JP2009237664A - 位置決め制御ユニット、位置決め制御方法および位置決め制御プログラム - Google Patents
位置決め制御ユニット、位置決め制御方法および位置決め制御プログラム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ステージの位置決め制御をする位置決め制御ユニット120であって、1制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部121と、ステージ140の駆動のために、算出された操作量を出力する出力部126と、センサ150により1制御周期あたり複数回検出されたステージ140の検出位置の、1制御周期にわたる平均値を現在位置として算出する現在位置算出部129と、を備える。これにより、検出の分解能をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。たとえば、位置換算値1nmの分解能のA/D変換部127を用いて0.1nm単位の位置検出を行うことができる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、位置決め装置100の構成を示すブロック図である。位置決め装置100は、PC110、コントローラ120、ステージ駆動部130、ステージ140、センサ150を備えている。位置決め装置100は、操作量の算出からステージの現在位置の算出までを1制御周期として、所定分解能でA/D変換し、ステージの位置決め制御をする。
次に、上記のように構成された位置決め装置100の動作を説明する。図2は、位置決め装置の特徴的な動作を示すフローチャートである。まず、位置決め装置100は、PC100においてユーザから移動量の入力を受け付ける(ステップS1)。
110 PC
111 入力部
120 コントローラ(位置決め制御ユニット)
121 操作量算出部
122 判定部
126 出力部
126a 駆動用増幅部
126b 検出用増幅部
127 A/D変換部
128 検出カウンタ
129 現在位置算出部
130 ステージ駆動部
140 ステージ
150 センサ
160 位置算出部
Claims (3)
- ステージの位置決め制御をする位置決め制御ユニットであって、
1制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部と、
前記ステージの駆動のために、前記算出された操作量を出力する出力部と、
センサにより1制御周期あたり複数回検出された前記ステージの検出位置の、1制御周期にわたる平均値を、現在位置として算出する位置算出部と、を備えることを特徴とする位置決め制御ユニット。 - ステージの位置決め制御をする位置決め制御方法であって、
1制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出ステップと、
前記ステージの駆動のために、前記算出された操作量を出力する出力ステップと、
センサにより1制御周期あたり複数回検出された前記ステージの検出位置の、1制御周期にわたる平均値を、現在位置として算出する位置算出ステップと、を含むことを特徴とする位置決め制御方法。 - ステージの位置決め制御をする位置決め制御プログラムであって、
1制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出処理と、
前記ステージの駆動のために、前記算出された操作量を出力する出力処理と、
センサにより1制御周期あたり複数回検出された前記ステージの検出位置の、1制御周期にわたる平均値を、現在位置として算出する位置算出処理と、をコンピュータに実行させることを特徴とする位置決め制御プログラム。
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JP2008079688A JP2009237664A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 位置決め制御ユニット、位置決め制御方法および位置決め制御プログラム |
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JP2005284867A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Canon Inc | 駆動制御装置及び方法及び露光装置 |
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