JP2004510984A - マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための次のような方法に関する。すなわち、該マイクロメカニカル構成部材には、基板(SU)の上方に固定的に懸架された第1コンデンサ電極(F1)と、基板(SU)の上方に固定的に懸架された第2コンデンサ電極(F2)と、前記第1コンデンサ電極(F1)と前記第2コンデンサ電極(F2)との間に配置され基板(SU)の上方に弾性変位可能であるように懸架された第3コンデンサ電極(B)と、前記のように構成された可変コンデンサ(F1,B;B,F2)のキャパシタンス(C1,C1’;C2,C2’)の容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられている方法に関する。ここでは、第1電位(VF1)が第1コンデンサ電極(F1)に印加され、第2電位(VF2)が第2コンデンサ電極(F2)に印加され、第3電位(VB)が第3コンデンサ電極(B)に印加され、第4電位(VS)が基板(SU)に印加される。基板(SU)に印加される第4電位(VS)は、容量差検出装置の動作のために電気的ゼロ点調整するために変更される。
Description
【0001】
従来の技術
本発明は、マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法および装置に関する。ここではこのマイクロメカニカル構成部材には、基板の上方に固定的に懸架された第1のコンデンサ電極と、基板の上方に固定的に懸架された第2のコンデンサ電極と、前記第1コンデンサ電極と第2コンデンサ電極との間に配置され弾性変位可能であるように基板の上方に懸架されている第3のコンデンサ電極と、前記のように構成された可変コンデンサのキャパシタンスの容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられている。
【0002】
本発明は任意のマイクロメカニカル構成部材およびマイクロメカニカル構造体、とりわけセンサおよびアクチュエータに適用できるが、本発明および本発明の基になっている問題点を、シリコン表面マイクロメカニクスの技術で製造可能な、ヨーレートセンサのマイクロメカニカルコリオリ式加速度センサに関連して説明する。
【0003】
一般的な加速度センサ、とりわけ表面マイクロメカニクスないしは容積マイクロメカニクスの技術におけるマイクロメカニカル加速度センサは、自動車装備の分野においてますます市場を拡大させており、ますます従来の通常の圧電式加速度センサに取って代わってきている。
【0004】
公知のマイクロメカニカル加速度センサでは通常、弾性支承され外部加速度によって少なくとも1つの方向に変位可能な振動質量装置が、該振動質量装置に接続された差動コンデンサ装置において変位時にキャパシタンス変化を引き起こし、このキャパシタンス変化が加速度に対する尺度となる。これらの構成部材は通常、ポリシリコン、たとえばエピタクシーポリシリコンにおいて、酸化物から成る犠牲層の上に構造化される。
【0005】
しかし、マイクロメカニカルセンサ構成部材は一般的に、線形加速度または回転加速度を検出するのに使用されるだけでなく、傾きおよび回転速度を検出するのにも使用される。ここでは大抵、前記の容量差測定原理が適用される。この容量差測定原理では、たとえば加速度である測定量がマイクロメカニカルセンサ構造体の可動なコンデンサ電極の位置変化を引き起こすことによって、可動コンデンサ電極の両面に配置され相応に固定された2つのコンデンサ電極が、電気的測定キャパシタンス値とは逆方向に変化する。言い換えれば、一方のコンデンサのキャパシタンスは所定の量だけ増加し、前記のように構成された他方のコンデンサのキャパシタンスは相応の値だけ、つまりコンデンサ電極の間隔の相応の変化に基づいて減少する。
【0006】
このような測定構造体のゼロ位置または該当するマイクロメカニカルセンサ素子の寄生キャパシタンス成分に非対称が存在すると、それが非常に小さな非対称でも、センサ素子の出力端において電気的オフセットないしは電気的ゼロ点のずれが生じる。このようなオフセットは通常、個別にセンサ調整する際に相応の電圧ないしは相応の電流を付加することにより、容量差検出装置の該当の信号系統において補償される。
【0007】
このように、センサをオフセット調整する際に該当の信号系統に介入すると、意図せずに重要な他の関数パラメータに悪影響が生じてしまい、たとえばオフセットで温度特性が生じ、それと同時に信号増幅率およびセンサ感度の変化も生じてしまうおそれがある。このことにより、さらなる補償および調整が必要になり、センサ調整のコストが著しく高くなってしまう。
【0008】
さらにこのようなオフセット調整の位置づけは、増幅率調整の少なくとも一部がオフセット補償の後で初めて実行されると、該当の信号系統の総増幅率、たとえば調整すべき定格感度に依存してしまう。
【0009】
本発明の利点
マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための、請求項1の特徴を有する方法、ないしは請求項4記載の相応の装置は、次のような利点を有する。すなわち、容量的に評価されるセンサ素子のオフセット調整ないしはゼロ点調整を高感度の信号系統の外部で、すなわち増幅係数に依存せずに実行でき、たとえば温度特性により生じる寄生的な信号の歪みをもたらすことがないという利点を有する。
【0010】
本発明の基礎となる考えは、基板に印加される第4の電位を、容量差検出装置の動作のための電気的ゼロ点を調整するために変化させることである。
【0011】
従属請求項には、本発明の各対象の有利な発展形態および改善手段が記載されている。
【0012】
有利な発展形態によれば、容量差を検出するために必要な電位はクロック制御されて印加される。
【0013】
別の発展形態では、マイクロメカニカル構成部材は、複数の可動コンデンサ電極および複数の固定コンデンサ電極を備えたインターデジタルコンデンサ装置を有する。
【0014】
図面
本発明の実施例は図面に示されており、以下の説明においてより詳細に説明される。
【0015】
図1は、第1基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。
【0016】
図2は、第2基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。
【0017】
実施例の説明
図において同一の参照番号は、同一の構成エレメントまたは同機能の構成エレメントを示す。
【0018】
図1は、第1基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。図1に概略的に示された断面図は、容量差信号評価のための3つのコンデンサ電極を示している。
【0019】
図1において、F1は基板SUの上方に固定的に懸架された第1のコンデンサ電極を示しており、F2は基板SUの上方に固定的に懸架された第2のコンデンサ電極を示しており、Bは、第1コンデンサ電極と第2コンデンサ電極との間に配置され基板SUの上方に変位可能に懸架された第3のコンデンサ電極を示している。第3コンデンサ電極Bは、ばね装置を介して静止位置へ戻ることができる。
【0020】
3つの電極F1、B、F2は、前記のように構成された可変コンデンサF1、B;B、F2のキャパシタンスC1、C2の容量差を検出するための容量差検出装置(ここには図示されていない)に接続されている。
【0021】
第1固定コンデンサ電極F1には電位VF1が印加され、第2コンデンサ電極F2には電位VF2が印加され、第3コンデンサ電極には電位VBが印加される。たとえば、VF1=5V、VF2=0V、VB=2.5Vである。さらに、基板SUには電位VS=V1(たとえば2.5V)が印加される。また図1には、電位印加の結果発生する電界線も概略的に示されている。図の二重矢印は、第3の可動コンデンサ電極Bの変位に対する検出方向を示している。
【0022】
実際には、キャパシタンス測定に必要な電位はコンデンサ電極に静的に印加されるのではなく、クロック制御されてコンデンサ電極に印加される。
【0023】
話を簡単にするため、コンデンサ電極F1、F2、Bの相互の間隔が完全に対称的であるように図示するが、ここでは寄生キャパシタンスが非対称であり、ゼロ点調整が必要であると仮定する。
【0024】
図1のように電位VF1、VB、VF2、VSが印加される場合、第3可動コンデンサ電極Bに検出方向Sに作用する合力は0である。
【0025】
図2は、第2の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
【0026】
ここで、基板SUの電位VSがV1=2.5VからV2=3Vへ変化した場合、横方向の電界線分布に非対称が生じることによる変化方向に応じて、小さな電気的力Kが可動コンデンサ電極Bに検出方向Sに作用する。換言すれば、基板SUの電位VSがV1=2.5VからV2=3Vへ変化することにより電界線にひずみが生じ、合力Kが生じる。
【0027】
この合力Kによって可動コンデンサ電極Bは横方向に変位し、2つのコンデンサF1、B;B、F2のキャパシタンス値C1、C2は新たなキャパシタンス値C1’、C2’に同調される。このことにより、容量差検出装置の出力端におけるゼロ点が変化する。
【0028】
基板SUの電位VSが可動コンデンサ電極Bの電位より低いと、図2と反対方向に電気的力が生じる。
【0029】
ここで重要なのは、信号増幅系統に完全に依存せずに基板SUの電位VSを変化できるということである。このことにより、従来技術で生じる欠点を回避することができる。
【0030】
以上で本発明を1つの有利な実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこの実施例に制限されることはなく、多岐にわたってアレンジすることができる。
【0031】
上記の実施例では、本発明の基本原理を説明するため、簡単な形態の本発明による加速度センサを説明した。上記実施例を組み合わせること、また同じエレメントないしは方法ステップを使用してさらに複雑な実施形態を構成することも、もちろん考えられる。
【0032】
また、上記実施例で例として使用されたシリコン基板だけでなく、任意のマイクロメカニクス基本材料を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
第1の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
【図2】
第2の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
従来の技術
本発明は、マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法および装置に関する。ここではこのマイクロメカニカル構成部材には、基板の上方に固定的に懸架された第1のコンデンサ電極と、基板の上方に固定的に懸架された第2のコンデンサ電極と、前記第1コンデンサ電極と第2コンデンサ電極との間に配置され弾性変位可能であるように基板の上方に懸架されている第3のコンデンサ電極と、前記のように構成された可変コンデンサのキャパシタンスの容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられている。
【0002】
本発明は任意のマイクロメカニカル構成部材およびマイクロメカニカル構造体、とりわけセンサおよびアクチュエータに適用できるが、本発明および本発明の基になっている問題点を、シリコン表面マイクロメカニクスの技術で製造可能な、ヨーレートセンサのマイクロメカニカルコリオリ式加速度センサに関連して説明する。
【0003】
一般的な加速度センサ、とりわけ表面マイクロメカニクスないしは容積マイクロメカニクスの技術におけるマイクロメカニカル加速度センサは、自動車装備の分野においてますます市場を拡大させており、ますます従来の通常の圧電式加速度センサに取って代わってきている。
【0004】
公知のマイクロメカニカル加速度センサでは通常、弾性支承され外部加速度によって少なくとも1つの方向に変位可能な振動質量装置が、該振動質量装置に接続された差動コンデンサ装置において変位時にキャパシタンス変化を引き起こし、このキャパシタンス変化が加速度に対する尺度となる。これらの構成部材は通常、ポリシリコン、たとえばエピタクシーポリシリコンにおいて、酸化物から成る犠牲層の上に構造化される。
【0005】
しかし、マイクロメカニカルセンサ構成部材は一般的に、線形加速度または回転加速度を検出するのに使用されるだけでなく、傾きおよび回転速度を検出するのにも使用される。ここでは大抵、前記の容量差測定原理が適用される。この容量差測定原理では、たとえば加速度である測定量がマイクロメカニカルセンサ構造体の可動なコンデンサ電極の位置変化を引き起こすことによって、可動コンデンサ電極の両面に配置され相応に固定された2つのコンデンサ電極が、電気的測定キャパシタンス値とは逆方向に変化する。言い換えれば、一方のコンデンサのキャパシタンスは所定の量だけ増加し、前記のように構成された他方のコンデンサのキャパシタンスは相応の値だけ、つまりコンデンサ電極の間隔の相応の変化に基づいて減少する。
【0006】
このような測定構造体のゼロ位置または該当するマイクロメカニカルセンサ素子の寄生キャパシタンス成分に非対称が存在すると、それが非常に小さな非対称でも、センサ素子の出力端において電気的オフセットないしは電気的ゼロ点のずれが生じる。このようなオフセットは通常、個別にセンサ調整する際に相応の電圧ないしは相応の電流を付加することにより、容量差検出装置の該当の信号系統において補償される。
【0007】
このように、センサをオフセット調整する際に該当の信号系統に介入すると、意図せずに重要な他の関数パラメータに悪影響が生じてしまい、たとえばオフセットで温度特性が生じ、それと同時に信号増幅率およびセンサ感度の変化も生じてしまうおそれがある。このことにより、さらなる補償および調整が必要になり、センサ調整のコストが著しく高くなってしまう。
【0008】
さらにこのようなオフセット調整の位置づけは、増幅率調整の少なくとも一部がオフセット補償の後で初めて実行されると、該当の信号系統の総増幅率、たとえば調整すべき定格感度に依存してしまう。
【0009】
本発明の利点
マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための、請求項1の特徴を有する方法、ないしは請求項4記載の相応の装置は、次のような利点を有する。すなわち、容量的に評価されるセンサ素子のオフセット調整ないしはゼロ点調整を高感度の信号系統の外部で、すなわち増幅係数に依存せずに実行でき、たとえば温度特性により生じる寄生的な信号の歪みをもたらすことがないという利点を有する。
【0010】
本発明の基礎となる考えは、基板に印加される第4の電位を、容量差検出装置の動作のための電気的ゼロ点を調整するために変化させることである。
【0011】
従属請求項には、本発明の各対象の有利な発展形態および改善手段が記載されている。
【0012】
有利な発展形態によれば、容量差を検出するために必要な電位はクロック制御されて印加される。
【0013】
別の発展形態では、マイクロメカニカル構成部材は、複数の可動コンデンサ電極および複数の固定コンデンサ電極を備えたインターデジタルコンデンサ装置を有する。
【0014】
図面
本発明の実施例は図面に示されており、以下の説明においてより詳細に説明される。
【0015】
図1は、第1基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。
【0016】
図2は、第2基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。
【0017】
実施例の説明
図において同一の参照番号は、同一の構成エレメントまたは同機能の構成エレメントを示す。
【0018】
図1は、第1基板電位の場合の本発明の実施形態による加速度センサの断面図の一部を示している。図1に概略的に示された断面図は、容量差信号評価のための3つのコンデンサ電極を示している。
【0019】
図1において、F1は基板SUの上方に固定的に懸架された第1のコンデンサ電極を示しており、F2は基板SUの上方に固定的に懸架された第2のコンデンサ電極を示しており、Bは、第1コンデンサ電極と第2コンデンサ電極との間に配置され基板SUの上方に変位可能に懸架された第3のコンデンサ電極を示している。第3コンデンサ電極Bは、ばね装置を介して静止位置へ戻ることができる。
【0020】
3つの電極F1、B、F2は、前記のように構成された可変コンデンサF1、B;B、F2のキャパシタンスC1、C2の容量差を検出するための容量差検出装置(ここには図示されていない)に接続されている。
【0021】
第1固定コンデンサ電極F1には電位VF1が印加され、第2コンデンサ電極F2には電位VF2が印加され、第3コンデンサ電極には電位VBが印加される。たとえば、VF1=5V、VF2=0V、VB=2.5Vである。さらに、基板SUには電位VS=V1(たとえば2.5V)が印加される。また図1には、電位印加の結果発生する電界線も概略的に示されている。図の二重矢印は、第3の可動コンデンサ電極Bの変位に対する検出方向を示している。
【0022】
実際には、キャパシタンス測定に必要な電位はコンデンサ電極に静的に印加されるのではなく、クロック制御されてコンデンサ電極に印加される。
【0023】
話を簡単にするため、コンデンサ電極F1、F2、Bの相互の間隔が完全に対称的であるように図示するが、ここでは寄生キャパシタンスが非対称であり、ゼロ点調整が必要であると仮定する。
【0024】
図1のように電位VF1、VB、VF2、VSが印加される場合、第3可動コンデンサ電極Bに検出方向Sに作用する合力は0である。
【0025】
図2は、第2の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
【0026】
ここで、基板SUの電位VSがV1=2.5VからV2=3Vへ変化した場合、横方向の電界線分布に非対称が生じることによる変化方向に応じて、小さな電気的力Kが可動コンデンサ電極Bに検出方向Sに作用する。換言すれば、基板SUの電位VSがV1=2.5VからV2=3Vへ変化することにより電界線にひずみが生じ、合力Kが生じる。
【0027】
この合力Kによって可動コンデンサ電極Bは横方向に変位し、2つのコンデンサF1、B;B、F2のキャパシタンス値C1、C2は新たなキャパシタンス値C1’、C2’に同調される。このことにより、容量差検出装置の出力端におけるゼロ点が変化する。
【0028】
基板SUの電位VSが可動コンデンサ電極Bの電位より低いと、図2と反対方向に電気的力が生じる。
【0029】
ここで重要なのは、信号増幅系統に完全に依存せずに基板SUの電位VSを変化できるということである。このことにより、従来技術で生じる欠点を回避することができる。
【0030】
以上で本発明を1つの有利な実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこの実施例に制限されることはなく、多岐にわたってアレンジすることができる。
【0031】
上記の実施例では、本発明の基本原理を説明するため、簡単な形態の本発明による加速度センサを説明した。上記実施例を組み合わせること、また同じエレメントないしは方法ステップを使用してさらに複雑な実施形態を構成することも、もちろん考えられる。
【0032】
また、上記実施例で例として使用されたシリコン基板だけでなく、任意のマイクロメカニクス基本材料を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
第1の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
【図2】
第2の基板電位の場合の本発明の実施例による加速度センサの断面の一部を示している。
Claims (6)
- マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための方法であって、該マイクロメカニカル構成部材には、
基板(SU)の上方に固定的に懸架された第1コンデンサ電極(F1)と、
基板(SU)の上方に固定的に懸架された第2コンデンサ電極(F2)と、
前記第1コンデンサ電極(F1)と前記第2コンデンサ電極(F2)との間に配置され、基板(SU)の上方に弾性変位可能であるように懸架された第3コンデンサ電極(B)と、
前記のように構成された可変コンデンサ(F1,B;B,F2)のキャパシタンス(C1,C1’;C2,C2’)の容量差を検出するための容量差検出装置とが設けられており、
第1電位(VF1)を前記第1コンデンサ電極(F1)に印加するステップと、
第2電位(VF2)を前記第2コンデンサ電極(F2)に印加するステップと、
第3電位(VB)を前記第3コンデンサ電極(B)に印加するステップと、
第4電位(VS)を基板(SU)に印加するステップとを含む形式の方法において、
基板(SU)に印加される第4電位(VS)を変化させることにより、容量差検出装置の動作のための電気的ゼロ点を調整をすることを特徴とする方法。 - 容量差を検出するために必要な電位(VF1、VB、VF2、VS)をクロック制御して印加する、請求項1記載の方法。
- マイクロメカニカル構成部材は、複数の可動コンデンサ電極および複数の固定コンデンサ電極を備えたインターデジタルコンデンサ装置を有している、請求項1記載の方法。
- マイクロメカニカル構成部材のために電気的ゼロ点調整するための装置であって、該マイクロメカニカル構成部材には
基板(SU)の上方に固定的に懸架された第1コンデンサ電極(F1)と、
基板(SU)の上方に固定的に懸架された第2コンデンサ電極(F2)と、
前記第1コンデンサ電極(F1)と前記第2コンデンサ電極(F2)との間に配置され基板(SU)の上方に弾性変位可能であるように懸架された第3コンデンサ電極(B)と、
前記のように構成された可変コンデンサ(F1,B;B,F2)のキャパシタンス(C1,C1’;C2,C2’)の容量差を検出するための容量差検出装置と、電位供給装置とが設けられており、
該電位供給装置は、第1電位(VF1)を前記第1コンデンサ電極(F1)に印加し、
第2電位(VF2)を前記第2コンデンサ電極に印加し、
第3電位(VB)を前記第3コンデンサ電極(B)に印加し、
第4電位(VS)を基板(SU)に印加する形式のものにおいて、
該電位供給装置は、基板(SU)に印加される第4電位(VS)を変化させることにより、容量差検出装置の動作のために電気的ゼロ点調整をするように構成されていることを特徴とする装置。 - 容量差を検出するために必要な電位(VF1、VB、VF2、VS)はクロック制御されて印加される、請求項4記載の装置。
- マイクロメカニカル構成部材は、複数の可動コンデンサ電極および複数の固定コンデンサ電極を備えたインターデジタルコンデンサ装置を有している、請求項4記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
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DE10049462A DE10049462A1 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Verfahren und Vorrichtung zum elektrischen Nullpunktabgleich für ein mikromechanisches Bauelement |
PCT/DE2001/002066 WO2002029421A1 (de) | 2000-10-06 | 2001-06-01 | Verfahren und vorrichtung zum elektrischen nullpunktabgleich für ein mikromechanisches bauelement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004510984A true JP2004510984A (ja) | 2004-04-08 |
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Country Status (5)
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JP (1) | JP2004510984A (ja) |
DE (2) | DE10049462A1 (ja) |
WO (1) | WO2002029421A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014188705A1 (ja) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | 株式会社デンソー | 容量式物理量センサ |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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ITTO20010705A1 (it) * | 2001-07-18 | 2003-01-18 | St Microelectronics Srl | Modulatore elettromeccanico a sovracampionamento autocalibrante e relativo metodo di autocalibrazione. |
DE10248736B4 (de) * | 2002-10-18 | 2005-02-03 | Litef Gmbh | Verfahren zur Ermittlung eines Nullpunktfehlers eines Corioliskreisels |
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