(第1の演算手段)209は、ゲイン・オフセット調整部205、206でゲイン/オフセット調整された波形を切り出し、これらを繋ぎ合わせることで位置データを生成する。
また、A相およびB相の各信号の位相が位相検出部208で検出され、位置補正量演算部(第2の演算手段)210は、位相検出部208での検出結果に基づいて基準位置の補正量、すなわち、内挿演算によって生成される位置データと理想データとの差を演算する。この演算処理の詳細については後述する。
エッジ検出部207は、リセットセンサ(例えば、フォトインタラプタ)100の立ち上がりエッジあるいは立下りエッジを検出し、検出したか否かの信号を位置検出部212に出力する。
位置検出部(補正手段)212は、エッジ検出部207でのエッジ検出をトリガにして、位置補正量演算部210での演算結果(基準位置の補正量)を用いて、内挿演算部209で得られた位置データに対して補正を行う。これにより、補正された位置データは、理想データと略一致するようになる。
位置検出部212で補正された位置データは、RAMやEEPROMなどの基準位置記憶部211に記憶される。そして、基準位置記憶部211に記憶された位置データ(基準位置を示すデータ)と、内挿演算部209から出力される位置データ(レンズ103の移動位置を示すデータ)を用いて、レンズ103の絶対位置を求めることができる。
ここで、上述した基準位置の補正量は、図9のように正弦波の切り出し位相を−λ/4≦θ≦λ/4としたとき、次式(1)から求めることができる。
Figure 2006010568

なお、Eは基準位置の補正量、Aは正弦波の振幅、θは位相、λは正弦波の波長とする。また、図7の点線よりも右側はCPU内部で処理できる部分である。
次に、図8のフローチャートを用いて、本実施例の位置検出装置におけるリセット動作について説明する。このリセット動作は実施例1の場合と同様に、位置検出装置が設けられたレンズ装置の電源投入直後や、位置検出エラーにより正常な位置検出ができないと判断された場合などに開始する。
[ステップS201]
CPU200は駆動回路220を介してモータ221を駆動させることによって、レンズ103を光軸L方向における一方向に移動させる。これにより、基準位置のサーチ、すなわち、リセットセンサ100の出力エッジを検出する動作を行う。例えば、ボイスコイルモータのコイル108(図1参照)への通電を行うことで、レンズ103を、この移動領域のうち一方のメカ端に相当する位置の方向へ移動させる。
[ステップS202]
実施例1と同様に、リセットセンサ100の出力が変化したか否かを判別する、すなわわち、基準位置を検出するトリガとしてのリセットセンサ100の出力エッジの検出動作を行う。ここで、リセットセンサ100の出力エッジを検出しない場合には、エッジ検出動作を繰り返し行い、検出された場合にはステップS203に進む。
[ステップS203]
基準位置の検出精度を向上させるために、レンズ103を低速で反転駆動させる。すなわち、ステップS202でリセットセンサ100の出力エッジを検出するまでのレンズ103の移動方向とは反対方向であって、該移動速度よりも小さい移動速度でレンズ103を移動させる。
[ステップS204]
ステップS202と同様にリセットセンサ100の出力が変化したか否かの判別を行う。ここで、リセットセンサ100の出力エッジが検出されるまでは、エッジ検出動作を繰り返し行い、出力エッジを検出した場合にはステップS205に進む。
[ステップS205]
CPU200は駆動回路220を介してモータ221の駆動を停止させることにより、レンズ103の駆動を停止させる。
[ステップS206]
上述した基準位置の補正量を演算するために必要なA相またはB相の位相検出を行う。位相検出方法としては、例えば、波形振幅のピーク(極大、極小値)の位相を原点として、波長λの逓倍でサンプリングすることで、どの位相であるかを検出する方法がある。
[ステップS207]
基準位置を示す位置データを内挿演算結果から求める。ここで得られた基準位置を示す位置データは、誤差を含んだ(理想データに対するずれを持つ)位置データとなっている。
[ステップS208]
上述した式(1)を用いて基準位置の補正量を演算によって求める。
[ステップS209]
ステップS208で得られた基準位置の補正量を用いて、ステップS207で得られた位置データの補正を行う。
[ステップS210]
補正後の基準位置に関する位置データを、RAMやEEPRPOM等の基準位置記憶部211に記憶する。そして、絶対位置の検出を行う場合には、基準位置記憶部211で記憶した補正後の基準位置に関する位置データを用いる。
本実施例によれば、図4に示すように、内挿演算によって得られた位置データの理想データに対するずれを補正することで、基準位置の検出精度を向上させることができる。また、基準位置の検出精度を向上させることで、基準位置に基づいて求められるレンズ103の絶対位置の検出精度を向上させることができる。
以上の動作は、内挿演算によって生成される位置データの理想データに対するずれを補正する処理である。
次に、補正された基準位置に関する位置データを用いて絶対位置を検出する動作について、図10のフローチャートを用いて説明する。
[ステップS301]
CPU200は、増幅器201、202で増幅されたA相およびB相の波形を、AD変換器203、204を介して取り込む。
[ステップS302]
ゲイン・オフセット調整部205、206において、AD変換器203、204の出力信号(A相およびB相の波形)に対してゲイン及びオフセットを揃えるための調整を行う。但し、この調整処理は、AD変換器203、204で取り込む前のアナログ信号に対して行ってもよい。
[ステップS303]
位相検出部208により、ステップS302で調整されたA相およびB相の波形の位相を検出する。
[ステップS304]
内挿演算部209により、ステップS302で調整された波形のうち所定の部分、すなわち、λ/4の範囲内の成分を切り出し、切り出したA相およびB相の波形を繋ぎ合わせて位置データを生成する(内挿演算処理)。この位置データは、レンズ103の現在位置を示すデータであるが、理想データに対してずれている場合がある。
[ステップS305]
位置補正量演算部210により、ステップS303で検出した位相と、上記式(1)とを用いて、レンズ103の現在位置を示す位置データに対する補正量を算出する。ここで、内挿演算によって生成された位置データと理想データとが一致していれば補正量はゼロとなる。
[ステップS306]
位置検出部212により、ステップS305で算出した補正量を用いて、ステップS304で得られた位置データを補正する。これにより、補正された位置データと、理想データとが略一致するようになる。
[ステップS307]
ステップS306で得られた位置データ(補正された位置データ)と、基準位置記憶部211で記憶された基準位置を示す位置データ(理想データと略一致したデータ)とを用いて、レンズ103の絶対位置を算出する。この絶対位置は、レンズ103の現在位置を示す位置データと、基準位置を示す位置データとの差をとることによって求められる。
上述したように、基準位置を示す位置データおよびレンズ103の現在位置を示す位置データに対して補正処理を行うことで、これらの位置データから求められる絶対位置の検出精度を向上させることができる。すなわち、基準位置を示す位置データやレンズ103の現在位置を示す位置データは、理想データと略一致しているため、レンズ103の絶対位置を高精度で検出することができる。
上述した各実施例では説明を簡略化するためにA、B相の2つの周期波形を用いてレンズ103の位置検出を行う場合について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、2つ以上の周期波形を用いて位置検出を行うこともできる。
また、本実施例では、リセットセンサ(フォトインタラプタ)を用いて基準位置を検出する場合について説明したが、他の構成であってもよい。例えば、メカ端にレンズ103を突き当てた状態を基準位置とし、このとき得られる位置データに対して上述した補正処理(位置データと理想データとのずれを補正する処理)を行ってもよい。
さらに、上述した実施例では、フォーカスレンズ103の位置を検出する場合について説明したが、変倍動作のために光軸方向に移動するズームレンズの位置を検出するために、本発明の位置検出装置を用いることができる。また、上述した実施例では、位置検出装置をレンズ装置に搭載した場合について説明したが、例えば、工作機器等の位置決めを行う場合に本発明の位置検出装置を用いることができる。
上述した各実施例のレンズ装置は、スチルカメラやビデオカメラ等に用いられ、レンズ装置及び該レンズ装置が装着されるカメラを有するカメラシステムや、レンズ一体型のカメラ(撮影装置)に用いることができる。
本発明の実施例1である位置検出装置を有するレンズ装置の断面図。 上記レンズ装置の一部の構成を示すブロック図。 上記実施例1の位置検出装置の動作を示すフローチャート。 位置検出の原理を示す図。 リセットセンサの回路構成を示す図。 光学式位置センサの構成を示す図(A)および磁気抵抗素子を用いた位置センサの構成を示す図(B)。 本発明の実施例2である位置検出装置の構成を示すブロック図。 上記実施例2の位置検出装置における基準位置補正動作を示すフローチャート。 式1の原理を示す図。 上記実施例2の位置検出装置における位置検出動作を示すフローチャート。
符号の説明
100:リセットセンサ
105:位置センサ
110:スライド機構
102:レンズホルダ
103:レンズ
200:CPU

Claims (6)

  1. 対象物の移動に応じて複数の周期的に変化する検出信号を出力する第1の検出手段と、
    前記対象物の基準位置を検出する第2の検出手段と、
    前記検出信号に基づいて、前記対象物の位置に応じた位置データを求める演算手段と、
    前記第2の検出手段の検出時における前記位置データが前記基準位置を示すデータと略一致するように、前記第1および第2の検出手段のうち少なくとも一方の位置を調節する調節手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
  2. 対象物の移動に応じて周期的に変化する検出信号を出力する第1の検出手段と、
    前記対象物の基準位置を検出する第2の検出手段と、
    前記検出信号に基づいて、前記対象物の位置に応じた位置データを求める第1の演算手段と、
    前記第2の検出手段の検出時における前記位置データと前記基準位置を示すデータとの差を求める第2の演算手段と、
    前記差に基づいて、前記第2の検出手段の検出時における前記位置データを補正する補正手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
  3. 前記第2の演算手段は、前記対象物が所定の位置にあるときの前記位置データと前記所定の位置を示すデータとの差を求め、
    前記補正手段は、前記差に基づいて、前記所定の位置での前記位置データを補正することを特徴とする請求項2に記載の位置検出装置。
  4. 移動可能な対象物と、
    該対象物の位置を検出する、請求項1から3のいずれか1つに記載の位置検出装置とを有することを特徴とする機器。
  5. 移動可能な光学素子と、
    該光学素子の位置を検出する、請求項1から3のいずれか1つに記載の位置検出装置とを有することを特徴とするレンズ装置。
  6. 請求項5に記載のレンズ装置を有することを特徴とする撮影装置。


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