JP2010039003A - ステージ装置、露光装置、及びステージ制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】制御モデルが制御対象を忠実に再現していなくても高精度な位置制御を行うこと。
【解決手段】制御対象301(プレートステージPST)をモデル化した逆システム1021を用いて、制御対象301をフィードフォワード制御するための操作量S1を生成するフィードフォワード制御部102と、制御対象301に生じる外乱dを、制御対象301をモデル化した逆システム105を用いて推定する外乱推定部104と、を備え、フィードフォワード制御部102によって生成された操作量S1を、外乱推定部104によって推定された推定外乱d’に基づき補正した操作量S4に従って制御対象301を駆動する。
【選択図】図4
【解決手段】制御対象301(プレートステージPST)をモデル化した逆システム1021を用いて、制御対象301をフィードフォワード制御するための操作量S1を生成するフィードフォワード制御部102と、制御対象301に生じる外乱dを、制御対象301をモデル化した逆システム105を用いて推定する外乱推定部104と、を備え、フィードフォワード制御部102によって生成された操作量S1を、外乱推定部104によって推定された推定外乱d’に基づき補正した操作量S4に従って制御対象301を駆動する。
【選択図】図4
Description
本発明は、ステージ装置、露光装置、及びステージ制御方法に関する。
従来、例えば液晶ディスプレイ(総称としてフラットパネルディスプレイ)を製造する工程においては、基板(ガラス基板)にトランジスタやダイオード等の素子を形成するために露光装置が多く使用されている。この露光装置は、レジストを塗布した基板をステージ装置のホルダに載置し、マスクに描かれた微細な回路パターンを投影レンズ等の光学系を介して基板に転写するものである。近年では、例えばステップ・アンド・スキャン方式の露光装置が用いられることが多くなっている(例えば、特許文献1参照)。
ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置は、スリット状の露光光をマスクに照射している状態で、マスクと基板とを投影光学系に対して互いに同期移動させつつマスクに形成されたパターンの一部を基板のショット領域に逐次転写し、1つのショット領域に対するパターンの転写が終了する度に基板をステップ移動させて他のショット領域へのパターン転写を行う露光装置である。
こうしたステップ・アンド・スキャン方式の露光装置では、基板やマスクを移動させるためのステージ装置として、リニアモータによってステージをガイド上に浮上させて支持するエアガイド型のステージ装置が採用されている。このエアガイド型のステージ装置においては、ステージとガイドが非接触であるので、ステージの移動時に生じる粘性力は小さく、また、ステージの駆動力に対して粘性力はほぼ線形の応答を示す。そのため、簡易的には、このような特性の粘性力を無視した制御モデルを用いたフィードフォワード制御系が利用されることもある。
ここで、上記のステージ装置の制御系に、更にフィードバック制御系を組み込むことによって制御性能を向上させることが考えられるが、フィードバック制御を行う場合、そのパラメータ設定によっては、過補償(オーバーシュート)等に起因して望まない振動が発生してしまう問題がある。そこで、従来は、フィードバック制御系を組み込む代わりに、フィードフォワード制御系において完全追従制御(例えば、特許文献2又は非特許文献1参照)を実施するとともに、このフィードフォワード制御系の制御モデルに粘性力を考慮することで、ステージの制御性能の向上を図ることが行われている。この完全追従制御を用いる方法によれば、作り上げる制御モデルを精密にすればする程、高精度なフィードフォワード制御を実現することが可能である。
特開2000−077313号公報
特開2001−325005号公報
「マルチレートフィードフォワード制御を用いた完全追従法」、藤本博志他、計測自動制御学会論文集36巻、9号、pp766−772、2000年
しかしながら、一般に露光装置に用いられるステージ装置は、例えばその設置環境等に応じて制御性能に個体差を有している。上述した粘性力の特性についても同様である。そのため、上記の完全追従制御と粘性力を考慮した制御モデルとを取り入れた制御方法を適用する場合においても、ステージ装置毎における粘性力の個体差や、あるいは粘性力の微少な非線形特性等に起因して、現実の制御対象を忠実に制御モデルとして再現することが困難であるので、実際には、ステージの制御性能を思うように向上させることができないという問題があった。
なお、このような問題に対処するため、例えば、粘性力の個体差や非線形特性を補正するための補正テーブルを用意しておくということが考えられるが、1台1台のステージ装置毎にそのような補正テーブルを予め作成するのは非常に手間が掛かるので、現実的な解決策ではない。
なお、このような問題に対処するため、例えば、粘性力の個体差や非線形特性を補正するための補正テーブルを用意しておくということが考えられるが、1台1台のステージ装置毎にそのような補正テーブルを予め作成するのは非常に手間が掛かるので、現実的な解決策ではない。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、制御モデルが制御対象を忠実に再現していなくても高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置、露光装置、及びステージ制御方法を提供することにある。
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、ステージ装置は、制御対象であるステージをモデル化した第1の逆システムを用いて、前記ステージをフィードフォワード制御するための第1の操作量を生成するフィードフォワード制御手段と、前記ステージに生じる外乱を、該ステージをモデル化した第2の逆システムを用いて推定する外乱推定手段と、前記フィードフォワード制御手段によって生成された第1の操作量を、前記外乱推定手段によって推定された外乱に基づき補正した第2の操作量に従って前記ステージを駆動する駆動手段と、を備える。
この構成によれば、ステージに生じる外乱を推定し、その推定結果を用いてフィードフォワード制御の操作量を補正するので、フィードフォワード制御に用いられる制御モデル(第1の逆システム)と現実の制御対象(ステージ)との間に差異が存在していたとしても、その差異が外乱として取り扱われ、フィードフォワード制御の操作量が現実の制御対象に合わせて補正されることとなる。これにより、現実の制御対象に適合した高精度な位置制御を行うことが可能である。
また、上記のステージ装置において、前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムは同一の構成である。
この構成によれば、正確な外乱を推定することができる。これにより、制御モデルと制御対象との差異を正確に反映したフィードフォワード制御の操作量の補正を行うことができ、高精度な位置制御が可能となる。
また、上記のステージ装置において、前記フィードフォワード制御手段は完全追従制御を行う。
また、上記のステージ装置において、前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムには、前記ステージの駆動時に生じる粘性力がモデル化されている。
また、上記のステージ装置において、前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムにそれぞれモデル化されている粘性力を表す粘性係数を一致させた。
また、上記のステージ装置において、前記ステージは流体軸受によってガイドされ、前記第1及び第2の逆システムにおいて前記粘性係数は前記流体軸受に用いられる流体に応じた値に設定された。
また、上記のステージ装置において、前記ステージはモータによって駆動され、前記第1及び第2の逆システムにおいて前記粘性係数は前記モータが有する電気的粘性に応じた値に設定された。
また、上記のステージ装置において、前記ステージはモータによって駆動され、前記第1及び第2の逆システムにおいて前記粘性係数は前記モータが有する電気的粘性に応じた値に設定された。
本発明によれば、制御モデルが制御対象を忠実に再現していなくても高精度な位置制御を行うことが可能である。
以下、本発明の一実施形態を図面を参照して説明する。図1は、一実施形態の露光装置10の構成を示す概略図である。この露光装置10は、液晶表示素子パターンが形成されたマスクMと、プレートステージPSTに保持された基板としてのガラスプレート(以下「プレート」という)Pとを、投影光学系PLに対して所定の走査方向(ここでは、図1のX軸方向(紙面内左右方向)とする)に沿って同一速度で同一方向に相対走査することにより、マスクMに形成されたパターンをプレートP上に転写する等倍一括転写型の液晶用走査型露光装置である。
この露光装置10は、露光用照明光ILによりマスクM上の所定のスリット状照明領域(図1のY軸方向(紙面直交方向)に細長く延びる長方形の領域または円弧状の領域)を照明する照明系IOP、パターンが形成されたマスクMを保持してX軸方向に移動するマスクステージMST、マスクMの上記照明領域部分を透過した露光用照明光ILをプレートPに投射する投影光学系PL、本体コラム12、前記本体コラムへの床からの振動を除去するための除振台(図示せず)、及び前記両ステージMST、PSTを制御する制御装置11等を備えている。
前記照明系IOPは、例えば特開平9−320956号公報に開示されたように、光源ユニット、シャッタ、2次光一形成光学系、ビームスプリッタ、集光レンズ系、視野絞り(ブラインド)、及び結像レンズ系等(いずれも図示省略)から構成され、次に述べるマスクステージMST上に載置され保持されたマスクM上の上記スリット状照明領域を均一な照度で照明する。
マスクステージMSTは、不図示のエアパッドによって、本体コラム12を構成する上部定盤12aの上面の上方に数μm程度のクリアランスを介して浮上支持されており、駆動機構14によってX軸方向に駆動される。
マスクステージMSTを駆動する駆動機構14としては、ここではリニアモータを用い、以下、この駆動機構をリニアモータ14と呼ぶ。このリニアモータ14の固定子14aは、上部定盤12aの上部に固定され、X軸方向に沿って延設されている。また、リニアモータ14の可動子14bはマスクステージMSTに固定されている。また、マスクステージMSTのX軸方向の位置は、本体コラム12に固定されたマスクステージ位置計測用レーザ干渉計(以下「マスク用干渉計」という)18によって投影光学系PLを基準として所定の分解能、例えば数nm程度の分解能で常時計測されている。このマスク用干渉計18で計測されるマスクステージMSTのX軸位置情報は、制御装置11に供給されるようになっている。
投影光学系PLは、本体コラム12の上部定盤12aの下方に配置され、本体コラム12を構成する保持部材12cによって保持されている。投影光学系PLとしては、ここでは等倍の正立正像を投影するものが用いられている。従って、照明系IOPからの露光用照明光ILによってマスクM上の上記スリット状照明領域が照明されると、その照明領域部分の回路パターンの等倍像(部分正立像)がプレートP上の前記照明領域に共役な露光領域に投影されるようになっている。なお、例えば、特開平7−57986号公報に開示されるように、投影光学系PLを、複数組の等倍正立の投影光学系ユニットで構成しても良い。
さらに、プレートPのZ方向位置を計測する不図示の焦点位置検出系、例えばCCDなどから構成されるオートフォーカスセンサ(図示せず)が投影光学系PLを保持する保持部材12cに固定されている。この焦点位置検出系からのプレートPのZ位置情報が制御装置11に供給されており、制御装置11では、例えば、走査露光中にこのZ位置情報に基づいてプレートPのZ位置を投影光学系PLの結像面に一致させるオートフォーカス動作を実行するようになっている。
プレートステージPSTは、投影光学系PLの下方に配置され、不図示のエアパッドによって、本体コラム12を構成する下部定盤12bの上面の上方に数μm程度のクリアランスを介して浮上支持されている。このプレートステージPSTは、駆動機構としてのリニアモータ16によってX軸方向に駆動される。
このリニアモータ16の固定子16aは、下部定盤12bに固定され、X軸方向に沿って延設されている。また、リニアモータ16の可動部としての可動子16bはプレートステージPSTの底部に固定されている。プレートステージPSTは、前記リニアモータ16の可動子16bが固定された移動テーブル22と、この移動テーブル22上に搭載されたY駆動機構20と、このY駆動機構20の上部に設けられプレートPを保持するプレートテーブル19とを備えている。
前記プレートテーブル19のX軸方向の位置は、本体コラム12に固定されたプレート用干渉計25によって投影光学系PLを基準として所定の分解能、例えば数nm程度の分解能で常時計測されている。このプレート用干渉計25としては、ここでは、X軸方向に直交するY軸方向(図1における紙面直交方向)に所定距離Lだけ離れた2本のX軸方向の測長ビームをプレートテーブル19に対して照射する2軸干渉計が用いられており、各測長軸の計測値が制御装置11に供給されている。
このプレート用干渉計25の各測長軸の計測値をX1、X2とすると、X=(X1+X2)/2によりプレートテーブル19のX軸方向の位置を求め、θZ=(X1−X2)/Lによりプレートテーブル19のZ軸回りの回転量を求めることができるが、以下の説明においては、特に必要な場合以外は、プレート用干渉計25から上記のXがプレートテーブル19のX位置情報として出力されるものとする。
図2は、プレートステージPSTの詳細な構成を示す断面図である。
同図に示すように、プレートテーブル19の下面(−Z方向側の面)19aとY可動子20aとの間には、レベリングユニット50が設けられている。レベリングユニット50は、複数、例えば3つが配置されており、3箇所でプレートテーブル19のZ方向の位置を微調整することにより、プレートテーブル19の姿勢(Z方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向の位置)を制御するユニットである。つまり、これら3つのレベリングユニット50によってプレートテーブル19に所定の力を加えることでプレートテーブル19のZ方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向の位置を調節できるようになっている。
同図に示すように、プレートテーブル19の下面(−Z方向側の面)19aとY可動子20aとの間には、レベリングユニット50が設けられている。レベリングユニット50は、複数、例えば3つが配置されており、3箇所でプレートテーブル19のZ方向の位置を微調整することにより、プレートテーブル19の姿勢(Z方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向の位置)を制御するユニットである。つまり、これら3つのレベリングユニット50によってプレートテーブル19に所定の力を加えることでプレートテーブル19のZ方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向の位置を調節できるようになっている。
図3は、レベリングユニット50の構成を示す図である。各レベリングユニット50はそれぞれ同一の構成となっているので、そのうちの1つを例に挙げてその構成を説明する。
レベリングユニット50は、Y可動子20a上に設けられたカム部材51、ガイド部材52、カム移動機構53、及び支持部材54と、プレートテーブル19側に設けられたベアリング部材55とを含んで構成されている。
レベリングユニット50は、Y可動子20a上に設けられたカム部材51、ガイド部材52、カム移動機構53、及び支持部材54と、プレートテーブル19側に設けられたベアリング部材55とを含んで構成されている。
カム部材51は、断面視台形に形成された部材であり、下面51aが水平方向に平坦な面になっている。カム部材51の当該下面51aは、ガイド部材52に支持されている。カム部材51の上面51bは、水平面に対して傾斜して設けられた平坦面である。カム部材51の一方の側面51cには、ネジ穴51dが形成されている。ガイド部材52は、支持部材54上にカム部材51に沿って設けられており、図中左右方向に延在している。
カム移動機構53は、サーボモータ56と、ボールネジ57と、連結部材58とを含んで構成されている。サーボモータ56は、制御装置11からの信号に基づいて軸部材56aを回転させるようになっている。この軸部材56aは、ここでは例えば図中左右方向に延在している。ボールネジ57は、連結部材58を介してサーボモータ56の軸部材56aに連結されており、軸部材56aの回転が伝達されるようになっている。このボールネジ57は、図中左右方向(サーボモータ56の回転軸の軸方向と同一方向)にネジ部が設けられており、当該ネジ部がカム部材51の側面51cに形成されたネジ穴51dに螺合されている。軸部材56a及びボールネジ57は、支持部材54の突出部54a及び54bによってそれぞれ支持されている。
このカム駆動機構53は、サーボモータ56の回転によってボールネジ57が回転し、ボールネジ57の回転によって当該ボールネジ57に螺合されたカム部材51がガイド部材52に沿って図中左右方向に移動するようになっている。
ベアリング部材55は、図中下側に半球状に形成された部分55aを有し、当該半球状の部分55aの下面55bがカム部材51の上面51bに当接するように設けられている。カム部材51が移動することで、ベアリング部材55の下面55bとカム部材51の上面51bとの当接位置が変化するようになっており、当該上面51bとの当接位置が変化することによって下面55bのZ方向上の位置が変化するようになっている。この位置の変化によってプレートテーブル19のZ方向の位置が微調節されるようになっている。
プレートテーブル19のZ方向の位置に関しては、検出装置59によって検出可能になっている。この検出装置59についても、プレートテーブル19に対して複数、例えば3つ設けられている。各検出装置59は、例えば光センサ59aと、被検出部材59bとを含んで構成されており、光センサ59aによって被検出部材59bの位置を検出することで、プレートテーブル19のZ方向の位置を検出するようになっている。また、光センサ59aは、Y可動子20a上に設けられた突出部20bに固定されている。したがって、当該検出装置59は、Y可動子20aの上面20cを基準としたときのプレートテーブル19のZ方向に関する位置や姿勢等を検出可能となっている。この検出装置59によって検出された位置情報は、制御装置11に送信されるようになっている。
また、プレートテーブル19の一端は、弾性部材60によってY可動子20a上の突出部20dに接続されている。弾性部材60は、一端が固定部材60aによってプレートテーブル19の端部19bに固定されており、他端が固定部材60bによって突出部20dに固定されている。この弾性部材60によって、プレートテーブル19がX方向及びY方向へ移動するのを抑えつつ、Z方向に対しての移動を許容できるようになっている。
以上のような構成により、プレートステージPSTは、プレートテーブル19に保持されているプレートPの所定の露光すべき領域が投影光学系PLによる露光領域に位置するように、移動テーブル22(リニアモータ16の可動子)をX方向に移動させ(X位置の位置決めを行い)、さらに移動テーブル22に対してY可動子20をY方向に移動させる(Y位置の位置決めを行う)ことができる。このとき、プレートPのθZ方向の位置を調整できるようにしてもよい。さらに、レベリングユニット50により、前記オートフォーカスセンサの検出結果や前記検出装置59の検出結果を基に、プレートPのZ位置がジャストフォーカスとなる(投影光学系PLの結像点と一致する)ように、プレートテーブル19をY可動子20aに対してZ方向、θX方向、およびθY方向に移動させる(Z位置、θX方向、およびθY方向の位置決めを行う)ことができる。
次に、図4を参照して、制御装置11のうち、プレートステージPSTをX軸方向に駆動するリニアモータ16の駆動制御を行う部分の構成を説明する。図4は、制御装置11の当該部分及びその制御対象を示すブロック図である。なお、制御装置11のうち、マスクステージMSTをX軸方向に駆動するリニアモータ14の駆動制御を行う部分についても、その構成は図4と同様である。
図4において、制御装置11は、軌道生成部101と、フィードフォワード制御部102と、フィードバック制御部103と、外乱推定部104と、加算部201〜203と、を含んで構成されている。外乱推定部104は、逆システム105と、遅延部107と、ノイズ除去フィルタ106及び108と、から構成されている。
このような構成の制御装置11により、リニアモータ16を制御してプレートステージPST(制御対象301)をX軸方向に駆動するが、その際、フィードフォワード制御部102が制御に用いる制御モデル(後述の逆システム1021)が現実の制御対象301と厳密には合っていないこと等に起因して、制御対象301に対する操作量S5には外乱dが含まれてしまうこととなる。本発明に係る制御装置11は、外乱推定部104を利用して、この外乱dによる影響を取り除く構成となっている。
軌道生成部101へは、プレートステージPSTの移動開始点のX座標XSと、移動終了点のX座標XEとが入力される。移動開始点XSは、プレートステージPSTのX軸上における現在の位置を表し、移動終了点XEは、プレートステージPSTを移動させる先であるX軸上の目標位置を表す。軌道生成部101は、入力された移動開始点XS及び移動終了点XEに基づいて、プレートステージPSTを移動開始点XSから移動終了点XEまで移動させるための目標軌道を生成する。目標軌道は、各時刻tに対応付けられたプレートステージPSTの位置X(t)の時系列データであり、その生成アルゴリズムは必要に応じて適宜のアルゴリズムを用いることができる。
フィードフォワード制御部102は、軌道生成部101から出力される上記の目標軌道を入力として、プレートステージPSTのX座標位置を完全追従制御(例えば、特開2001−325005号公報(前述の特許文献2)や論文「マルチレートフィードフォワード制御を用いた完全追従法」(藤本博志他、計測自動制御学会論文集36巻、9号、pp766−772、2000年)(前述の非特許文献1)を参照)に基づいてフィードフォワード制御する。具体的には、フィードフォワード制御部102は、制御対象301の制御特性を再現した制御モデルと逆の応答を示す(入出力が逆の関係となる)逆システム1021を保持(記憶)しており、この逆システム1021を用いることにより、リニアモータ16を駆動するための駆動信号を生成する(この駆動信号は、制御対象301に対するフィードフォワード制御部102からの操作量S1となる)。
ここで、逆システム1021は、制御対象301の伝達関数の逆関数である次式(1)の伝達関数F1(s)によって定式化されるものである。但し、MはプレートステージPSTの質量、CはプレートステージPSTをリニアモータ16で駆動する際に発生する粘性力の粘性係数である。プレートステージPSTの駆動時に発生する粘性力までも考慮した精密な位置制御を可能とするため、伝達関数F1(s)では粘性力の項を取り入れた形を採用した。
なお、フィードフォワード制御部102は、入力を所定のサンプリング周期Tyで取り込み、生成した駆動信号を所定のサンプリング周期Tuで出力するものとする。
フィードバック制御部103には、加算部203の加算結果が入力される。加算部203の加算結果は、プレートステージPSTのX位置(プレート用干渉計25により得られるX位置情報、即ち、上述の式X=(X1+X2)/2で表されるX)と、軌道生成部101から出力される目標軌道との差分である。
フィードバック制御部103は、加算部203の出力、即ち目標軌道を基準としたプレートステージPSTのX位置の誤差に基づいて、プレートステージPSTのX座標位置をフィードバック制御する。具体的には、フィードバック制御部103は、上記誤差がゼロとなるように、リニアモータ16を駆動するための駆動信号を生成する(この駆動信号は、制御対象301に対するフィードバック制御部103からの操作量S2となる)。
なお、フィードバック制御部103も、フィードフォワード制御部102と同様、入力を所定のサンプリング周期Tyで取り込み、生成した駆動信号を所定のサンプリング周期Tuで出力するものとする。
なお、フィードバック制御部103も、フィードフォワード制御部102と同様、入力を所定のサンプリング周期Tyで取り込み、生成した駆動信号を所定のサンプリング周期Tuで出力するものとする。
ここで、制御対象301へ入力される制御操作量(S5)のうち、フィードバック制御部103からの操作量S2の寄与が大きいと、制御対象301の動きに過補償(オーバーシュート)の挙動が現れるおそれがある。そこで、フィードバック制御部103の出力である操作量S2を所定割合で減衰させる(例えば操作量S2を半分の値にする)ことが好ましい場合もある。あるいは、フィードバック制御部103そのものを制御装置11から省略した構成としてもよい。
フィードフォワード制御部102からの操作量S1とフィードバック制御部103からの操作量S2は加算部201により加算されて操作量S3(=S1+S2)となる。
外乱推定部104は、制御対象301に加わる外乱dを推定し、推定外乱d’を生成する機能を有する。この推定外乱d’は加算部202へ入力され、加算部202により推定外乱d’が上記の操作量S3から減じられて、加算部202の出力は減算後の操作量S4(=S3−d’)となる。制御対象301への入力は、加算部202からの操作量S4に加算部302において外乱dが加えられた操作量S5=S4+d=S3+(d−d’)である。したがって、外乱推定部104が生成する推定外乱d’が実際の外乱dを正確に推定したものであれば(推定外乱d’と実際の外乱dとの差d−d’が小さければ)、制御対象301へ入力される操作量はほぼS3と等しくなり、外乱dの影響を受けない制御を実現することができる。
ここで、上述したように、制御対象301へ加わる外乱dは、フィードフォワード制御部102の逆システム1021が現実の制御対象301と厳密に合っていないことに起因するものである。つまり、逆システム1021と現実の制御対象301との間に差異があったとしても、この外乱推定部104を利用することにより、制御対象301へ入力する操作量が推定外乱d’を用いて補正されるので、プレートステージPSTの高精度な位置制御を行うことが可能である。
以下、外乱推定部104の内部構成について説明する。
以下、外乱推定部104の内部構成について説明する。
外乱推定部104は、制御対象301の制御特性を再現した制御モデルと逆の応答を示す(入出力が逆の関係となる)逆システム105を有している(逆システム105のモデル(後述の式(2))を記憶している)。この逆システム105は、外乱dの正確な推定を行うためには、前述したフィードフォワード制御部102が備える逆システム1021と同じものであることが望ましい。本実施形態では、逆システム105を逆システム1021と同一の構成であるとし、逆システム105の伝達関数F2(s)を上述の式(1)と同じ次式(2)で与えることとする。
上記の逆システム105には、プレート用干渉計25により測定されたプレートステージPSTのX位置が入力される。逆システム105は、入力されたプレートステージPSTのX位置に伝達関数F2(s)を乗じ、その結果をノイズ除去フィルタ106へ出力する。逆システム105の伝達関数F2(s)は制御対象301の伝達関数の逆関数であるので、逆システム105の出力は、制御対象301へ入力された操作量S5を計算した値となる。
ノイズ除去フィルタ106は、逆システム105の出力に含まれる高周波のノイズ成分(このノイズ成分は逆システム105の伝達関数F2(s)に微分演算sが含まれているために生じる)を除去するためのローパスフィルタであり、ノイズ除去フィルタ106への入力に次式(3)で表されるフィルタ関数F3(s)を乗じて、その結果を加算部204へ出力する。但し、次式において、a1,b1,b2,b3は任意の定数、ωcはフィルタのカットオフ周波数である。
一方、遅延部107には、前述した加算部202の出力である操作量S4が入力される。この遅延部107は、本制御装置11により制御対象301を制御する際に、制御対象301へ操作量S5を入力してから当該操作量S5に対応した制御対象301の応答(プレートステージPSTのX位置)が得られるまでの時間遅れや、逆システム105において演算処理に要する時間遅れが存在することを考慮して、これらの時間遅れを補償した上で加算部204における加算を行う目的で設けたものである。したがって、遅延部107は、入力された操作量S4を、上記時間遅れの総量と等しい時間ΔTだけ遅延させてからノイズ除去フィルタ108へ出力する。なお、時間遅れの総量ΔTの値は、予め測定して求めておくものとする。
ノイズ除去フィルタ108は、上述したノイズ除去フィルタ106と同一のローパスフィルタである。このノイズ除去フィルタ108は、上記のように逆システム105の出力に乗じられたフィルタ関数F3(s)と同じフィルタ関数を遅延部107の出力にも乗じることにより、加算部204において加算される2つの値の基準レベルを等しくする目的で設けられたものである。
加算部204は、ノイズ除去フィルタ106の出力とノイズ除去フィルタ108の出力との差分を計算する。ノイズ除去フィルタ106の出力は、上述したように、制御対象301へ入力された操作量S5に対応している。また、ノイズ除去フィルタ108の出力は、外乱dが含まれる前の操作量S4に対応している。したがって、加算部204によって計算される差分は、操作量S5と操作量S4の差である外乱dを表すものとなる。即ち、加算部204の出力として、外乱dを推定した推定外乱d’が得られる。
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。
11…制御装置 14,16…リニアモータ(駆動手段) 101…軌道生成部 102…フィードフォワード制御部 1021…逆システム 103…フィードバック制御部 104…外乱推定部 105…逆システム 106,108…ノイズ除去フィルタ 107…遅延部 301…制御対象(プレートステージPST)
Claims (9)
- 制御対象であるステージをモデル化した第1の逆システムを用いて、前記ステージをフィードフォワード制御するための第1の操作量を生成するフィードフォワード制御手段と、
前記ステージに生じる外乱を、該ステージをモデル化した第2の逆システムを用いて推定する外乱推定手段と、
前記フィードフォワード制御手段によって生成された第1の操作量を、前記外乱推定手段によって推定された外乱に基づき補正した第2の操作量に従って前記ステージを駆動する駆動手段と、
を備えるステージ装置。 - 前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムは同一の構成である請求項1に記載のステージ装置。
- 前記フィードフォワード制御手段は完全追従制御を行う請求項1又は請求項2に記載のステージ装置。
- 前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムには、前記ステージの駆動時に生じる粘性力がモデル化されている請求項1から請求項3のいずれか1の項に記載のステージ装置。
- 前記フィードフォワード制御手段が用いる第1の逆システムと前記外乱推定手段が用いる第2の逆システムにそれぞれモデル化されている粘性力を表す粘性係数を一致させた請求項4に記載のステージ装置。
- 前記ステージは流体軸受によってガイドされ、
前記第1及び第2の逆システムにおいて前記粘性係数は前記流体軸受に用いられる流体に応じた値に設定された
請求項5に記載のステージ装置。 - 前記ステージはモータによって駆動され、
前記第1及び第2の逆システムにおいて前記粘性係数は前記モータが有する電気的粘性に応じた値に設定された
請求項5又は請求項6に記載のステージ装置。 - 露光対象の基板を保持するステージを駆動するステージ装置として請求項1から請求項7のいずれか1の項に記載のステージ装置を備えた露光装置。
- 制御対象であるステージをモデル化した第1の逆システムを用いて、前記ステージをフィードフォワード制御するための第1の操作量を生成し、
前記ステージに生じる外乱を、該ステージをモデル化した第2の逆システムを用いて推定し、
前記生成された第1の操作量を、前記推定された外乱に基づき補正した第2の操作量に従って前記ステージを駆動する、
ステージ制御方法。
Priority Applications (1)
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JP2008198988A JP2010039003A (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | ステージ装置、露光装置、及びステージ制御方法 |
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US8825182B2 (en) | 2010-07-26 | 2014-09-02 | Asml Netherlands B.V. | Position control system, lithographic apparatus, and method to control a position of a movable object |
JP2016045667A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | 株式会社ニコン | 制御システム及び制御方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
WO2020188759A1 (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | 株式会社日立ハイテク | ステージ移動制御装置及び荷電粒子線システム |
-
2008
- 2008-07-31 JP JP2008198988A patent/JP2010039003A/ja not_active Withdrawn
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