JP2005284867A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 制御対象の状態値と制御目標値とを入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、
   前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれか１つを検出する１つ以上の検出器と、
   前記制御サイクルの１サイクル毎に前記検出器の１つから複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて前記制御手段へ入力する状態値を生成する生成手段とを備えることを特徴とする駆動制御装置。
2. 前記生成手段は、前記複数の検出値の平均値に基づいて前記状態値を生成することを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
3. 前記駆動制御装置は前記検出器を複数含み、
   前記生成手段は、前記制御サイクルの１サイクル毎に、
   前記複数の検出器のそれぞれについて、１つの検出器から取得した複数の検出値の平均値を算出し、
   算出された複数の平均値を用いて予め定められた演算を行うことにより前記状態値を生成することを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
4. 前記駆動制御装置は前記検出器を複数含み、 前記生成手段は、前記制御サイクルの１サイクル毎に、
   前記複数の検出器のうちの選択された検出器のそれぞれについて、１つの検出器から取得した複数の検出値について平均値を算出し、
   前記複数の検出器のうちの残りの検出器からは１つの検出値を取得し、
   前記算出された平均値と、前記残りの検出器から取得された検出値とを用いて予め定められた演算を行うことにより前記状態値を生成することを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
5. 前記駆動制御装置は複数の検出器を含み、
   前記生成手段は、前記制御サイクルの１サイクル毎に、
   前記複数の検出器の各々から得られた複数の検出値を用いて予め定められた演算を実行することにより複数の演算結果を取得し、
   前記演算結果の平均値に基づいて前記状態値を生成することを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
6. 前記生成手段で生成された状態値に更に任意のオフセット値を加減算して前記制御手段へ入力するオフセット手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の駆動制御装置。
7. 前記生成手段において使用すべき、前記検出器からの検出値の出力数を設定する設定手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
8. 前記生成手段における平均値の算出において、予め定められた範囲外の値は平均値の算出対象から除外することを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項に記載の駆動制御装置。
9. 制御対象の状態値と制御目標値とを入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれか１つを検出する１つ以上の検出器とを備えた駆動制御装置による駆動制御方法であって、
   前記制御サイクルの１サイクル毎に前記検出器の１つから複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて状態値を生成する生成工程と、
   前記生成工程で生成された状態値を前記制御手段へ入力する入力工程とを備えることを特徴とする駆動制御方法。
10. 基板を搭載して移動するステージと、前記ステージに保持された基板に対して予め定められたパターンを投影する露光手段とを備え、
    前記ステージを制御対象として請求項１乃至８のいずれか１項に記載の駆動制御装置により制御する制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。