JP4715626B2 - イオナイザ、イオナイザの取り付け方法およびクリーンルームシステム - Google Patents

Description

本発明は、電極の放電によりクリーンルーム内のエア（空気）をイオン化させ、このイオンにより被処理物表面に帯電している静電気を中和させるイオナイザ（除電器）、エアクリーンユニット（空気清浄機）のエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法、ならびに、これらイオナイザとエアクリーンユニットとを用いてクリーンルーム内領域をクリーンにするクリーンルームシステムに関する。

半導体や液晶のデバイス等の製造においては、製造上の歩留まり向上などから、それらデバイス周辺のエア中から塵埃を無くしてクリーン（清浄）なエアにすることが要求される。そのため、これらデバイスの製造においては、一般的に、クリーンなエア環境に制御されたクリーンルームやクリーンブース等（これらを総称して単にクリーンルームという）内で行われる。このクリーンルームはそのクリーンルーム内に局所的にさらにエアをよりクリーンにするべく設置された局所クリーンルームも含む概念である。クリーンルームはそのルーム天板の上側に送風ファンと塵埃除去等のフィルタとを含むエアクリーンユニットを設置し、このエアクリーンユニットのエア吹出口からエアを天板に設けた開口からクリーンルーム内に導入するようにしている。クリーンルーム内に導入したエアはクリーンルーム外に導出され、再び、エアクリーンユニットでクリーンにされてクリーンルーム内に還流させることが一般的に行われている。

このようなクリーンルーム内において、半導体デバイスや液晶デバイス等が静電気を帯びると、この静電気によりデバイスに塵埃を含む各種パーティクルが付着し、製造したデバイスの品質の低下等の不具合が発生する。しかしながら、この静電気で付着した塵埃等はエアの流れだけでは除去しにくく、また、半導体や液晶のデバイス内の例えばＩＣ等が静電破壊するおそれがある。そのため、従来から、エアクリーンユニットに加えて、上記静電気を除去（除電）するために天板開口にイオナイザを設置することが行われている（特許文献１）。

イオナイザは、周知されるごとく、放電針のコロナ放電により発生したイオンにより、デバイス表面に帯電している静電気の電荷をそれとは逆極性のイオンで中和させることにより、当該静電気をデバイス表面から除去するものである。

ところで、従来では、エアクリーンユニットはクリーンルームを内外に仕切るクリーンルーム仕切板に対してクリーンルーム外領域に設置され、イオナイザはクリーンルーム内領域に設置されているから、エアクリーンユニットとイオナイザそれぞれの取り付け工事や配線工事を別々に行う必要があり、その工事に手間やコストが嵩む。

そこで、エアクリーンユニットにイオナイザを組み込む構成として、エアクリーンユニットの取り付け工事のみでイオナイザの別途の取り付け工事や配線工事を不要化することが考えられるが、設置位置によってエアクリーンユニットの仕様を変更することが要求された場合、イオナイザの組み込む位置によっては、エアクリーンユニットの設計仕様を大幅に変更することが余儀なくされるなど、設計や製造上のコストが嵩む。

また、単に、エアクリーンユニットとイオナイザとを別体構成にして共にクリーンルーム外領域に設置する場合では、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアを漏れなく高気密でかつ層流に乱れを起こさずにクリーンルーム内領域に供給することが困難である。

なお、ファンを一体化構成したイオナイザが提案されている（特許文献２）。この特許文献２には、ファン筐体に正負両電極を円周方向に離して設け、両電極それぞれに設けた放電針を通風路内へ突出させた構成としたイオナイザが開示されている。しかしながら、この特許文献２にはフィルタ等を備えたエアクリーンユニットは開示されておらず、エアクリーンユニットとイオナイザとを別体としてクリーンルーム外領域に配置する場合の上記課題を解決する技術は開示されていない。
特開平９−７３９９３号公報 特公平６−５６７９７号公報

したがって、本発明により解決すべき課題は、エアクリーンユニットとイオナイザとの配線等の工事を別々に行う必要が無く、その配線等の工事の手間やコストを低減可能となし、かつ、エアクリーンユニットとイオナイザとが別体構成でありながら、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアを高気密でかつ層流の乱れも少なく抑制してクリーンルーム内領域に供給可能とすることである。

（１）本発明第１によるイオナイザは、エアクリーンユニットのエア吹出口前に取り付けるイオナイザであって、複数の連結された筐体枠により中央部に開口部が形成されてその全体がエアクリーンユニットの設置が可能でかつエアクリーンユニットのエア吹出口を取り囲む枠形状をなす筐体の構造を有し、上記筐体は、その上面がエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなし、その下面がクリーンルーム仕切板の開口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状になっていることを特徴とするものである。

上記複数の筐体枠は３つ以上であり、必ずしも実施の形態の４つに限定されない。

クリーンルーム仕切板は、クリーンルーム内の局所クリーンルームを配置する場合、局所クリーンルームを当該局所クリーンルーム内と外とに仕切る板であり、局所クリーンルームが無く、通常のクリーンルームでは当該クリーンルームを内外に仕切る板である。この板は、板状に限定されず、シート状、フィルム状、幕状、等も含む。また、クリーンルーム仕切板の材料には限定されない。

上記イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状には、クリーンルーム仕切板の上面にイオナイザの下面を載置し、イオナイザの上面にエアクリーンユニットを載置した挟み込みの形態に限定されず、イオナイザの側面をクリーンルーム仕切板の開口の内面に係止して上記挟み込みを可能にした形状も含む。この場合、イオナイザの側面に段差を付け、このイオナイザの側面段差部をクリーンルーム仕切板の開口縁に係止する構造も含む。

枠幅が狭い筐体枠は、少なくとも１つであればよく、好ましくは対向する一対の筐体枠の枠幅が共に狭くなっていることである。

本発明第１によると、イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことが可能な形状としたから、エアクリーンユニットとイオナイザとを共にクリーンルーム外領域に設置し、それらの取り付けや配線工事を別々に行う必要が無く、その配線工事の手間とコストとを低減することができる。

また、本発明第１によると、イオナイザの筐体の上面をエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面とし、該筐体の下面をクリーンルーム仕切板の面と直接または間接に密着することが可能な平面としたから、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込んだ場合、クリーンルーム仕切板、イオナイザ、エアクリーンユニットの三者間で上記エア吹出口からのエアを気密性高くクリーンルーム内領域に供給することができる。このため、エアクリーンユニットのエア吹出口からのエアの漏れや、外部から塵埃等のパーティクルの混入を抑制することができるようになる。

また、本発明第１によると、エアクリーンユニットのエア吹出口がイオナイザの筐体枠で取り囲まれているので、そのエア吹出口から吹き出されるエアの層流を乱すものが、当該筐体枠の内側面から当該イオナイザの開口に突出する放電針やワイヤ状のイオンバランスセンサのみとなり、エア吹出口から吹き出されるエアの層流が安定化する。

また、本発明第１によると、上記複数の筐体枠のうち、少なくとも１つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっているので、このような枠幅形態の筐体枠を備えたイオナイザを用いると、クリーンルーム仕切板上においてイオナイザをエアクリーンユニットと共に、より高い配置密度で隣接配置することができるようになる。

（２）本発明第１の好適な一態様は、上記複数の筐体枠のうち、少なくとも１つの筐体枠の内側面から放電針が上記開口に突出し、また、少なくとも１つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることである。

（３）本発明第１の好適な一態様は、上記複数の筐体枠は、互いに平行して対向する２つの筐体枠と他の複数の筐体枠により一体化され、上記他の複数の筐体枠にのみ当該イオナイザを動作させるための回路モジュールが配置され、上記の互いに平行して対向する２つの筐体枠の枠幅が、上記の回路モジュールが配置されている他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることである。

上記一体化された筐体枠の形状には、矩形形状を含む。

回路モジュールは、当該イオナイザを動作させるために必要な回路を構成する電子部品を集めて配置したものであり、回路基板もしくはこれと等価のものを含む。放電針に高電圧を供給するための高電圧電源回路を含む。

上記互いに平行して対向する２つの筐体枠は、回路モジュールを含まないが、回路モジュールが複数、異なる他の筐体枠に配置される場合における複数の回路モジュールを接続する電線や、回路モジュールと放電針との間を接続する電線は含んでもよい。

（４）本発明第１の好適な一態様は、上記筐体枠は、４つの中空筐体枠からなり、互いに矩形枠状に一体化され、内部が連通していることである。

（５）本発明第１の好適な一態様は、上記筐体には、当該筐体の上面または下面に垂直な方向にねじを挿通することができるねじ穴が形成されていることである。これにより、このイオナイザの筐体のねじ穴を、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットそれぞれのねじ穴に垂直方向通しで合わせることが可能となり、ねじでこれらを一体に接続固定する作業を容易に行うことができるようになる。

（６）本発明第１の好適な一態様は、上記筐体が、その筐体枠内部に当該イオナイザの回路部品が収納されていることである。イオナイザをその回路部品を含めてコンパクトに組み立てることができるようになる。

（７）本発明第１の好適な一態様は、上記筐体の側面に、エアクリーンユニットからの電源／入出力ケーブルが接続することができるコネクタが設けられていることである。この態様では、エアクリーンユニットとイオナイザとを簡単に結線することができる。

（８）本発明第１の好適な一態様は、上記筐体の上面または下面にシール材が設けられていることである。クリーンルーム仕切板とイオナイザとエアクリーンユニットとを高気密に組み立てることができるようになる。

（９）本発明第１の好適な一態様は、上記（４）の複数の中空筐体枠において、２つの対向する中空筐体枠の互いの内側面間に複数のワイヤ状のイオンバランスセンサが渡され、別の２つの対向する中空筐体枠それぞれの内側面に放電針が上記開口部に突出するように配設され、少なくともいずれか２つの対向する中空筐体枠は、内周側と外周側とが外周側が高くなる段差形状となって断面Ｌ形をなして、互いの対向する内側面間でエアクリーンユニットを挟み付け保持することができるようになっていることである。

この態様では、エアクリーンユニットをイオナイザ上に容易に位置決めして組み立てることができるようになる。

（１０）本発明第２のイオナイザの取り付け方法は、エアクリーンユニットのエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法において、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットとの間に上記イオナイザを挟み付けて当該イオナイザをクリーンルーム仕切板上に取り付けることを特徴とするものである。

（１１）本発明第２の好適な一態様は、上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口周囲の面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態になっていることである。

（１２）本発明第２の好適な一態様は、上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口内周面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態になっていることである。

（１３）本発明第３のクリーンルームシステムは、エアクリーンユニットのエア吹出口の前に請求項１または２に記載のイオナイザを配置したクリーンルームシステムにおいて、 クリーンルーム仕切板に、エアクリーンユニットが設置されている少なくとも２つのイオナイザを互いに平行して対向する枠幅が狭い筐体枠を向かい合わせた状態で併設したことを特徴とするものである。

本発明によれば、配線や取り付けの工事にかかる手間やコストを低減し、また、エアクリーンユニットの設計仕様の変更にも容易に対処可能であり、また、クリーンルーム外領域に共に別体であるイオナイザとエアクリーンユニットとを設置する設置形態において、クリーンエアの漏れを確実に抑制することができる。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係るイオナイザ、エアクリーンユニット、およびクリーンルーム設備を説明する。図１はクリーンルーム設備の概略化した構成を示す図、図２は図１のクリーンルーム仕切板上に重ねて設置されたイオナイザとエアクリーンユニットとを拡大して示す正面図、図３は図２を斜め上側から見た斜視図、図４は図３のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図、図５はイオナイザとエアクリーンユニットとを重ねた状態で斜め下側から見た斜視図、図６は図５のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図、図７はイオナイザの中空筐体枠の上半分を取り外して当該中空筐体枠内部における回路部品の収納状態を示す平面図、図８はイオナイザの簡略化して示す回路図である。

まず、図１を参照して、このクリーンルーム設備においては、クリーンルーム２内に局所クリーンルーム４が設置されている。クリーンルーム２は、天井６にファンと高性能フィルタとからなるエアクリーンユニット８を設置し、穴あき床板１０を設置し、エア調和装置１２によって空調エアを天井６の裏側から供給し、クリーンルーム２内に所要のクリーン空間（清浄空間）を形成するようになっている。局所クリーンルーム４は、周囲をクリーンルーム仕切板１４で囲まれ、上部のクリーンルーム仕切板１４上（クリーンルーム外領域）にイオナイザ１６と局所用のエアクリーンユニット１８とを重ねて設置し、このエアクリーンユニット１８で局所クリーンルーム４内（クリーンルーム内領域）にさらにクリーンなエアを供給して、局所クリーンルーム４内に配置した図示略の半導体ウエハや液晶デバイス等の被処理物に所要の処理を施すことができるようになっている。

イオナイザ１６は局所クリーンルーム４のクリーンルーム仕切板１４上に搭載され、このイオナイザ１６の上部にエアクリーンユニット１８が搭載されている。この搭載により、イオナイザ１６はクリーンルーム仕切板１４とエアクリーンユニット１８とで挟み込まれた形態になっている。

図２以降を参照して、エアクリーンユニット１８は、下部筐体２０と上部筐体２２とにより方形箱状に構成され、上部筐体２２は、その上面側にエア吸込口２４を備え、また、その側面にＡＣアダプタコネクタ２６、イオナイザ接続コネクタ２８等を備えている。下部筐体２０は、その下面に網状のエア吹出口３０を備える。

なお、イオナイザ１６は、その側面にエアクリーンユニット１８から電源が供給されない場合に用いるＡＣアダプタコネクタ３２、グランド端子３４、エアクリーンユニット接続コネクタ３６を備える。実施の形態で示す図面ではエアクリーンユニット１８のイオナイザ接続コネクタ２８とイオナイザ１６のエアクリーンユニット接続コネクタ３６とが電源／信号入出力ケーブル３８で接続されていて、エアクリーンユニット１８のＡＣアダプタコネクタ２６に電源が供給され、エアクリーンユニット１８からイオナイザ１６に電源が供給されるようになっている。エアクリーンユニット１８は、その内部における上記エア吸込口２４とエア吹出口３０との間に、図示略の除塵フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ等の各種フィルタと、モータで回転駆動されるファンとを備える。

イオナイザ１６は、矩形枠状の中空筐体構造を有する。この中空筐体構造は、平行に対向する一対の第１、第２中空筐体枠４０，４２と、これらと直交し互いに平行に対向する一対の第３、第４中空筐体枠４４，４６と、で矩形枠状に構成されている。これら４つの中空筐体枠４０−４６で囲まれた内部に矩形状の開口部４８が形成されている。

第１、第２中空筐体枠４０，４２の互いの内側面間には２本のワイヤ状のイオンバランスセンサ４８ａ，４８ｂが渡されている。第３、第４中空筐体枠４４，４６それぞれの内側面には放電針５０ａ−５０ｄが上記開口部４８に突出するように配設されている。第１、第２中空筐体枠４０，４２はその断面が矩形状であり、枠幅が狭くなっている。第３、第４中空筐体枠４４，４６は、内周側と外周側とが外周側が高くなる段差形状となって断面がＬ形をなしている。第１、第２中空筐体枠４０，４２の上面４０ａ，４２ａと、第３、第４中空筐体枠４４，４６の内周側の上面４４ａ，４６ａとでエアクリーンユニット１８下面を設置する枠形状の設置面が構成されている。この設置面４０ａ，４２ａ，４４ａ，４６ａはエアクリーンユニット１８の下面に密着することができる平面形状になっている。第１、第２中空筐体枠４０，４２の下面４０ｂ，４２ｂと、第３、第４中空筐体枠４４，４６の下面４４ｂ，４６ｂとでクリーンルーム仕切板１４上面にイオナイザ１６を設置するための枠形状の設置面４０ｂ，４２ｂ，４４ｂ，４６ｂが構成されている。この設置面はクリーンルーム仕切板１４上面に密着することができる平面形状になっている。これら両設置面には、図示略のクッション材を設けることが好ましい。このクッション材はゴム等の弾性材や、両面テープ等を用いることができる。

エアクリーンユニット１８は、第１、第２中空筐体枠４０，４２の上面と第３、第４中空筐体枠４４，４６の内周側の上面とに設置されるとともに、第３、第４中空筐体枠４４，４６の外周側の内側面４４ｃ，４６ｃ間で挟みこまれて位置決めされる。また、第１ないし第４の中空筐体枠４０−４６の内部にはイオナイザ１６の回路部品５２ａ，５２ｂ，５２ｃとこれらの配線(図示略)が実装される。

イオナイザ１６の回路部品５２ａ，５２ｂ，５２ｃには電源部、高電圧発生制御部と、プラス高電圧発生部と、マイナス高電圧発生部等を構成する回路部品である。イオナイザ１６の回路は例えば図８に示す通りである。イオナイザ１６は、クリーンルーム仕切板１４に垂直な方向に貫通したねじ穴５４が複数箇所に形成されている。このエアクリーンユニット１８にもこのねじ穴５４に対応したねじ穴５５が形成されている。このねじ穴５５には増径や等径のタップ加工が施されている。

イオナイザ１６は、電源回路５４，高電圧発生制御回路５６、イオンバランスセンサ５８、プラス高電圧発生回路６０、マイナス高電圧発生回路６２、プラスの放電針６４（５０ａ，５０ｃ）、マイナスの放電針６６（５０ｂ，５０ｄ）とを含む回路を備える。この回路の動作は周知であるから、その詳細は略する。

以上の実施の形態のイオナイザ１６においては、４つの中空筐体枠４０−４６により中央部に開口部４８が形成されてその全体がエアクリーンユニット１８の設置が可能でかつエアクリーンユニット１８のエア吹出口３０を取り囲む枠形状をなす筐体を有している。そして、上記筐体を構成する中空筐体枠４０−４６は、その上面４０ａ−４６ａ側がエアクリーンユニット１８のエア吹出口３０周囲の面と直接またはクッション材を介して間接に密着することが可能な平面をなし、下面４０ｂ−４６ｂがクリーンルーム仕切板１４の開口１４ａ周囲の面と直接またはクッション材を介して間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザ１６をエアクリーンユニット１８とクリーンルーム仕切板１４とで挟み込みことを可能にした形状になっており、かつ、上記中空筐体枠４０−４６のうち、対向する２つ一対の中空筐体枠４０，４２の枠幅が他の中空筐体枠４４，４６の枠幅よりも狭くなっている。

以上の構成を有する実施の形態のイオナイザ１６によれば、イオナイザ１６をエアクリーンユニット１８とクリーンルーム仕切板１４とで挟み込みことが可能な形状としたから、エアクリーンユニット１８が設計変更されても、上記挟み込みによりエアクリーンユニット１８とイオナイザ１６とを共にクリーンルーム外領域に設置することができ、それらの取り付けや配線工事を別々に行う必要が無く、その配線工事の手間とコストとを低減することができる。また、イオナイザ１６の中空筐体枠４０−４６の上面４０ａ−４６ａをエアクリーンユニット１８のエア吹出口３０周囲の面と密着することが可能な平面とし、下面４０ｂ−４６ｂをクリーンルーム仕切板１４の面と密着することが可能な平面としたから、イオナイザ１６をエアクリーンユニット１８とクリーンルーム仕切板１４とで挟み込んだ場合、クリーンルーム仕切板１４、イオナイザ１６、エアクリーンユニット１８の三者間では気密性を高くすることができる。さらに、上記中空筐体枠４０−４６のうち、対向する２つの中空筐体枠４０，４２の枠幅を他の中空筐体枠４４，４６の枠幅よりも狭くしたので、図９で示すように、クリーンルーム仕切板１４上において開口１４ａ，１４ｂを中空筐体枠４０，４２の合計枠幅程度の形成間隔で並設し、この並設した開口１４ａ，１４ｂの周囲にイオナイザ１６とエアクリーンユニット１８とを高い配置密度で隣接配置することができるようになる。

なお、図１０で示すようにイオナイザ１６はその中空筐体枠４０−４６の下面側に内周側と外周側とで段差形状にして内周側４０ｄ−４６ｄ（４４ｄ，４６ｄのみ図示）をクリーンルーム仕切板１４の開口１４ａの内周面に係止した構成とすることができる。

また、図１１で示すようにイオナイザ１６は中空筐体枠４０−４６全体の内側面４０ｃ−４６ｃでエアクリーンユニット１８の側面を収納してそのエア吹出口３０を取り囲む形状とすることができる。

さらに、図１２で示すように、イオナイザ１６とエアクリーンユニット１８はクリーンルーム仕切板１４の斜面１４ｂの開口１４ｃに設置することができる。

図１は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム設備の概略化した構成を示す図である。 図２は図１のクリーンルーム仕切板上に重ねて設置されたイオナイザとエアクリーンユニットとを拡大して示す正面図である。 図３は図２を斜め上側から見た斜視図である。 図４は図３のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図である。 図５はイオナイザとエアクリーンユニットとを重ねた状態で斜め下側から見た斜視図である。 図６は図５のイオナイザとエアクリーンユニットとを分離して示す斜視図である。 図７はイオナイザの中空筐体枠の上半分を取り外して該中空筐体枠内における回路部品の収納状態を示す平面図である。 図８はイオナイザの簡略化して示す回路図である。 図９（ａ）はクリーンルーム仕切板の部分斜視図、図９（ｂ）は図９（ａ）のクリーンルーム仕切板の開口に設置したイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す斜視図、図９（ｃ）は図９（ａ）のクリーンルーム仕切板の開口に設置したイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す正面図である。 図１０は他の実施の形態に係るイオナイザとエアクリーンユニットとの設置構造を示す断面図である。 図１１はさらに他の実施の形態に係るイオナイザの断面図である。 図１２はさらに他の実施の形態に係るクリーンルーム仕切板とそれに取り付けるイオナイザとエアクリーンユニットとの設置を示す断面図である。

符号の説明

２ クリーンルーム
４ 局所クリーンルーム
１４ クリーンルーム仕切板
１６ イオナイザ
１８ エアクリーンユニット
４０−４６ イオナイザの中空筐体枠
４０ａ−４６ａ エアクリーンユニットが設置される面
４０ｂ−４６ｂ クリーンルーム仕切板への設置面

Claims (13)

1. エアクリーンユニットのエア吹出口前に取り付けるイオナイザであって、
   複数の連結された筐体枠により中央部に開口部が形成されてその全体がエアクリーンユニットの設置が可能でかつエアクリーンユニットのエア吹出口を取り囲む枠形状をなす筐体の構造を有し、
   上記筐体は、その上面がエアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなし、その下面がクリーンルーム仕切板の開口周囲の面と直接または間接に密着することが可能な平面をなして、当該イオナイザをエアクリーンユニットとクリーンルーム仕切板とで挟み込みことを可能にした形状になっていることを特徴とするイオナイザ。
2. 上記複数の筐体枠のうち、少なくとも１つの筐体枠の内側面から放電針が上記開口に突出し、また、少なくとも１つの筐体枠の枠幅が他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっている、ことを特徴とする請求項１に記載のイオナイザ。
3. 上記複数の筐体枠は、互いに平行して対向する２つの筐体枠と他の複数の筐体枠により一体化され、上記他の複数の筐体枠にのみ当該イオナイザを動作させるための回路モジュールが配置され、上記の互いに平行して対向する２つの筐体枠の枠幅が、上記の回路モジュールが配置されている他の筐体枠の枠幅よりも狭くなっていることを特徴とする請求項１に記載のイオナイザ。
4. 上記筐体枠は、４つの中空筐体枠からなり、互いに矩形枠状に一体化され、内部が連通している、ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のイオナイザ。
5. 上記筐体には、当該筐体の上面または下面に垂直な方向にねじを挿通することができるねじ穴が形成されている、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のイオナイザ。
6. 上記筐体は、その筐体枠内部に当該イオナイザの回路部品が収納されている、ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のイオナイザ。
7. 上記筐体は、その側面に、エアクリーンユニットからの電源／入出力ケーブルが接続することができるコネクタを備える、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のイオナイザ。
8. 上記筐体はその上面および下面にシール材が設けられている、ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のイオナイザ。
9. 上記複数の中空筐体枠において、
   ２つの対向する中空筐体枠の互いの内側面間に複数のワイヤ状のイオンバランスセンサが渡され、
   別の２つの対向する中空筐体枠それぞれの内側面に放電針が上記開口に突出するように配設され、
   少なくともいずれか２つの対向する中空筐体枠は、内周側よりも外周側が高くなる段差形状となって断面Ｌ形をなして、互いの対向する内側面間でエアクリーンユニットを挟み付け保持することができるようになっている、
   ことを特徴とする請求項４に記載のイオナイザ。
10. エアクリーンユニットのエア吹出口の前にイオナイザを取り付ける方法において、クリーンルーム仕切板とエアクリーンユニットとの間で請求項１ないし７のいずれかに記載のイオナイザを挟み付けて当該イオナイザをクリーンルーム仕切板上に取り付けることを特徴とするイオナイザの取り付け方法。
11. 上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口周囲の面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態である、ことを特徴とする請求項１０に記載のイオナイザの取り付け方法。
12. 上記挟み込みの形態が、イオナイザをクリーンルーム仕切板のクリーンエア用開口内周面と、エアクリーンユニットのエア吹出口周囲の面とで挟み込む形態である、ことを特徴とする請求項１０に記載のイオナイザの取り付け方法。
13. エアクリーンユニットのエア吹出口の前に請求項１または２に記載のイオナイザを配置したクリーンルームシステムにおいて、
    クリーンルーム仕切板に、エアクリーンユニットが設置されている少なくとも２つのイオナイザを互いに平行して対向する枠幅が狭い筐体枠を向かい合わせた状態で併設した、ことを特徴とするクリーンルームシステム。

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