JP6362019B2 - 駆動システム及び駆動方法、露光装置及び露光方法、並びに防振装置及び防振方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図13を用いて説明する。
ここで、F(0)=1に対して
本発明の第2の実施形態について、図14〜図19を用いて説明する。
Claims (10)
- 操作量を与えて制御対象を駆動する駆動システムであって、
前記制御対象の位置に関連する第1制御量を計測する計測部と、
前記制御対象の運動を質点の運動として記述する関数と高次のハイパスフィルタを表す関数との積により表現される、前記制御対象のモデル情報を用いて該制御対象の位置に関する第2制御量を求め、該第2制御量と前記第1制御量とを合成して第3制御量を生成し、該第3制御量を用いて求められる前記操作量を前記制御対象に与える制御部と、
を備える駆動システム。 - 前記制御部は、所定の阻止帯域を有する第1フィルタと、前記阻止帯域に等しい通過帯域を有する第2フィルタとを含み、前記第1フィルタを用いてフィルタ処理した前記第1制御量と、前記第2フィルタを用いてフィルタ処理した前記第2制御量とを合成する、請求項1に記載の駆動システム。
- 前記制御部は、前記第3制御量と前記制御対象の駆動の目標との差から求められる第1の量と、前記目標から求められる第2の量と、の和から前記操作量を求める、請求項1又は2に記載の駆動システム。
- エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光装置であって、 前記物体を保持して所定面上を移動する移動体を前記制御対象とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の駆動システムを備える露光装置。
- 床面上で該床面の振動を除振して露光装置の少なくとも一部を支持する防振装置であって、
前記一部を前記制御対象とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の駆動システムを備える防振装置。 - 操作量を与えて制御対象を駆動する駆動方法であって、
前記制御対象の位置に関連する第1制御量を計測することと、
前記制御対象の運動を質点の運動として記述する関数と高次のハイパスフィルタを表す関数との積により表現される、前記制御対象のモデル情報を用いて前記制御対象の位置に関連する第2制御量を生成し、該第2制御量を前記第1制御量と合成して第3制御量を生成し、該第3制御量を用いて求められる前記操作量を前記制御対象に与えて前記制御対象を駆動制御することと、
を含む駆動方法。 - 前記駆動制御することでは、所定の阻止帯域を有する第1フィルタと、前記阻止帯域に等しい通過帯域を有する第2フィルタとを用意し、前記第1フィルタを用いてフィルタ処理した前記第1制御量と、前記第2フィルタを用いてフィルタ処理した前記第2制御量とを合成する、請求項6に記載の駆動方法。
- 前記駆動制御することでは、前記第3制御量と前記制御対象の駆動の目標との差から求められる第1の量と、前記目標から求められる第2の量と、の和から前記操作量を求める、請求項6又は7に記載の駆動方法。
- エネルギビームで物体を露光して前記物体上にパターンを形成する露光方法であって、
請求項6〜8のいずれか一項に記載の駆動方法により、前記物体を保持して所定面上を移動する移動体を前記制御対象として駆動する露光方法。 - 床面上で該床面の振動を除振して露光装置の少なくとも一部を支持する防振方法であって、
請求項6〜8のいずれか一項に記載の駆動方法により、前記一部を前記制御対象として駆動する防振方法。
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