JP2005534032A - 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム - Google Patents
熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005534032A JP2005534032A JP2004524778A JP2004524778A JP2005534032A JP 2005534032 A JP2005534032 A JP 2005534032A JP 2004524778 A JP2004524778 A JP 2004524778A JP 2004524778 A JP2004524778 A JP 2004524778A JP 2005534032 A JP2005534032 A JP 2005534032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power level
- degas
- gauge pressure
- degassing
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007872 degassing Methods 0.000 title claims abstract description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 15
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
- G01L21/32—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with thermionic cathodes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Description
P = Ic/KIe
ここで、P = 測定中の圧力
Ic = コレクタ電流
Ie = 電子電流
K = 感度係数
WEB= Ie(Vg - Vfb)
ここで、WEB= EB脱ガス中に真空計に適用される電力
Ie = 電子電流
Vg = グリッド電圧
Vfb= フィラメントバイアス電圧
WI2R= Ig 2R
ここで、WI2R= I2R脱ガス中に真空計に適用される電力
Ig= グリッド電流
R = グリッドの抵抗
Claims (28)
- 真空計に脱ガス電力レベルを適用することと、
ゲージ圧を判断することと、
ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することを含み、
ゲージ圧が所定の圧力上限に達するのを防ぐため、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを上げることを含む脱ガス運転中に電離真空計を運転する方法。 - ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの制御は、ゲージ圧が圧力上限未満の場合、脱ガス電力レベルを増加することを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの制御は、ゲージ圧が所定のセトルタイム中、圧力上限未満の場合、脱ガス電力レベルを増加することを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの制御は、ゲージ圧が所定のセトルタイム中、圧力上限未満の場合、および所定の最終的脱ガス条件を満たさない場合、脱ガス電力レベルを増加することを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの制御は、所定の最終的脱ガス条件を満たすまでゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを増加することを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス電力レベルの増加は、脱ガス電力レベルの段階的増加を含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス電力レベルの制御はさらに、脱ガス電力レベルを下げることを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの制御は、
ゲージ圧の増加の変化率を監視することと、
ゲージ圧が圧力上限まで増加するか否かをゲージ圧の変化率から判断することと、
ゲージ圧の変化率から、ゲージ圧が圧力上限まで増加すると判断された場合、電力レベルの増加を下げることを含む請求の範囲第1項記載の方法。 - 所定の脱ガス条件を満たした時、脱ガス運転を終了することをさらに含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス運転終了後に、真空計に測定モード電力レベルを適用することをさらに含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス運転は、通電加熱方法によって実行することを特徴とする請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス運転は、電子衝撃方法によって実行することを特徴とする請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス電力レベルの制御はさらに、ゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルの増加率の変更を含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 脱ガス電力レベルの増加率の変更は、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを下げることを含む請求の範囲第13項の方法。
- ゲージ圧の決定は、脱ガス運転中に真空計がさらされる条件に対応する感度係数の関数としてゲージ圧を決定することを含む請求の範囲第1項記載の方法。
- 真空計に脱ガス電力レベルを適用することと、
ゲージ圧を判断することと、
ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することを含み、
ゲージ圧が所定の圧力上限に達するのを防ぐため、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを増減することを含む脱ガス運転中の電離真空計の運転方法。 - 脱ガス電力レベルの制御は、
ゲージ圧が圧力上限未満の場合、脱ガス電力レベルを上げることと、
ゲージ圧が圧力上限より大きい場合、脱ガス電力レベルを下げることを含む請求の範囲第16項記載の方法。 - 脱ガス電力レベルの制御は、所定の最終的脱ガス条件を満たすまでゲージ圧の関数としての脱ガス電力レベルを制御することを含む請求の範囲第17項記載の方法。
- 脱ガス電力レベルの制御は、所定の最終的脱ガス条件を満たすまでゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを増減することを含む請求の範囲第16項記載の方法。
- ゲージ圧の決定は、脱ガス運転中、真空計がさらされる条件に対応する感度係数の関数としてゲージ圧を決定することを含む請求の範囲第16項記載の方法。
- ゲージ圧が所定の圧力上限に達するのを防ぐため、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを増減するための手段を含む、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御するための熱陰極電離真空計の脱ガス制御システム。
- 脱ガス電力レベルを増減するための手段は、
ゲージ圧が圧力上限未満の場合、脱ガス電力レベルを上げる手段と、
ゲージ圧が圧力上限より大きい場合、脱ガス電力レベルを下げる手段とを含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。 - 脱ガス電力レベルを上げる手段は、ゲージ圧が所定のセトルタイム、圧力上限未満の場合、脱ガス電力レベルを上げる手段を含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。
- 脱ガス電力レベルを増減するための手段は、所定の最終的脱ガス条件を満たすまで、ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを増減する手段を含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。
- 脱ガス電力レベルを増減するための手段は、脱ガス電力レベルを段階的に増減するための手段を含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。
- 制御システムはさらに、
ゲージ圧の増加変化率を監視する手段と、
ゲージ圧の変化率からゲージ圧が圧力上限まで上がるか否か判断する手段と、
ゲージ圧の変化率から、ゲージ圧が圧力上限まで上がると判断された場合、電力レベルの増加を下げる手段とを含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。 - 制御システムはさらに、所定の脱ガス条件を満たした時、脱ガス運転を終了する手段を含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。
- 脱ガス運転中、真空計がさらされる条件に対応する感度係数の関数としてゲージ圧を決定する手段をさらに含む請求の範囲第21項記載の脱ガス制御システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/205,014 US6756785B2 (en) | 2002-07-25 | 2002-07-25 | Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges |
PCT/US2003/023169 WO2004011895A1 (en) | 2002-07-25 | 2003-07-25 | Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011039836A Division JP5302346B2 (ja) | 2002-07-25 | 2011-02-25 | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005534032A true JP2005534032A (ja) | 2005-11-10 |
Family
ID=30769967
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004524778A Pending JP2005534032A (ja) | 2002-07-25 | 2003-07-25 | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
JP2011039836A Expired - Lifetime JP5302346B2 (ja) | 2002-07-25 | 2011-02-25 | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011039836A Expired - Lifetime JP5302346B2 (ja) | 2002-07-25 | 2011-02-25 | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6756785B2 (ja) |
JP (2) | JP2005534032A (ja) |
AU (1) | AU2003254153A1 (ja) |
DE (1) | DE10392973B4 (ja) |
GB (1) | GB2407699B (ja) |
WO (1) | WO2004011895A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011513709A (ja) * | 2008-02-21 | 2011-04-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計 |
JP2011128169A (ja) * | 2002-07-25 | 2011-06-30 | Mks Instruments Inc | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7313966B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-01-01 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for storing vacuum gauge calibration parameters and measurement data on a vacuum gauge structure |
JP5127042B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2013-01-23 | 株式会社アンペール | 電離真空計 |
JP4720536B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-07-13 | 株式会社島津製作所 | 電子線源装置 |
US7429863B2 (en) * | 2006-07-18 | 2008-09-30 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for maintaining emission capabilities of hot cathodes in harsh environments |
US7768267B2 (en) * | 2007-07-11 | 2010-08-03 | Brooks Automation, Inc. | Ionization gauge with a cold electron source |
KR101541273B1 (ko) * | 2007-12-19 | 2015-08-03 | 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드 | 전자 멀티플라이어 냉 방출 소스를 갖는 이온화 게이지 |
EP2737291B1 (en) * | 2011-07-26 | 2019-01-23 | MKS Instruments, Inc. | Cold cathode gauge fast response signal circuit |
WO2015114559A1 (en) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Nanotech Analysis S.R.L.S. | Miniaturized device for measurements of very low pressure and of gas concentrations |
US9927317B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-03-27 | Mks Instruments, Inc. | Ionization pressure gauge with bias voltage and emission current control and measurement |
CN105826148A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-08-03 | 中国科学院电子学研究所 | 微波真空电子器件的零件除气方法、装置和系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0524539A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Hitachi Ltd | 鉄道システム |
JPH06150875A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-05-31 | Ulvac Japan Ltd | 熱陰極型イオン源の保護回路装置 |
JPH0777473A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-20 | Ulvac Japan Ltd | 熱陰極型電離真空計 |
JPH1183661A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Anelva Corp | 電離真空計の制御装置 |
JPH11111205A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-23 | Hitachi Ltd | 電界放出型電子銃を備えた粒子線装置及びその加熱脱ガス方法 |
JP2002025497A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Canon Inc | 真空分析装置、質量分析装置および電子顕微鏡装置 |
JP2002091629A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Toshiba Corp | 計算機システム |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3576465A (en) | 1968-04-01 | 1971-04-27 | Norton Co | Ionization gauge control with emission responsive control of thermionic filament heating |
GB1405219A (en) | 1972-09-29 | 1975-09-10 | Leybold Heraeus Verwaltung | Ionisation gauge for high vacuum pressures |
US4093913A (en) * | 1976-03-24 | 1978-06-06 | Varian Associates, Inc. | Vacuum measuring ionization apparatus control |
US4714891A (en) * | 1985-09-23 | 1987-12-22 | Granville-Phillips Company | Method and apparatus for improving the safety and extending the range of ionization gauge systems |
JPS63151834A (ja) | 1986-12-16 | 1988-06-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 電離真空計のコントロ−ラ |
US4804820A (en) * | 1987-09-14 | 1989-02-14 | Trw Inc. | Method and apparatus for conducting dripless, smut-free stud welding |
US5296817A (en) * | 1990-04-11 | 1994-03-22 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
US5250906A (en) | 1991-10-17 | 1993-10-05 | Granville-Phillips Company | Ionization gauge and method of using and calibrating same |
JP3069975B2 (ja) * | 1991-09-06 | 2000-07-24 | アネルバ株式会社 | 電離真空計 |
JPH10213509A (ja) * | 1997-01-27 | 1998-08-11 | Ulvac Japan Ltd | 圧力測定装置 |
JP4493139B2 (ja) * | 2000-02-02 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電離真空計 |
US6756785B2 (en) * | 2002-07-25 | 2004-06-29 | Mks Instruments, Inc. | Pressure controlled degas system for hot cathode ionization pressure gauges |
-
2002
- 2002-07-25 US US10/205,014 patent/US6756785B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-07-25 JP JP2004524778A patent/JP2005534032A/ja active Pending
- 2003-07-25 DE DE10392973.8T patent/DE10392973B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-25 AU AU2003254153A patent/AU2003254153A1/en not_active Abandoned
- 2003-07-25 GB GB0502296A patent/GB2407699B/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-07-25 WO PCT/US2003/023169 patent/WO2004011895A1/en active Application Filing
-
2011
- 2011-02-25 JP JP2011039836A patent/JP5302346B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0524539A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Hitachi Ltd | 鉄道システム |
JPH06150875A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-05-31 | Ulvac Japan Ltd | 熱陰極型イオン源の保護回路装置 |
JPH0777473A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-20 | Ulvac Japan Ltd | 熱陰極型電離真空計 |
JPH1183661A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Anelva Corp | 電離真空計の制御装置 |
JPH11111205A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-23 | Hitachi Ltd | 電界放出型電子銃を備えた粒子線装置及びその加熱脱ガス方法 |
JP2002025497A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Canon Inc | 真空分析装置、質量分析装置および電子顕微鏡装置 |
JP2002091629A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Toshiba Corp | 計算機システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011128169A (ja) * | 2002-07-25 | 2011-06-30 | Mks Instruments Inc | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム |
JP2011513709A (ja) * | 2008-02-21 | 2011-04-28 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040017202A1 (en) | 2004-01-29 |
AU2003254153A1 (en) | 2004-02-16 |
US6756785B2 (en) | 2004-06-29 |
JP2011128169A (ja) | 2011-06-30 |
DE10392973T5 (de) | 2005-07-28 |
DE10392973B4 (de) | 2014-11-20 |
GB0502296D0 (en) | 2005-03-16 |
GB2407699A (en) | 2005-05-04 |
JP5302346B2 (ja) | 2013-10-02 |
WO2004011895A1 (en) | 2004-02-05 |
GB2407699B (en) | 2006-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5302346B2 (ja) | 熱陰極電離真空計のための圧力制御脱ガスシステム | |
JP6789909B2 (ja) | プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法 | |
AU2008295672B2 (en) | Shielding gas flow controller for a welding apparatus | |
US5167490A (en) | Method of calibrating a well pumpoff controller | |
EP1716412B1 (en) | Diagnostic and control methods for internally calibrated oxygen sensor | |
KR20210002635A (ko) | 개선된 정밀도를 갖는 열식 매스 플로우 센서 | |
CN110905813A (zh) | 变频器型压缩机的控制方法、装置、存储介质及设备 | |
JPH052432A (ja) | 制御対象の異状検知装置 | |
JP3969579B2 (ja) | 電磁流量計 | |
JP3720011B2 (ja) | 可変速給水装置 | |
JPH05118280A (ja) | 可変速給水装置の運転制御方式 | |
JP3069544B2 (ja) | 熱陰極電離真空計 | |
JP3240025B2 (ja) | 鋳物砂水分量の測定装置 | |
JPH04247675A (ja) | 陽極ステムの温度に基づくガスレーザ用圧力調整装置 | |
JP3987271B2 (ja) | 浴槽水位制御装置 | |
JPH08200593A (ja) | スチームトラップ | |
Tesfaye et al. | Upgrades to the Alcator C-Mod gas system | |
JPS63176605A (ja) | ウオ−ミング制御装置 | |
KR100589141B1 (ko) | 엔진 아이들 보상 방법 | |
JP2003156200A (ja) | 流体使用機器における流体供給手段の能力判定方法 | |
JPH0513544A (ja) | 真空チヤンバを有する半導体製造装置 | |
JP3039114B2 (ja) | 流量計 | |
KR20040025460A (ko) | 왕복동식 압축기의 운전제어장치 및 방법 | |
JP2005164462A (ja) | 水位計測装置 | |
JPH0517879A (ja) | 薄膜形成装置における放電電圧制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081202 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090302 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090309 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090401 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090410 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090430 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091027 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100125 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100204 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100225 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100308 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100325 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100412 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110426 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110502 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110909 |