KR20110062320A

KR20110062320A - 팬필터 유닛

Info

Publication number: KR20110062320A
Application number: KR1020090119009A
Authority: KR
Inventors: 박덕준; 김남욱; 박길용
Original assignee: (주)신성이엔지
Priority date: 2009-12-03
Filing date: 2009-12-03
Publication date: 2011-06-10
Also published as: KR101082930B1

Abstract

본 발명은 팬필터 유닛에 관한 것으로서, 상부에 송풍기가 설치되고, 상기 송풍기의 하부에는 내부에 장착공간이 형성되는 틀과, 상기 틀의 장착공간에 장착되는 여과재와, 상기 틀 및 여과재 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어가 고정장착되는 우레탄으로 구성되는 필터체가 장착되며, 상기 필터체의 하부 가장자리둘레에는 따라 가스켓이 장착되고, 상기 필터체의 하부와 가스켓의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면이 곡면지게 형성되고 내부 설치공간에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바가 장착되며, 상기 고정용 몰드바의 양측 상·하부 결합돌기 사이에는 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판이 장착되되, 상기 기판은 상·하부 결합돌기에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부가 전원 와이어에 접지되도록 한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있을 뿐만 아니라 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있다.

팬필터 유닛, 송풍기, 필터체, 가스켓, 고정용 몰드바, 기판, 커버체, 고정부재.

Description

팬필터 유닛{Fan filter unit}

본 발명은 팬필터 유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전자기기 조립실, 반도체조립실, 병원의 수술실, 무균실, 세균배양실 등의 항상 청정을 유지해야만 클린 룸에 장착되는 팬필터 유닛에 관한 것이다.

최근 들어, 반도체 제조 공정은 반도체 장치의 급속한 발전으로 파티클 및 이온 오염물에 의한 반도체 장치의 불량이 심각하게 대두되고 있고, 이에 따른 파티클 및 이온 오염물 제거를 통한 청정실의 유지 관리가 중대한 관점으로 떠오르고 있다.

여기서, 반도체 생산 방식은 다품종 소량 생산체재, 즉 제조공정수가 증가되는 추세에 있어 이와 더불어 사용되는 각종 유틸리티(가스, 화학약품) 또한 더불어 증가되고 있기 때문에 필터의 오염 가중은 점점 더 증가되고 그로 인한 수명단축은 자명한 일이다.

그리고 반도체 장치 및 디스플레이 장비 등에 사용되는 HEPA 필터나 ULPA 필터의 경우도 반도체의 집적도가 증가 됨에 따라 성능 또한 향상되고 있는 추세이 며, 반도체 웨이퍼의 생산성을 향상시키기 위해서는 더욱 작은 파티클 관리를 해야함은 물론 클린 크레스(clean class)에 대한 관리도 철저히 해야된다.

도시된 도 1은 종래의 반도체 장치 및 디스플레이 장비에 사용되는 팬필터 유닛를 나타낸 것으로서, 종래의 팬필터 유닛(100)는 클린룸의 천정에 설치되고 운전 상황을 확인하는 클린 유니트(101)와, 상기 클린 유니트(101)의 하부에 장착되는 여과재(102)와, 상기 클린 유니트(101)와 여과재(102)의 동일선상에 형성되는 장착홈(103)에 장착되는 지지프레임(104)과, 상기 지지프레임(104)의 하부에 장착되는 발광다이오드(105)로 구성된다.

그러나 상기 팬필터 유닛(100)는 상부에 있는 클린 유니트(101)의 운전 표시를 표시할 수 있는 지지 프레임이 필요할 뿐만 아니라 시공시에도 특별한 지지 프레임이 요구되는 문제점이 있었다

또한, 상기 지지프레임은 표시 가능한 틀 폭이 필요할 뿐만 아니라 상기 틀 폭에 대한 비용이 발생하는 등의 문제점이 있었다.

그리고 상기와 같은 문제점을 해결하고자 개발된 일본특허공개 제2009-119373호는 상기와 같은 문제점은 해결할 수 있으나, 구조가 복잡하고 여과재와 여과재 사이에 발광다이오드가 숨겨짐으로써 발광다이오드의 기능이 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 팬필터 유닛는 클린룸 내부의 양압으로 인하여 혹시라도 발생할 수 있는 누전시 클린룸 내부의 먼지 입자가 반도체 장치나 디스플레이 장비 등에 가라앉아 반도체 장치나 디스플레이 장비의 고장과 더불어 불량한 제품이 생산 되는 문제점이 있었다

또한, 종래의 팬필터 유닛는 발광다이오드의 교체시 여러 가지 도구를 사용해야함으로써 작업시간과 그에 따른 많은 장비가 요구되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

또한, 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

또한, 두께가 다른 기판의 장착시에도 측면을 통해 끼움 장착되는 쐐기 형상의 고정부재를 통해서 고정지지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

또한, 고정용 몰드바의 상면을 곡면지게 형성되어 기류의 저항을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 고정용 몰드바의 하부에 장착되는 커버체를 통해서 발광다이오드에서 발광하는 빛을 확산시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 반도체 장치 및 디스플레이 장비 등의 산업분야에 사용되는 팬필터 유닛에 있어서 상부에 송풍기가 설치되고, 상기 송풍기의 하부에는 내부에 장착공간이 형성되는 틀과, 상기 틀의 장착공간에 장착되는 여과재와, 상기 틀 및 여과재 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어가 고정장착되는 우레탄으로 구성되는 필터체가 장착되며, 상기 필터체의 하부 가장자리둘레에는 가스켓이 장착되고, 상기 필터체의 하부 와 가스켓의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면이 곡면지게 형성되고 내부 설치공간에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바가 장착되며, 상기 고정용 몰드바의 양측 상·하부 결합돌기 사이에는 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판이 장착되되, 상기 기판은 상·하부 결합돌기에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부가 전원 와이어에 접지되도록 한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있다.

또, 파티클 리크를 억제하면서 LED용 전원라인을 연결할 수 있는 등의 구조적인 설계의 다변화를 도모할 수 있는 효과가 있다.

또한, 두께가 다른 기판의 장착시에도 측면을 통해 끼움 장착되는 쐐기 형상의 고정부재를 통해서 고정지지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 고정용 몰드바의 상면을 곡면지게 형성되어 기류의 저항을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 고정용 몰드바의 하부에 장착되는 커버체를 통해서 발광다이오드에서 발광하는 빛을 확산시킬 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 2는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 구성도이며, 도 4는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 저면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바, 기판, 커버체의 결합상태를 나타낸 결합사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바와 기판의 착·탈관계를 나타낸 도면이다.

본 발명인 팬필터 유닛(10)은 송풍기(20)와, 상기 송풍기(20)의 하부에 장착되는 필터체(30)와, 상기 필터체(30)의 하부가장자리 둘레에 장착되는 가스켓(40)과, 상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 장착되는 고정용 몰드바(50)와, 상기 고정용 몰드바(50)에 장착되는 기판(60) 등으로 구성된다.

여기서, 상부에 장착되는 송풍기(20)는 공지된 송풍기를 택일하여 장착되고 그에 대한 별도의 설명은 생략하기로 한다.

상기 송풍기(20)의 하부에 장착되는 필터체(30)는 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성된다.

여기서, 상기 우레탄(34)은 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되어 틈이 발생하는 것을 방지하면서 외부와 연통되는 전원 와이어(35)를 고정시키게 되는 것이 다.

또한, 상기 틀(31)은 여러 가지 형상으로 형성될 수 있지만 본 발명에서는 중공형의 사각형 형상으로 형성되는 예를 들어 설명하기로 한다.

그리고 상기 필터체(30)의 하부 가장자리 둘레에 장착되는 가스켓(40)은 상기 틀(31) 및 고정용 몰드바(50)에 밀착고정시키는 역할을 수행하게 된다.

상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 장착되는 고정용 몰드바(50)는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되며, 양측 동일선상 외면에 착탈홈(55)이 함몰형성된다.

즉, 상기 고정용 몰드바(50)는 하부가 개방되면서 내면에 상기 기판(60)이 결합될 수 있도록 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 양면에 대칭형성되는 것이다.

그리고 상기 고정용 몰드바(50)의 상면(51)을 곡면지게 형성한 것은 상기 송풍기(20)를 통해 전달되는 기류의 저항을 최소로 하기 위한 것이다.

또한, 고정용 몰드바(50)의 양측 동일선상 외면에 형성되는 착탈홈(55)은 빛의 확산을 위해 장착되는 커버체(70)의 고정을 위한 것으로서 이때, 상기 커버체(70)는 투명한 재질로 상부가 개방되면서 내부가 함몰형성되고, 하부(71)가 곡면지게 형성되며, 상부 내면 끝단에는 착탈돌기(72)가 형성된다.

그리고 상기 고정용 몰드파(50)의 양측에는 내부와 연통하는 관통공(56)이 다수개수가 형성되는데 즉, 상기 관통공(56)은 상·하부결합돌기(53, 54)에 장착되는 기판(60)을 쐐기형상의 고정부재(80)를 이용하여 고정하기 위한 것이다.

즉, 상기 기판(60)의 두께가 상·하부 결합돌기(53, 54)에 형성되는 간격보다 작을 경우 쐐기형상의 고정부재(80)가 상기 관통공(56)의 상부에 삽입되면서 상기 기판(60)을 가압하여 고정시켜서 기판(60)의 흔들림, 유동, 위치변화를 방지하게 되는 것이다.

상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에 장착되는 기판(60)은 저면에 간격을 두고 다수개의 발광다이오드(62)가 장착되고 상면에는 전원공급부(64)가 형성된다.

이때, 상기 기판(60)의 전원공급부(64)는 상기 상·하부 결합돌기(53, 54)에 삽입장착시 상기 우레탄(34)의 내부를 관통하는 전원 와이어(35)와 접지하게 된다.

상기와 같이 구성되는 팬필터 유닛의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상부에 송풍기(20)를 설치한 후, 상기 송풍기(20)의 하부로 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성되는 필터체(30)를 장착한다.

그리고 상기 필터체(30)의 하부 가장자리둘레에 가스켓(40)을 장착한 후 상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 고정용 몰드바(50)를 장착한다.

여기서, 상기 고정용 몰드바(50)는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되며, 양측 동일선상 외면에는 착탈홈(55)이 형성되고, 양측에 하부에는 내부와 연통하는 다수개의 관통공(56)으로 구성된다.

다음으로, 상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에는 다수개의 발광다이오드(62)가 구비된 기판(60)을 장착한다.

즉, 상기 기판(60)은 사선방향으로 기울인 상태에서 일측을 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 상태에서 반대쪽을 가압하여 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 결합하면 되는 것이다.

이때, 상기 기판(60)의 상면에 형성되는 전원공급부(64)는 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼워지면서 하부를 향해 처져있는 전원 와이어(35)를 가압하면서 접지하게 되는 것이다.

다음으로, 상기 착탈홈(55)에 하부(71)가 곡면지게 형성되고 상부 내면 끝단에 착탈돌기(72)가 형성되는 커버체(70)를 결합하면 팬필터 유닛(10)의 조립은 완료되는 것이다.

여기서, 상기 팬필터 유닛(10)의 조립 순서는 상기와 다르게 진행될 수 있으며 상기 팬필터 유닛(10)의 일측에는 제어부(미도시)가 별도로 장착됨을 밝힌다.

상기와 같은 상태에서, 상기 제어부의 조작에 따른 팬필터 유닛(10)에 전원이 공급되면, 상기 송풍기(20)는 하부를 향해 바람을 공급하고 바람은 필터체(30) 의 여과재(33)와 고정용 몰드바(50)를 거쳐 하부로 전달하게 되는 것이다.

이때, 상기 고정용 몰드바(50)의 내부에 장착되는 기판(60)의 발광다이오드(62)는 빛을 발산하고 빛은 상기 고정용 몰드바(50)의 하부에 장착되는 커버체(70)를 거쳐 빛을 전달하게 되는 것이다.

이를 통해서 작업자는 팬필터 유닛(10)의 작동 여부를 확인할 수 있는 것이다.

그리고 상기 팬필터 유닛(10)에 문제가 발생하게 되면, 상기 기판(60)의 발광다이오드(62)는 제어부의 입력된 신호에 따라 점멸하여 이를 작업자에 전달함으로써 고장이나 작동의 불량을 빠른 시간 내에 고칠 수 있게 되는 것이다.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있음과 동시에, 파티클 리크를 억제하면서 LED용 전원라인을 연결할 수 있는 구조의 달성을 도모할 수 있는 것이다.

또한, 상기 고정용 몰드바(50)에 장착되는 기판(60)의 교체나 고장시 상기 기판(60)은 드라이버를 통해서 간단히 제거할 수 있으므로 교체작업이 용이할 뿐만 아니라 기존의 교체작업에 따른 문제점을 해소할 수 있는 장점이 있는 것이다.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 팬필터 유닛을 설명함에 있어 특정형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 종래의 팬필터 유닛을 나타낸 도면.

도 2는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 정면도.

도 3은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 구성도.

도 4는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 저면도.

도 5는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바, 기판, 커버체의 결합상태를 나타낸 결합사시도.

도 6은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바와 기판의 착·탈관계를 나타낸 도면.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.

10 : 팬필터 유닛, 20 : 송풍기,

30 : 필터체, 31 : 틀,

32 : 장착공간, 33 : 여과재,

34 : 우레탄, 35 : 전원 와이어,

40 : 가스켓, 50 : 고정용 몰드바,

51 : 상면, 52 : 설치공간,

53, 54 : 상·하부 결합돌기, 55 : 착탈홈,

60 : 기판, 62 : 발광다이오드,

70 : 커버체, 80 : 고정부재.

Claims

반도체 장치 및 디스플레이 장비 등의 산업분야에 사용되는 팬필터 유닛(10)에 있어서,

상부에 송풍기(20)가 설치되고,

상기 송풍기(20)의 하부에는 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성되는 필터체(30)가 장착되며,

상기 필터체(30)의 하부 가장자리둘레에는 가스켓(40)이 장착되고,

상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바(50)가 장착되며,

상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에는 다수개의 발광다이오드(62)가 구비된 기판(60)이 장착되되, 상기 기판(60)은 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부(64)가 전원 와이어(35)에 접지되도록 한 것을 특징으로 하는 팬필터 유닛.
청구항 1에 있어서,

상기 고정용 몰드바(50)의 양측 동일선상 외면에 착탈홈(55)이 형성되고, 상기 착탈홈(55)에는 하부(71)가 곡면지게 형성되며, 상부 내측 끝단에 착탈돌기(72)가 형성되는 커버체(70)가 결합되는 것을 특징으로 하는 팬필터 유닛.
청구항 1에 있어서,

상기 기판(60)이 장착되는 고정용 몰드바(50)의 양측에 내부와 연통하는 관통공(56)이 다수개수가 형성되고, 상기 관통공(56)에는 기판(60)의 크기에 따라 유동 및 흔들림이 방지되도록 전면이 쐐기형상으로 형성되는 고정부재(80)가 끼움 장착되는 것을 특징으로 하는 팬필터 유닛.