TWI382870B - 除塵裝置及除塵系統 - Google Patents

Description

除塵裝置及除塵系統

本發明係關於一種除塵裝置及除塵系統。

一般薄型顯示器等之製造中，玻璃或塑膠等之薄基板的表面，必須特別的乾淨。即，使用一種在無塵室中，由除塵頭對薄基板噴出空氣，且由於立即吸入，或將超音波等附加在該空氣，而從基板表面去除極微細粉塵之方法(例如請參照特公平7-55303號公報)。

然而，在揭示習知技術之第10圖及上述專利公報中，吹風器31係設置在無塵室32之外側33，且由空氣噴出配管34、空氣吸引配管35連接，而空氣噴出配管34途中之濾箱36係配設在吹風器31之附近(無塵室32之外側33)。

就習知之第10圖，更進一步的予以說明的話，由於通常從吹風器31噴出之空氣中都含有很多的異物，如此在如同無塵室32般的(空氣清淨度可被控制)空間係無法使用，而必須通過濾箱36內的HEPA濾器37，去除次微米層級之異物，再經由可撓性軟管34A、金屬配管34B等所構成之空氣噴出配管34，供給除塵頭38。

對第10圖中之二點鎖鏈線所示之基板39，由除塵頭38之下面噴出之乾淨空氣，其係由並設在該下面之吸引細縫所吸引，以去除附著在基板39表面之粉塵(異物)，且經由空氣吸引配管35，及吹風器31附近之另一濾器40 而流入吹風器31之吸入部。

但是，在第10圖所示之習知除塵系統(除塵配管系統圖)中，由吹風器所噴出之31如箭頭a所示的空氣，雖然藉由通過HEPA濾器37，可充分的進行淨化，然而在該圖中以粗虛線所示部位內存在的異物，除了藉由安裝後之噴出，以進行去除以外，並無其他對策方法。即，預先存在於粗虛線所示之可撓性軟管34A、金屬配管34B及除塵頭38內之異物，其有以數日~十數日之期間，藉由進行噴出以完全去除之必要。再者，每次進行可撓性軟管34A等之交換時，有進行同樣之長期間的必要。假使，在進行不充足的噴出而結束的話，將污染無塵室32之環境，且變成製品(基板39)亦被污染。

有關本發明之除塵裝置，其係在除塵頭之殻之天花板壁面開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口，而內裝HEPA濾器之濾箱一體成型在該加壓空氣流入口側；由內肋壁狀之上下間隔壁間隔形成該殻及該濾箱，在該濾箱之內部空間之下半部內設該HEPA濾器，且在該內部空間之上半部形成空氣流路部，以供從左右之二送風管部流入之加壓空氣流入，並使由該二送風管部流入該空氣流路部之加壓空氣，藉由該HEPA濾器左右均等的通過該加壓空氣流入口。

有關本發明之除塵系統，其係在除塵頭之殻之天花板壁面開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口，且將包含 內裝HEPA濾器之濾箱一體成型在該加壓空氣流入口側的除塵裝置設在無塵室之內側，且在無塵室之外側設置空氣吹風器，並將該空氣吹風器及該除塵裝置利用循環空氣配管連接；由內肋壁狀之上下間隔壁間隔形成該殻及該濾箱，在該濾箱之內部空間之下半部內設該HEPA濾器，且在該內部空間之上半部形成空氣流路部，以供從左右之二送風管部流入之加壓空氣流入，並使由該二送風管部流入該空氣流路部之加壓空氣，藉由該HEPA濾器左右均等的通過該加壓空氣流入口。

根據本發明，其係可完全省略HEPA濾器及除塵頭之間的配管，且只要除塵頭本身之安裝後噴出的除去異物即可完成，因此可明顯的縮短噴出之時間。

為讓本發明之上述及其他目的、特徵及優點能更明顯易懂，下文特舉本發明之較佳實施例，並配合所附圖式，詳細說明如下：

於第1圖中，無塵室C內配設除塵頭1，其係將薄型顯示器等之玻璃、塑膠或金屬等薄基板2表面上的粉塵等異物，利用由除塵頭1噴出及吸入之空氣的噴射流，或是再附加超音波產生離子，以進行除去洗淨。而且，在該除塵頭1之殻1A之加壓空氣流入口側，設置內裝HEPA濾器3之濾箱4，以構成(作為附加HEPA濾器之組件)除塵裝置10，且配設在該無塵室C之內側。

在無塵室C之外側，配設空氣循環驅動組件11。驅 動組件11例如係在基台12上，由空氣吹風器5、閥類6、內裝PRE濾器7之濾箱8、電控制器9、形成噴出配管之一部分之可撓性軟管13及形成吸引配管之一部分之可撓性軟管14等所構成。如此，將空氣吹風器5設在無塵室5之外側。而且，將該空氣吹風器5及除塵裝置10以循環空氣配管15連接。

更具體的，就該循環空氣配管15予以說明。在第1圖中，空氣吹風器5之噴出部16及濾箱4之二送風管部17、17係由噴出配管18連接(連通連結)。再者，除塵頭1之二返送管部19、19及空氣吹風器5之吸入部20，其係由設在中途之濾箱8之返送管部21連接(連通連結)。因此，該循環空氣配管15係由噴出配管18及返送管部21所構成。再者，噴出配管18係由前述可撓性軟管13及其以外之可撓性軟管22、23、24與金屬配管25、25、25等所構成。再者，返送管部21係由前述可撓性配管14及其以外之可撓性軟管26、27、28與金屬配管29、29、29等所構成。

再者，噴出配管18係在內裝HEPA濾器3之濾箱4附近形成分歧，且分別連通連結二送風管部17、17。再者，返送配管21係由除塵頭1之二返送管部19、19在中途形成合流。

如第2~7圖之參考例圖式所示，除塵頭1之殻1A係形成左右細長之四角箱型，且濾箱4亦形成左右細長之四角箱型。而且，殻1A及濾箱4係重疊，由連結鎖(開閉夾)上下一體的連結，且形成可相互的任意裝脫。即，將 內裝HEPA濾器3之濾箱4，可任意裝脫的裝著在除塵頭1之殻1A之加壓空氣流入口42側。將殻1A及濾箱4之(前後方向)厚度尺寸D設定為相等，且將左右長度尺寸L設定為相等。如此的，殻1A及濾箱4係重疊，且在由連結鎖30形成鎖固的狀態下，其前壁面及後壁面係分別形成同一平坦狀的垂直平面，以形成一體之組件狀的箱型。

如第4圖所示，在除塵頭1之殻1A之天花板壁面(上壁面)開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口42，而前述濾箱4可說是，可任意裝脫的裝著在除塵頭1之殻1A之加壓空氣流入口42側。再者，如第6圖所示，在濾箱4之底壁面4A開設二加壓空氣送出窗43、43，該二加壓空氣送出窗43、43係與該加壓空氣流入口42具備完全相同尺寸、形狀，或是作為大約相同尺寸、形狀而對應，且形成重疊。

再者，在底壁面4A及與殻1A之天花板壁面相抵接對應之部位，較佳設置氣密用墊片。於第2~7圖中，HEPA濾器3係佔有濾箱4之內部空間4C之下半部的形成內設，上半部則形成空氣流路部44，且使從左右之二送風管部17、17流入之加壓空氣，大約左右均等的通過HEPA濾器3(參照第4圖箭頭E)。

第4圖中，殻1A之底壁面45上，在其前後寬度方向中央位置開設噴出狹縫46，在其噴出狹縫46之前後各別開設二吸引狹縫47、47，且向箭頭E方向通過該HEPA濾器3之乾淨的加壓空氣，其係由噴出狹縫46噴出，在向箭頭K方向傳送之基板2等的被清淨物上面噴射後，立 刻由吸引狹縫47、47吸入，且在流入由二間隔壁48、48所間隔之殻1A內部的吸引室49、49後，流向第4圖之紙面垂直方向，而由第1圖及第2圖(左右端)之返送管部19、19往箭頭F方向流動。

於本發明中，「HEPA濾器」係指「可去除次微米層級之異物的超微粒子去除用濾器」，特別定義為亦包含ULPA濾器。而且，藉由HEPA濾器，例如去除0.5μm以下之異物，較佳去除0.3μm以下之異物。再者，「HEPA濾器」一詞，其係「High Efficiency Particulate Air Filter(高效率粒子空氣濾器)」之簡略表示之語詞。

如第1圖所示，在全部配管連接無塵室C內側之連接除塵裝置10，及外側之驅動組件11等之後(即已安裝後)，使空氣吹風器5旋轉驅動，直到從第4圖之噴出狹縫46噴出之異物去除為止(嚴格的說是直到所定之超微量的規定值以下為止)，有運轉進行噴出之必要，然而於本發明中，只要將第4圖之粗虛線所示之除塵頭1內存在的異物，藉由該噴出而進行去除即可。因此，其與第10圖所示粗虛線之極為寬廣範圍內存在之異物的噴出去除相較之下，只要數分之一的時間即可完成。例如，在第10圖之習知例示中，其噴出需要數日~十數日之期間，而第1圖所示之本發明的實施形態中，只要一天左右即可完成。

再者，如第2~7圖所示，由於可藉由連結鎖30之操作，而使內裝HEPA濾器3之濾箱4由除塵頭1簡單的脫離，因此將該濾箱4往無塵室C之外側搬運，而進行HEPA濾器3之洗淨的話，則可重複使用多次。特別，藉 由拆下維修蓋50，取出內部的HEPA濾器3，則可容易的進行洗淨。如此，於本發明中，亦可容易且迅速的進行維修，且在極短期間之噴出，即可容易的將上述內在之異物去除，而噴出與無塵室C之空氣的洗淨度相同程度的洗淨空氣。

接著，就本發明之另一實施形態予以說明。

如第8圖及第9圖之具體圖式所示，殻1A及濾箱4係一體(由金屬等)成型。殻1A及濾箱4，將其(前後方向之)厚度尺寸D設定為相等，且將左右長度尺寸設定為相等。如此的，殻1A及濾箱4，其前壁面及後壁面係形成垂直平面之箱型。再者，除塵頭1之殻1A及濾箱4，其可任意變更設計，且亦可任意的將厚度尺寸D設定為相互不同。惟，在第8、9圖中，使內裝HEPA濾器3之濾箱4及除塵頭1一體成型係屬最重要之構成。

如第9圖所示，在除塵頭1之殻1A之天花板壁面(上壁面)開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口42，而濾箱4一體成型在除塵頭1之殻1A之二加壓空氣流入口42、42側。殻1A及濾箱4係由上下間隔壁41所間隔形成。HEPA濾器3係佔有濾箱4之內部空間4C之下半部的形成內設，上半部則形成空氣流路部44，且使從左右之二送風管部17、17流入之加壓空氣，大約左右均等的通過HEPA濾器3(參照第4圖箭頭E)。再者，其他之構成，則與上述實施形態之構成相同。

再者，本發明中亦可任意的將除塵頭1之噴出狹縫46與吸引狹縫47之位置替換，以形成從第4(9)圖之底壁 面45的中央吸引，且從前後各別的噴出空氣之構成；再者，亦可任意的附設超音波產生器，或附設離子產生器，可任意的變更除塵頭1之形狀、功能、構造，進行各種之設計。但是，亦可形成在內裝HEPA濾器3之濾箱4及除塵頭1之間，省略了金屬配管或可撓性配管(可撓性軟管)之重要的構成。再者，如第2~4圖所示，形成濾箱4及除塵頭1之疊層構造(一體組件)的話，則可具備小型化，處理亦可更容易，又可減低空氣之通過阻力，且裝脫(分解)亦更容易之優點。

如上所述，有關本發明之除塵裝置，由於其係形成在除塵頭1之殻1A內之加壓空氣流入口42側，包含內裝HEPA濾器3之濾箱4的構成，因此即使利用長的循環空氣配管15連接空氣吹風器5，其藉由安裝後之噴出將內在配管等之異物去除的期間，與第10圖所示之習知例示相較之下，可明顯的縮短。再者，進行循環空氣配管15之軟管等的交換之後，則無進行噴出去除內在配管之異物的必要，可縮短噴出之時間。

再者，由於其係形成將內裝HEPA濾器3之濾箱4，可任意裝脫的裝著在除塵頭1之殻1A內之加壓空氣流入口42側的構成，因此即使利用長的循環空氣配管15連接空氣吹風器5，其藉由安裝後之噴出將內在配管等之異物去除的期間，與第10圖所示之習知例示相較下，可明顯的縮短。再者，進行循環空氣配管15之軟管等的交換之後，則無進行噴出去除內在配管之異物的必要，可縮短噴出之時間。再者，由於可任意的裝脫濾箱4，因此為了洗 淨內部之HEPA濾器3，只要將濾箱4從無塵室C取出，即可容易且確實的進行洗淨，且洗淨後可迅速的再使用。

再者，由於其殻1A及濾箱4係一體成型，因此可充分的確保除塵頭1之強度及剛性，可獲得輕量化及構成之簡單化。

再者，有關本發明之除塵系統，由於其係形成在除塵頭1之殻1A內之加壓空氣流入口42側，將包含內裝HEPA濾器3之濾箱4的除塵裝置10設在無塵室C之內側，且在無塵室C之外側設置空氣吹風器5，並將該空氣吹風器5及該除塵裝置10利用循環空氣配管15連接的構成，因此只要預先洗淨循環空氣配管15之各部件，則在其後續之安裝後，即使無法去除內在該處之異物，亦可自動的在HEPA濾器3中去除，剩下的則是只要由除塵頭1本身之噴出進行內在異物之去除，可顯著的縮短噴出之時間。再者，在進行構成循環空氣配管15之軟管等部件的交換之後，則無進行噴出去除內在配管之異物的必要，可大幅的縮短噴出之時間。

再者，由於其係形成在除塵頭1之殻1A內之加壓空氣流入口42側，將內裝HEPA濾器3之濾箱4可任意裝脫的裝著在除塵裝置10，再將該除塵裝置10設在無塵室C之內側，且在無塵室C之外側設置空氣吹風器5，並將該空氣吹風器5及該除塵裝置10利用循環空氣配管連接，因此只要預先洗淨循環空氣配管15之各部件，則在其後續之安裝後，即使無法去除內在該處之異物，亦可自動的在HEPA濾器3中去除，剩下的則是只要由除塵頭1本身 之噴出進行內在異物之去除，可顯著的縮短噴出之時間。再者，在進行構成循環空氣配管15之軟管等部件的交換之後，則無進行噴出去除內在配管之異物的必要，可大幅的縮短噴出之時間。

再者，由於其殻1A及濾箱4係一體成型，因此可充分的確保除塵頭1之強度及剛性，可獲得輕量化及構成之簡單化。

雖然本發明已利用上述較佳實施例揭示，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者在不脫離本發明之精神和範圍之內，相對上述實施例進行各種更動與修改仍屬本發明所保護之技術範疇，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

〔本發明〕

1‧‧‧除塵頭

1A‧‧‧殻

2‧‧‧基板

3‧‧‧HEPA濾器

4‧‧‧濾箱

4A‧‧‧底壁面

4C‧‧‧內部空間

5‧‧‧空氣吹風器

6‧‧‧閥類

7‧‧‧PRE濾器

8‧‧‧濾箱

9‧‧‧電控制器

10‧‧‧除塵裝置

11‧‧‧驅動組件

12‧‧‧基台

13‧‧‧可撓性軟管

14‧‧‧可撓性軟管

15‧‧‧循環空氣配管

16‧‧‧噴出部

17‧‧‧送風管部

18‧‧‧噴出配管

19‧‧‧返送管部

20‧‧‧吸入部

21‧‧‧返送管部

22‧‧‧可撓性軟管

23‧‧‧可撓性軟管

24‧‧‧可撓性軟管

25‧‧‧金屬配管

26‧‧‧可撓性軟管

27‧‧‧可撓性軟管

28‧‧‧可撓性軟管

29‧‧‧金屬配管

30‧‧‧連結鎖

41‧‧‧間隔壁

42‧‧‧加壓空氣流入口

43‧‧‧加壓空氣送出窗

44‧‧‧空氣流路部

45‧‧‧底壁面

46‧‧‧噴出狹縫

47‧‧‧吸引狹縫

48‧‧‧間隔壁

49‧‧‧吸引室

50‧‧‧維修蓋

C‧‧‧無塵室

D‧‧‧厚度尺寸

E‧‧‧箭頭

F‧‧‧箭頭

K‧‧‧箭頭

L‧‧‧長度尺寸

〔習知〕

31‧‧‧吹風器

32‧‧‧無塵室

33‧‧‧外側

34‧‧‧空氣噴出配管

34A‧‧‧可撓性軟管

34B‧‧‧金屬配管

35‧‧‧空氣吸引配管

36‧‧‧濾箱

37‧‧‧HEPA濾器

38‧‧‧除塵頭

39‧‧‧基板

40‧‧‧濾器

a‧‧‧箭頭

第1圖：本發明之除塵系統之實施形態之構成說明圖。

第2圖：本發明之除塵裝置之實施形態之正視圖。

第3圖：本發明之除塵裝置之實施形態之上視圖。

第4圖：第3圖之G-G線剖面圖。

第5圖：本發明之除塵裝置之實施形態之局部正視圖。

第6圖：本發明之除塵裝置之實施形態之局部底視圖。

第7圖：第5圖之J-J線剖面圖。

第8圖：本發明之除塵裝置之另一實施形態之局部正視圖。

第9圖：第8圖之N-N線剖面圖。

第10圖：習知例示之配管系統圖。

1‧‧‧除塵頭

1A‧‧‧殻

2‧‧‧基板

3‧‧‧HEPA濾器

4‧‧‧濾箱

4C‧‧‧內部空間

10‧‧‧除塵裝置

42‧‧‧加壓空氣流入口

43‧‧‧加壓空氣送出窗

44‧‧‧空氣流路部

45‧‧‧底壁面

46‧‧‧噴出狹縫

47‧‧‧吸引狹縫

48‧‧‧間隔壁

49‧‧‧吸引室

50‧‧‧維修蓋

D‧‧‧厚度尺寸

E‧‧‧箭頭

K‧‧‧箭頭

Claims (2)

1. 一種除塵裝置，其係在除塵頭(1)之殻(1A)之天花板壁面開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口(42)，而內裝HEPA濾器(3)之濾箱(4)一體成型在該加壓空氣流入口(42)側；由內肋壁狀之上下間隔壁(41)間隔形成該殻(1A)及該濾箱(4)，在該濾箱(4)之內部空間(4C)之下半部內設該HEPA濾器(3)，且在該內部空間(4C)之上半部形成空氣流路部(44)，以供從左右之二送風管部(17)流入之加壓空氣流入，並使由該二送風管部(17)流入該空氣流路部(44)之加壓空氣，藉由該HEPA濾器(3)左右均等的通過該加壓空氣流入口(42)。
2. 一種除塵系統，其係在除塵頭(1)之殻(1A)之天花板壁面開設左右細長矩形狀之加壓空氣流入口(42)，且將包含內裝HEPA濾器(3)之濾箱(4)一體成型在該加壓空氣流入口(42)側的除塵裝置(10)設在無塵室(C)之內側，且在無塵室(C)之外側設置空氣吹風器(5)，並將該空氣吹風器(5)及該除塵裝置(10)利用循環空氣配管(15)連接；由內肋壁狀之上下間隔壁(41)間隔形成該殻(1A)及該濾箱(4)，在該濾箱(4)之內部空間(4C)之下半部內設該HEPA濾器(3)，且在該內部空間(4C)之上半部形成空氣流路部(44)，以供從左右之二送風管部(17)流入之加壓空氣流入，並使由該二送風管部(17)流入該空氣流路部(44)之加壓空氣，藉由該HEPA濾器(3)左右均等的通過該加壓空氣流入口(42)。