JP2007305366A - イオナイザ、イオナイザの取り付け方法およびクリーンルームシステム - Google Patents

イオナイザ、イオナイザの取り付け方法およびクリーンルームシステム Download PDF

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Abstract

【課題】配線や取り付けの工事にかかる手間やコストを低減することを主たる課題とする。
【解決手段】複数の中空筐体枠40−46により中央部に開口部48が形成されてその全体がエアクリーンユニット18の設置が可能でかつエアクリーンユニット18のエア吹出口30を取り囲む枠形状をなし、上記中空筐体枠40−46は、その片面がエアクリーンユニット18のエア吹出口30周囲の面と密着することが可能な平面をなし、他方の片面がクリーンルーム仕切板14の開口周囲の面と密着することが可能な平面をなして、エアクリーンユニット18とクリーンルーム仕切板14とで挟み込み可能な形状を備え、対向する2つの中空筐体枠40,42の枠幅が狭く、別の対向する2つの中空筐体枠44,46の枠高さが高い構成。
【選択図】図4

Description

本発明は、電極の放電によりクリーンルーム内のエア(空気)をイオン化させ、このイオンにより被処理物表面に帯電している静電気を中和させるイオナイザ(除電器)、エアクリーンユニット(空気清浄機)のエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法、ならびに、これらイオナイザとエアクリーンユニットとを用いてクリーンルーム内領域をクリーンにするクリーンルームシステムに関する。
半導体や液晶のデバイス等の製造においては、製造上の歩留まり向上などから、それらデバイス周辺のエア中から塵埃を無くしてクリーン(清浄)なエアにすることが要求される。そのため、これらデバイスの製造においては、一般的に、クリーンなエア環境に制御されたクリーンルームやクリーンブース等(これらを総称して単にクリーンルームという)内で行われる。このクリーンルームはそのクリーンルーム内に局所的にさらにエアをよりクリーンにするべく設置された局所クリーンルームも含む概念である。クリーンルームはそのルーム天板の上側に送風ファンと塵埃除去等のフィルタとを含むエアクリーンユニットを設置し、このエアクリーンユニットのエア吹出口からエアを天板に設けた開口からクリーンルーム内に導入するようにしている。クリーンルーム内に導入したエアはクリーンルーム外に導出され、再び、エアクリーンユニットでクリーンにされてクリーンルーム内に還流させることが一般的に行われている。
このようなクリーンルーム内において、半導体デバイスや液晶デバイス等が静電気を帯びると、この静電気によりデバイスに塵埃を含む各種パーティクルが付着し、製造したデバイスの品質の低下等の不具合が発生する。しかしながら、この静電気で付着した塵埃等はエアの流れだけでは除去しにくく、また、半導体や液晶のデバイス内の例えばIC等が静電破壊するおそれがある。そのため、従来から、エアクリーンユニットに加えて、上記静電気を除去(除電)するために天板開口にイオナイザを設置することが行われている(特許文献1)。
イオナイザは、周知されるごとく、放電針のコロナ放電により発生したイオンにより、デバイス表面に帯電している静電気の電荷をそれとは逆極性のイオンで中和させることにより、当該静電気をデバイス表面から除去するものである。
ところで、従来では、エアクリーンユニットはクリーンルームを内外に仕切るクリーンルーム仕切板に対してクリーンルーム外領域に設置され、イオナイザはクリーンルーム内領域に設置されているから、エアクリーンユニットとイオナイザそれぞれの取り付け工事や配線工事を別々に行う必要があり、その工事に手間やコストが嵩む。
そこで、エアクリーンユニットにイオナイザを組み込む構成として、エアクリーンユニットの取り付け工事のみでイオナイザの別途の取り付け工事や配線工事を不要化することが考えられるが、設置位置によってエアクリーンユニットの仕様を変更することが要求された場合、イオナイザの組み込む位置によっては、エアクリーンユニットの設計仕様を大幅に変更することが余儀なくされるなど、設計や製造上のコストが嵩む。
また、単に、エアクリーンユニットとイオナイザとを別体構成にして共にクリーンルーム外領域に設置する場合では、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアを漏れなく高気密でかつ層流に乱れを起こさずにクリーンルーム内領域に供給することが困難である。
なお、ファンを一体化構成したイオナイザが提案されている(特許文献2)。この特許文献2には、ファン筐体に正負両電極を円周方向に離して設け、両電極それぞれに設けた放電針を通風路内へ突出させた構成としたイオナイザが開示されている。しかしながら、この特許文献2にはフィルタ等を備えたエアクリーンユニットは開示されておらず、エアクリーンユニットとイオナイザとを別体としてクリーンルーム外領域に配置する場合の上記課題を解決する技術は開示されていない。
特開平9−73993号公報 特公平6−56797号公報
したがって、本発明により解決すべき課題は、エアクリーンユニットとイオナイザとの配線等の工事を別々に行う必要が無く、その配線等の工事の手間やコストを低減可能となし、かつ、エアクリーンユニットとイオナイザとが別体構成でありながら、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアを高気密でかつ層流の乱れも少なく抑制してクリーンルーム内領域に供給可能とすることである。
(1)本発明第1によるイオナイザは、エアクリーンユニットのエア吹出口前に取り付けるイオナイザであって、複数の連結された筐体枠により中央部に開口部が形成されてその全体がエアクリーンユニットの設置が可能でかつエアクリーンユニットのエア吹出口を取り囲む枠形状をなす筐体の構造を有し、上記筐体は、その上面がエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなし、その下面がクリーンルーム仕切板の開口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状になっていることを特徴とするものである。
上記複数の筐体枠は3つ以上であり、必ずしも実施の形態の4つに限定されない。
クリーンルーム仕切板は、クリーンルーム内の局所クリーンルームを配置する場合、局所クリーンルームを当該局所クリーンルーム内と外とに仕切る板であり、局所クリーンルームが無く、通常のクリーンルームでは当該クリーンルームを内外に仕切る板である。この板は、板状に限定されず、シート状、フィルム状、幕状、等も含む。また、クリーンルーム仕切板の材料には限定されない。
上記イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状には、クリーンルーム仕切板の上面にイオナイザの下面を載置し、イオナイザの上面にエアクリーンユニットを載置した挟み込みの形態に限定されず、イオナイザの側面をクリーンルーム仕切板の開口の内面に係止して上記挟み込みを可能にした形状も含む。この場合、イオナイザの側面に段差を付け、このイオナイザの側面段差部をクリーンルーム仕切板の開口縁に係止する構造も含む。
枠幅が狭い筐体枠は、少なくとも1つであればよく、好ましくは対向する一対の筐体枠の枠幅が共に狭くなっていることである。
本発明第1によると、イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことが可能な形状としたから、エアクリーンユニットとイオナイザとを共にクリーンルーム外領域に設置し、それらの取り付けや配線工事を別々に行う必要が無く、その配線工事の手間とコストとを低減することができる。
また、本発明第1によると、イオナイザの筐体の上面をエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面とし、該筐体の下面をクリーンルーム仕切板の面と直接または間接に密着することが可能な平面としたから、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込んだ場合、クリーンルーム仕切板、イオナイザ、エアクリーンユニットの三者間で上記エア吹出口からのエアを気密性高くクリーンルーム内領域に供給することができる。このため、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアの漏れや、外部から塵埃等のパーティクルの混入を抑制することができるようになる。
また、本発明第1によると、エアクリーンユニットのエア吹出口がイオナイザの筐体枠で取り囲まれているので、そのエア吹出口から吹き出されるエアの層流を乱すものが、当該筐体枠の内側面から当該イオナイザの開口に突出する放電針やワイヤ状のイオンバランスセンサのみとなり、エア吹出口から吹き出されるエアの層流が安定化する。
また、本発明第1によると、上記複数の筐体枠のうち、少なくとも1つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっているので、このような枠幅形態の筐体枠を備えたイオナイザを用いると、クリーンルーム仕切板上においてイオナイザをエアクリーンユニットと共に、より高い配置密度で隣接配置することができるようになる。
(2)本発明第1の好適な一態様は、上記複数の筐体枠のうち、少なくとも1つの筐体枠の内側面から放電針が上記開口に突出し、また、少なくとも1つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることである。
(3)本発明第1の好適な一態様は、上記複数の筐体枠は、互いに平行して対向する2つの筐体枠と他の複数の筐体枠により一体化され、上記他の複数の筐体枠にのみ当該イオナイザを動作させるための回路モジュールが配置され、上記の互いに平行して対向する2つの筐体枠の枠幅が、上記の回路モジュールが配置されている他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることである。
上記一体化された筐体枠の形状には、矩形形状を含む。
回路モジュールは、当該イオナイザを動作させるために必要な回路を構成する電子部品を集めて配置したものであり、回路基板もしくはこれと等価のものを含む。放電針に高電圧を供給するための高電圧電源回路を含む。
上記互いに平行して対向する2つの筐体枠は、回路モジュールを含まないが、回路モジュールが複数、異なる他の筐体枠に配置される場合における複数の回路モジュールを接続する電線や、回路モジュールと放電針との間を接続する電線は含んでもよい。
(4)本発明第1の好適な一態様は、上記筐体枠は、4つの中空筐体枠からなり、互いに矩形枠状に一体化され、内部が連通していることである。
(5)本発明第1の好適な一態様は、上記筐体には、当該筐体の上面または下面に垂直な方向にねじを挿通することができるねじ穴が形成されていることである。これにより、このイオナイザの筐体のねじ穴を、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットそれぞれのねじ穴に垂直方向通しで合わせることが可能となり、ねじでこれらを一体に接続固定する作業を容易に行うことができるようになる。
(6)本発明第1の好適な一態様は、上記筐体が、その筐体枠内部に当該イオナイザの回路部品が収納されていることである。イオナイザをその回路部品を含めてコンパクトに組み立てることができるようになる。
(7)本発明第1の好適な一態様は、上記筐体の側面に、エアクリーンユニットからの電源/入出力ケーブルが接続することができるコネクタが設けられていることである。この態様では、エアクリーンユニットとイオナイザとを簡単に結線することができる。
(8)本発明第1の好適な一態様は、上記筐体の上面または下面にシール材が設けられていることである。クリーンルーム仕切板とイオナイザとエアクリーンユニットとを高気密に組み立てることができるようになる。
(9)本発明第1の好適な一態様は、上記(4)の複数の中空筐体枠において、2つの対向する中空筐体枠の互いの内側面間に複数のワイヤ状のイオンバランスセンサが渡され、別の2つの対向する中空筐体枠それぞれの内側面に放電針が上記開口部に突出するように配設され、少なくともいずれか2つの対向する中空筐体枠は、内周側と外周側とが外周側が高くなる段差形状となって断面L形をなして、互いの対向する内側面間でエアクリーンユニットを挟み付け保持することができるようになっていることである。
この態様では、エアクリーンユニットをイオナイザ上に容易に位置決めして組み立てることができるようになる。
(10)本発明第2のイオナイザの取り付け方法は、エアクリーンユニットのエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法において、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットとの間に上記イオナイザを挟み付けて当該イオナイザをクリーンルーム仕切板上に取り付けることを特徴とするものである。
(11)本発明第2の好適な一態様は、上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口周囲の面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態になっていることである。
(12)本発明第2の好適な一態様は、上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口内周面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態になっていることである。
(13)本発明第3のクリーンルームシステムは、エアクリーンユニットのエア吹出口の前に請求項1または2に記載のイオナイザを配置したクリーンルームシステムにおいて、 クリーンルーム仕切板に、エアクリーンユニットが設置されている少なくとも2つのイオナイザを互いに平行して対向する枠幅が狭い筐体枠を向かい合わせた状態で併設したことを特徴とするものである。
本発明によれば、配線や取り付けの工事にかかる手間やコストを低減し、また、エアクリーンユニットの設計仕様の変更にも容易に対処可能であり、また、クリーンルーム外領域に共に別体であるイオナイザとエアクリーンユニットとを設置する設置形態において、クリーンエアの漏れを確実に抑制することができる。
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係るイオナイザ、エアクリーンユニット、およびクリーンルーム設備を説明する。図1はクリーンルーム設備の概略化した構成を示す図、図2は図1のクリーンルーム仕切板上に重ねて設置されたイオナイザとエアクリーンユニットとを拡大して示す正面図、図3は図2を斜め上側から見た斜視図、図4は図3のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図、図5はイオナイザとエアクリーンユニットとを重ねた状態で斜め下側から見た斜視図、図6は図5のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図、図7はイオナイザの中空筐体枠の上半分を取り外して当該中空筐体枠内部における回路部品の収納状態を示す平面図、図8はイオナイザの簡略化して示す回路図である。
まず、図1を参照して、このクリーンルーム設備においては、クリーンルーム2内に局所クリーンルーム4が設置されている。クリーンルーム2は、天井6にファンと高性能フィルタとからなるエアクリーンユニット8を設置し、穴あき床板10を設置し、エア調和装置12によって空調エアを天井6の裏側から供給し、クリーンルーム2内に所要のクリーン空間(清浄空間)を形成するようになっている。局所クリーンルーム4は、周囲をクリーンルーム仕切板14で囲まれ、上部のクリーンルーム仕切板14上(クリーンルーム外領域)にイオナイザ16と局所用のエアクリーンユニット18とを重ねて設置し、このエアクリーンユニット18で局所クリーンルーム4内(クリーンルーム内領域)にさらにクリーンなエアを供給して、局所クリーンルーム4内に配置した図示略の半導体ウエハや液晶デバイス等の被処理物に所要の処理を施すことができるようになっている。
イオナイザ16は局所クリーンルーム4のクリーンルーム仕切板14上に搭載され、このイオナイザ16の上部にエアクリーンユニット18が搭載されている。この搭載により、イオナイザ16はクリーンルーム仕切板14とエアクリーンユニット18とで挟み込まれた形態になっている。
図2以降を参照して、エアクリーンユニット18は、下部筐体20と上部筐体22とにより方形箱状に構成され、上部筐体22は、その上面側にエア吸込口24を備え、また、その側面にACアダプタコネクタ26、イオナイザ接続コネクタ28等を備えている。下部筐体20は、その下面に網状のエア吹出口30を備える。
なお、イオナイザ16は、その側面にエアクリーンユニット18から電源が供給されない場合に用いるACアダプタコネクタ32、グランド端子34、エアクリーンユニット接続コネクタ36を備える。実施の形態で示す図面ではエアクリーンユニット18のイオナイザ接続コネクタ28とイオナイザ16のエアクリーンユニット接続コネクタ36とが電源/信号入出力ケーブル38で接続されていて、エアクリーンユニット18のACアダプタコネクタ26に電源が供給され、エアクリーンユニット18からイオナイザ16に電源が供給されるようになっている。エアクリーンユニット18は、その内部における上記エア吸込口24とエア吹出口30との間に、図示略の除塵フィルタ、HEPAフィルタ等の各種フィルタと、モータで回転駆動されるファンとを備える。
イオナイザ16は、矩形枠状の中空筐体構造を有する。この中空筐体構造は、平行に対向する一対の第1、第2中空筐体枠40,42と、これらと直交し互いに平行に対向する一対の第3、第4中空筐体枠44,46と、で矩形枠状に構成されている。これら4つの中空筐体枠40−46で囲まれた内部に矩形状の開口部48が形成されている。
第1、第2中空筐体枠40,42の互いの内側面間には2本のワイヤ状のイオンバランスセンサ48a,48bが渡されている。第3、第4中空筐体枠44,46それぞれの内側面には放電針50a−50dが上記開口部48に突出するように配設されている。第1、第2中空筐体枠40,42はその断面が矩形状であり、枠幅が狭くなっている。第3、第4中空筐体枠44,46は、内周側と外周側とが外周側が高くなる段差形状となって断面がL形をなしている。第1、第2中空筐体枠40,42の上面40a,42aと、第3、第4中空筐体枠44,46の内周側の上面44a,46aとでエアクリーンユニット18下面を設置する枠形状の設置面が構成されている。この設置面40a,42a,44a,46aはエアクリーンユニット18の下面に密着することができる平面形状になっている。第1、第2中空筐体枠40,42の下面40b,42bと、第3、第4中空筐体枠44,46の下面44b,46bとでクリーンルーム仕切板14上面にイオナイザ16を設置するための枠形状の設置面40b,42b,44b,46bが構成されている。この設置面はクリーンルーム仕切板14上面に密着することができる平面形状になっている。これら両設置面には、図示略のクッション材を設けることが好ましい。このクッション材はゴム等の弾性材や、両面テープ等を用いることができる。
エアクリーンユニット18は、第1、第2中空筐体枠40,42の上面と第3、第4中空筐体枠44,46の内周側の上面とに設置されるとともに、第3、第4中空筐体枠44,46の外周側の内側面44c,46c間で挟みこまれて位置決めされる。また、第1ないし第4の中空筐体枠40−46の内部にはイオナイザ16の回路部品52a,52b,52cとこれらの配線(図示略)が実装される。
イオナイザ16の回路部品52a,52b,52cには電源部、高電圧発生制御部と、プラス高電圧発生部と、マイナス高電圧発生部等を構成する回路部品である。イオナイザ16の回路は例えば図8に示す通りである。イオナイザ16は、クリーンルーム仕切板14に垂直な方向に貫通したねじ穴54が複数箇所に形成されている。このエアクリーンユニット18にもこのねじ穴54に対応したねじ穴55が形成されている。このねじ穴55には増径や等径のタップ加工が施されている。
イオナイザ16は、電源回路54,高電圧発生制御回路56、イオンバランスセンサ58、プラス高電圧発生回路60、マイナス高電圧発生回路62、プラスの放電針64(50a,50c)、マイナスの放電針66(50b,50d)とを含む回路を備える。この回路の動作は周知であるから、その詳細は略する。
以上の実施の形態のイオナイザ16においては、4つの中空筐体枠40−46により中央部に開口部48が形成されてその全体がエアクリーンユニット18の設置が可能でかつエアクリーンユニット18のエア吹出口30を取り囲む枠形状をなす筐体を有している。そして、上記筐体を構成する中空筐体枠40−46は、その上面40a−46a側がエアクリーンユニット18のエア吹出口30周囲の面と直接またはクッション材を介して間接に密着することが可能な平面をなし、下面40b−46bがクリーンルーム仕切板14の開口14a周囲の面と直接またはクッション材を介して間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザ16をエアクリーンユニット18とクリーンルーム仕切板14とで挟み込みことを可能にした形状になっており、かつ、上記中空筐体枠40−46のうち、対向する2つ一対の中空筐体枠40,42の枠幅が他の中空筐体枠44,46の枠幅よりも狭くなっている。
以上の構成を有する実施の形態のイオナイザ16によれば、イオナイザ16をエアクリーンユニット18とクリーンルーム仕切板14とで挟み込みことが可能な形状としたから、エアクリーンユニット18が設計変更されても、上記挟み込みによりエアクリーンユニット18とイオナイザ16とを共にクリーンルーム外領域に設置することができ、それらの取り付けや配線工事を別々に行う必要が無く、その配線工事の手間とコストとを低減することができる。また、イオナイザ16の中空筐体枠40−46の上面40a−46aをエアクリーンユニット18のエア吹出口30周囲の面と密着することが可能な平面とし、下面40b−46bをクリーンルーム仕切板14の面と密着することが可能な平面としたから、イオナイザ16をエアクリーンユニット18とクリーンルーム仕切板14とで挟み込んだ場合、クリーンルーム仕切板14、イオナイザ16、エアクリーンユニット18の三者間では気密性を高くすることができる。さらに、上記中空筐体枠40−46のうち、対向する2つの中空筐体枠40,42の枠幅を他の中空筐体枠44,46の枠幅よりも狭くしたので、図9で示すように、クリーンルーム仕切板14上において開口14a,14bを中空筐体枠40,42の合計枠幅程度の形成間隔で並設し、この並設した開口14a,14bの周囲にイオナイザ16とエアクリーンユニット18とを高い配置密度で隣接配置することができるようになる。
なお、図10で示すようにイオナイザ16はその中空筐体枠40−46の下面側に内周側と外周側とで段差形状にして内周側40d−46d(44d,46dのみ図示)をクリーンルーム仕切板14の開口14aの内周面に係止した構成とすることができる。
また、図11で示すようにイオナイザ16は中空筐体枠40−46全体の内側面40c−46cでエアクリーンユニット18の側面を収納してそのエア吹出口30を取り囲む形状とすることができる。
さらに、図12で示すように、イオナイザ16とエアクリーンユニット18はクリーンルーム仕切板14の斜面14bの開口14cに設置することができる。
図1は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム設備の概略化した構成を示す図である。 図2は図1のクリーンルーム仕切板上に重ねて設置されたイオナイザとエアクリーンユニットとを拡大して示す正面図である。 図3は図2を斜め上側から見た斜視図である。 図4は図3のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図である。 図5はイオナイザとエアクリーンユニットとを重ねた状態で斜め下側から見た斜視図である。 図6は図5のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図である。 図7はイオナイザの中空筐体枠の上半分を取り外して該中空筐体枠内における回路部品の収納状態を示す平面図である。 図8はイオナイザの簡略化して示す回路図である。 図9(a)はクリーンルーム仕切板の部分斜視図、図9(b)は図9(a)のクリーンルーム仕切板の開口に設置したイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す斜視図、図9(c)は図9(a)のクリーンルーム仕切板の開口に設置したイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す正面図である。 図10は他の実施の形態に係るイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す断面図である。 図11はさらに他の実施の形態に係るイオナイザの断面図である。 図12はさらに他の実施の形態に係るクリーンルーム仕切板とそれに取り付けるイオナイザとエアクリーンユニットとの設置を示す断面図である。
符号の説明
2 クリーンルーム
4 局所クリーンルーム
14 クリーンルーム仕切板
16 イオナイザ
18 エアクリーンユニット
40−46 イオナイザの中空筐体枠
40a−46a エアクリーンユニットが設置される面
40b−46b クリーンルーム仕切板への設置面

Claims (13)

  1. エアクリーンユニットのエア吹出口前に取り付けるイオナイザであって、
    複数の連結された筐体枠により中央部に開口部が形成されてその全体がエアクリーンユニットの設置が可能でかつエアクリーンユニットのエア吹出口を取り囲む枠形状をなす筐体の構造を有し、
    上記筐体は、その上面がエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなし、その下面がクリーンルーム仕切板の開口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状になっていることを特徴とするイオナイザ。
  2. 上記複数の筐体枠のうち、少なくとも1つの筐体枠の内側面から放電針が上記開口に突出し、また、少なくとも1つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっている、ことを特徴とする請求項1に記載のイオナイザ。
  3. 上記複数の筐体枠は、互いに平行して対向する2つの筐体枠と他の複数の筐体枠により一体化され、上記他の複数の筐体枠にのみ当該イオナイザを動作させるための回路モジュールが配置され、上記の互いに平行して対向する2つの筐体枠の枠幅が、上記の回路モジュールが配置されている他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることを特徴とする請求項1に記載のイオナイザ。
  4. 上記筐体枠は、4つの中空筐体枠からなり、互いに矩形枠状に一体化され、内部が連通している、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のイオナイザ。
  5. 上記筐体には、当該筐体の上面または下面に垂直な方向にねじを挿通することができるねじ穴が形成されている、ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のイオナイザ。
  6. 上記筐体は、その筐体枠内部に当該イオナイザの回路部品が収納されている、ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のイオナイザ。
  7. 上記筐体は、その側面に、エアクリーンユニットからの電源/入出力ケーブルが接続することができるコネクタを備える、ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のイオナイザ。
  8. 上記筐体はその上面および下面にシール材が設けられている、ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のイオナイザ。
  9. 上記複数の中空筐体枠において、
    2つの対向する中空筐体枠の互いの内側面間に複数のワイヤ状のイオンバランスセンサが渡され、
    別の2つの対向する中空筐体枠それぞれの内側面に放電針が上記開口に突出するように配設され、
    少なくともいずれか2つの対向する中空筐体枠は、内周側よりも外周側が高くなる段差形状となって断面L形をなして、互いの対向する内側面間でエアクリーンユニットを挟み付け保持することができるようになっている、
    ことを特徴とする請求項4に記載のイオナイザ。
  10. エアクリーンユニットのエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法において、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットとの間で請求項1ないし7のいずれかに記載のイオナイザを挟み付けて当該イオナイザをクリーンルーム仕切板上に取り付けることを特徴とするイオナイザの取り付け方法。
  11. 上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口周囲の面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態である、ことを特徴とする請求項10に記載のイオナイザの取り付け方法。
  12. 上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口内周面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態である、ことを特徴とする請求項10に記載のイオナイザの取り付け方法。
  13. エアクリーンユニットのエア吹出口の前に請求項1または2に記載のイオナイザを配置したクリーンルームシステムにおいて、
    クリーンルーム仕切板に、エアクリーンユニットが設置されている少なくとも2つのイオナイザを互いに平行して対向する枠幅が狭い筐体枠を向かい合わせた状態で併設した、ことを特徴とするクリーンルームシステム。
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