JP2005348139A - 弾性波装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電基板としてのLiTaO3基板2上に、IDT電極3が形成されており、該IDT電極3を覆うようにLiTaO3基板2上にSiO2膜7が形成されており、SiO2膜7の表面に、横断面形状がIDT電極3を構成している電極指3aの横断面と相似である横断面形状を有する凸部7aが形成されている、弾性波装置1。
【選択図】 図1
Description
2…LiTaO3基板
3,4…IDT電極
3a…電極指
5,6…反射器
7…SiO2膜
7a…凸部
7a1…上面
7a2,7a3…側面
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
温度特性を改善するために、前記IDT電極を覆うように前記基板上に形成された絶縁膜とを備え、
前記IDT電極上において、前記絶縁膜の表面が、前記IDT電極の交叉指部の横断面形状と相似な断面形状の凸部を有することを特徴とする、弾性波装置。 - 前記IDT電極が、AlもしくはAl合金からなる電極層を主たる電極層として備える、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記圧電基板が、LiTaO3またはLiNbO3であることを特徴とする、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記IDT電極がAlもしくはAl合金からなり、電極層の膜厚がT、IDT電極の周期による波長をλとしたときに、電極の規格化膜厚T/λが、0.04以上の範囲にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁膜がSiO2膜からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記SiO2膜の厚みをH、IDT電極の周期による波長をλとしたときに、SiO2膜の規格化膜厚H/λが、0.10〜0.45の範囲にある、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁膜表面の凸部が、上面と、上面の側方において連なる側面とを有し、該側面と垂直方向との間の角度が±20°以内であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 弾性表面波装置である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 圧電基板を用意する工程と、
前記圧電基板上に複数本の電極指を有するIDT電極を形成する工程と、
前記IDT電極を覆うように絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜を形成した後に、絶縁膜表面において、下方のIDT電極と同じ平面形状を有するレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンを形成した後に、反応性イオンエッチングにより前記絶縁膜をエッチングし、それによってIDTの電極指の上方において、前記絶縁膜表面に、電極指の横断面に相似である断面形状を有する凸部を形成する工程とを備えることを特徴とする、弾性波装置の製造方法。
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