JPH0517879A - 薄膜形成装置における放電電圧制御方法 - Google Patents
薄膜形成装置における放電電圧制御方法Info
- Publication number
- JPH0517879A JPH0517879A JP2361291A JP2361291A JPH0517879A JP H0517879 A JPH0517879 A JP H0517879A JP 2361291 A JP2361291 A JP 2361291A JP 2361291 A JP2361291 A JP 2361291A JP H0517879 A JPH0517879 A JP H0517879A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 基板に印加する放電電圧を徐々に上昇させて
いく過程で生じる異常放電の発生頻度を検出し、その発
生頻度の変化状況に基づいて放電電圧を制御する。そし
て、異常放電の発生頻度が増加傾向あるいは一定である
間は電圧上昇を停止させるが、異常放電の発生頻度が減
少傾向に転じた時点で電圧上昇を速やかに再開させる。 【効果】 放電電圧が設定電圧に達するまでの所要時間
を短縮することができ、生産効率の向上を図ることがで
きる。
いく過程で生じる異常放電の発生頻度を検出し、その発
生頻度の変化状況に基づいて放電電圧を制御する。そし
て、異常放電の発生頻度が増加傾向あるいは一定である
間は電圧上昇を停止させるが、異常放電の発生頻度が減
少傾向に転じた時点で電圧上昇を速やかに再開させる。 【効果】 放電電圧が設定電圧に達するまでの所要時間
を短縮することができ、生産効率の向上を図ることがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜形成装置における
放電電圧の制御方法に関する。
放電電圧の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板に所定の放電電圧を印加して成膜処
理を行う薄膜形成装置、たとえばプラズマＣＶＤ装置に
おいては、処理開始時に放電電圧を徐々に上昇させてい
って設定電圧に到達させるようにしているのであるが、
電圧を上昇させている途中で異常放電が生じることがあ
る。そして、異常放電がひとたび発生すると、通常は短
時間のうちに異常放電が何度も繰り返された後、発生回
数が次第に低減していってやがて完全に停止する、とい
う現象が生じる。このため、従来一般には、異常放電が
生じたときには電圧上昇を一旦停止してその時点の電圧
をそのまま維持し、異常放電が完全に停止するに十分な
一定の時間が経過した後に、あらためて電圧上昇を再開
するようにしている。
理を行う薄膜形成装置、たとえばプラズマＣＶＤ装置に
おいては、処理開始時に放電電圧を徐々に上昇させてい
って設定電圧に到達させるようにしているのであるが、
電圧を上昇させている途中で異常放電が生じることがあ
る。そして、異常放電がひとたび発生すると、通常は短
時間のうちに異常放電が何度も繰り返された後、発生回
数が次第に低減していってやがて完全に停止する、とい
う現象が生じる。このため、従来一般には、異常放電が
生じたときには電圧上昇を一旦停止してその時点の電圧
をそのまま維持し、異常放電が完全に停止するに十分な
一定の時間が経過した後に、あらためて電圧上昇を再開
するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に異常放電が生じたときに電圧上昇を一定時間停止させ
る場合には、その停止時間を成膜物質の種類や操業圧力
あるいは炉内の汚れの状況に応じてその都度設定しなけ
ればならないが、停止時間を最適に設定することは必ず
しも容易ではなく、このため、停止時間が徒に長くなっ
てしまって設定電圧に到達するまでに長時間を要してし
まい、作業効率が良くないものであった。
に異常放電が生じたときに電圧上昇を一定時間停止させ
る場合には、その停止時間を成膜物質の種類や操業圧力
あるいは炉内の汚れの状況に応じてその都度設定しなけ
ればならないが、停止時間を最適に設定することは必ず
しも容易ではなく、このため、停止時間が徒に長くなっ
てしまって設定電圧に到達するまでに長時間を要してし
まい、作業効率が良くないものであった。
【０００４】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、基板に印加する放電電圧を上昇させるに際して異常
放電が生じた場合においても、設定電圧に達するまでの
所要時間を短縮させることのできる放電電圧制御方法を
提供することを目的としている。
で、基板に印加する放電電圧を上昇させるに際して異常
放電が生じた場合においても、設定電圧に達するまでの
所要時間を短縮させることのできる放電電圧制御方法を
提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板に所定の
放電電圧を印加してその表面に薄膜を形成する薄膜形成
装置に適用される放電電圧の制御方法であって、基板に
印加する放電電圧を徐々に上昇させていく過程で生じる
異常放電の発生頻度を検出し、その発生頻度の変化状況
に基づいて放電電圧を制御することを特徴とするもので
ある。
放電電圧を印加してその表面に薄膜を形成する薄膜形成
装置に適用される放電電圧の制御方法であって、基板に
印加する放電電圧を徐々に上昇させていく過程で生じる
異常放電の発生頻度を検出し、その発生頻度の変化状況
に基づいて放電電圧を制御することを特徴とするもので
ある。
【０００６】
【作用】本発明方法では、基板に印加する放電電圧を上
昇させていく際に生じる異常放電の発生頻度を検出し、
それが一定あるいは増大傾向にある間は電圧上昇を停止
させるが、異常放電の発生頻度が減少傾向に転じた時点
で、異常放電が完全に停止することを待たずに速やかに
電圧上昇を再開させることにより、設定電圧に達するま
での時間を短縮させる。
昇させていく際に生じる異常放電の発生頻度を検出し、
それが一定あるいは増大傾向にある間は電圧上昇を停止
させるが、異常放電の発生頻度が減少傾向に転じた時点
で、異常放電が完全に停止することを待たずに速やかに
電圧上昇を再開させることにより、設定電圧に達するま
での時間を短縮させる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１は本発明方法を実施するための薄膜形成
装置の概略構成を示すものであって、図中符号１はチャ
ンバ、２は被処理物である基板、３は基板２に放電電圧
を印加するための電源、４,５は電源回路中に設けられ
た電流計および電圧計、６は基板２を加熱するためのヒ
ータ、７は原料ガスのボンベ、８は排気管である。
説明する。図１は本発明方法を実施するための薄膜形成
装置の概略構成を示すものであって、図中符号１はチャ
ンバ、２は被処理物である基板、３は基板２に放電電圧
を印加するための電源、４,５は電源回路中に設けられ
た電流計および電圧計、６は基板２を加熱するためのヒ
ータ、７は原料ガスのボンベ、８は排気管である。
【０００８】上記の薄膜形成装置には、異常放電の発生
頻度を検出し、それに基づいて電源３の出力を制御する
ための制御装置１０が備えられている。その制御装置１
０は、異常放電検出器１１、処理装置１２、判定装置１
３から構成されている。
頻度を検出し、それに基づいて電源３の出力を制御する
ための制御装置１０が備えられている。その制御装置１
０は、異常放電検出器１１、処理装置１２、判定装置１
３から構成されている。
【０００９】異常放電検出器１１は、上記の電流計４お
よび電圧計５の計測値が入力され、それらの計測値から
異常放電の発生を検知する。すなわち、異常放電が発生
した際には電圧が急降下するとともに電流が急上昇する
ので、そのことから異常放電の発生を検知する。そし
て、この異常放電検出器１１は、単位時間当たりの異常
放電の発生回数をカウントし、それを時間tの関数Ｎ(t)
として処理装置１２に出力する。具体的には、一定の時
間ごとに異常放電の発生回数をカウントし、Ｋ回目の計
測値Ｎ(Ｋ)を処理装置１２に対して順次出力するように
なっている。
よび電圧計５の計測値が入力され、それらの計測値から
異常放電の発生を検知する。すなわち、異常放電が発生
した際には電圧が急降下するとともに電流が急上昇する
ので、そのことから異常放電の発生を検知する。そし
て、この異常放電検出器１１は、単位時間当たりの異常
放電の発生回数をカウントし、それを時間tの関数Ｎ(t)
として処理装置１２に出力する。具体的には、一定の時
間ごとに異常放電の発生回数をカウントし、Ｋ回目の計
測値Ｎ(Ｋ)を処理装置１２に対して順次出力するように
なっている。
【００１０】処理装置１２は、異常放電検出器１１から
入力されたデータに基づいて、異常放電の発生頻度の増
減傾向を示すパラメータＰを演算により求めて、それを
判定装置に出力する。そのパラメータＰとしては、上記
の関数Ｎ(t)の２階微分、すなわち、Ｐ＝d2Ｎ／dt2を用
いる。このパラメータＰは、いわば異常放電の発生回数
の加速度(速度の変化率)を表すものであって、異常放電
の発生頻度が増加傾向にあればＰ＞０であり、減少傾向
にあればＰ＜０であり、一定であればＰ＝０となる。
入力されたデータに基づいて、異常放電の発生頻度の増
減傾向を示すパラメータＰを演算により求めて、それを
判定装置に出力する。そのパラメータＰとしては、上記
の関数Ｎ(t)の２階微分、すなわち、Ｐ＝d2Ｎ／dt2を用
いる。このパラメータＰは、いわば異常放電の発生回数
の加速度(速度の変化率)を表すものであって、異常放電
の発生頻度が増加傾向にあればＰ＞０であり、減少傾向
にあればＰ＜０であり、一定であればＰ＝０となる。
【００１１】なお、この処理装置１２における実際の演
算処理は、具体的には次のような離散系により行う。ま
ず、上記関数Ｎ(t)の１階微分dＮ／dtを求めるが、これ
は、異常放電検出器１１におけるＫ回目の測定値Ｎ(Ｋ)
と、(Ｋ−１)回目の測定値Ｎ(Ｋ−１)を用いて、 dＮ／dt＝ΔＮ(Ｋ)＝Ｎ(Ｋ)−Ｎ(Ｋ−１) として求める。次に、上記のパラメータＰを求めるが、
これは、 Ｐ＝d2Ｎ／dt2＝ΔＮ(Ｋ)−ΔＮ(Ｋ−１) ＝Ｎ(Ｋ)−２Ｎ(Ｋ−１)＋Ｎ(Ｋ−２) として求める。
算処理は、具体的には次のような離散系により行う。ま
ず、上記関数Ｎ(t)の１階微分dＮ／dtを求めるが、これ
は、異常放電検出器１１におけるＫ回目の測定値Ｎ(Ｋ)
と、(Ｋ−１)回目の測定値Ｎ(Ｋ−１)を用いて、 dＮ／dt＝ΔＮ(Ｋ)＝Ｎ(Ｋ)−Ｎ(Ｋ−１) として求める。次に、上記のパラメータＰを求めるが、
これは、 Ｐ＝d2Ｎ／dt2＝ΔＮ(Ｋ)−ΔＮ(Ｋ−１) ＝Ｎ(Ｋ)−２Ｎ(Ｋ−１)＋Ｎ(Ｋ−２) として求める。
【００１２】そして、上記の判定装置１３は、入力され
たパラメータＰのデータに基づき、異常放電の発生頻度
が増加傾向にあるか、減少傾向にあるかを判断し、その
いずれかに対応する制御信号を電源３に対して出力す
る。すなわち、Ｐ≧Ｏであって異常放電の発生頻度が増
加傾向もしくは一定である場合には、放電電圧をそのま
ま保持するような制御信号を電源３に出力し、また、Ｐ
＜０であって異常放電の発生頻度が減少傾向である場合
には、電圧を上昇させるような制御信号を電源３に出力
するのである。
たパラメータＰのデータに基づき、異常放電の発生頻度
が増加傾向にあるか、減少傾向にあるかを判断し、その
いずれかに対応する制御信号を電源３に対して出力す
る。すなわち、Ｐ≧Ｏであって異常放電の発生頻度が増
加傾向もしくは一定である場合には、放電電圧をそのま
ま保持するような制御信号を電源３に出力し、また、Ｐ
＜０であって異常放電の発生頻度が減少傾向である場合
には、電圧を上昇させるような制御信号を電源３に出力
するのである。
【００１３】これにより、異常放電の発生頻度が増加傾
向あるいは一定である間は電圧上昇が停止しているが、
異常放電が完全に停止するのを待たずに異常放電の発生
頻度が減少傾向に転じた時点で電圧上昇が速やかに再開
され、したがって、異常放電が発生した際には無条件に
電圧上昇を一定時間停止させていた従来の場合に比し
て、設定電圧に達するまでの所要時間を短縮することが
でき、生産効率を向上させることができる。
向あるいは一定である間は電圧上昇が停止しているが、
異常放電が完全に停止するのを待たずに異常放電の発生
頻度が減少傾向に転じた時点で電圧上昇が速やかに再開
され、したがって、異常放電が発生した際には無条件に
電圧上昇を一定時間停止させていた従来の場合に比し
て、設定電圧に達するまでの所要時間を短縮することが
でき、生産効率を向上させることができる。
【００１４】たとえば、設定電圧が８００Ｖであり、設
定電圧となるまでの電圧上昇率が１００Ｖ／minである
場合、異常放電が全く発生しなければ設定電圧に到達す
るまでの所要時間は８分で済むが、従来一般には、異常
放電の発生のために最低限でも１２分程度の電圧上昇停
止時間が生じてしまい、したがって、設定電圧に達する
までに２０分程度を要するものであった。これに対し、
上記のように異常放電の増減傾向を把握して異常放電の
完全停止を待たずに電圧上昇を再開させることによっ
て、設定電圧となるまでの所要時間を１５分程度に短縮
させることができた。
定電圧となるまでの電圧上昇率が１００Ｖ／minである
場合、異常放電が全く発生しなければ設定電圧に到達す
るまでの所要時間は８分で済むが、従来一般には、異常
放電の発生のために最低限でも１２分程度の電圧上昇停
止時間が生じてしまい、したがって、設定電圧に達する
までに２０分程度を要するものであった。これに対し、
上記のように異常放電の増減傾向を把握して異常放電の
完全停止を待たずに電圧上昇を再開させることによっ
て、設定電圧となるまでの所要時間を１５分程度に短縮
させることができた。
【００１５】
【発明の効果】以上で説明したように本発明によれば、
基板に印加する放電電圧を徐々に上昇させていく過程で
生じる異常放電の発生頻度を検出し、その発生頻度の変
化状況に基づいて放電電圧を制御して、異常放電の発生
頻度が増加傾向あるいは一定である間は電圧上昇を停止
させるが、異常放電の発生頻度が減少傾向に転じた時点
で電圧上昇を速やかに再開させることにより、設定電圧
に達するまでの所要時間を短縮することができ、したが
って生産効率を向上させることができるという効果を奏
する。
基板に印加する放電電圧を徐々に上昇させていく過程で
生じる異常放電の発生頻度を検出し、その発生頻度の変
化状況に基づいて放電電圧を制御して、異常放電の発生
頻度が増加傾向あるいは一定である間は電圧上昇を停止
させるが、異常放電の発生頻度が減少傾向に転じた時点
で電圧上昇を速やかに再開させることにより、設定電圧
に達するまでの所要時間を短縮することができ、したが
って生産効率を向上させることができるという効果を奏
する。
【図１】本発明の電圧制御制御方法を実施するための薄
膜形成装置の一例を示す概略構成図である。
膜形成装置の一例を示す概略構成図である。
２ 基板 ３ 電源 １０ 制御装置 １１ 異常放電検出器 １２ 処理装置 １３ 判定装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板に所定の放電電圧を印加してその表
面に薄膜を形成する薄膜形成装置に適用される放電電圧
の制御方法であって、基板に印加する放電電圧を徐々に
上昇させていく過程で生じる異常放電の発生頻度を検出
し、その発生頻度の変化状況に基づいて放電電圧を制御
することを特徴とする薄膜形成装置における放電電圧制
御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2361291A JPH0517879A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 薄膜形成装置における放電電圧制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2361291A JPH0517879A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 薄膜形成装置における放電電圧制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0517879A true JPH0517879A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=12115439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2361291A Withdrawn JPH0517879A (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 薄膜形成装置における放電電圧制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517879A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240018351A (ko) | 2022-08-02 | 2024-02-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP2361291A patent/JPH0517879A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20240018351A (ko) | 2022-08-02 | 2024-02-13 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |