JP2008288008A - ファンフィルタユニット一体型除電器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】除電器9はファンフィルタユニット12に一体化されているため、クリーンルームなどに設置する際、ファンフィルタユニット12を設置するのみで良く、後から別部材にて除電器を設置することが不要となり、小型化省スペース化することができ、また、除電器9はファンフィルタユニット12を製造する段階でシーリングにより封止を施してエアーリークのないことを確認しており、クリーンルーム設置現場でのシーリングによる封止作業やエアーリークを確認するためのスキャンテストなど不要にすることができ省施工化することができる効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の第1の実施の形態を図1を用いて説明する。
本発明の第2の実施の形態を図2を用いて説明する。なお、実施の形態1の構成と同一部分には同一番号を付し、その詳細な説明は省略する。
2 モータ
3 ファンユニット
4 チャンバ
5 フィルタ
5a フィルタ
5b フィルタ
6 吸込口
7 空気
8 清浄空気
9 除電器
10 シリコン
11 運転制御電源
12 ファンフィルタユニット
13 針状電極
14a 最大プリーツ部
14b 最小プリーツ部
Claims (8)
- 箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは複数個に分割され、分割されたフィルタ間に除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
- 箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは前記チャンバに対して幅方向に隙間を設けてあり、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
- 箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタはプリーツ状に折り加工されており、前記プリーツは前記フィルタ厚みに対して最大厚みで折り加工されている部分と厚み方向に対して隙間を設けて折り加工されている部分をそれぞれ複数個有し、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
- 前記除電器は前記フィルタ下面と略同一面に配置されることを特徴とする請求1乃至3いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
- 前記フィルタの導電性部材はアースされていることを特徴とする請求1乃至4いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
- 前記ファンユニットと前記除電器の電源制御部を共用化することを特徴とする請求1乃至5いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
- 前記ファンユニットの出力により前記除電器のイオン放出量を自動的に制御することを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
- 前記除電器のイオン放出量により前記ファンユニットの出力を自動的に制御することを特徴とする請求項1乃至7いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
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- 2007-05-17 JP JP2007131191A patent/JP4894617B2/ja active Active
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