JP2005324913A - ガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 少なくともガラス基板が搬送ボックスに収納された状態ではボックス内のパーティクルをほとんど取り除いておくことができるガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具およびその空気清浄具の使用方法を提供すること。
【解決手段】 第２の蓋体Ｆ２に取り付けた空気清浄器ＣＵの作動により、一方の側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１に沿って空気を流入させ、他方の側板８ｂの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ２を通り外部に流出するように構成することで、ボックス本体２内部全体に空気が循環すると共に、支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。
【選択図】 図３

Description

本発明は、有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成されているガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具及びその使用方法に関する。

従来、素板ガラス、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ハイブリッドＩＣセラミックス基板、ウエハなどの各種の基板、あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、有底のボックス本体と、このボックス本体の開口を開閉可能な蓋体とから成るボックスが知られていた（特許文献１、２参照）。

図４は、従来知られているガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図であり、ガラス基板搬送用ボックス０１は、有底の本体部０２と蓋体（図示せず）で構成され、本体部０２内にはガラス基板支持用の支持溝０４ａを有した側板０４が一対挿入されている。ガラス基板Ｇの両側端部は対向する側板の支持溝０４ａ間内に一枚ずつ係合支持され、上部より蓋体をガラス基板Ｇの上端縁を押さえるようにして本体部０２上にかぶせて搬送に供される。

特開平８−３０１３５４号公報（段落００２７、第５図） 特開平９−５８７７０号公報（第５，６図）

しかしながら、上記特許文献に記載の従来のガラス基板搬送用ボックスにあっては、ボックス内に存在するパーティクルについて何等考慮が払われていないため、静電気の存在と相俟って、ガラス基板に多くのパーティクルが付着してしまい、例えば、素板ガラスを液晶表示用フラットパネルやエレクトロルミネッセンエセンス表示用パネルとして使用する際の導電膜形成に支障をきたしていた。したがって、ガラス基板搬送用ボックスより取り出した素板ガラスを再度洗浄してパーティクルを取り除く作業が必要であり、しかも洗浄後もパーティクルをほぼ完全に取り除くことは不可能であった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、少なくともガラス基板が搬送ボックスに収納された状態ではボックス内のパーティクルをほとんど取り除いておくことができるガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具およびその空気清浄具の使用方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具は、有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成されているガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記空気清浄具はボックス本体に対して装脱自在の第２の蓋体と、この第２の蓋体の外部に取り付けた空気清浄器から成り、第２の蓋体をボックス本体に装着した状態で空気清浄器を作動することにより、外部から取り入れた空気をフィルターを介して前記一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って流入させ、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り外部に流出させることを特徴としている。
この特徴によれば、一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って空気が流入し、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り外部に流出するので、ボックス本体全体に空気が循環すると共に、支持溝に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。

本発明の請求項２に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具は、請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記第２の蓋体にはボックス本体に対する空気清浄器からの空気流入口と排気口が設けられ、前記空気流入口は一方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍に、前記排気口は他方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍にそれぞれ配設されていることを特徴としている。
この特徴によれば、第２の蓋体をボックス本体に装着するだけで、支持溝を通り、パーティクルが効率よく排出できる空気循環路を形成することができる。

本発明の請求項３に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具は、請求項２に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記空気流入口には一方の側壁に設けた複数の支持溝に空気流が向かう案内部材が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、空気流入口と複数の支持溝との位置が多少離れていても、案内部材により支持溝に空気流を向かわせることができる。

本発明の請求項４に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具は、請求項２または３に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記排気口には複数の支持溝の配列方向に沿って並んだ複数の一方向弁が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、複数の一方向弁を複数の支持溝の配列方向に沿って並ばせることにより、排出側において、空気の乱れを生起することなくスムーズに空気を排出でき、空気清浄器を作動しないときは、一方向弁により外気と遮断して、パーティクルの侵入を阻止できる。

本発明の請求項５に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具は、請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記第２の蓋体のボックス本体側には除電器が取り付けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、除電器を用いることで、ガラス基板の帯電作用を抑え、パーティクルの付着を阻止できる。

本発明の請求項６に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法は、請求項１ないし５のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前に、前記第２の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第２の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着することを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板を収納する前に空気清浄器を作動しておけば、少なくともガラス基板収納時にパーティクルが基板に付着することが防げる。

本発明の請求項７に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法は、請求項１ないし５のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前及び収納した後に、前記第２の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第２の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着することを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板を収納後にも空気清浄器を作動しておけば、少なくともガラス基板収納時に支持溝近傍で発生したパーティクルを排出させることができる。

本発明の請求項８に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法は、請求項６または７に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、ガラス基板が収納されたガラス基板搬送用ボックスが搬送された後、ガラス基板をボックス本体から取り出す前に、蓋体に代えて第２蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動することを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板をボックス本体から取り出す前に空気清浄器を作動すれば、少なくとも搬送中に発生したパーティクルを排出させることができる。

本発明の請求項９に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法は、請求項６ないし８のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記空気清浄器の作動はクリーンルームで行うことを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板搬送用ボックスの周囲がクリーンルームであれば、ボックス内のパーティクルの排出時間が短縮され、しかもフィルタの交換頻度が少なくなる。

本発明の実施例を以下に説明する。

本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、先ず図1は本発明の空気清浄具によりボックス本体の開口を閉塞して空気清浄器を作動している状態を示す斜視図、図２は内部が清浄されたボックス本体にガラス基板を装填した後開口を蓋体により閉塞する状態を示す斜視図、図３（ａ）は空気清浄具によるボックス本体内部の空気の流れを示す説明図、（ｂ）は一方向弁の拡大外観図である。

図1には、本発明の空気清浄具Ｃを備えたガラス基板搬送用ボックス本体（以下、単にボックス本体という）２が示されており、このボックス本体２は、複数のガラス基板を、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして使用するものであって、横長直方体で上部が開口し、図２に示す蓋体Ｆ１で開口を閉塞することで、ガラス基板搬送用ボックス１を構築している。

図２に示すように、ボックス本体２を構成する４枚のボックス側板６ａ，６ｂ及び８ａ，８ｂは、長寸矩形状のボックス側板６ａ，６ｂと短寸矩形状のボックス側板８ａ，８ｂとからなり、発泡スチロール樹脂（例えば発泡ポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。

一方、蓋体Ｆ１は、両ボックス側板６ａ，６ｂ上端縁の４箇所にそれぞれ配設された開閉操作可能な取付具（例えばパッチン錠等）２５によって装着されるようになっている。この取り付け具２５は図１に示す第２の蓋体Ｆ２に対しても共用できる構成となっている。

更に、ボックス本体２内の底板９上面には、図３に示すように、硬質材として例えばポリプロピレン系発泡体より成る所定厚みを有する直方体のガラス基板支持用の底面パッド５が長手方向に所定間隔毎に並設して貼着されている。そして、この底面パッド５の上面には、ガラス基板Ｇの下端縁を支持すべく例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行な支持溝Ｍ３を有する断面山形のリブ２４が形成されている。そして、各底面パッド５の下面には幅方向に横切る凹溝Ｈが形成されており、後述する空気清浄器ＣＵによる空気の流通路として機能している。

また、ボックス本体２の短寸側の対向する両側のボックス側板８ａ，８ｂの内側壁には側面パッド１４，１８が貼着されており、その上面に例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行で垂直な断面山形の誘導リブ部材２２によって複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２が形成されており、誘導リブ部材２２は、各ベース部材の入口側端上方に上端部の板厚が薄く下方に向けて徐々に厚くなるテーパ面を有するガイド面が形成されている。尚、これら複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２は、底面パッド５上面に形成される支持溝Ｍ３と共にガラス基板の両側端縁及び下端縁に全てが対応するように形成されている。

次に空気清浄具に付き図３を参照して説明する。

空気清浄具Ｃは、蓋体Ｆ１に代えてボックス本体２の開口を密封閉塞すべく装脱自在に取り付けられる第２の蓋体Ｆ２と、この第２の蓋体Ｆ２の上面に取り付けられる空気清浄器ＣＵとから構成されている。

この空気清浄器ＣＵは、例えばＫＥＹＥＮＣＥ（キーエンス）製のクリーンファンユニットＣＦ−Ｈ０４０が使用されており、図示しない送風機（例えばシロッコファン）により空気取込み口２６より取り込まれた外気を、フィルタ２８により浄化してボックス本体２の内部に送り込み、内部に存在するパーティクルと共に後述する一方向弁３０を介して外部に排出するように構成されている。

第２の蓋体Ｆ２は、基本的な構成は蓋体Ｆ１とはほぼ同一形状に構成されているので詳細な説明は省略するが、上面には図３に示すように空気清浄器ＣＵを載置する支持面３２が凹設されており、支持面３２の一方には浄化された空気を送り込む複数の一方向弁３０を内部に臨ませるための空気流入口となる第１開口３４ａが形成されると共に、その他方にはパーティクルを含むボックス本体２内部の空気を外部に排出する複数の一方向弁３０を収容するための空気排出口となる第２開口３４ｂが形成されている。

更に、第１開口３４ａ内に配置される複数の一方向弁３０は、一方のボックス側板８ａの複数の誘導リブ部材２２間で形成される支持溝Ｍ１に対応して配列されており、第２開口３４ｂ内に配置される複数の一方向弁３０も他方のボックス側板８ｂの複数の誘導リブ部材２２間で形成される支持溝Ｍ２対応して配列されている。

第１開口３４ａ周囲は空気清浄器ＣＵの下面と支持面３２との間に介設された図示しにないパッキンを介してシールされており、第２開口３４ｂの周囲も同様に一方向弁３０を支持するベース板３１と支持面３２との間に介設されたパッキンによってシールされている。

尚、ここで導入側ないし排出側に使用される一方向弁３０は、図３（ｂ）に示されるよに、入口側３０ａから流入した空気を出口側３０ｂから一方向にのみ流出する弁であって、出口側３０ｂに設けた復帰弾力を有するゴム製の開閉弁３０ｃによって出口側３０ｂからの流入を遮断されるように構成されている。

そして、第２の蓋体Ｆ２の裏面には、第１開口３４ａの片側縁に第１開口３４ａを介して導入された浄化された空気を一方のボックス側板８ａ側上方に向けて案内する案内板３６が斜めに固設されている。この案内板３６は、第２の蓋体Ｆ２によってボックス本体２の開口が閉塞された際に、装填されたガラス基板Ｇの上端縁に対してその下端縁との間に隙間を形成するように構成されている。

更に、この第２の蓋体Ｆ２の裏面には、ガラス基板Ｇがボックス本体２に装填された後、ガラス基板Ｇに帯電している静電気を取り除くために、静電除去装置としてガラス基板Ｇに向かってイオンを放出可能な除電器（イオナイザー）４１が取り付けられている。この除電器の数はガラス基板の大きさに応じて複数個設ける。

次に、本発明の実施例２における空気清浄具の使用方法に付き説明する。

先ず、ボックス本体２の内部にガラス基板Ｇを装填する前に、図１に示すように、ボックス本体２の開口に第２の蓋体Ｆ２を装着し、空気清浄器ＣＵを作動させることでボックス本体２の内部が浄化される。すなわち、図３に示すように、空気清浄器ＣＵによって浄化された空気は第１開口３４ａから複数の一方向弁３０を介してボックス本体２の内部に導入されると、斜めの案内板３６によって、一方のボックス側板８ａ側の各支持溝Ｍ１上方に向う層流状態の空気流れが形成される。

次に、複数の支持溝Ｍ１に沿って下方に流れた空気は底板９に向い、底板９上面に到達した空気は、底面パッド５上面の複数のリブ２４間で形成される支持溝Ｍ３に沿って流れると共に、底面パッド５下面の凹溝Ｈよって形成される流通路を通して他方のボックス側板８ｂ側に移動する。

他方のボックス側板８ｂに移動した空気は、上昇気流となってベース部材１８ａの複数の誘導リブ部材２２によって形成される支持溝Ｍ２に沿って流動する層流状態の流れが形成され、第２開口３４ｂの一方向弁３０を介して外部に排出される。

このように、ボックス本体２の内部に導入された浄化空気は、図３の矢印で示すような一連の流れが形成され、支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２に沿った空気流れを積極的に作ることにより、蓄積しやすい支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２間のパーティクルを排出すると共に、ボックス本体２の中間部の空気も流動化し、浮遊しているパーティクルが第２開口３４ｂより排出され、ボックス本体２内部のパーティクルが除去される。

次いで、図２に示すように、浄化されたボックス本体２内部には、開口側から順次ガラス基板Ｇの両側端縁が両側面パッド１４，１８の誘導リブ部材２２上端縁に形成されたガイド面に案内されて複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２内に装填され、その下端縁が底面パッド５上面の支持溝Ｍ３に支持される。

全ての支持溝Ｍ１，Ｍ２及びＭ３に複数のガラス基板Ｇが装填支持されると、ボックス本体２の開口を蓋体Ｆ１によって閉鎖してガラス基板搬送ボックス１として搬送に供しても良いが、ガラス基板Ｇの装填時に生じたパーティクルを除去するために、第２の蓋体Ｆ２を用い、空気清浄器ＣＵを再作動させると共に、除電器４１を作動させる。

これにより先に説明したように、ガラス基板Ｇ側端縁と側面パッド１４，１８の接触によって生じたパーティクルも、図３に示すように、一連の層流状態の空気流れにより、積極的に排出することができ、ガラス基板Ｇ表面に静電気等によって付着しているパーティクルも除電作用によって分離し、空気と共に外部に排出することができる。

このようにして、複数のガラス基板Ｇが装填されたボックス本体２の内部が浄化されると、第２の蓋体Ｆ２に代えてボックス本体２の開口が蓋体Ｆ１によって閉塞されて取付具２５によって密閉保持され、デバイスメーカへの搬送に供される。

デバイスメーカへガラス基板搬送用ボックス１が移送されると、ガラス基板Ｇをボックス本体２から取り出す前に蓋体Ｆ１に代えて第２の蓋体Ｆ２がボックス本体２の開口に装着される。この場合、搬送用ボックス１をクリーンルーム内に持ち込んで空気清浄器ＣＵ及び除電器を作動させると、搬送中に発生したパーティクルをより効率的に排出させることができる。その後、ガラス基板Ｇはボックス本体２から取り出される。

従って、本発明のガラス基板搬送用ボックスによれば、一方の側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１に沿って空気が流入し、他方の側板８ｂの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ２を通り外部に流出するので、ボックス本体２内部全体に空気が循環すると共に、支持溝Ｍ１，Ｍ２に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。

また、第２の蓋体Ｆ２には、ボックス本体２に対する空気清浄器ＣＵから空気を導入する第１開口３４ａと空気を排出する第２開口３４ｂが設けられ、第１開口３４ａは一方の側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１の上方近傍に、第２開口３４ｂは他方の側壁８ｂに設けた複数の支持溝Ｍ２の上方近傍にそれぞれ配設されているので、第２の蓋体Ｆ２をボックス本体２に装着するだけで、支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２を通り、パーティクルが効率よく排出できる空気循環路を形成することができる。

更に、第１開口３４ａには一方の側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１に空気流が向かう案内板３６が設けられているので、第１開口３４ａと複数の支持溝Ｍ１との位置が多少離れていても、案内板３６により支持溝Ｍ１に空気流を向かわせることができる。

そして、複数の排出側の一方向弁３０を複数の支持溝Ｍ２の配列方向に沿って並ばせることにより、排出側において、空気の乱れを生起することなくスムーズに空気を排出でき、空気清浄器ＣＵを作動しないときは、一方向弁３０により外気と遮断して、パーティクルの侵入を阻止できる。

一方、本発明のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法によれば、ボックス本体２にガラス基板Ｇを収納する前に、第２の蓋体Ｆ２をボックス本体２に装着して空気清浄器ＣＵを作動し、その後第２の蓋体Ｆ２に代えて、蓋体Ｆ１をボックス本体２に装着するようにすれば、ガラス基板Ｇの収納時にパーティクルがガラス基板Ｇに付着することが防げる。

また、ガラス基板Ｇの収納後に、再度第２の蓋体Ｆ２をボックス本体２に装着し、空気清浄器ＣＵ及び除電器４１を作動させると、ガラス基板挿入時に生じたパーティクルが排出できると共に、除電器４１からのイオンは、空気清浄器ＣＵによる対流作用でより一層広範囲に放出され、ガラス基板Ｇに帯電する静電気を確実に取り除くことができ、ガラス基板Ｇに対するパーティクルの付着を阻止できる。

また、ガラス基板Ｇをボックス本体２から取り出す前に空気清浄器ＣＵ及び除電器４１を作動すれば、少なくとも搬送中に発生したパーティクルを排出させることができる。更に、搬送されたガラス基板搬送用ボックス１の周囲がクリーンルームであれば、ボックス本体２内のパーティクルの排出時間が短縮され、しかもフィルタの交換頻度が少なくなる。

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、例えば、第１開口３４ａに配設された空気流入側の一方向弁３０は上流側にフィルタ２８を用いているので、必ずしも設ける必要はない。また、案内板３６の代わりに空気清浄器ＣＵの吐出ノズルの向きを変えるようにしても良い。更に、除電器４１の設置個所は、必ずしも第２の蓋体Ｆ２の裏面だけに限定するものではなく、ガラス基板搬送ボックス１内の任意の場所に設置することができ、その放射方式も、除電器を複数個別に設ける代わりに、複数のノズル口を有する棒状タイプの使用も可能である。

本発明の空気清浄具によりボックス本体の開口を閉塞して空気清浄器を作動している状態を示す斜視図である。 内部が清浄されたボックス本体にガラス基板を装填した後開口を蓋体により閉塞する状態を示す斜視図である。 （ａ）は空気清浄具によるボックス本体内部の空気の流れを示す説明図、（ｂ）は一方向弁の拡大外観図である。 従来のガラス基板搬送用ボックスの外観斜視図である。

符号の説明

１ ガラス基板搬送用ボックス
２ ボックス本体
５ 底面パッド
６ａ，６ｂ ボックス側板
８ａ，８ｂ ボックス側板
９ 底板
１１ 接合角枠
１４ 側面パッド
１８ 側面パッド
２２ 誘導リブ部材
２４ リブ
２５ 取付具
２６ 空気取込み口
２８ フィルタ
３０ 一方向弁
３０ａ 入口側
３０ｂ 出口側
３０ｃ 開閉弁
３１ ベース板
３２ 支持面
３４ａ 第１開口
３４ｂ 第２開口
３６ 案内板（案内部材）
４１ 除電器（静電除去装置）
Ｃ 空気清浄具
ＣＵ 空気清浄器
Ｆ１ 蓋体
Ｆ２ 第２の蓋体
Ｇ ガラス基板
Ｈ 凹溝
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３ 支持溝

Claims (9)

1. 有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成されているガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具であって、前記空気清浄具はボックス本体に対して装脱自在の第２の蓋体と、この第２の蓋体の外部に取り付けた空気清浄器から成り、第２の蓋体をボックス本体に装着した状態で空気清浄器を作動することにより、外部から取り入れた空気をフィルターを介して前記一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って流入させ、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り外部に流出させることを特徴とするガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
2. 前記第２の蓋体にはボックス本体に対する空気清浄器からの空気流入口と排気口が設けられ、前記空気流入口は一方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍に、前記排気口は他方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍にそれぞれ配設されている請求項１に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
3. 前記空気流入口には一方の側壁に設けた複数の支持溝に空気流が向かう案内部材が設けられている請求項２に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
4. 前記排気口には複数の支持溝の配列方向に沿って並んだ複数の一方向弁が設けられている請求項２または３に記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
5. 前記第２の蓋体のボックス本体側には除電器が取り付けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具。
6. 前記請求項１ないし５にいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前に、前記第２の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第２の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着する空気清浄具の使用方法。
7. 前記請求項１ないし５のいずれかに記載のガラス基板搬送用ボックスに用いる空気清浄具の使用方法であって、前記ボックス本体にガラス基板を収納する前及び収納した後に、前記第２の蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動し、その後第２の蓋体に代えて、蓋体をボックス本体に装着する空気清浄具の使用方法。
8. ガラス基板が収納されたガラス基板搬送用ボックスが搬送された後、ガラス基板をボックス本体から取り出す前に、蓋体に代えて第２蓋体をボックス本体に装着して空気清浄器を作動する請求項６または７に記載の空気清浄具の使用方法。
9. 前記空気清浄器の作動はクリーンルームで行う請求項６ないし８のいずれかに記載の空気清浄具の使用方法。

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