JP2005324913A - ガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具及びその使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第2の蓋体F2に取り付けた空気清浄器CUの作動により、一方の側板8aの内壁に設けた複数の支持溝M1に沿って空気を流入させ、他方の側板8bの内壁に設けた複数の支持溝M2を通り外部に流出するように構成することで、ボックス本体2内部全体に空気が循環すると共に、支持溝M1,M3,M2に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。
【選択図】 図3
Description
この特徴によれば、一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って空気が流入し、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り外部に流出するので、ボックス本体全体に空気が循環すると共に、支持溝に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。
この特徴によれば、第2の蓋体をボックス本体に装着するだけで、支持溝を通り、パーティクルが効率よく排出できる空気循環路を形成することができる。
この特徴によれば、空気流入口と複数の支持溝との位置が多少離れていても、案内部材により支持溝に空気流を向かわせることができる。
この特徴によれば、複数の一方向弁を複数の支持溝の配列方向に沿って並ばせることにより、排出側において、空気の乱れを生起することなくスムーズに空気を排出でき、空気清浄器を作動しないときは、一方向弁により外気と遮断して、パーティクルの侵入を阻止できる。
この特徴によれば、除電器を用いることで、ガラス基板の帯電作用を抑え、パーティクルの付着を阻止できる。
この特徴によれば、ガラス基板を収納する前に空気清浄器を作動しておけば、少なくともガラス基板収納時にパーティクルが基板に付着することが防げる。
この特徴によれば、ガラス基板を収納後にも空気清浄器を作動しておけば、少なくともガラス基板収納時に支持溝近傍で発生したパーティクルを排出させることができる。
この特徴によれば、ガラス基板をボックス本体から取り出す前に空気清浄器を作動すれば、少なくとも搬送中に発生したパーティクルを排出させることができる。
この特徴によれば、ガラス基板搬送用ボックスの周囲がクリーンルームであれば、ボックス内のパーティクルの排出時間が短縮され、しかもフィルタの交換頻度が少なくなる。
2 ボックス本体
5 底面パッド
6a,6b ボックス側板
8a,8b ボックス側板
9 底板
11 接合角枠
14 側面パッド
18 側面パッド
22 誘導リブ部材
24 リブ
25 取付具
26 空気取込み口
28 フィルタ
30 一方向弁
30a 入口側
30b 出口側
30c 開閉弁
31 ベース板
32 支持面
34a 第1開口
34b 第2開口
36 案内板(案内部材)
41 除電器(静電除去装置)
C 空気清浄具
CU 空気清浄器
F1 蓋体
F2 第2の蓋体
G ガラス基板
H 凹溝
M1,M2,M3 支持溝
Claims (9)
- 有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成されているガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記空気清浄具はボックス本体に対して装脱自在の第2の蓋体と、この第2の蓋体の外部に取り付けた空気清浄器から成り、第2の蓋体をボックス本体に装着した状態で空気清浄器を作動することにより、外部から取り入れた空気をフィルターを介して前記一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って流入させ、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り外部に流出させることを特徴とするガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
- 前記第2の蓋体にはボックス本体に対する空気清浄器からの空気流入口と排気口が設けられ、前記空気流入口は一方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍に、前記排気口は他方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍にそれぞれ配設されている請求項1に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
- 前記空気流入口には一方の側壁に設けた複数の支持溝に空気流が向かう案内部材が設けられている請求項2に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
- 前記排気口には複数の支持溝の配列方向に沿って並んだ複数の一方向弁が設けられている請求項2または3に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
- 前記第2の蓋体のボックス本体側には除電器が取り付けられている請求項1ないし4のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
- 前記請求項1ないし5にいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前に、前記第2の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第2の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着する空気清浄具の使用方法。
- 前記請求項1ないし5のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前及び収納した後に、前記第2の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第2の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着する空気清浄具の使用方法。
- ガラス基板が収納されたガラス基板搬送用ボックスが搬送された後、ガラス基板をボックス本体から取り出す前に、蓋体に代えて第2蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動する請求項6または7に記載の空気清浄具の使用方法。
- 前記空気清浄器の作動はクリーンルームで行う請求項6ないし8のいずれかに記載の空気清浄具の使用方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004143835A JP4218757B2 (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | ガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具及びその使用方法 |
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JP2005324913A true JP2005324913A (ja) | 2005-11-24 |
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JP (1) | JP4218757B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007305366A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Omron Corp | イオナイザ、イオナイザの取り付け方法およびクリーンルームシステム |
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-
2004
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081104 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121121 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131121 Year of fee payment: 5 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |