JP2010226106A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置決め装置は、第1物体と、第2物体と、第1物体及び第2物体を互いに位置決めする位置決めシステムと、第1物体と第2物体とを接続する柔軟輸送ラインと、を含む。柔軟輸送ラインは、該ラインに沿って変化する剛性を有し、該輸送ラインは力学的な伝達関数による表現が可能であり、該伝達関数は位置決めシステムの閉ループ伝達関数に適合されている。
【選択図】図9
Description
−2つの物体OBJ1、OBJ2間で輸送される媒体の圧力降下は、例えば十分な輸送量と最小の流れノイズとを満たす範囲でなるべく小さくすべきである。このため、柔軟輸送ラインFTLの径は大きいことが好ましい。壁厚を同一としたまま径を大きくすれば、柔軟輸送ラインFTLの質量は大きくなってしまう。
−2つの物体OBJ1、OBJ2に取り付けられる自由振動質量は小さくかつサーボエラーに関して高周波であることが好ましい。このため、柔軟輸送ラインFTLは軽量で高剛性のものを用いることが好ましい。
−2つの物体OBJ1、OBJ2間の剛性を小さくすることが、例えば各物体の歪みを小さくするために好ましい。よって、柔軟輸送ラインFTLは低剛性であることが好ましい。
−ある適用例(例えば高真空)においては柔軟輸送ラインFTLの材料は、高純度で放出ガスがなく、低拡散であることが好ましい。よって、柔軟輸送ラインは本来的に剛である材料で形成されることが好ましい。
Claims (11)
- 第1物体及び第2物体と、
第1物体と第2物体とを互いに位置決めする位置決めシステムと、
第1物体と第2物体とを接続する柔軟輸送ラインと、を備え、
前記輸送ラインは該ラインに沿って変化する剛性を有し、該輸送ラインは力学的な伝達関数による表現が可能であり、該伝達関数は前記位置決めシステムの閉ループ伝達関数に適合されていることを特徴とする位置決め装置。 - 前記柔軟輸送ラインは第1のヒンジを有することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記柔軟輸送ラインは、実質的に直線的かつ寸法的に安定した第1部分と実質的に直線的かつ寸法的に安定した第2部分とを備え、第1部分と第2部分とが前記第1のヒンジにより接続されており、該ヒンジにより第1部分と第2部分とが互いに枢動可能であることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記第1のヒンジは、0度乃至360度の範囲の枢動角を前記第1部分と第2部分との間にもつことを特徴とする請求項3に記載の位置決め装置。
- 前記第1のヒンジは中立位置を有し前記枢動角が実質的に90度に等しいことを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。
- 前記柔軟輸送ラインは、前記第1物体の近傍に配置される第2のヒンジと、前記第2物体の近傍に配置される第3のヒンジと、を有することを特徴とする請求項3に記載の位置決め装置。
- 前記第1物体に取り付けられている前記柔軟輸送ラインの第1部分は、前記第1のヒンジの近傍で実質的に湾曲しかつ寸法的に安定して形成されていることを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記柔軟輸送ラインは、前記位置決め装置の第1物体と第2物体との間で、媒体を輸送するためのホース、及び/または、電力または光学情報を輸送するための配線であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 放射ビーム断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成するパターニングデバイスを支持するためのパターニングデバイス支持部と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン付き放射ビームを基板の目標部分に投影するための投影系と、
第1物体及び第2物体と、第1物体と第2物体とを互いに位置決めする位置決めシステムと、第1物体と第2物体とを接続する柔軟輸送ラインと、を含み、前記輸送ラインは該ラインに沿って変化する剛性を有し、該輸送ラインは力学的な伝達関数による表現が可能であり、該伝達関数は前記位置決めシステムの閉ループ伝達関数に適合されている位置決め装置と、を備え、
前記第1物体は長ストロークモジュールの可動部であり、前記第2物体は短ストロークモジュールの可動部であることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記長ストロークモジュールの可動部に取り付けられている前記柔軟輸送ラインの第1部分は、該可動部の第1の移動方向に実質的に平行な向きに配置されていることを特徴とする請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の移動方向は走査方向であることを特徴とする請求項10に記載のリソグラフィ装置。
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