JP2005284867A - 駆動制御装置及び方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ制御コントローラ10は制御対象23の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す。レーザ干渉計6,7は制御対象23の位置を検出し、入力値演算回路3は、制御サイクルの1サイクル毎にレーザ干渉計6,7から複数の検出値を取得し、これら複数の検出値を用いてステージ制御コントローラ10へ入力する状態値を生成する。
【選択図】 図2
Description
制御対象の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、
前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれかを検出する検出器と、
前記制御サイクルの1サイクル毎に前記検出器から複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて前記制御手段へ入力する状態値を生成する生成手段とを備える。
制御対象の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれかを検出する検出器とを備えた駆動制御装置による駆動制御方法であって、
前記制御サイクルの1サイクル毎に前記検出器から複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて状態値を生成する生成工程と、
前記生成工程で生成された状態値を前記制御手段へ入力する入力工程とを備える。
図11は本実施形態による露光装置の概略構成を示す模式図である。図11において、照明部101から出力された露光光によって、レチクルステージ102上に保持されたレチクル111が照射される。レチクル111を透過した露光光は投影光学系103に入射する。と上光学系103では、レチクル111を透過した露光光によって形成されるパターン像を所定倍率で縮小し、縮小されたパターン像はウエハステージ1に保持されたウエハ112上に投影される。ウエハステージ1は定盤104上を2次元方向に移動する。
上記第1実施形態では、干渉計からの複数の計測値について平均値を算出したが、複数の回転量の平均値を算出するようにしてもよい。
上記第1及び第2実施形態により算出された回転量に対して、任意のオフセットを持たせるようにしてもよい。図9はこの様子を示している。このようなオフセットは、センサーの出力特性によって平均化処理した際に、真値から一定のオフセットを持つような場合、それを補正するために用いられる。
上記第1及び第2実施形態の平均値算出器では、入力された計測値或いは差分値について単純に平均値を算出していた。第4実施形態の平均値算出器では、特異な値については平均値の算出対象から除外することにより、ノイズ等の駆動制御への影響を低減する。以下、図10を参照して説明する。なお、以下の実施形態では、第2実施形態の構成の差分器92から得られた差分値に対して平均値算出器83が特異値の検出を行う場合を説明するが、第1実施形態の構成による各平均値算出器81,82において特異値を検出し除去するように構成してもよいことは明らかであろう。
Claims (10)
- 制御対象の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、
前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれかを検出する検出器と、
前記制御サイクルの1サイクル毎に前記検出器から複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて前記制御手段へ入力する状態値を生成する生成手段とを備えることを特徴とする駆動制御装置。 - 前記生成手段は、前記複数の検出値の平均値に基づいて前記状態値を生成することを特徴とする請求項1に記載の駆動制御装置。
- 前記駆動制御装置は前記検出器を複数含み、
前記生成手段は、前記制御サイクルの1サイクル毎に、
前記複数の検出器のそれぞれについて、取得した複数の検出値の平均値を算出し、
算出された複数の平均値を用いて所定の演算を行うことにより前記状態値を生成することを特徴とする請求項1に記載の駆動制御装置。 - 前記駆動制御装置は前記検出器を複数含み、
前記生成手段は、前記制御サイクルの1サイクル毎に、
前記複数の検出器のうちの選択された検出器より得られる複数の検出値について平均値を算出し、
前記算出された平均値と、残りの検出器の1つの検出値を用いて所定の演算を行うことにより前記状態値を生成することを特徴とする請求項1に記載の駆動制御装置。 - 前記駆動制御装置は複数の検出器を含み、
前記生成手段は、前記制御サイクルの1サイクル毎に、
前記複数の検出器から得られる検出値を用いて所定の演算を実行することにより複数の演算結果を取得し、
前記演算結果の平均値に基づいて前記状態値を生成することを特徴とする請求項1に記載の駆動制御装置。 - 前記生成手段で生成された状態値に更に任意のオフセット値を加減算して前記制御手段へ入力するオフセット手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の駆動制御装置。
- 前記生成手段において、前記検出器からの、使用すべき検出値の数を設定する設定手段を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の駆動制御装置。
- 前記生成手段における平均値の算出において、所定の範囲外の値は平均値の算出対象から除外することを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の駆動制御装置。
- 制御対象の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれかを検出する検出器とを備えた駆動制御装置による駆動制御方法であって、
前記制御サイクルの1サイクル毎に前記検出器から複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて状態値を生成する生成工程と、
前記生成工程で生成された状態値を前記制御手段へ入力する入力工程とを備えることを特徴とする駆動制御方法。 - 基板を搭載して移動するステージと、前記ステージに保持された基板に対して所定のパターンを投影する露光手段とを備え、
前記ステージを制御対象として請求項1乃至8のいずれかに記載の駆動制御装置により制御する制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
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