JP2005268439A - 等倍x線露光方法及び等倍x線露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の同じパターン11が上下一列に並ぶように形成されている等倍マスク12を用い、X線10を等倍マスクの一つのパターンに照射される。等倍マスク12は、マスクステージ13に固定されており、マスクステージ13は、ウエハステージ14内で、左右に往復移動できるようになっている。また、ウエハステージ14は、垂直ステージ16内で上下に往復移動できるようになっている。X線10が等倍マスク12のパターン11における一番上を照射させながら、垂直ステージ16によって、等倍マスク12とウエハ15の両方を上方に移動させている。これによって、上下一列のパターン11の全部にX線10が照射することで、ウエハ15における上下一列分にパターン露光される。
【選択図】図1
Description
kは比例定数で、通常、0.5〜1.0である。(1)式によると、解像度を高める(Rを小さくする)には、波長を短くするか、ギャップを小さくすればよい。ギャップdは、通常、10〜30ミクロンである。したがって、現在の等倍X線露光装置の解像限界は、k=0.7、λ=0.7nm、d=10ミクロンを代入すると、約59nmとなり、半導体の世代では65nm世代までに利用できる。
一方、本発明では、隣接したパターンへの移動時間は、パターンを露光する際のスキャン速度のままでよいことから、パターン間の隙間が0.5mmであることから、t×0.5/24=t/48となる。また、次の列への移動時間に2秒掛かるとしても、ウエハ処理時間T2は、
T2=t×112+t/48×100+2×11〜114t+22(秒) (3)
となる。したがって、(2)に示されたT1とほぼ同程度の処理時間で済む。
11 パターン
12、22 等倍マスク
13、23 マスクステージ
14、24 ウエハステージ
15、25 ウエハ
16、26 垂直ステージ
18 露光ショット位置
27 マスクテーブル
100、200 等倍X線露光装置
Claims (7)
- 露光に用いるマスクとして、同じパターン複数個を第1の方向に列をなすように少なくとも1列に並べた等倍マスクを用い、該マスクと被露光ウエハとの相対的な位置を変えずに該マスクおよび該被露光ウエハと露光用X線との相対位置を前記第1の方向に変更して該被露光ウエハ上の第1の方向に複数のパターンを露光する第1のステップと、該マスクと被露光ウエハとの相対的な位置を前記第1の方向と交差する第2の方向に変更する第2のステップと、を含むことを特徴とする等倍X線露光による露光方法。
- 前記第2のステップに続いて、前記マスクと前記被露光ウエハとの相対的な位置を変えずに前記マスクおよび前記被露光ウエハと露光用X線との相対位置を前記第1の方向に変更して、前記被露光ウエハ上の前記第1のステップで露光されたのと少なくとも一部が異なる場所において前記第1の方向に複数のパターンを露光する第3のステップをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の等倍X線露光による露光方法。
- 前記マスクと前記被露光ウエハとの相対的な位置を前記第1の方向において変更する第4のステップと、前記マスクと前記被露光ウエハとの相対的な位置を変えずに前記マスクおよび前記被露光ウエハと露光用X線との相対位置を前記第1の方向において変更して前記被露光ウエハ上の前記第1または第3のステップで露光されたのと少なくとも一部が第1の方向において異なる場所において前記第1の方向に複数のパターンを露光する第5のステップとをさらに含むことを特徴とする請求項2記載の等倍X線露光による露光方法。
- 被露光ウエハを保持するウエハステージと、同じパターン複数個を第1の方向に列をなすように少なくとも1列並べた等倍マスクを前記被露光ウエハの近傍で保持するマスクステージと、前記マスクステージと前記ウエハステージとの相対位置を固定したまま前記マスクステージおよび前記ウエハステージを同時に第1の方向に移動させる手段と、前記マスクステージと戦記ウエハステージとの相対的な位置を前記第1の方向と交差する第2の方向において変更する手段と、を含むことを特徴とする等倍X線露光装置。
- 前記マスクステージは該マスクステージに対して前記第1の方向に移動しうるマスクテーブルを備え、前記等倍マスクは前記マスクテーブルに固定されることを特徴とする請求項4記載の等倍X線露光装置。
- 等倍露光に使用される等倍マスクにおいて、複数個の同一のパターンを予め定められた方向に直線的に配列したことを特徴とする等倍マスク。
- 複数個の同一のパターンを予め定められた方向に直線的に配列した等倍マスクと、当該等倍マスクのパターンを露光される被露光ウエハと前記等倍マスクとの前記予め定められた方向に対する相対位置を固定する手段と、前記被露光ウエハと前記等倍マスクとの相対位置を固定した状態で、前記予め定められた方向に移動させる手段とを含むことを特徴とする等倍露光装置。
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