JP2006005286A - 磁気検出素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定磁性層23を構成する第1磁性層23aを第1磁歪増強層22と接して設けることで、前記第1磁性層23aの磁歪定数を増強するのみならず、前記固定磁性層を構成する非磁性中間層23bを、Ruよりも格子定数が大きい、例えばRu−X合金等で形成することで前記非磁性中間層に接する第1磁性層23a及び第2磁性層23cの双方の結晶構造を歪ませ、前記第1磁性層23aおよび第2磁性層23cの磁歪定数を大きく出来る。
【選択図】 図1
Description
固定磁性層と、非磁性材料層と、フリー磁性層とが積層されている多層膜を有する磁気検出素子において、
前記固定磁性層は、複数の磁性層が非磁性中間層を介して積層されたものであり、
前記複数の磁性層のうち前記非磁性材料層から最も離れた位置に形成されている第1磁性層の、前記非磁性材料層側と反対側の面には、非磁性金属製の第1磁歪増強層が前記第1磁性層に接して設けられ、
少なくとも一つの前記非磁性中間層の、少なくとも上面側及び/または下面側の格子定数はRuよりも大きくなっており、
前記第1磁歪増強層内と前記第1磁性層内との少なくとも一部の結晶、及び非磁性中間層内と前記非磁性中間層のRuよりも大きい格子定数を有する面側に接する磁性層内との少なくとも一部の結晶は、エピタキシャルまたはヘテロエピタキシャルな状態であり、前記固定磁性層の記録媒体との対向面側の端面が開放されていることを特徴とするものである。
少なくとも前記非磁性中間層は前記第2磁性層と接する面側がRuよりも大きい格子定数を有して形成される構造である。
第1磁歪増強層22については、後述する。
図1、図4に示す磁気検出素子では、固定磁性層23の一軸異方性を決める磁気弾性効果を主に利用して前記固定磁性層23の磁化を固定している。
第1磁歪増強層22の膜厚は、5Å以上50Å以下程度である。
なお図5、図6では、第1磁歪増強層及び非磁性中間層の部分を斜線で示してある。
21 シードレイヤ
22、35、63、65 第1磁歪増強層
23、34、51、61、66 固定磁性層
23a、34a、51a、61a、66a 第1磁性層
23b、34b、51b、61b、66b 非磁性中間層
23b1 第3磁歪増強層
23b2 Ru層
23b3 第2磁歪増強層
23c、34c、51c、61c、66c 第2磁性層
24、32、52、54、58、60 非磁性材料層
25、53、59 フリー磁性層
26 保護層
30 上部シールド層
Claims (10)
- 固定磁性層と、非磁性材料層と、フリー磁性層とが積層されている多層膜を有する磁気検出素子において、
前記固定磁性層は、複数の磁性層が非磁性中間層を介して積層されたものであり、
前記複数の磁性層のうち前記非磁性材料層から最も離れた位置に形成されている第1磁性層の、前記非磁性材料層側と反対側の面には、非磁性金属製の第1磁歪増強層が前記第1磁性層に接して設けられ、
少なくとも一つの前記非磁性中間層の、少なくとも上面側及び/または下面側の格子定数はRuよりも大きくなっており、
前記第1磁歪増強層内と前記第1磁性層内との少なくとも一部の結晶、及び非磁性中間層内と前記非磁性中間層のRuよりも大きい格子定数を有する面側に接する磁性層内との少なくとも一部の結晶は、エピタキシャルまたはヘテロエピタキシャルな状態であり、前記固定磁性層の記録媒体との対向面側の端面が開放されていることを特徴とする磁気検出素子。 - 前記固定磁性層は、前記非磁性材料層から最も離れた位置に形成されている第1磁性層と、前記非磁性材料層に最も近い位置に形成された第2磁性層と、前記第1磁性層と第2磁性層間に形成された非磁性中間層との3層構造で形成され、
少なくとも前記非磁性中間層は前記第2磁性層と接する面側がRuよりも大きい格子定数を有して形成される請求項1記載の磁気検出素子。 - 前記非磁性中間層の全体がRuよりも格子定数の大きい非磁性材料で形成される請求項1または2に記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性中間層はRu−X合金(ただし元素Xは、Re、Ir、Os、Rhのいずれか1種または2種以上)で形成される請求項3記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性中間層はRuで形成されたRu層と、前記Ru層の上面及び/または下面に形成された、前記Ruよりも格子定数の大きい第2磁歪増強層及び/または第3磁歪増強層との積層構造で形成される請求項1または2記載の磁気検出素子。
- 第2磁歪増強層及び第3磁歪増強層は、Re、Ir、Os、Rhのいずれか1種または2種以上の元素で形成される請求項5記載の磁気検出素子。
- 前記第2磁歪増強層及び第3磁歪増強層はRu層よりも薄い膜厚で形成される請求項5または6に記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁歪増強層は、前記第1磁性層側の界面付近あるいは全領域において、及び/または、少なくとも前記非磁性中間層のRuよりも大きい格子定数を有する面側は、面心立方構造(fcc)をとり、前記界面と平行な方向に、{111}面として表される等価な結晶面が優先配向している請求項1ないし7のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層は、前記第1磁歪増強層側の界面付近あるいは全領域において、及び/または、前記非磁性中間層のRuよりも大きい格子定数を有する面側と接する磁性層は、前記非磁性中間層との界面付近あるいは全領域において面心立方構造(fcc)をとり、前記界面と平行な方向に、{111}面として表される等価な結晶面が優先配向している請求項1ないし8のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層は、前記第1磁歪増強層側の界面付近あるいは全領域において、及び/または、前記非磁性中間層のRuよりも大きい格子定数を有する面側と接する磁性層は、前記非磁性中間層との界面付近あるいは全領域において体心立方格子(bcc)構造をとり、前記界面と平行な方向に、{110}面として表される等価な結晶面が優先配向している請求項1ないし8のいずれかに記載の磁気検出素子。
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