JP4506242B2 - 磁気検出素子 - Google Patents
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Description
前記固定磁性層は、複数の磁性層が非磁性中間層を介して積層されたものであって、前記複数の磁性層のうち前記非磁性材料層から最も離れた位置に形成されている第1磁性層の前記非磁性材料層が設けられている側と反対側にX―Mn(ただしXは、Pt,Pd,Ir,Rh,Ru,Os,Ni,Feのいずれか1種または2種以上の元素である)合金からなる反強磁性を有さない非磁性金属層が形成され、
前記第1磁性層はCoとFeとを主体とし、さらに希土類元素あるいは貴金属元素が添加されてなり、
前記非磁性金属層の格子定数は、前記第1磁性層の格子定数よりも大きく、前記非磁性金属層内の結晶と前記第1磁性層内の結晶の少なくとも一部は、エピタキシャルまたはヘテロエピタキシャルな状態であり、前記第1磁性層の前記非磁性金属層との界面付近では結晶構造に歪みが生じて、前記第1磁性層の磁歪定数を大きくしており、前記第1磁性層は、正の磁歪定数を有しており、
前記固定磁性層の記録媒体との対向面側の端面が開放されていることを特徴とするものである。
前記第1磁性層として必要な要素は、正の磁歪定数を有していること、積層フェリ固定層を構成する強磁性層間に作用するRKKY相互作用が強く働くこと、磁気検出素子の結晶配向性を崩さないこと、であると考えられる。
さらに、前記第1磁性層の膜厚は、12〜19Åの範囲内であることが好ましい。
これにより第1磁性層の磁歪をより適切に大きくすることが出来る。
非磁性金属層22については、後述する。
図1に示される磁気検出素子の固定磁性層23は、第1磁性層23aと第2磁性層23cが非磁性中間層23bを介して積層された人工フェリ構造を有している。第1磁性層23aの磁化と第2磁性層23cの磁化は、非磁性中間層23bを介したRKKY相互作用によって互いに反平行方向に向けられている。
非磁性金属層22の膜厚は、5Å以上50Å以下であることが好ましい。
これにより第1磁性層23aの磁歪をより適切に大きくすることが出来る。
図4に示されるように、固定磁性層23を構成する第1磁性層23aは2層構造で形成され、非磁性金属層22側に非磁性金属層側磁性層23a1が設けられ、非磁性中間層23b側に非磁性中間層側磁性層23a2が形成されている。
また前記非磁性層32の膜厚は、3Å以上で10Å以下であることが好ましい。
(膜構成)
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(30)/第1磁性層(50)/Ru(9.1)/Cu(65)/Ta(30)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(30)/第1磁性層/Ru(9.1)/第2磁性層;Co(20)/Cu(18)/フリー磁性層;[CoFe(10)/NiFe(28または32)]/Ta(30)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(第1磁性層がIr−Co,Rh−Coのとき10Å、Pt−Coのとき30)/第1磁性層(Ir−Co,Rh−Coのとき50Å、Pt−CoのときPtの組成比の小さい方から20Å、22.4Å、24Å)/Ru(9.1)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(30)/第1磁性層;Pt−Co(Ptが0at%のとき、20Å、Ptが10.7at%のとき22.4Å、Ptが16.7at%のとき24Å)/Ru(8.7)/第2磁性層;Co(40)/Cu(21)/Co90Fe10(14)/Ru(9)/Co90Fe10(14)/PtMn(140)/Ta(30)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(10)/第1磁性層/Ru(9.1)/第2磁性層;Co(20)/Cu(18)/フリー磁性層;[CoFe(10)/NiFe(32)]/Ta(30)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
(膜構成)
シード層;(Ni0.8Fe0.2)60Cr40(52)/非磁性金属層;Pt50at%Mn50at%(30)/第1磁性層;CoFe(15〜20)/Ru(8.7)/Cu(85)/Ta(30)
なお括弧書きは膜厚を示し単位はÅである。
21 シードレイヤ
22 非磁性金属層
23 固定磁性層
23a 第1磁性層
23b 非磁性中間層
23c 第2磁性層
24 非磁性材料層
25 フリー磁性層
26 保護層
27 バイアス下地層
28 ハードバイアス層
29 電極層
30 上部ギャップ層
32 非磁性層
Claims (17)
- 固定磁性層とフリー磁性層が非磁性材料層を介して積層されている磁気検出素子において、
前記固定磁性層は、複数の磁性層が非磁性中間層を介して積層されたものであって、前記複数の磁性層のうち前記非磁性材料層から最も離れた位置に形成されている第1磁性層の前記非磁性材料層が設けられている側と反対側にX―Mn(ただしXは、Pt,Pd,Ir,Rh,Ru,Os,Ni,Feのいずれか1種または2種以上の元素である)合金からなる反強磁性を有さない非磁性金属層が形成され、
前記第1磁性層はCoとFeとを主体とし、さらに希土類元素あるいは貴金属元素が添加されてなり、
前記非磁性金属層の格子定数は、前記第1磁性層の格子定数よりも大きく、前記非磁性金属層内の結晶と前記第1磁性層内の結晶の少なくとも一部は、エピタキシャルまたはヘテロエピタキシャルな状態であり、前記第1磁性層の前記非磁性金属層との界面付近では結晶構造に歪みが生じて、前記第1磁性層の磁歪定数を大きくしており、前記第1磁性層は、正の磁歪定数を有しており、
前記固定磁性層の記録媒体との対向面側の端面が開放されていることを特徴とする磁気検出素子。 - 前記希土類元素は、Tb,Sm,Pr,Y,Ce,Nd,Gd,Dy,Ho,Er,Ybの中から少なくとも1種類が選択されてなる請求項1記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層は、(CoxFe1-x)100-yMyで表わされる磁性材料で形成され、元素Mは、Tb,Sm,Pr,Y,Ce,Nd,Gd,Dy,Ho,Er,Ybの中から少なくとも1種類が選択されてなり、組成比yは、0.3at%以上で5at%以下である請求項2記載の磁気検出素子。
- 前記貴金属元素は、Pt,Rh,Ir,Reの中から少なくとも1種類が選択されてなる請求項1記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層は、(CoxFe1-x)100-zNzで表わされる磁性材料で形成され、元素Nは、Pt,Rh,Ir,Reの中から少なくとも1種類が選択されてなり、組成比zは、5at%以上で20at%以下である請求項4記載の磁気検出素子。
- 原子比率xは、1あるいは0.4〜0.6の範囲内である請求項3または5に記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層の膜厚は、12〜19Åの範囲内である請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記第1磁性層は少なくとも2層以上の積層構造からなり、前記非磁性金属層に最も近い位置に形成された磁性層が、CoとFeとを主体とし、さらに希土類元素あるいは貴金属元素が添加されてなる磁性材料で形成されている請求項1ないし7のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 第1磁性層を構成する磁性層のうち、前記非磁性中間層に接する磁性層がCoFe合金あるいはCoで形成される請求項8記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性金属層は前記第1磁性層の界面に接して形成されている請求項1ないし9のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性金属層は、前記固定磁性層の第1磁性層側の界面付近あるいは全領域において面心立方格子(fcc)構造をとり、前記界面と平行な方向に、{111}面として表される等価な結晶面が優先配向している請求項1ないし10のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記非磁性金属層の膜厚は、5Å以上50Å以下である請求項1ないし11のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記X―Mn合金(ただしXは、Pt,Pd,Os,Ni,Feのいずれか1種または2種以上)中のX元素の含有量は、45原子%以上99原子%以下である請求項1ないし12のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記X―Mn合金(ただしXは、Ir,Rh,Ruのいずれか1種または2種以上)中のX元素の含有量は、17原子%以上99原子%以下である請求項1ないし12のいずれかに記載の磁気検出素子。
- Ir―Mn合金中のIrの含有量は、20原子%以上99原子%以下である請求項1ないし12のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 前記固定磁性層の第1磁性層は、前記非磁性金属層側の界面付近あるいは全領域において面心立方格子(fcc)構造又は体心立方格子(bcc)構造をとり、前記界面と平行な方向に、{111}面又は{110}面として表される等価な結晶面が優先配向している請求項1ないし15のいずれかに記載の磁気検出素子。
- 下からフリー磁性層、非磁性材料層、固定磁性層の順に積層されている請求項1ないし16のいずれかに記載の磁気検出素子。
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