JP2012521006A - 三相容量ベース検知 - Google Patents
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Abstract
検知を行うための様々なシステム及び方法が提供される。一実施形態において、検知システムが提供される。該検知システムは、プルーフマス上に配置された第1の電極アレイと、支持構造の平面表面上に配置された第2の電極アレイとを備える。前記第1の電極アレイが、前記第2の電極アレイに対して面するように且つほぼ平行に位置付けられることとなるように、コンプライアントな結合を介して該プルーフマスが前記支持構造に取り付けられており、及び、該プルーフマスは、前記支持構造に対して変位することが可能である。該第1の電極アレイは、複数の第1パターンの電極を含み、該第2の電極アレイは、複数の第2パターンの電極を含む。前記検知システムは、前記第1の電極アレイについての電気的なヌル位置を生成するために、前記第2パターンの電極の各々に対して入力電圧を提供するよう構成された回路構成を更に備える。
Description
背景
容量性の微小電気機械システム(MEMS)を用いた位置及び加速度の検知は、コンプライアントな(又は迎合的な、柔軟に対応する)構成要素の望ましくない動きに起因して、及び、そのような構成要素の動作の制限範囲に起因して、感度及び精度が欠如する可能性がある。追加的には、センサのダイナミックレンジ(すなわち、最小信号に対する最大信号の比率)は、容量変化を位置か又は加速度のいずれかに変換するために用いられる方法によって制限される可能性がある。
容量性の微小電気機械システム(MEMS)を用いた位置及び加速度の検知は、コンプライアントな(又は迎合的な、柔軟に対応する)構成要素の望ましくない動きに起因して、及び、そのような構成要素の動作の制限範囲に起因して、感度及び精度が欠如する可能性がある。追加的には、センサのダイナミックレンジ(すなわち、最小信号に対する最大信号の比率)は、容量変化を位置か又は加速度のいずれかに変換するために用いられる方法によって制限される可能性がある。
本発明の多くの態様は、以下の図面を参照してより良く理解することができる。図面内の構成要素は、必ずしも一定の縮尺に従っているとは限らず、その代わりに、本発明の原理を明確に説明することに重点を置いている。更に、図面内においては、同様の参照番号は、幾つかの図にわたる対応するパーツを指す。
図1を参照すると、本発明の一実施形態によるセンサ100が示されている。センサ100は、後述されるように、例えば、加速度を検出するために用いられ得る。センサ100は、3つの層、すなわち「ウェハース」を含む。具体的には、センサ100は、エレクトロニクスウェハ103、プルーフマスウェハ(proof mass wafer)106、及びキャップウェハ(cap wafer)109を含む。エレクトロニクスウェハ103内にあるのは、CMOSエレクトロニクス113であり、該CMOSエレクトロニクス113は、プルーフマスウェハ106及びキャップウェハ109内の様々な電子構成要素に電気的に結合され得る。更にまた、CMOSエレクトロニクス113は、理解され得るように、センサ100の外部の電子構成要素に結合させるための出力ポートを提供することができる。ある用途の場合に、CMOSエレクトロニクス113内に発生した熱が、許容不可能である可能性があり、そのようなケースでは、それらCMOSエレクトロニクス113が、分離状態ではあるがエレクトロニクスダイ(チップ)の中心に近いなどの状態において、配置される可能性がある。
プルーフマスウェハ106は、支持116を含み、該支持116は、プルーフマス119に機械的に結合される。センサ100の断面図が示されているが、一実施形態によれば、プルーフマスウェハ106の一部分としての支持116が、プルーフマス119を取り囲む。その結果として、一実施形態においては、エレクトロニクスウェハ103、支持116、及びキャップウェハ109が、ポケットを形成する。該ポケット内において、プルーフマス119がつるされる(又はぶらさげられる、又は浮遊させられる)。
エレクトロニクスウェハ103と、支持116と、キャップウェハ109とが、一緒になって、支持構造を提供する。本発明の様々な実施形態によるコンプライアントな(又は迎合的な、柔軟に対応する)結合を介して、該支持構造にプルーフマス119が取り付けられる。この点に関して、該コンプライアントな結合には、高アスペクト比の曲げ性のサスペンション要素123を含めることができる。該高アスペクト比の曲げ性のサスペンション要素123は、例えば、2005年4月19日に発行された、「Moveable Micro-Electromechanical Device」と題する米国特許第6,882,019号内において説明されているようなものとすることができる。
センサ100は、プルーフマス119上に配置された第1の電極アレイ126を更に含む。一実施形態において、第1の電極アレイ126は、エレクトロニクスウェハ103の上面に対向しているプルーフマス119の表面上に位置付けられる。プルーフマス119の表面(該表面上には第1の電極アレイ126が配置される)は、理解され得るように、ほぼフラットな表面である。
プルーフマス119上に配置された第1の電極アレイ126に対向するように面しているエレクトロニクスウェハ103の表面上に第2の電極アレイ129が配置されている。プルーフマス126が、エレクトロニクスウェハ103上につるされている(又はぶらさげられている、又は浮遊させらている)手法に起因して、ほぼ一様なギャップ133が、第1の電極アレイ126と、第2の電極アレイ129との間において形成される。ギャップ133のサイズは、距離dで表示されている。距離dには、例えば、1〜3マイクロメートルの任意のところを含めることができるか、或いは、距離dは、適切と見なされるような任意の他の距離とすることができる。
第1の電極アレイ126と、第2の電極アレイ129とが、互いに平行な平面内にほぼ入るような手法で、プルーフマス119が、エレクトロニクスウェハ103上につるされる。これにより、第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との重なり(オーバーラップ)全体にわたって、ギャップ133がほぼ一様になることとなる。代替的には、適切と見なされ得るように、電極アレイ126、129が、エレクトロニクスウェハ103か又はプルーフマス119における他の表面上か又は構成に配置され得る。
高アスペクト比の曲げ性のサスペンション要素123は、センサ100の支持構造に対してプルーフマス119が動くことが可能となるような、コンプライアンスの度合い(程度)を提供する。曲げ性のサスペンション要素123の設計に起因して、プルーフマス119の静止位置からの変位が、エレクトロニクスウェハ103の上面上に配置されている第2の電極アレイ129とほぼ平行な方向に実質的に制限される。第2の電極アレイ129と平行な方向にプルーフマス119の所定量の動きが可能となるよう曲げ性のサスペンション要素123が構成され、これにより、ギャップ133が、可能範囲への動作全体にわたってほぼ一様のままになることとなる。曲げ性のサスペンション要素123の設計は、第2の電極アレイ129に垂直な方向において、プルーフマス119における最小限の量の動作を提供する一方で、第2の電極アレイ129に平行な方向において、所望量の動作を可能にする。
次に、例えば、加速度を検知することにおいて、センサ100の動作の簡単な説明が提供される。具体的には、定量化したい加速度の加速を受ける構造物か又は乗り物にセンサ100が付けられる。上述のような、曲げ性のサスペンション要素123によって提供されるようなプルーフマス119の許容動作の方向と共に、該加速の方向が一直線になることとなるように、構造物か又はデバイスにセンサ100が付けられる。構造物か又は乗り物が加速を受けると、プルーフマス119は、上述のように移動することとなる。第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129が、プルーフマス119上、及びエレクトロニクスウェハ103上に配置されているという事実に起因して、第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との間における1つか又は複数の静電容量が、互いに対するアレイのシフトに伴って変動することとなる。
電極アレイ126と電極アレイ129との間の静電容量の変化の程度を検出又は検知すためにCMOSエレクトロニクス113及び/又は外部電極が用いられ得る。静電容量の変化に基づいて、そのような回路構成は、センサ100が受けた加速度に比例した適切な信号を生成することができる。代替的には、加速中に所定の位置にプルーフマス119を維持するために、クローズドループ回路を用いることができる。そのような回路はクローズドループを含む。該クローズドループは、後述されるように、第1の電極アレイ126及び第2の電極アレイ129からフィードバックされた位置に基づいて、所定位置にプルーフマス119をとどまらせるアクチュエーション信号を提供する。
プルーフマス119の動作は、第2の電極アレイ129にほぼ平行な平面内に実質的に制限されているが、もしも曲げ性のサスペンション要素123が本質的にコンプライアントであるならば、プルーフマス119が、第2の電極アレイ129に垂直な方向において第2の電極アレイ129に対して変位を受ける場合があるということも可能である。別の言い方をすれば、プルーフマス119の望まない動きは、ギャップ133内に望ましくない変化が結果として生じることが起こる可能性がある。本明細書内において記載された方法の場合、平面内の動きの正確な容量性の検知は、ギャップ133を変化させるような望ましくない平面外の動きに対して実質的には影響を受けない。
次に、図2を参照すると、本発明の一実施形態による、それぞれの第1及び第2の電極アレイ126及び129の図が示されている。示されているように、実際には、複数の第1の電極アレイ126と複数の第2の電極アレイ129とが存在する。例えば、示された構成内では、4つのペアの第1及び第2の電極アレイ126及び129が存在する場合がある。もしも第1及び第2の電極アレイ126及び129が、図2内に示されるように配向されているならば、第2の電極アレイ129に平行な平面内における2次元内におけるプルーフマス119の動作が検知され得る。従って、一実施形態において、2次元内においてプルーフマス119の動作が可能となるように曲げ性のサスペンション要素123が構成される。代替的には、1次元内において動作が可能となるように曲げ性のサスペンション要素が構成され得り、ここで、第1及び第2の電極アレイ126及び129は、該1次元の動作を検知するために単一配向内に位置が定められる。
個々の電極アレイは、それぞれ、複数の電極を備える。具体的には、第1の電極アレイ126は、それぞれ、複数の第1の電極143から成り、及び、第2の電極アレイ129は、複数の第2の電極146から成る。各第1の電極アレイ126ごとに、対応する第2の電極アレイ129が存在する。第1の電極アレイ126の各々は、対応する第2の電極アレイ129よりもサイズが小さく、第1の電極アレイ126が移動可能であるという事実の要因となる。その結果、たとえ第1の電極アレイ126が、それぞれの第2の電極アレイ126に対して移動したとしても、プルーフマス119の動作の全範囲にわたって、第1及び第2の電極アレイ126のそれぞれのペア間において常にほぼ類似の重なり(オーバーラップ)が存在することになる。
第1の電極143及び第2の電極146の各々は、長方形の導体を含む。該長方形の導体は、互いに隣接して配置される。それぞれの電極アレイごとの電極143及び146の各々の中の共通ポイント間の距離は、電極アレイの「ピッチ」と呼ばれる。電極143及び146は、長方形の導体として示されているが、本明細書内に説明された原理に関連して要望通りに他の形状及びサイズの導体を用いることもできるということが理解されよう。更にまた、図示されたような長方形アレイとは別の構成内においても、電極が配置され得る。例えば、理解され得るように、角加速度及び変位を検出することに用いるために、円形アレイ内に電極が配置され得る。
次に図3を見ると、第1及び第2の電極アレイ26及び129の一部分の側面図が示されている。追加的には、それぞれの電極アレイ126か又は129の中の電極143及び146のうちのそれぞれの複数電極の間における電気的な接続部が図示されている。電気的接続を考慮して、第1の電極アレイ126は、複数の第1パターン153の電極143を含む。各パターン153は、複数の電極143のうちの2つを含む。各パターン153内における各電極143は、それらのそれぞれのパターン143内の同じ位置を占める他のパターン153内の他の電極143に対応する。すなわち、電極143の両方が、それらのそれぞれのパターン153内における同じ位置を占める時には、複数の第1パターン153のうちの1つ目のパターン153内における複数電極143のうちの第1電極143は、該複数の第1パターン153のうちの2つ目の第1パターン153内の複数電極143のうちの第2電極143に対応する。パターン153の各々の中の対応する電極143は、互いに電気的に結合される。更にまた、第1パターン153は、第1の電極アレイ126内において互いに関連して櫛形にされる(interdigitated)。
第2の電極アレイ129は、複数の第2パターン156の電極146を含む。第2パターン156の各々は、少なくとも3つの第2の電極146を含む。各パターン156内における各電極146は、それらのそれぞれのパターン146内の同じ位置を占める他のパターン156内の他の電極146に対応する。すなわち、電極146の両方が、それらのそれぞれのパターン156内における同じ位置を占める時には、複数の第2パターン156のうちの1つ目の第2パターン156内における複数電極146のうちの第1電極146は、該複数の第2パターン156のうちの2つ目の第2パターン156内の複数電極146のうちの第2電極146に対応する。第2パターン156は、第2の電極アレイ129内において櫛形にされる(interdigitated)。第2パターン156の各々の中の複数の第2電極146のうちの対応する幾つかは共通に結合される。
電極143及び146の各々は、第1及び第2の電極アレイ126及び129内において均等に隔置される。これに関して、第1の電極アレイ126は、ピッチP1を有し、ここで、該ピッチP1は、第1の電極アレイ126内における所与の電極上のポイントと、次の隣接する電極上の同じポイントとの間の距離である。同様に、第2の電極アレイ129は、ピッチP2を有する。センサ100の一実施形態のコンテキスト内において、第1及び第2の電極アレイ126及び129は、グループ長Lを有し、ここで、L=2P1=3P2である。
本発明の一実施形態に従って、第2の電極アレイ129のピッチP2に対する、第1の電極アレイ126のピッチP1の比率が、1.5にほぼ等しいこととなるように、第1及び第2の電極アレイ126及び129のピッチP1及びP2が指定される。
第1の電極アレイ126における共通に結合された電極143は、第1の位相θaか又は第2の位相θbの何れかを形成する。同様に、共通に結合された電極146は、示されるように、位相θA、θB、及びθCを形成する。この構成は、120度だけ離されている第2の電極アレイ129の位相を結果として生じる。
次に図4を参照すると、第2の電極アレイ129に対する第1の電極アレイ126の変位δの関数として、第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との間の交差静電容量(クロスキャパシタンス)の項を示す等価回路が示されている。図示されていないが、図4の概略図内には考慮に入れられていない寄生容量を含む、第1及び第2の電極アレイ126及び129に関連付けられた他の一定の及び可変の静電容量が、存在する可能性があるということが理解されよう。図4内に示された静電容量は、2つの電極アレイ126及び129の相対位置に伴って変動するが、図示されていない寄生容量は、著しい変動を受けない可能性があるか、或いは一定である可能性があるということが理解されよう。
次に図5を参照すると、本発明の一実施形態による、センサ100(図1)の一例を提供する3相センサ200の概略図が示されている。3相センサ200は、単一パターン153(図3)を表す第1の電極アレイ126(2つの電極が図示されている)を含む。追加的には、3相センサ200は、単一パターン156(図3)を表す第2の電極アレイ129(3つの電極が図示されている)を含む。センサ200は、電圧VA、VB、及びVCを提供するための波形発生器210を含む。該電圧VA、VB、及びVCは、第2の電極アレイ129における共通に結合された電極146に提供される正弦波電圧である。一実施形態において、電圧VA、VB、及びVCは、単一基準電圧Vacsin(ωt)のスケーリングされたバージョンであり、ここで、ωは角励起周波数(2πfc)である。AC電圧源Vacsin(ωt)の周波数は、クローズドループ帯域幅か又は任意のシステム機械的応答の何れかよりも実質的により高くなるように指定される。一実施形態において、電圧VA、VB、及びVCは、R2R比DAC(例えば、図10を参照)のような(但し、これに限定されない)、それぞれのディジタル的に制御された分周器(又は分配器)ネットワークを通じて共通電圧源から生成され得る。図5の実施形態は、正弦波電圧を用いて説明されているが、他の周期的な波形もまた利用され得る。
第1の電極アレイ126内における共通に結合された電極143の各々は、差動積分器220に結合される。3相センサ200は、第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との間におけるフェーズ・ツー・フェーズの静電容量に基づいて、復調された出力電圧Vpを生成するよう構成される。第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との間の交差静電容量(クロスキャパシタンス)によって、第1の電極143において結果として信号が生じ、該信号は、差動積分器220に対して提供される。差動積分器220の出力は、それぞれの同期復調器230の入力部に結合される。追加的には、基準電圧Vacsin(ωt)が、波形発生器210によって同期復調器230に提供される。
AC励起の条件下において、互いに対して電極アレイ126及び129が移動すると、同期復調器230に入る正弦波信号の振幅は、静電容量の変化に伴って変動する。同期復調器230は、差動積分器220出力と基準電圧とに基づいて、復調した信号電圧Vpを生成する。
位置の変化当たりの交差静電容量において(dC/dx)、最大限の変化を得るために、第1の電極アレイ126と第2の電極アレイ129との間のギャップdに対する第1の電極アレイ126のピッチの比率が、1.6にほぼ等しくなるように指定されるか、或いは、別のやり方、すなわちP1/d≒1.6で定められる。この形態において、交差静電容量(クロスキャパシタンス)の変形形態は、グループ長Lに等しい期間を有した単一成分のフーリエ展開によって適切に表現され得る。しかしながら、ギャップdに対する、第1の電極アレイのピッチの比率のために、他の値も用いられ得るということが理解されるべきである。約1〜5までの範囲内のP1/d比率の場合には、3相A、B、及びCについての電極アレイ126と電極アレイ129との間の交差静電容量の項は、下記により表され得る。
例えば、第2の電極アレイ129の電極146における複数の第2パターン156が、下記電圧によって、すなわち、
によって(ここで、θcは、電気的な位相角である)励起される時には、復調された出力電圧Vpは、次式により得られる。
図6は、電気的位相角が零(ゼロ)に等しい場合(θc=0)に、位置位相角が零(ゼロ)から2πラジアンにまで変動する時の、正規化された復調された出力電圧のグラフ表示300である。プルーフマス119の任意の所与の位置について、電気的なヌル(ゼロ)位置(復調された出力電圧が零(ゼロ)であるところ)が存在する。図6内に示されているように、第1の電極アレイについての電気的なヌル(ゼロ)位置は、θp=0において及び±nπの区間(インターバル)において位置付けられ、ここで、n=1,2,3・・・である。式(10)によって予測されるように、第2の電極アレイ129に対する第1の電極アレイ126の変位(δ)によって、正規化された復調された出力電圧が、グループ長(L)にわたって正弦波状に変動させられる。電気的位相角を電気的に掃引するように供給電圧VA、VB、及びVCを変動させて、その復調された出力電圧を監視することによって、電気的なヌル(ゼロ)位置が基準位置について見出され得る。
図7は、電気的位相角がθc=0及び±0.3ラジアンに調整された状態で、位置位相角が−πラジアンから+πラジアンまで変動する時の、復調された出力電圧の別のグラフ表示310である。図7の曲線330によって示されているように、復調された出力電圧は、θc=0の時にθp=0に位置付けられた電気的なヌルの周りを正弦波状に変動する。式(10)内のθcを調整することによって、電気的なヌル位置が、左か又は右にシフトされ得る。図7の曲線320によって示されているように、−0.3ラジアンの位置位相角に一致するように電気的なヌル位置が左にシフトされ得る。電気的なヌル位置におけるこのシフトは、式(7)〜式(9)に従って、第2の電極アレイ129に提供される電圧(VA、VB、及びVC)の振幅を調整することによって成し遂げられ得る。θcを所望の電気的なヌル位置(例えば、θc=−0.3ラジアン)に設定することによって、シフトを生じさせるための電圧振幅が決定され得る。同様に、図7の曲線340によって示されているように、式(7)〜式(9)に従って、第2の電極アレイ129に提供される電圧(VA、VB、及びVC)を調整することによって、+0.3ラジアンの位置位相角に一致するように電気的なヌル位置が左にシフトされ得る。
ヌル位置を電気的に調整するこの能力(又は機能)によって、ゆるいウェハ・ツー・ウェハの結合アライメントにより生じた第1の電極アレイと第2の電極アレイとの間のミスアライメントの調整が可能になる。更に、この調整が動的に実施される場合には、第2の電極アレイ129に対する第1の電極アレイ126の位置と、従って、支持構造に対するプルーフマス119の位置とが、電極アレイ126及び129のサイズによってのみ制限される任意の動的範囲にわたって追跡され得る。本開示内に記載された幾つかの実施形態は、140dBに近い現在の限界から、200dBに迫る値へと、動的範囲を改善させることができる。追加的には、動的範囲全体にわたる変位について、高度な精度を維持することができる。幾つかの例示的な実施形態は、位置分解能を<10fmに、及び加速度分解能を1nG未満に、改善することを可能にすることができる。
次に図8を参照すると、センサ250は、コントローラ240を含む。該コントローラ240は、第2の電極アレイ129に提供される電圧(VA、VB、及びVC)の振幅を制御するためのフィードバック信号を提供するために図5のセンサ200に追加される。フィードバック信号の更新レートは、線形出力範囲内において差動積分器220が動作するということを保証するのに十分なほど速いものとすべきである。従って、元の電気的なヌル位置から±π/2ラジアンを越えてプルーフマス119が移動する前に、第1の電極アレイについての電気的なヌル位置が更新され得るか又は調整され得る。電気的位相角に対する調整を用いて、差動積分器出力をほぼゼロに強制するために(すなわち、電気的なヌル位置を、出来る限りDAC分解能近くにシフトさせるために)フィードバックを提供することによって、電極アレイ126及び129のサイズによってのみ制限される任意の変位にわたってプルーフマス119位置が追跡され得る。
図9を参照すると、コントローラ240の例示的な一実施形態の動作が示されている。図9の実施形態において、コントローラ240はディジタルコントローラである。復調された出力電圧(Vp)が、ブロック242内において、アナログからディジタルへの変換器(ADC)を用いてサンプリングされて、復調された出力電圧のi番目のサンプル(Vp,i)が提供される。十分に高いサンプリング及び更新周波数を用いることにより、Vpにおける変動が制限されて、フルレンジ及びフル分解能のADCが利用され得る。
次いで、Vp,iにKv−p(変位/ボルトの単位における差動積分器220及び同期復調器230の利得)を掛けてスケーリングすることによって、前記復調された出力電圧が、ブロック244内において変位の単位に変換される。Vp,iについて、i番目のサンプルの時間における、第2の電極アレイ129に対する第1の電極アレイ126の変位が、次式により得られる。
例えば、図10を参照すると、R2R比DACsを通じて第2の電極アレイ129に提供される電圧VA、VB、及びVCは、制限された分解能を有することができる。例えば、一実施形態において、R2R比DAC出力が、12ビット分解能に制限される。従って、12ビット分解能で、電圧VA、VB、及びVCが、4096の離散ステップか又は値において提供され得る。一実施形態において、参照テーブルを用いることによって、次の電気的位相角角θc,i+1が用いられて、図10のR2R比DACsに対する制御入力が決定される。この例において、次の電気的位相角は、各R2R比DACsごとのテーブルエントリに対応する。該テーブルエントリは、コントローラ240によってR2R比DACsの各々に送られる12ビット制御信号に対応する。従って、この例示的な実施形態において、4096の離散的な電気的位相角位置だけが、12ビット分解能を用いて実現可能である。
図10を再び参照すると、R2R比DACsが、コントローラ240からの制御信号に基づいて電気的位相角位置を更新すると、復調された出力電圧(Vp)が調整されて、復調された出力電圧(Vp,i+1)の次のサンプルが取り込まれる。以前に説明したように、Vp,i+1及びθc,i+1が、ブロック246内において用いられて、次の電気的位相角が、ここでもまた決定される。
位置決定の分解能を、図11の32ビット位置ワード400を用いて説明することができる。3つの最上位ビット410(ビット29〜31)が用いられてサイクルカウントが指示される場合には(ここで、1サイクルは、1グループ長(L)の偏位(又はずれ)である)、残りの29ビットが用いられて、1サイクル(すなわち、グループ長)未満の偏位(又はずれ)が指示され得る。従って、最下位ビット(LSB)は、グループ長の2−29倍の分解能を有する。
基準位置からのプルーフマス119の偏位(又はずれ)は、位置ワード400に基づいて決定され得る。サイクルカウント410は、移動させられたグループ長の数を指示し、その残りの29ビットは、全サイクルよりも少ない任意の残りの偏位を指示する。29LSBsの値は、電気的位相角θc,iと、変換された復調された出力(Kv−pVp,i)とから決定され得る。電圧VA、VB、及びVCが、図10のR2R比DACsによって12ビットで提供されている場合のケースでは、位置ワード400のビット17〜28(420)が、電気的位相角(すなわち、電気的なヌルの位置)についての12ビット制御信号に対応する。R2R比DACsの12ビット制御のせいで、位置ワードの17LSBs(0〜16)が零(ゼロ)である。
変換された復調された出力(Kv−pVp,i)に基づいて、電気的なヌル位置からの偏位(又はずれ)を調整することによって、位置が更にリファインされ得る。復調された出力電圧(Vp)をサンプリングするために、24ビットADCが用いられる場合には、Kv−pVp,iが用いられて、位置ワード400における最大で24LSBs430(ビット0〜23)まで調整され得る。図11内において見られるように、24ビット変換された復調された出力430と、12ビット電気的位相角位置420との間に、7ビットの重なり(オーバラップ)が存在する。従って、±0.1ラジアン未満の変位が生じる前に、電気的なヌル位置の更新を可能にするために、もしもサンプルレートが十分に高く、且つ、±0.1ラジアンよりも広い変位範囲にわたってVpの電圧変動をサンプリングするために24ビットADCが調整される場合には、1つの全サイクル又はグループ長の中において、29ビット精度でプルーフマス119の位置が決定され得る。
例えば、仮に位置ワード400が、電気的位相角θc,i(すなわち、電気的なヌル位置)の現在の位置を表すとする。この例では、基準位置からの偏位(ずれ)は、1サイクル未満である。電気的なヌル位置がビット17〜28(420)により示され、及び、17LSBs(ビット0〜16)が零(ゼロ)に設定される。電気的なヌル位置からの偏位(又はずれ)に対応する復調された出力電圧(Vp)が測定されて、450によって示される等価な変位Kv−pVp,iに変換される。電気的なヌル位置の周囲のVpの傾きに基づいて、変位Kv−pVp,i450が、現在のヌル位置440と組み合わされて、第2の電極アレイ129に対する第1の電極アレイ126の現在の位置(ワード460)が(又は、プルーフマス119の現在の変位が)決定され得る。位置ワード460のビット17〜28(420)が、次いで用いられて、電気的な角度位置θc,i+1が更新されて、Vpの次のサンプルの前に、電気的なヌル位置がシフトされ得る。この例から理解され得るように、図9のADCのビット分解能と、図10のR2R比DACsとにおける変動によって、サンプリングすることと、レートを更新することとにおいて、改善された位置分解能と変動とを可能にすることができるが、位置スケールファクタは、2つの測定サブシステム間において一致させられるべきであるということに留意すべきである。
次に図12を参照すると、本発明の一実施形態による、図8内に示されたような、プルーフマス上に配置された第1の電極アレイと、支持構造の平面表面上に配置された第2の電極アレイとを有するセンサを用いて、加速度を検知するための方法の一例を提供するフローチャート500が示されている。代替的には、図12のフローチャート500を、第1の電極アレイに対する第2の電極アレイの変位を決定するためのセンサ250(図8)のステップを図示するものとして見る(又はみなす)こともできる。図12の例示的なフローチャートにより図示されたようなセンサ250の機能性(又は機能)は、理解され得るように、ソフトウェアか、ハードウェアか、或いはソフトウェアとハードウェアとの組み合わせに関して実現され得る。
ブロック510内において開始するために、第2の電極アレイに対してある入力信号が提供されて、第1の電極アレイについての電気的なヌル位置が生成される。図8の例示的な実施形態において、波形発生器210によってこれを成し遂げることができる。従って、ブロック520内において、第1の電極アレイと第2の電極アレイとの間におけるフェーズ・ツー・フェーズの交差静電容量(クロスキャパシタンス)に基づいて、出力信号が生成される。該出力信号は、電気的なヌル位置に対する第1の電極アレイの変位に対応する。ブロック530内において、第2の電極アレイに対する第1の電極アレイの変位が、前記出力信号と、前記電気的なヌル位置とに基づく。センサにおける加速度を決定するために、該変位が用いられ得る。一実施形態において、位置変化が、ai=δi/(dx/da)として加速度にスケーリングされ得る。ここで、δiは、ゼロ加速度位置に対して参照される(又は基準が取られる)。追加的には、改善された位置検知のために、該変位が用いられて、電気的なヌル位置がシフトさせられ得る。
一実施形態において、センサ250を、上述のようなディジタルプロセッサなどの汎用ハードウェアによって実行されるソフトウェアか又はコードにおいて具現化することができるが、一代替として、それと同様のものを、専用ハードウェアにおいてか、又はソフトウェア/汎用ハードウェアと専用ハードウェアとの組み合わせにおいて具現化することもできる。専用ハードウェアにおいて具現化される場合には、多くの技術のうちの任意の1つか又はそれらの組み合わせを用いる回路としてか又はステートマシーンとしてセンサを実現することができる。これらの技術には、1つか又は複数のデータ信号の用途に関する様々な論理機能を実現するための論理ゲートを有するディスクリートな論理回路か、適切な論理ゲートを有する特定用途向け集積回路か、プログラマブル・ゲート・アレイ(PGA)か、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ(FPGA)か、或いは他の構成要素など、を含めることができる(但し、これらに限定されない)。このような技術は、当業者にとって一般に周知であり、従って、これらは本明細書内において詳細には説明されない。
図9及び図12のフローチャートは、センサ250の実現形態のアーキテクチャ、機能性、及び動作を示す。ソフトウェアにおいて具現化される場合には、各ブロックは、指定された論理機能(複数可)を実現するためのプログラム命令を含むモジュールか、セグメントか、又はコードの一部を表すことが可能である。該プログラム命令は、コンピュータシステム内か又は他のシステム内のプロセッサのような適合可能な実行システムにより認識可能な数字で表した命令を含むあるプログラミング言語か又は機械コードにおいて書かれた、人間によって読み出されることが可能なステートメントを含んだ、ソースコードの形態において具現化され得る。該機械コードは、該ソースコード等から変換され得る。ハードウェアにおいて具現化される場合には、各ブロックは、指定された論理機能(複数可)を実現するための回路か又は多くの相互接続された回路を表すことが可能である。
図9及び図12のフローチャートは、実行の特定の順序を示しているが、実行の順序は、図示された順序とは異なるものとすることもできるということが理解されよう。例えば、2つか又は複数のブロックにおける実行の順序を、その示された順序に対して、スクランブルすることができる。更にまた、図9及び図12内に連続して示された2つか又は複数のブロックを、同時にか、或いは、部分的に同時に実行することもできる。追加的には、改良されたユーティリティ、計算(アカウンティング)か、性能測定か、或いは、トラブルシューティングの補助を提供するため、などの目的のために、任意の数のカウンタか、可変ステートか、警告セマフォか、又はメッセージを、本明細書内に記載された論理フローに追加することができる。全てのそのような変形形態は、本発明の範囲内にあるということを理解されたい。
更にまた、センサ250が、ソフトウェアか又はコードを含む場合には、それは、例えばコンピュータシステム内か又は他のシステム内のプロセッサのような命令実行システムによってか又は命令実行システムに関連して使用されるための任意のコンピュータ可読媒体内において具現化され得る。そういった意味では、その論理には、例えば、該コンピュータ可読媒体からフェッチされて、該命令実行システムによって実行され得るような命令及び宣言を含むステートメントを含めることができる。本発明のコンテキスト内において、「コンピュータ可読媒体」は、命令実行システムによってか又は命令実行システムに関連して使用されるためのセンサを含むか、格納するか、又は維持することが可能な任意の媒体とすることができる。コンピュータ可読媒体には、例えば、電気的か、磁気的か、光学的か、電磁気的か、赤外線のか、又は半導体の媒体などの多くの物理的な媒体のうちの任意のものを含めることができる。適合可能なコンピュータ可読媒体のより具体的な例は、磁気テープか、磁気フレキシブルディスケットか、磁気ハードドライブか、又はコンパクトディスクを含む(但し、これらに限定されない)。更にまた、コンピュータ可読媒体は、例えば、スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)及びダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)か、又は磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)を含むランダムアクセスメモリ(RAM)とすることもできる。追加的には、コンピュータ可読媒体は、読み出し専用メモリ(ROM)か、プログラマブル読み出し専用メモリ(PROM)か、消去可能プログラマブル読み出し専用メモリ(EPROM)か、電気的に消去可能なプログラマブル読み出し専用メモリ(EEPROM)か、又は他のタイプのメモリデバイスとすることもできる。
追加的には、静電容量の変動を定量化するための上述のシステム及び方法は、「アナログ」アプローチと呼ばれ、周波数領域内において動作する。しかしながら、「ディジタル」アプローチと呼ばれる、典型的には時間領域内において提供されるスイッチ・コンデンサ技法もまた用いられ得る。理解されるように、特に、アナログソース電圧Vacsin(ωt)を使用するよりもむしろ、ディジタル励起(又は励振)信号が用いられ得る。
Claims (15)
- プルーフマス(119)上に配置された第1の電極アレイ(126)であって、該第1の電極アレイは、複数の第1パターンの電極(143)を含み、該第1パターンの各々は、少なくとも2つの第1の電極を含むことからなる、第1の電極アレイと、
支持構造(103、116)の平面表面上に配置された第2の電極アレイ(129)であって、該第2の電極アレイは、複数の第2パターンの電極(146)を含み、該第2パターンの各々は、少なくとも3つの第2の電極を含み、ここで、該第2パターン内の該第2の電極のうちの対応する複数の電極が、共通に結合されていることからなる、第2の電極アレイと、
前記第1の電極アレイが、前記第2の電極アレイに対して面するように且つほぼ平行に位置付けられることとなるように、コンプライナントな結合(123)を介して前記支持構造に取り付けられている前記プルーフマスであって、ここで、前記プルーフマスは、前記支持構造に対して変位することが可能であり、該プルーフマスの該変位は、前記第2の電極アレイに対してほぼ平行な方向にあることからなる、前記プルーフマスと、
前記第1の電極アレイについての電気的なヌル位置を生成するために、前記第2パターンの電極の各々に対して入力電圧を提供するよう構成された回路構成(210)
とを備える、センサ。 - 前記入力電圧は全て、共通の基準周波数を有しており、各入力電圧は、独立に調整可能な振幅を有しており、ここで、前記電気的なヌル位置は、各入力電圧ごとに該振幅を調整することによってシフトされ得ることからなる、請求項1に記載のセンサ。
- 前記電気的なヌル位置に対する前記第1の電極アレイの変位に対応する出力信号を生成するよう構成された回路構成を更に備える、請求項1及び2に記載のセンサ。
- 出力信号を生成するよう構成された前記回路構成が、
前記複数の第1パターンの電極に結合された差動積分器(220)と、
前記差動積分器に結合された同期復調器(230)であって、前記出力信号から前記基準周波数を復調するよう構成される、同期復調器
とを含むことからなる、請求項3に記載のセンサ。 - 前記出力電圧に基づいて前記電気的なヌル位置をシフトさせるために各入力電圧ごとに前記振幅を調整するよう構成された回路構成(240、210)を更に備える、請求項2及び3に記載のセンサ。
- 各入力電圧ごとに前記振幅を調整するよう構成された前記回路構成が、参照テーブルを含み、該参照テーブルは、前記出力信号に部分的に基づいて各入力電圧に対応する更新された振幅値を提供することからなる、請求項5に記載のセンサ。
- 前記更新された振幅値は、各入力電圧ごとに前記調整された振幅に対応するディジタル制御入力である、請求項5及び6に記載のセンサ。
- 前記出力信号に基づいて前記第2の電極アレイに対する前記第1の電極アレイの位置を決定するよう構成された回路構成(240)を更に備える、請求項3及び4に記載のセンサ。
- 前記第2の電極アレイに対する前記第1の電極アレイの前記位置に基づいて、前記プルーフマスの加速度を決定するよう構成された回路構成(240)を更に備える、請求項8に記載のセンサ。
- 前記第2の電極アレイ(129)のピッチ(P2)に対する、前記第1の電極アレイ(126)のピッチ(P1)の比率が、1.5にほぼ等しい、請求項1乃至8に記載のセンサ。
- プルーフマス(119)上に配置された第1の電極アレイ(126)と、支持構造(103、116)の平面表面上に配置された第2の電極アレイ(129)とを有したセンサを用いて加速度を検知するための方法であって、前記第1の電極アレイが前記第2の電極アレイに対して面するように且つほぼ平行に位置付けられることとなるように、コンプライアントな結合(123)を介して該プルーフマスが該支持構造に取り付けられており、ここで、該プルーフマスは、前記支持構造に対して変位することが可能であり、該プルーフマスの該変位は、前記第2の電極アレイに対してほぼ平行な方向にあり、該方法が、
前記第1の電極アレイについての電気的なヌル位置を生成するために、入力信号を前記第2の電極アレイに対して提供し、ここで、前記第2の電極アレイは、複数の第2パターンの電極(146)を含み、該第2パターンの各々は、少なくとも3つの第2の電極を含み、
前記第1の電極アレイと前記第2の電極アレイとの間におけるフェーズ・ツー・フェーズの交差静電容量に基づいて、出力信号を生成し、ここで、該第1の電極は、複数の第1パターンの電極(143)を含み、該第1パターンの各々が、少なくとも2つの第1の電極を含み、ここで、該第1パターン内の前記第1の電極のうちの対応する複数の電極が、共通に結合されており、ここで、出力信号が、前記電気的なヌル位置に対する前記第1の電極アレイの変位に対応し、及び、
前記出力信号と前記電気的なヌル位置とに基づいて、前記第2の電極アレイに対する前記第1の電極アレイの前記変位を決定する
ことを含むことからなる、方法。 - 前記入力信号は、前記第2パターンの各電極ごとの入力電圧を含み、該入力電圧は全て、共通の基準周波数を有し、各入力電圧は、独立に調整可能な振幅を有し、ここで、前記電気的なヌル位置は、各入力電圧ごとに該振幅を調整することによってシフトされ得ることからなる、請求項11に記載の方法。
- 前記出力信号に基づいて前記電気的なヌル位置をシフトさせるために各入力電圧ごとに振幅を調整することを更に含むことからなる、請求項11及び12に記載の方法。
- 前記出力信号に部分的に基づいて各入力電圧に対応する更新された振幅値を提供することによって、各入力電圧ごとに前記振幅を調整するための参照テーブルが用いられることからなる、請求項13に記載の方法。
- 前記第2の電極アレイに対する前記第1の電極アレイの前記変位に基づいて前記プルーフマスの加速度を決定することを更に含む、請求項11乃至13に記載の方法。
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