JP6054732B2 - 半導体装置及びオフセット電圧の補正方法 - Google Patents

半導体装置及びオフセット電圧の補正方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体装置及びオフセット電圧の補正方法に関し、例えば、増幅回路を有する半導体装置及びオフセット電圧の補正方法に関する。
増幅回路は、第1の入力端子と、第2の入力端子と、を有し、第1の入力端子と第2の入力端子とのいずれか一方にバイアス電圧を与え、第1の入力端子と第2の入力端子の少なくとも一方に入力信号を与え、バイアス電圧を動作点として出力信号を出力して動作する。増幅回路は、理想的には入力信号が入力されない無信号状態において第1の入力端子と第2の入力端子との間の電圧差がゼロとなる仮想短絡特性を有する。しかし、実際には、無信号状態であっても第1の入力端子と第2の入力端子との間に電圧差が発生する。この電圧差はオフセット電圧と呼ばれる。このオフセット電圧は、増幅回路の動作点ずれを生じさせるため、問題となる。
そこで、特許文献1及び2では、当該オフセット電圧を補正するための技術が開示されている。特許文献1には、可変抵抗を用いてゲインを調整する技術が開示されている。また、特許文献2には、AD変換器により直接バイアスを調整する技術が開示されている。
特開2000−174570号公報 特開平09−148930号公報
上述のように特許文献1及び2ではバイアス電圧を調整してオフセット電圧を補正する。しかしながら、特許文献1及び2を用いてオフセット電圧を補正する場合、バイアス電圧の補正成分が増幅回路により増幅されて出力されるため、高精度なバイアス電圧の補正を実施する必要があるという問題点がある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
一実施の形態によれば、半導体装置は、第1の可変電圧源において第1の設定値に応じて生成される第1のバイアス電圧により増幅回路の動作点の理想値を設定し、第2の可変電圧源において第2の設定値に応じて生成される第2のバイアス電圧により増幅回路の動作点の理想値からのずれ量を補正するものである。
前記一実施の形態によれば、増幅回路のオフセット電圧を高精度に補正することができる。
本実施の形態1にかかる反転アンプの構成を示すブロック図である。 本実施の形態1にかかるオフセット電圧の補正手順の流れを示すフローチャートである。 本実施の形態2にかかる非反転アンプの構成を示すブロック図である。 本実施の形態3にかかる加算アンプの構成を示すブロック図である。 本実施の形態4にかかるセンサシステムの構成図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路ブロック図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路の接続関係を示す図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路の接続例を示す図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路の接続例を示す図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路の接続例を示す図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路の接続例を示す図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の回路構成を示す回路図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の構成変更例を示す回路図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の構成変更例を示す回路図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の構成変更例を示す回路図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の構成変更例を示す回路図である。 本実施の形態4にかかる半導体装置の構成変更例を示す回路図である。
説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、様々な処理を行う機能ブロックとして図面に記載される各要素は、ハードウェア的には、CPU、メモリ、その他の回路で構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組合せによっていろいろな形で実現できることは当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。なお、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。
本実施の形態にかかる半導体装置は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子と、を有する増幅回路と、第1の設定値に応じた電圧値を有する第1のバイアス電圧を生成する第1の可変電圧源と、第2の設定値に応じた電圧値を有する第2のバイアス電圧を生成する第2の可変電圧源と、一端が前記反転入力端子に接続される第1の抵抗と、前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、一端が前記非反転入力端子に接続される第3の抵抗と、前記第2の可変電圧源と前記非反転入力端子との間に接続される第4の抵抗と、を有するものである。そして、前記第1のバイアス電圧は、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも一方に与えられ、入力信号は、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも他方に与えられる半導体装置である。これにより、増幅回路におけるオフセット電圧を精密に補正できる。例えば、精度が高く、高価な可変電圧源を用いなくとも、相対的に精度が低く、安価な複数の可変電圧源を用いることで、オフセット電圧の補正を高精度に行うことができる。併せて、入力信号であるコモン電圧と第1のバイアス電圧とを同電位に調整することもできる。
また、上記半導体装置は、前記第1の抵抗と前記第3の抵抗とは抵抗値が等しく、前記第2の抵抗と前記第4の抵抗とは抵抗値が等しいことが望ましい。これにより、さらに
精密にオフセット電圧を補正できる。
さらに、前記第1のバイアス電圧は、前記第3の抵抗の他端に与えられ、前記入力信号は、前記第1の抵抗の他端に与えられるようにするとよい。これにより、反転アンプにおけるオフセット電圧の補正を高精度に行うことができる。
また、前記第1のバイアス電圧は、前記増幅回路が出力する出力信号の振幅中心の理想値に相当する電圧値を有し、前記第2のバイアス電圧は、前記振幅中心からのずれ量に相当する電圧値を有することが望ましい。これにより、増幅回路からの同一の出力信号を用いて、第1のバイアス電圧により大きな範囲でオフセット電圧を補正し、第2のバイアス電圧により限定された範囲内で細かくオフセット電圧を補正することができる。そのため、オフセット電圧の補正をさらに高精度に行うことができる。
さらに、前記第1の可変電圧源は、前記増幅回路が出力する出力信号から変換されたアナログ信号を、前記第1の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第1のバイアス電圧を生成するデジタルアナログ変換器であり、前記第2の可変電圧源は、前記アナログ信号を、前記第2の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第2のバイアス電圧を生成するデジタルアナログ変換器であることが望ましい。これにより、増幅回路からの出力信号を増幅回路の基準電圧として使用することができる。
また、本実施の形態にかかる半導体装置は次のように表現することもできる。すなわち、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子と、を有する増幅回路と、一端が前記反転入力端子に接続される第1の抵抗と、前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、一端が前記非反転入力端子に接続される第3の抵抗と、一端が前記非反転入力端子に接続される第4の抵抗と、第1の設定値に応じた電圧値を有する第1のバイアス電圧を生成し、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも一方に当該第1のバイアス電圧を与える第1の可変電圧源と、第2の設定値に応じた電圧値を有する第2のバイアス電圧を生成し、前記第4の抵抗の他端に当該第2のバイアス電圧を与える第2の可変電圧源と、を有する半導体装置である。そして、当該半導体装置は、前記第1のバイアス電圧により前記増幅回路の動作点の理想値を設定し、前記第2のバイアス電圧により前記増幅回路の動作点の前記理想値からのずれ量を補正するものである。これにより、増幅回路におけるオフセット電圧を精密に補正できる。例えば、精度が高く、高価な可変電圧源を用いなくとも、相対的に精度が低く、安価な複数の可変電圧源を用いることで、オフセット電圧の補正を高精度に行うことができる。併せて、入力信号であるコモン電圧と第1のバイアス電圧とを同電位に調整することもできる。
<実施の形態1>(反転アンプ)
以下では、実施の形態1として、上述した半導体装置の一実施例である反転アンプについて説明する。図1は、本実施の形態1にかかる反転アンプ31の構成を示すブロック図である。反転アンプ31は、増幅回路40と、抵抗r1〜r4と、DAC41及び42とを備える半導体装置である。
増幅回路40は、反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子と、を有する。DAC41は、制御信号CTL1(第1の設定値)に応じた電圧値を有する基準電圧Vref1(第1のバイアス電圧)を生成する第1の可変電圧源である。DAC42は、制御信号CTL2(第2の設定値)に応じた電圧値を有する基準電圧Vref2(第2のバイアス電圧)を生成する第2の可変電圧源である。尚、制御信号CTL1及びCTL2は、外部から設定された信号値であるか、または、制御回路(不図示)が入力信号Vin、基準電圧Vref1及びVref2並びに出力信号Vout等の測定値に応じて動的に設定した信号値であってもよい。
抵抗r1は、抵抗値Riaを有し、一端が増幅回路40の反転入力端子に接続され、他端に入力信号Vinが与えられる第1の抵抗である。抵抗r2は、抵抗値Rfaを有し、増幅回路40の出力端子と反転入力端子との間に接続される第2の抵抗である。抵抗r3は、抵抗値Ribを有し、増幅回路40の非反転入力端子とDAC41との間に接続される第3の抵抗である。抵抗r4は、抵抗値Rfbを有し、DAC42と増幅回路40の非反転入力端子との間に接続される第4の抵抗である。
ここで、図1に示した反転アンプ31における増幅回路40の非反転入力端子における電圧値は以下の式(1)により求めることができる。
Figure 0006054732
また、図1に示した反転アンプ31における増幅回路40の反転入力端子における電圧値は以下の式(2)により求めることができる。
Figure 0006054732
ここで、反転アンプ31における増幅回路40のオフセット電圧が"0"となる場合は、以下の式(3)が成立する場合である。
Figure 0006054732
式(3)に式(1)及び式(2)を代入すると、以下の式(4)が導かれる。
Figure 0006054732
そのため、式(4)を満たす基準電圧Vref1及びVref2が設定された場合に、反転アンプ31のオフセット電圧を補正することができる。これにより、高精度にオフセット電圧を補正することができる。
特に、抵抗値Ria、Rfa、Rib及びRfbが以下の式(5)の関係を満たす場合には、上記式(4)は以下の式(6)として表現できる。
Figure 0006054732
Figure 0006054732
そして、この場合、ゲイン値は、式(7)となる。
Figure 0006054732
式(6)及び式(7)から、DAC42の出力である基準電圧Vref2が増幅回路40のゲイン倍されないといえる。そのため、調整幅、つまり分解能が細かく、高精度に増幅回路40の入出力バイアス電圧を調整できるといえる。よって、より高精度にオフセット電圧を補正することができる。
図2は、本実施の形態1にかかるオフセット電圧の補正手順の流れを示すフローチャートである。尚、当該補正手順は、各処理を実施する検査装置、各処理が実装された制御回路、又は、各処理が実装されたプログラムをプロセッサがメモリから読み込み、実行することで実現可能である。以下では、制御回路を用いてバイアス電圧補正処理を実施する例について説明する。
まず、制御回路は、入力信号Vinに基づき基準電圧Vref1を調整する(S11)。すなわち、制御回路は、第1のバイアス電圧である基準電圧Vref1により増幅回路40の動作点の理想値を設定する。例えば、制御回路は、反転アンプ31に入力される入力信号Vin及び基準電圧Vref1を測定し、基準電圧Vref1が入力信号Vinと同電位となるように制御信号CTL1を設定する。これに伴い、DAC41は、制御信号CTL1に応じて基準電圧Vref1を生成する。その結果、増幅回路40の動作点を理想値に近付けるように補正することができる。
次に、制御回路は、出力信号Voutに基づき基準電圧Vref2を調整する(S12)。すなわち、制御回路は、第2のバイアス電圧である基準電圧Vref2により増幅回路40の動作点の前記理想値からのずれ量を補正する。特に、上記式(5)を満たす場合には、基準電圧Vref2は増幅回路40のゲイン倍されないため、出力信号Voutを細かく調整することができる。
例えば、増幅回路40によるオフセット電圧を解消し、増幅回路40の出力バイアス電圧が最適となるようにDAC42を制御する。ここで、最適となるためには、例えば、増幅回路40の出力ダイナミックレンジを最大とすることが挙げられる。
他の例としては、前提として、増幅回路40の後段に接続され、Voutを入力信号とするA/Dコンバータが設けられているものとする。そして、制御回路が当該A/Dコンバータの出力を検出し、その結果をDAC42の制御へフィードバックすることが挙げられる。これにより、基準電圧Vref2を最適な電圧に調整することができる。
ここで、制御回路は、ステップS11において、第1のバイアス電圧を増幅回路の入力信号の信号値に近付けるように第1の設定値を第1の可変電圧源へ設定し、その後、前記非反転入力端子と前記反転入力端子との電位を近づけるような前記第2のバイアス電圧を生成させるための前記第2の設定値を前記第2の可変電圧源へ設定することが望ましい。
さらに、第1の可変電圧源及び前記第2の可変電圧源は、デジタルアナログ変換器である場合、前記第1の可変電圧源において、前記増幅回路が出力する出力信号から変換されたアナログ信号を、前記第1の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第1のバイアス電圧を生成し、前記第2の可変電圧源において、前記アナログ信号を、前記第2の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第2のバイアス電圧を生成するとよい。
<実施の形態2>(非反転アンプ)
本実施の形態2にかかる非反転アンプ32は、上述した反転アンプ31の変形例である。すなわち、前記第1のバイアス電圧は、前記第1の抵抗の他端に与えられ、前記入力信号は、前記第3の抵抗の他端に与えられるようにしてもよい。これにより、非反転アンプにおけるオフセット電圧の補正を高精度に行うことができる。
図3は、本実施の形態2にかかる非反転アンプ32の構成を示すブロック図である。上述した反転アンプ31との構成の違いは、次の通りである。すなわち、抵抗r1は、一端が増幅回路40の反転入力端子に接続され、他端がDAC41に接続される。また、抵抗r3は、一端が増幅回路40の非反転入力端子に接続され、他端に入力信号Vinが与えられる。その他の構成は、反転アンプ31と同等であるため詳細な説明を省略する。
このように、本実施の形態2にかかる非反転アンプ32においても、反転アンプ31と同様に、調整幅すなわち分解能を細かくでき、高精度に増幅回路40の入出力バイアス電圧を調整することができる。
ここで、図3に示した非反転アンプ32における増幅回路40の非反転入力端子における電圧値は以下の式(8)により表現できる。
Figure 0006054732
また、図3に示した非反転アンプ32における増幅回路40の反転入力端子における電圧値は以下の式(9)により表現できる。
Figure 0006054732
ここで、非反転アンプ32における増幅回路40のオフセット電圧が"0"となる場合は、上記式(3)が成立する場合である。式(3)に式(8)及び式(9)を代入し、さらに、抵抗値Ria、Rfa、Rib及びRfbが上記式(5)を満たす場合には、以下の式(10)が導かれる。
Figure 0006054732
そして、この場合、ゲイン値は、式(11)となる。
Figure 0006054732
この場合においても、式(10)及び式(11)から、DAC42の出力である基準電圧Vref2が増幅回路40のゲイン倍されないといえる。そのため、調整幅、つまり分解能が細かく、高精度に増幅回路40の入出力バイアス電圧を調整できるといえる。よって、非反転アンプ32においても反転アンプ31と同様に、より高精度にオフセット電圧を補正することができる。
<実施の形態3>(加算アンプ)
本実施の形態3にかかる加算アンプ33は、上述した反転アンプ31の変形例である。すなわち、前記第1のバイアス電圧は、前記第3の抵抗の他端に与えられ、前記入力信号は、前記第1の抵抗の他端に与えられ、一端が前記反転入力端子に接続される第5の抵抗をさらに備え、前記入力信号以外の他の入力信号は、前記第5の抵抗の他端に与えられるようにしてもよい。これにより、加算アンプにおけるオフセット電圧の補正を高精度に行うことができる。
図4は、本実施の形態3にかかる加算アンプ33の構成を示すブロック図である。上述した反転アンプ31との構成の違いは、次の通りである。すなわち、抵抗r1に代えて抵抗r11及びr12が並列接続されている。ここで、抵抗r1は、抵抗値Ria1を有し、一端が反転入力端子に接続され、他端に入力信号Vin1が与えられる。また、抵抗r2は、抵抗値Ria2を有し、一端が反転入力端子に接続され、他端に入力信号Vin2が与えられる。その他の構成は、反転アンプ31と同等であるため詳細な説明を省略する。
このように、本実施の形態3にかかる加算アンプ33においても、反転アンプ31と同様に、調整幅すなわち分解能を細かくでき、高精度に増幅回路40の入出力バイアス電圧を調整することができる。
<実施の形態4>(コンフィギュラブル・アンプ)
本実施の形態4では、回路構成及び回路特性を変更可能な半導体装置であるコンフィギュラブル・アンプにおいて高精度にオフセット電圧を補正できる構成及び方法について説明する。
そこで、本実施の形態に係る半導体装置の理解を助けるため、まず、実施の形態に係る半導体装置について説明する。図5は、本実施形態に係る半導体装置を含むセンサシステムの構成を示している。
図5は、本実施の形態4にかかるセンサシステムの構成図である。このセンサシステムは、センサ2と、センサ2に接続された半導体装置1とを備えている。
センサ2には、検出結果に応じた電流を出力する電流出力型センサや、検出結果に応じた電圧を出力する電圧出力型センサ、検出結果に応じて微弱な差動信号出力するセンサなど様々なセンサを利用することが可能である。
半導体装置1は、処理部(例えば、MCU部200)とアナログフロントエンド部(例えば、AFE部100)とを有している。例えば、半導体装置1は、MCU部200の半導体チップと、AFE部100の半導体チップとを1つの半導体装置に搭載したSoC(System-on-a-chip)である。なお、MCU部200とAFE部100とを含む1チップの半導体装置としてもよい。また、MCU部200のみを含む半導体装置と、AFE部100のみを含む半導体装置としてもよい。以下、AFE部100及びMCU部200を含む装置を半導体装置1と称する場合もあり、AFE部100のみ含む装置を半導体装置1と称する場合もある。
MCU部(処理部)200は、AFE部100を介して入力されるセンサ2の測定信号(検出信号)をA/D変換し、検出結果に応じた制御処理を行うマイクロコントローラである。また、MCU部200は、AFE部100の構成及び特性を設定変更するためのコマンドををAFE部100へ出力する。
AFE部(アナログ入力部)100は、センサ2が出力する測定信号に対し、増幅やフィルタリング等のアナログフロントエンド処理を行い、MCU部200で処理可能な信号とするアナログ回路である。また、AFE部100は、図5に示すように、トポロジ(回路構成)が変更可能であり、さらに、パラメータ(回路特性)も変更可能である。
図5の例のように、オペアンプ回路の構成から、I/Vアンプ、減算(差動)アンプ、加算アンプ、反転アンプ、非反転アンプ、計装アンプの構成に変更できる。また、非反転アンプのパラメータ例のように、動作点の変更、利得(ゲイン)の変更、オフセット調整を行うことができる。
図6は、半導体装置1の回路ブロックを示している。図6に示すように、MCU部200は、CPUコア210、メモリ220、オシレータ230、タイマ240、入出力ポート250、A/Dコンバータ260、通信インタフェース(例えば、SPI(Serial Peripheral Interface)インタフェース270)を備えている。なお、MCU部200は、マイクロコントローラの機能を実現するためのその他の回路、例えば、DMAや各種演算回路等を備えている。
CPUコア210は、メモリ220に格納されたプログラムを実行しプログラムに従った制御処理を行う。メモリ220は、CPUコア210で実行するプログラムや各種データを格納する。メモリ220は、各種データの1つとしてAFE部100に含まれる複数のアナログ回路要素により構成される回路の回路構成及び回路特性を指定する複数のコマンドを格納する。オシレータ230は、MCU部200の動作クロックを生成し、また、必要に応じてAFE部100へクロックを供給する。タイマ240は、MCU部200の制御動作に利用される。
入出力ポート250は、半導体装置1の外部の装置とデータ等の入出力を行うためのインタフェースであり、例えば、後述のように外部のコンピュータ装置等と接続可能である。
A/Dコンバータ260は、AFE部100を介して入力されるセンサ2の測定信号をA/D変換する。また、A/Dコンバータ260の電源は、AFE部100から供給されている。
SPI(Serial Peripheral Interface)インタフェース270は、AFE部100とデータ等の入出力を行うためのインタフェースである。なお、SPIインタフェース270は、汎用的なシリアルインタフェースであり、SPIに対応していれば、他のマイクロコントローラ/マイクロコンピュータであっても、AFE部100と接続することができる。
図6の半導体装置1は、汎用的な用途に対応可能な構成となっている。具体的には、様々な種類や特性のセンサを接続できるように、センサ用AFE回路一式を搭載している。すなわち、AFE部100は、コンフィギュラブル・アンプ110、同期検波対応増幅アンプ(増幅アンプともいう)120、SC型ローパス・フィルタ(ローパス・フィルタともいう)130、SC型ハイパス・フィルタ(ハイパス・フィルタともいう)140、可変レギュレータ150、温度センサ160、汎用アンプ170、SPIインタフェース180、を備えている。
コンフィギュラブル・アンプ110は、センサ2等の外部から入力される信号を増幅する増幅回路であり、MCU部200からの制御(例えば、MCU部200から送信されるコマンド)にしたがって回路構成及び特性、動作が設定可能である。コンフィギュラブル・アンプ110は、3chのアンプ、すなわち、3つのアンプを有している。この3つのアンプにより多くの回路構成を実現することができる。
増幅アンプ120は、コンフィギュラブル・アンプ110の出力や、センサ2等の外部から入力される信号を増幅する同期検波対応の増幅回路であり、MCU部200からの制御にしたがって特性、動作が設定可能である。
ローパス・フィルタ130は、コンフィギュラブル・アンプ110や増幅アンプ120の出力、センサ2等の外部から入力される信号に対し、高周波成分を除去し低周波成分を通過させるSC型のフィルタであり、MCU部200からの制御にしたがって特性、動作が設定可能である。ハイパス・フィルタ140は、コンフィギュラブル・アンプ110や増幅アンプ120の出力、センサ2等の外部から入力される信号に対し、低周波成分を除去し高周波成分を通過させるSC型のフィルタであり、MCU部200からの制御にしたがって特性、動作が設定可能である。
可変レギュレータ150は、MCU部200のA/Dコンバータ260へ電圧を供給する可変電圧源であり、MCU部200からの制御にしたがって特性、動作が設定可能である。温度センサ160は、半導体装置1の温度を測定するセンサであり、MCU部200からの制御にしたがって動作が設定可能である。
汎用アンプ170は、センサ2等の外部から入力される信号を増幅するアンプであり、MCU部200からの制御にしたがって動作が設定可能である。SPIインタフェース180は、MCU部200とデータ等の入出力を行うためのインタフェースであり、MCU部200のSPIインタフェース270とSPIバスを介して接続されている。なお、半導体装置1がMCU部200を有さない場合、SPIインタフェース180を半導体装置1の外部端子に接続し、外部端子経由で外部のマイクロコントローラやエミュレータ等とAFE部100とを接続する。
次に、半導体装置1におけるAFE部100の構成について詳細に説明する。図7は、AFE部100の各回路の接続関係を示している。AFE部100は、複数のアナログ回路要素(例えば、アンプ、抵抗、コンデンサ等)と、複数のアナログ回路要素間の接続状態を切り替えるスイッチ回路群(例えば、スイッチ、マルチプレクサを含むスイッチ回路)と、を含む。
SPIインタフェース180は、SPIバスに接続された外部端子(CS、SCLK、SDO、SDI)に接続されて、レジスタ(制御レジスタ)181を有している。MCU部200から、SPIインタフェースを介して、回路の構成・特性を変更するための構成情報(コマンド)が入力され、レジスタ181に格納される。レジスタ181は、AFE部100内の各回路に接続されており、レジスタ181の構成情報に応じてAFE部100内の各回路の構成・特性が設定される。
コンフィギュラブル・アンプ110は、個別アンプAMP1、AMP2、AMP3を有しており、アンプの入出力を切り替えるスイッチSW10〜SW15が接続されている。
個別アンプAMP1は、一方の入力端子がスイッチSW10を介してMPXIN10またはMPXIN11に接続され、他方の入力端子がスイッチSW11を介してMPXIN20またはMPXIN21に接続され、出力端子がAMP1_OUTに接続されている。同様に、個別アンプAMP2は、一方の入力端子がスイッチSW12を介してMPXIN30またはMPXIN31に接続され、他方の入力端子がスイッチSW13を介してMPXIN40またはMPXIN41に接続され、出力端子がAMP2_OUTに接続されている。
また、個別アンプAMP3は、一方の入力端子がスイッチSW14を介してMPXIN50、MPXIN51またはAMP1の出力端子に接続され、他方の入力端子がスイッチSW15を介してMPXIN60、MPXIN61またはAMP2の出力端子に接続され、出力端子がAMP3_OUTに接続されている。AMP1〜AMP3の出力端子は、増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140にも接続されている。
コンフィギュラブル・アンプ110は、レジスタ181の設定値に応じて、スイッチSW10〜SW15が切り替えられて、AMP1〜AMP3の接続構成が変更され、内部の回路構成・特性も後述のように変更される。
図8、図9は、スイッチSW10〜SW15によるAMP1〜AMP3の接続切り替え例である。図8では、レジスタ181の設定により、スイッチSW10,11を切り替えて、AMP1の入力端子をMPXIN10,MPXIN20に接続し、スイッチSW12,13を切り替えて、AMP2の入力端子をMPXIN30,MPXIN40に接続し、スイッチSW14,15を切り替えて、AMP3の入力端子をMPXIN50,MPXIN60に接続する。このように接続することで、AMP1、AMP2、AMP3をそれぞれ独立のアンプとして動作させることができる。
図9では、レジスタ181の設定により、スイッチSW10を切り替えて、AMP1の一方の入力端子をMPXIN10に接続し、スイッチSW13を切り替えて、AMP2の一方の入力端子をMPXIN40に接続し、スイッチSW11、SW12を切り替えて、AMP1の他方の入力端子とAMP2の他方の入力端子とを接続し、スイッチSW14,15を切り替えて、AMP3の一方の入力端子をAMP1の出力端子に接続し、AMP3の他方の入力端子をAMP3の出力端子に接続する。このように接続することで、AMP1〜AMP3を接続した計装アンプを構成することができる
また、図7に示すように、増幅アンプ120には、入力を切り替えるスイッチSW16、SW17が接続されている。増幅アンプ120は、入力端子がスイッチSW16、SW17を介してAMP1〜AMP3の出力端子、または、スイッチSW17を介してGAINAMP_INに接続され、出力端子がGAINAMP_OUTに接続されている。増幅アンプ120の出力端子は、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140にも接続されている。なお、SW16により、AMP1〜AMP3の出力端子と、外部端子及び増幅アンプとの接続を切り替えてもよい。
ローパス・フィルタ130には、入力を切り替えるスイッチSW18、SW19が接続され、ハイパス・フィルタ140にも、入力を切り替えるスイッチSW18、SW20が接続されている。ローパス・フィルタ130は、入力端子がスイッチSW16、SW17、SW18,SW19を介してAMP1〜AMP3の出力端子、増幅アンプ120の出力端子、SC_IN、またはスイッチSW19を介してハイパス・フィルタ140の出力端子に接続され、出力端子がLPF_OUTに接続されている。ハイパス・フィルタ140は、入力端子がスイッチSW16、SW17、SW18,SW20を介してAMP1〜AMP3の出力端子、増幅アンプ120の出力端子、SC_IN、またはスイッチSW19を介してローパス・フィルタ130の出力端子に接続され、出力端子がHPF_OUTに接続されている。なお、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140の出力端子と外部端子との間にスイッチを設けて、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140の出力端子と、外部端子及びSW19、SW20との接続を切り替えてもよい。
増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140は、レジスタ181の設定値に応じて、スイッチSW16〜SW20が切り替えられて、増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140の接続構成が変更され、内部の特性も後述のように変更される。
図10、図11は、スイッチSW17〜SW20による増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140の接続切り替え例である。図10では、レジスタ181の設定により、スイッチSW17を切り替えて、増幅アンプ120の入力端子をAMP1〜AMP3のいずれかの出力端子に接続し、スイッチSW18,SW19を切り替えて、ローパス・フィルタ130の入力端子を増幅アンプ120の出力端子に接続し、スイッチSW20を切り替えて、ハイパス・フィルタ140の入力端子をローパス・フィルタ130の出力端子に接続する。このように切り替えることで、AMP1〜AMP3のいずれか、増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140の順に接続した回路を構成することができる。
図11では、レジスタ181の設定により、スイッチSW17を切り替えて、増幅アンプ120の入力端子をGAINAMP_INに接続し、スイッチSW18、SW20を切り替えて、ハイパス・フィルタ140の入力端子をSC_INに接続し、スイッチSW19を切り替えて、ローパス・フィルタ130の入力端子をハイパス・フィルタ140の出力端子に接続する。このように切り替えることで、増幅アンプ120を1つの独立したアンプとして動作させ、また、ハイパス・フィルタ140、ローパス・フィルタ130の順に接続した回路を構成することができる。
また、図7に示すように、可変レギュレータ150は、出力端子がBGR_OUTとLDO_OUTに接続されている。可変レギュレータは、レジスタ181の設定値に応じて後述のように特性が変更される。
温度センサ160は、出力端子がTEMP_OUTに接続されている。温度センサ160は、レジスタ181の設定値に応じて後述のように特性が変更される。
汎用アンプ170は、一方の入力端子がAMP4_IN_NEに接続され、他方の入力端子がAMP4_IN_POに接続され、出力端子がAMP4_OUTに接続されている。汎用アンプは、1つのオペアンプにより構成されており、レジスタ181の設定値に応じて、電源ON/OFFが設定される。
次に、図12〜図17を用いて、コンフィギュラブル・アンプ110の具体的な回路構成について説明する。
コンフィギュラブル・アンプ110は、センサ出力信号を増幅するためのアンプであり、制御レジスタの設定に応じて、トポロジ(回路構成)を変更できるとともに、パラメータ(回路特性)を変更できる。特性の変更としてゲインを可変に設定することができる。例えば、個別アンプを独立して使用する場合、ゲインを6dB〜46dBまで2dB単位で設定でき、計装アンプとして使用する場合、ゲインを20dB〜60dBまで2dB単位で設定できる。また、スルーレートを可変に設定することもでき、パワーオフ・モードにより電源のオン/オフを切り替えることができる。
図12は、コンフィギュラブル・アンプ110の個別アンプAMP1の回路構成を示している。なお、AMP2、AMP3も同様の構成である。
図12に示すように、個別アンプAMP1は、オペアンプ111を有し、オペアンプ111の各端子に接続される可変抵抗112a〜112d、スイッチ113a〜113c、DAC1141及び1142を有しており、図7のようにマルチプレクサ(スイッチ)SW10、SW11が接続されている。
レジスタ181の設定値に応じて、マルチプレクサSW10、SW11によりオペアンプ111の入力を切り替え、スイッチ113a、113bにより可変抵抗(入力抵抗)112a、112bの有無を切り替え、スイッチ113cによりDAC1142の接続を切り替えることができる。なお、オペアンプ111の出力は、図7のようにSW16、SW17、SW18により、増幅アンプ120、ローパス・フィルタ130、ハイパス・フィルタ140との接続が切り替えられる。また、レジスタ181の設定値に応じて、可変抵抗112a、112b、112c、112dの抵抗値、DAC1141及び1142の設定を変えることで、AMP1のゲイン、動作点、オフセット等を変更することができる。さらに、レジスタ181の設定値に応じて、電源オン/オフを制御できる。また、レジスタ181の設定値に応じて、オペアンプの動作モードを高速モード、中速モード、低速モードに変更することで、スルーレートを制御することができる。
各スイッチ、マルチプレクサの切り替えにより、I/Vアンプ、反転アンプ、減算(差動)アンプ、非反転アンプ、加算アンプを構成することができる。
図13は、I/Vアンプを構成する例である。レジスタ181の設定に応じて、マルチプレクサSW10を切り替えて外部入力端子(MPXIN10)を反転入力端子に接続し、スイッチ113aをオンして可変抵抗112aを短絡する。また、レジスタ181の設定により、マルチプレクサSW11を切り替えてDAC1141を非反転入力端子に接続し、スイッチ113bをオンして可変抵抗112bを短絡する。この接続によりI/Vアンプが構成される。また、レジスタ181の設定により、可変抵抗112a、112dの抵抗値を変えることでアンプのゲインを設定する。このI/Vアンプは、外部入力端子から電流型センサの信号が入力されると、入力電流を電圧に変換して出力する。
図14は、減算(差動)アンプを構成する例である。レジスタ181の設定に応じて、マルチプレクサSW10、SW11を切り替えて外部入力端子(MPXIN10)を反転入力端子に接続し、外部入力端子(MPXIN20)を非反転入力端子に接続する。また、レジスタ181の設定により、スイッチ113cをオンしてDAC1142の出力を非反転入力端子に接続する。この接続により減算アンプが構成される。また、レジスタ181の設定により、可変抵抗112a、112b、112dの抵抗値を変えることでアンプのゲインを設定する。この減算アンプは、外部入力端子から2つの信号(V1,V2)が入力されると、一方の入力電圧から他方の入力電圧を差し引いた電圧(V2−V1)を出力する。
尚、加算アンプを構成する場合には、図12の個別アンプAMP1の構成を、図4の加算アンプ33の構成に対応するように適宜変更することで実現できる。
図15は、反転アンプを構成する例である。レジスタ181の設定に応じて、マルチプレクサSW10を切り替えて外部入力端子(MPXIN10)を反転入力端子に接続し、スイッチ113cをオンにしてDAC1142の出力を非反転入力端子に接続する。この接続により上述した図1と同等の反転アンプが構成される。また、レジスタ181の設定により、可変抵抗112a、112dの抵抗値を変えることでアンプのゲインを設定し、DACの出力電圧を変えることで、アンプの動作点やオフセットを調整する。この反転アンプは、外部入力端子から電圧型センサの信号が入力されると、入力電圧を反転増幅した電圧を出力する。
図16、非反転アンプを構成する例である。レジスタ181の設定に応じて、マルチプレクサSW10を切り替えてDAC1141の出力を反転入力端子に接続し、マルチプレクサSW11を切り替えて外部入力端子(MPXIN20)を非反転入力端子に接続する。また、レジスタ181の設定に応じて、スイッチ113cをオンにしてDAC1142の出力を非反転入力端子に接続する。この接続により上述した図3と同等の非反転アンプが構成される。また、レジスタ181の設定により、可変抵抗112a、112dの抵抗値を変えることでアンプのゲインを設定し、DACの出力電圧を変えることで、アンプの動作点やオフセットを調整する。この非反転アンプは、外部入力端子から電圧型センサの信号が入力されると、入力電圧を非反転増幅した(入力と同相の)電圧を出力する。
図17は、AMP1〜AMP3により計装アンプを構成する例である。図9で説明したように、レジスタ181の設定に応じて、マルチプレクサ(スイッチ)SW10〜SW15によりAMP1〜AMP3を接続することで、図17の計装アンプを構成できる。なお、各スイッチ等の図示を省略しているが、AMP1では、スイッチ113bをオンして可変抵抗112bを短絡し、AMP2では、スイッチ113bをオンして可変抵抗112bを短絡し、AMP3では、スイッチ113cをオンし、DAC1142を非反転入力端子に接続している。
また、レジスタ181の設定により、AMP3の可変抵抗112a〜112dの抵抗値を変えることで計装アンプのゲインを設定し、DAC1142の出力電圧を変えることで、計装アンプの動作点やオフセットを調整する。この計装アンプは、外部入力端子から微弱な差動信号が入力されると、この差動信号を、AMP1、AMP2によりそれぞれ非反転増幅し、さらに、AMP3により差動増幅した電圧を出力する。
尚、本実施の形態4にかかる半導体装置は、前記第1の抵抗の他端に設けられた第1のセレクタと、前記第3の抵抗の他端に設けられる第2のセレクタと、をさらに備え、前記第1のセレクタは、選択信号に応じて前記入力信号と前記第1のバイアス電圧とのいずれか一方を選択し、前記第2のセレクタは、前記選択信号に応じて、前記入力信号と前記第1のバイアス電圧とのうち前記第1のセレクタが選択しないものを選択するようにしてもよい。この場合、選択信号に応じて第1及び第2のセレクタを制御して、例えば、反転アンプ又は非反転アンプ等として用いることができる。そして、この場合において、アンプの種別に応じて最適にオフセット電圧を補正することができる。
さらに、本実施の形態4にかかる半導体装置は、一端が前記第1の抵抗の一端及び前記第1のセレクタの出力に接続され、他端が前記第1の抵抗の他端及び前記反転入力端子に接続される第1のスイッチ回路と、一端が前記第3の抵抗の一端及び前記第2のセレクタの出力に接続され、他端が前記第3の抵抗の他端及び前記非反転入力端子に接続される第2のスイッチ回路と、一端が前記第2の可変電圧源に接続され、他端が前記第4の抵抗の一端に接続される第3のスイッチ回路と、をさらに備え、前記第1のスイッチ回路、前記第2のスイッチ回路及び前記第3のスイッチ回路は、前記選択信号に応じて切り替えを行うようにしてもよい。この場合、第1及び第2のセレクタ並びに第1乃至第3のスイッチ回路を制御して、回路構成が可変となるコンフィギュラブル・アンプとして用いることができる。例えば、反転アンプ、非反転アンプ、加算アンプ、IVアンプ、差動アンプ及び計装アンプ等として用いることができる。そして、この場合において、アンプの種別に応じて最適にオフセット電圧を補正することができる。
尚、本実施の形態4にかかる半導体装置1に接続されるセンサ2は、その種類によって出力信号の大きさ及び動作点が異なる。ここで、センサ2の種類としては、例えば、加速度センサ、傾き(3D)センサ、温度センサ、照度センサ等が挙げられるがこれらに限定されない。しかしながら、センサ2の後段回路には、ある程度の大きさの範囲の信号を与える必要がある。そこで、本実施の形態4にかかる半導体装置1では、センサ2の種類に応じて半導体装置1内の増幅回路の増幅率を切り替えることも可能である。すなわち、センサ2の種類ごとにアンプの回路構成を変更するとともに、DAC1141及び1142に対する制御信号(第1の設定値及び第2の設定値)を変更するように利用することもできる。これにより、センサ2の種類に応じて最適に動作点及びオフセット電圧を補正することができるという格別な効果を奏する。
また、本実施の形態4にかかる半導体装置1は、複数のアプリケーションに用いることができる。ここで、AFE部100のAMP1〜AMP3のそれぞれのマルチプレクサやスイッチ等を切り替えることにより信号経路が変更される。そのため、アプリケーションごとにベストなオフセット電圧に調整することができるという格別な効果を奏するものである。
<その他の実施の形態>
尚、上述した実施の形態1乃至4にかかる半導体装置は、1つの増幅回路に対し、出力信号を増幅回路の基準電圧として使用することができる2つの可変電圧源を有する。このとき、各可変電圧源は、独立して制御され、増幅回路の入出力バイアス電圧を調整するために用いられる。すなわち、第1の可変電圧源により大まかに調整した上で、第2の可変電圧源により詳細に調整することで、精度良くオフセット電圧の補正することができる。
尚、上述したプログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体(non−transitory computer readable medium)を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体(tangible storage medium)を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体(例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ)、光磁気記録媒体(例えば光磁気ディスク)、CD−ROM(Read Only Memory)CD−R、CD−R/W、半導体メモリ(例えば、マスクROM、PROM(Programmable ROM)、EPROM(Erasable PROM)、フラッシュROM、RAM(Random Access Memory))を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体(transitory computer readable medium)によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
1 半導体装置
2 センサ
100 AFE(アナログフロントエンド)部
110 コンフィギュラブル・アンプ
111 オペアンプ
112a〜112d 可変抵抗
113a〜113c スイッチ
1141 DAC
1142 DAC
120 (同期検波対応)増幅アンプ
130 ローパス・フィルタ
140 ハイパス・フィルタ
150 可変レギュレータ
160 温度センサ
170 汎用アンプ
180 SPIインタフェース
181 SPI制御レジスタ
200 MCU部
210 CPUコア
220 メモリ
230 オシレータ
240 タイマ
250 入出力ポート
260 A/Dコンバータ
270 SPIインタフェース
SW10〜SW20 マルチプレクサ
SW11 マルチプレクサ
SW12 マルチプレクサ
SW13 マルチプレクサ
SW14 マルチプレクサ
SW15 マルチプレクサ
SW16 マルチプレクサ
SW17 マルチプレクサ
SW18 マルチプレクサ
SW19 マルチプレクサ
SW20 マルチプレクサ
AMP1〜AMP3 個別アンプ
31 反転アンプ
32 非反転アンプ
33 加算アンプ
40 増幅回路
41 DAC
42 DAC
Vin 入力信号
Vin1 入力信号
Vin2 入力信号
Vout 出力信号
CTL1 制御信号
CTL2 制御信号
Vref1 基準電圧
Vref2 基準電圧
r1 抵抗
r2 抵抗
r3 抵抗
r4 抵抗
Ria 抵抗値
Rfa 抵抗値
Rib 抵抗値
Rfb 抵抗値
r11 抵抗
r12 抵抗
Ria1 抵抗値
Ria2 抵抗値

Claims (10)

  1. 反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子と、を有する増幅回路と、
    第1の設定値に応じた電圧値を有する第1のバイアス電圧を生成する第1の可変電圧源と、
    第2の設定値に応じた電圧値を有する第2のバイアス電圧を生成する第2の可変電圧源と、
    一端が前記反転入力端子に接続される第1の抵抗と、
    前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、
    一端が前記非反転入力端子に接続される第3の抵抗と、
    前記第2の可変電圧源と前記非反転入力端子との間に接続される第4の抵抗と、を有し、
    前記第1のバイアス電圧は、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも一方に与えられ、
    入力信号は、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも他方に与えられ
    前記増幅回路のオフセット電圧調整時には、前記第1の可変電圧源は、前記入力信号と同電圧を前記第1のバイアス電圧として出力し、前記第2の可変電圧源は、前記出力端子の電圧に基づき前記増幅回路のオフセット電圧を補正する電圧を前記第2のバイアス電圧として出力する半導体装置。
  2. 前記第1の抵抗と前記第3の抵抗とは抵抗値が等しく、
    前記第2の抵抗と前記第4の抵抗とは抵抗値が等しい、
    請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記第1のバイアス電圧は、前記第3の抵抗の他端に与えられ、
    前記入力信号は、前記第1の抵抗の他端に与えられる
    請求項1に記載の半導体装置。
  4. 前記第1のバイアス電圧は、前記第1の抵抗の他端に与えられ、
    前記入力信号は、前記第3の抵抗の他端に与えられる
    請求項1に記載の半導体装置。
  5. 前記第1のバイアス電圧は、前記第3の抵抗の他端に与えられ、
    前記入力信号は、前記第1の抵抗の他端に与えられ、
    一端が前記反転入力端子に接続される第5の抵抗をさらに備え、
    前記入力信号以外の他の入力信号は、前記第5の抵抗の他端に与えられる
    請求項1に記載の半導体装置。
  6. 前記第1の抵抗の他端に設けられた第1のセレクタと、
    前記第3の抵抗の他端に設けられる第2のセレクタと、をさらに備え、
    前記第1のセレクタは、選択信号に応じて前記入力信号と前記第1のバイアス電圧とのいずれか一方を選択し、
    前記第2のセレクタは、前記選択信号に応じて、前記入力信号と前記第1のバイアス電圧とのうち前記第1のセレクタが選択しないものを選択する
    請求項1に記載の半導体装置。
  7. 一端が前記第1の抵抗の一端及び前記第1のセレクタの出力に接続され、他端が前記第1の抵抗の他端及び前記反転入力端子に接続される第1のスイッチ回路と、
    一端が前記第3の抵抗の一端及び前記第2のセレクタの出力に接続され、他端が前記第3の抵抗の他端及び前記非反転入力端子に接続される第2のスイッチ回路と、
    一端が前記第2の可変電圧源に接続され、他端が前記第4の抵抗の一端に接続される第3のスイッチ回路と、をさらに備え、
    前記第1のスイッチ回路、前記第2のスイッチ回路及び前記第3のスイッチ回路は、前記選択信号に応じて切り替えを行う
    請求項6に記載の半導体装置。
  8. 前記第1の可変電圧源は、前記増幅回路が出力する出力信号から変換されたアナログ信号を、前記第1の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第1のバイアス電圧を生成するデジタルアナログ変換器であり、
    前記第2の可変電圧源は、前記アナログ信号を、前記第2の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第2のバイアス電圧を生成するデジタルアナログ変換器である
    請求項1乃至のいずれか1項に記載の半導体装置。
  9. 反転入力端子と、非反転入力端子と、出力端子と、を有する増幅回路と、
    一端が前記反転入力端子に接続される第1の抵抗と、
    前記出力端子と前記反転入力端子との間に接続される第2の抵抗と、
    一端が前記非反転入力端子に接続される第3の抵抗と、
    一端が前記非反転入力端子に接続される第4の抵抗と、
    第1の設定値に応じた電圧値を有する第1のバイアス電圧を生成し、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも一方に当該第1のバイアス電圧を与える第1の可変電圧源と、
    第2の設定値に応じた電圧値を有する第2のバイアス電圧を生成し、前記第4の抵抗の他端に当該第2のバイアス電圧を与える第2の可変電圧源と、
    を有する半導体装置について、
    入力信号は、前記第1の抵抗の他端と前記第3の抵抗の他端との少なくとも他方に与えられ、
    前記増幅回路のオフセット電圧調整時には、前記第1の可変電圧源は、前記入力信号と同電圧を前記第1のバイアス電圧として出力し、前記第2の可変電圧源は、前記出力端子の電圧に基づき前記増幅回路のオフセット電圧を補正する電圧を前記第2のバイアス電圧として出力する
    オフセット電圧の補正方法。
  10. 前記第1の可変電圧源及び前記第2の可変電圧源は、デジタルアナログ変換器であり、
    前記第1の可変電圧源において、前記増幅回路が出力する出力信号から変換されたアナログ信号を、前記第1の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第1のバイアス電圧を生成し、
    前記第2の可変電圧源において、前記アナログ信号を、前記第2の設定値に基づいてデジタル信号へ変換して前記第2のバイアス電圧を生成する
    請求項に記載のオフセット電圧の補正方法。
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